技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種多波長同時照明的非相干疊層衍射成像系統(tǒng)，包括沿光路依次設(shè)置的雙寬帶分光棱鏡、空間濾波器、復(fù)消色差透鏡、探針及成像探測器；待測樣品位于探針及成像探測器之間。還包括激光器，所述激光器的出射光通過雙全反射鏡垂直射入雙寬帶分光棱鏡?；诏B層掃描的多路復(fù)用迭代算法，恢復(fù)待測樣品的復(fù)振幅分布、探針的復(fù)振幅分布和光譜權(quán)重。本實用新型的成像方案與相對應(yīng)的算法，不僅能夠恢復(fù)不同波段下對應(yīng)的復(fù)振幅待測樣品，同時也能恢復(fù)不同波段的光譜權(quán)重和不同波段下對應(yīng)的照明探針的復(fù)振幅分布。

技術(shù)研發(fā)人員：韓洋;何俊華;閆亞東;韋明智;潘安;萬能
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所
文檔號碼：201620117718
技術(shù)研發(fā)日：2016.02.05
技術(shù)公布日：2016.11.30