本發(fā)明涉及固體電介質(zhì)材料性能測試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種電導電流與空間電荷的同步測量裝置。

背景技術(shù)：

目前，電聲脈沖法空間電荷測量技術(shù)已成為國內(nèi)外研究絕緣材料空間電荷特性的通用技術(shù)之一。該技術(shù)可應(yīng)用于交流、直流電場條件下材料內(nèi)部空間電荷分布特性的研究，包括空間電荷的注入、遷移、積聚和消散等動態(tài)演變過程，分析材料內(nèi)部電荷的起源機制、遷移規(guī)律，以及空間電荷與材料電導、局部放電、擊穿、老化等絕緣性能的相互影響規(guī)律和內(nèi)在作用機制。

電導電流能夠反映載流子輸運過程的許多微觀特性，如載流子注入、電荷入陷和脫陷、電導機制、陷阱載流子密度、電老化閾值等，被廣泛用于研究半導體和電介質(zhì)材料的電荷輸運過程。相較于空間電荷理論，電導理論發(fā)展更早，理論體系更成熟，在半導體和聚合物絕緣材料等多領(lǐng)域已得到更為廣泛的應(yīng)用與發(fā)展。電導電流與空間電荷的聯(lián)合測量，有助于闡明空間電荷研究中諸多尚不清楚的重要問題，如空間電荷包遷移對材料電導率的影響、陷阱特性與空間電荷的相互關(guān)聯(lián)性、空間電荷抑制與電導率調(diào)控的相互平衡性等。

然而，現(xiàn)有電導電流—空間電荷聯(lián)合測量技術(shù)存在的問題有：(1)非同步測量；(2)四電極結(jié)構(gòu)使得電導電流和空間電荷測量區(qū)域不同，兩種信號的等效性有待驗證；(3)電導電流精度低，僅能實現(xiàn)μA量級或nA量級；(4)高壓端提取電導電流信號存在操作安全問題，且電導電流過大或過小均會影響測量精度。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明的目的在于提出一種電導電流與空間電荷的同步測量裝置，該裝置可以同步測量電導電流信號和空間電荷信號，提高測量的可靠性。

為達到上述目的，本發(fā)明實施例提出了一種電導電流與空間電荷的同步測量裝置，包括：金屬外電極，用于屏蔽被測試樣上的表面電流；高壓金屬電極，用于向所述被測試樣施加高壓直流電壓和高壓脈沖；絕緣隔板，用于隔離所述被測試樣的體電流和表面電流；中心金屬電極，用于同時引出一根信號線傳輸電導電流信號；絕緣片，所述絕緣片的聲阻抗與所述中心金屬電極相匹配，用于對所述電導電流信號和空間電荷信號進行剝離，以同步測量所述電導電流信號和所述電荷信號；壓電傳感器，所述壓電傳感器為90°彎折的壓電傳感器結(jié)構(gòu)，用于利用壓電效應(yīng)將所述高壓脈沖對所述空間電荷信號作用產(chǎn)生的聲波信號轉(zhuǎn)換為電壓信號，以使被測試樣在同一區(qū)域同步提取所述電導電流信號和所述空間電荷信號。

本發(fā)明實施例的電導電流與空間電荷的同步測量裝置，通過選用與中心金屬電極的聲阻抗相匹配的絕緣片，實現(xiàn)了電導電流信號和空間電荷信號的有效剝離，可同步開展電導電流信號和空間電荷信號的測量，并且電導電流信號和空間電荷信號均來源于試樣同一區(qū)域(包括表面與體內(nèi))，并消除了表面電流的干擾，測試結(jié)果更可靠，不但提高了測量的可靠性，而且簡單易實現(xiàn)。

另外，根據(jù)本發(fā)明上述實施例的電導電流與空間電荷的同步測量裝置還可以具有以下附加的技術(shù)特征：

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：接地金屬屏蔽罩；絕緣樹脂，所述絕緣樹脂澆注并固定于所述接地金屬屏蔽罩內(nèi)，用于固定和封裝多個元器件。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：絕緣支撐塊，用于支撐所述高壓金屬電極，并且使所述高壓金屬電極和所述接地金屬屏蔽罩相互絕緣；半導電層，用于減小聲波在所述被測試樣的上表面的反射，并模擬電力電纜內(nèi)絕緣中半導電層結(jié)構(gòu)。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：金屬固定環(huán)，用于定位所述接地金屬屏蔽罩；接地，用于為電導電流提供通路，且提供穩(wěn)定的零電位。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：脈沖絕緣套管；脈沖導電桿，用于引入所述高壓脈沖到所述高壓金屬電極；高壓電容，用于隔離所述直流電壓并通過所述高壓脈沖；直流絕緣套管；直流導電桿，用于引入直流高電壓到所述高壓金屬電極。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：還包括：接地金屬板；聲波吸收塊，用于吸收從所述壓電傳感器穿過的聲波，以防止所述聲波反射而干擾所述空間電荷信號。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：絕緣護套；橢球型電極，用于輸出所述空間電荷信號。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：金屬電極，用于傳輸所述壓電傳感器產(chǎn)生的所述空間電荷信號；金屬固定殼，用于屏蔽電磁干擾。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：信號線；信號接線端口；金屬屏蔽殼，用于屏蔽環(huán)境中電磁干擾。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，上述裝置還包括：瞬態(tài)二極管，在所述被測試樣發(fā)生擊穿時，用于保護微電流計，以抑制擊穿過程可能產(chǎn)生的瞬態(tài)過電壓；信號放大器，用于放大所述壓電傳感器產(chǎn)生的電壓信號。

本發(fā)明實施例的電導電流與空間電荷的同步測量裝置，通過在電流支路上并聯(lián)一對正反接的瞬態(tài)二極管，消除了試樣擊穿時微電流計受到的過電壓威脅。

本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的電導電流與空間電荷的同步測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的壓電傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。

下面參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明實施例提出的電導電流與空間電荷的同步測量裝置。

該電導電流與空間電荷的同步測量裝置包括：金屬外電極、高壓金屬電極、絕緣隔板、中心金屬電極、絕緣片和壓電傳感器。

其中，金屬外電極用于屏蔽被測試樣上的表面電流。高壓金屬電極用于向被測試樣施加高壓直流電壓和高壓脈沖。絕緣隔板用于隔離被測試樣的體電流和表面電流。中心金屬電極用于同時引出一根信號線傳輸電導電流信號。絕緣片的聲阻抗與中心金屬電極相匹配，絕緣片用于對電導電流信號和空間電荷信號進行剝離，以同步測量電導電流信號和電荷信號。壓電傳感器為90°彎折的壓電傳感器結(jié)構(gòu)，壓電傳感器用于利用壓電效應(yīng)將高壓脈沖對空間電荷信號作用產(chǎn)生的聲波信號轉(zhuǎn)換為電壓信號，以使被測試樣在同一區(qū)域同步提取電導電流信號和空間電荷信號。該裝置可以實現(xiàn)電導電流信號和空間電荷信號的有效剝離，可同步開展電導電流信號和空間電荷信號的測量，提高了測量的可靠性。

可以理解的是，本發(fā)明實施例的電導電流與空間電荷的同步測量裝置，通過選用與中心金屬電極的聲阻抗相匹配的絕緣片，實現(xiàn)了電導電流信號和空間電荷信號的有效剝離，可同步開展電導電流信號和空間電荷信號的測量，并且電導電流信號和空間電荷信號均來源于試樣同一區(qū)域(包括表面與體內(nèi))，并消除了表面電流的干擾，測試結(jié)果更可靠，不但提高了測量的可靠性，而且簡單易實現(xiàn)。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：接地金屬屏蔽罩和絕緣樹脂。其中，絕緣樹脂澆注并固定于接地金屬屏蔽罩內(nèi)，用于固定和封裝多個元器件。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：絕緣支撐塊和半導電層。其中，絕緣支撐塊用于支撐高壓金屬電極，并且使高壓金屬電極和接地金屬屏蔽罩相互絕緣；半導電層用于減小聲波在被測試樣的上表面的反射，并模擬電力電纜內(nèi)絕緣中半導電層結(jié)構(gòu)。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：金屬固定環(huán)和接地。其中，金屬固定環(huán)用于定位接地金屬屏蔽罩；接地用于為電導電流提供通路，且提供穩(wěn)定的零電位。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：脈沖絕緣套管、脈沖導電桿、高壓電容、直流絕緣套管和直流導電桿。其中脈沖導電桿用于引入高壓脈沖到高壓金屬電極；高壓電容用于隔離直流電壓并通過高壓脈沖；直流導電桿用于引入直流高電壓到高壓金屬電極。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：接地金屬板和聲波吸收塊。其中，聲波吸收塊用于吸收從壓電傳感器穿過的聲波，以防止聲波反射而干擾空間電荷信號。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：絕緣護套和橢球型電極。其中，橢球型電極用于輸出空間電荷信號。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：金屬電極和金屬固定殼。其中，金屬電極用于傳輸壓電傳感器產(chǎn)生的空間電荷信號；金屬固定殼用于屏蔽電磁干擾。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：信號線、信號接線端口和金屬屏蔽殼。其中，金屬屏蔽殼用于屏蔽環(huán)境中電磁干擾。

進一步地，在本發(fā)明的一個實施例中，本發(fā)明實施例的裝置還包括：瞬態(tài)二極管和信號放大器。其中，在被測試樣發(fā)生擊穿時，瞬態(tài)二極管用于保護微電流計，以抑制擊穿過程可能產(chǎn)生的瞬態(tài)過電壓；信號放大器用于放大壓電傳感器產(chǎn)生的電壓信號。

在本發(fā)明的實施例中，本發(fā)明實施例的裝置，通過在電流支路上并聯(lián)一對正反接的瞬態(tài)二極管，消除了試樣擊穿時微電流計受到的過電壓威脅。

需要說明的是，本發(fā)明實施例的裝置特別適用于高溫、強電場等多物理場耦合工況下的空間電荷和電導電流暫態(tài)過程測量，并可集成快速動態(tài)、連續(xù)測量等功能，由于本發(fā)明實施例避免了異步測量中信號切換、信號穩(wěn)定所必要的時間，大大拓展了電導電流—空間電荷聯(lián)合測量裝置的使用范圍。簡言之，本發(fā)明實施例適應(yīng)了固體絕緣材料空間電荷和電導電流聯(lián)合測量的發(fā)展趨勢，為空間電荷測量技術(shù)的高性能化和多功能化的發(fā)展起到重要的推動作用。

下面以一個具體實施例對本發(fā)明實施例的裝置進行詳細描述。

在本發(fā)明的一個具體實施例中，本發(fā)明實施例的裝置包括：接地金屬屏蔽罩、絕緣樹脂、絕緣支撐塊、高壓金屬電極、半導電層、被測試樣、金屬固定環(huán)、接地、脈沖絕緣套管、脈沖導電桿、高壓電容、直流導電桿、直流絕緣套管、接地金屬板、中心金屬電極、絕緣片、壓電傳感器、聲波吸收塊、橢球型電極、絕緣護套、金屬外電極、絕緣隔板、金屬電極、金屬固定殼、信號線、信號接線端口、金屬屏蔽殼、瞬態(tài)二極管和信號放大器。

其中，接地金屬屏蔽罩為中空圓柱體，其下表面開口，上表面中心位置有一個未貫穿的半球形凹槽，用于固定接地金屬屏蔽罩，側(cè)面開有兩孔分別供直流絕緣套管和脈沖絕緣套管穿過。

絕緣樹脂澆注并固定于接地金屬屏蔽罩內(nèi)，其作用是固定和封裝高壓電容、高壓金屬電極等元器件，并使其相互絕緣。

絕緣支撐塊位于高壓金屬電極正上方，在接地金屬屏蔽罩倒置澆注絕緣樹脂時，能夠支撐高壓金屬電極，設(shè)備運行時使高壓金屬電極和接地金屬屏蔽罩相互絕緣。

高壓金屬電極側(cè)面分別與直流絕緣套管中的直流導電桿和脈沖絕緣套管中的脈沖導電桿相連，其上端與絕緣支撐塊相連，下端表面包裹一層半導電層且與被測試樣上表面接觸，用于向被測試樣施加高壓直流電壓和高壓脈沖。

半導電層與高壓金屬電極緊密貼合，其作用是減小聲波在被測試樣上表面的反射并模擬電力電纜內(nèi)絕緣中半導電層結(jié)構(gòu)。

被測試樣的上表面與半導電層接觸，下表面與金屬外電極及中心金屬電極接觸，被測試樣的尺寸需大于金屬外電極內(nèi)徑。

金屬固定環(huán)固定在接地金屬板上，用于定位接地金屬屏蔽罩。

接地，其作用為電導電流提供通路、為壓電傳感器提供穩(wěn)定的零電位以及防止人身傷害。

脈沖絕緣套管為圓柱中空長形結(jié)構(gòu)，從接地金屬屏蔽罩側(cè)面穿過，一端沒入絕緣樹脂，其作用是將脈沖導電桿與接地金屬屏蔽罩絕緣。

脈沖導電桿從脈沖絕緣套管中穿過，其作用是引入高壓脈沖到高壓金屬電極。

高壓電容封裝于絕緣樹脂中，連接脈沖導電桿與高壓金屬電極，用于隔離直流電壓，并通過高壓脈沖。

直流導電桿從直流絕緣套管中穿過，其作用是引入直流高電壓到高壓金屬電極。

直流絕緣套管為圓柱中空長形結(jié)構(gòu)，從屏蔽罩側(cè)面穿過，一端沒入絕緣樹脂封裝件中，其作用是將直流導電桿與接地金屬屏蔽罩絕緣。

接地金屬板上安裝有金屬固定環(huán)、金屬外電極、絕緣隔板等元件。

中心金屬電極上表面與被測試樣表面緊密接觸，下表面與絕緣片貼合，同時引出一根信號線傳輸電導電流信號。

絕緣片位于中心金屬電極和壓電傳感器之間，其聲阻抗與中心金屬電極相匹配，用于剝離電導電流信號和空間電荷信號。

壓電傳感器一側(cè)與絕緣片下表面以及金屬外電極下表面相連，實現(xiàn)該側(cè)接地以固定在零電位，另一側(cè)與聲波吸收塊貼合，其作用是利用壓電效應(yīng)將高壓脈沖對空間電荷作用產(chǎn)生的聲波信號轉(zhuǎn)換為電壓信號。

聲波吸收塊緊貼在壓電傳感器下表面，用于吸收從壓電傳感器穿過的聲波，防止聲波反射而干擾空間電荷信號。

橢球型電極嵌于金屬電極下端凹槽內(nèi)，輸出金屬電極傳來的空間電荷信號。

絕緣護套將金屬電極與接地金屬板隔離，保證金屬電極上信號的傳輸。

金屬外電極與中心金屬電極、高壓金屬電極和絕緣隔板共同構(gòu)成三電極法電導電流測量單元，其下端固定在接地金屬板上，上表面與被測試樣表面貼合，并環(huán)繞中心金屬電極，用于屏蔽被測試樣上的表面電流。

絕緣隔板位于中心金屬電極與金屬外電極之間，并與后兩者緊密貼合，用于隔離被測試樣的體電流和表面電流。

金屬電極上端開口供聲波吸收塊嵌入，其側(cè)面與90°彎折的壓電傳感器下表面相連接，上端右側(cè)緊貼絕緣護套內(nèi)表面，作用是傳輸壓電傳感器產(chǎn)生的空間電荷信號。

金屬固定殼安裝在接地金屬板底部，用于屏蔽環(huán)境中的電磁干擾，防止電導電流及空間電荷信號測量過程引入干擾。

信號線用于電導電流信號和空間電荷信號的傳輸。

信號接線端口用于不同元件與信號線之間的連接與固定。

金屬屏蔽殼安裝于接地金屬板下表面，作用是屏蔽環(huán)境中的電磁干擾。

瞬態(tài)二極管正反接且并聯(lián)于電導電流支路，在被測試樣發(fā)生擊穿時保護微電流計，抑制擊穿過程可能產(chǎn)生的瞬態(tài)過電壓，而在正常測量過程中不動作。

信號放大器用于將壓電傳感器產(chǎn)生的電壓信號放大，其輸入端連接壓電傳感器信號輸出端，輸出端連接空間電荷信號接線端口。

在本發(fā)明的實施例中，分別采用三電極法與電聲脈沖法測量電導電流與空間電荷信號，并通過立體的壓電傳感器安裝方式實現(xiàn)電導電流信號與空間電荷信號在試樣同一區(qū)域同步測量，因而測試結(jié)果能更有力地反映被測材料的電導電流特性與空間電荷特性之間聯(lián)系。同時，瞬態(tài)二極管的引入提高了測量裝置的安全性能。此外，本發(fā)明還可以在高溫、強電場等工況下集成快速動態(tài)、連續(xù)測量等功能，具有很好的拓展性。

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明實施例的裝置的工作原理進行詳細描述。

如圖1和圖2所示，本發(fā)明實施例的裝置包括：接地金屬屏蔽罩1、絕緣樹脂2、絕緣支撐塊3、高壓金屬電極4、半導電層5、被測試樣6、金屬固定環(huán)7、接地8、脈沖絕緣套管9、脈沖導電桿10、高壓電容11、直流導電桿12、直流絕緣套管13、接地金屬板14、中心金屬電極15、絕緣片16、壓電傳感器17、聲波吸收塊18、橢球型電極19、絕緣護套20、金屬外電極21、絕緣隔板22、金屬電極23、金屬固定殼24、信號線25、信號接線端口26、金屬屏蔽殼27、瞬態(tài)二極管28、信號放大器29。

工作時，圖2中心金屬電極15的中央位置滴適量硅油，將被測試樣6置于滴有硅油的金屬電極15表面。隨后，將硅油滴于被測試樣6表面的中央位置。然后安裝高壓電極裝置，使高壓金屬電極4上的半導電層5與試樣上表面緊密貼合。其中，硅油是為了消除接觸面的氣隙，改善聲波傳播效果。最后，施加所需的高壓脈沖和高壓直流電壓，二者同時疊加在被測試樣6上。

當試樣內(nèi)部存在空間電荷，其在高壓脈沖作用下形成微小振動，從而產(chǎn)生聲波。聲波依次穿過被測試樣6、中心金屬電極15和絕緣片16作用在壓電傳感器17上。由于金屬外電極21和接地金屬板14相連，而接地金屬板14通過接地8接地。因此，壓電傳感器17通過絕緣片16的隔離以及與金屬外電極21的相連實現(xiàn)上表面電位固定為零電位，從而下表面的電位能夠準確反映空間電荷振動引起的聲波幅值和極性。隨后，空間電荷信號經(jīng)由壓電傳感器17彎折90°部分的下表面?zhèn)鬏敵鋈?。與此同時，信號線25從中心金屬電極15直接提取電導電流信號向外輸出。

其中，通過將壓電傳感器17彎折90°的設(shè)計，配合絕緣片16，從而有效剝離兩種信號，實現(xiàn)在被測試樣6的同一區(qū)域同步提取空間電荷和電導電流信號。由于兩者信號同步提取，其結(jié)果分析的等效性和準確性顯著提升。同時，在電導電流信號線上并聯(lián)正反接瞬態(tài)二極管以保護微電流計的設(shè)計，提高了測量裝置的安全性能。此外，本發(fā)明實施例還可在高溫、強電場環(huán)境下集成快速動態(tài)、連續(xù)測量等功能。

根據(jù)本發(fā)明實施例提出的電導電流與空間電荷的同步測量裝置，用于固體電介質(zhì)材料電導電流與空間電荷特性的研究，從而設(shè)計基于三電極結(jié)構(gòu)，采用與中心金屬電極聲阻抗相匹配的絕緣片將電流信號和聲波信號有效剝離，并利用90°彎折的壓電傳感器結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)在被測試樣同一區(qū)域同步提取電導電流和空間電荷信號的目的，因而測量結(jié)果更精確，同時，電流信號支路上并聯(lián)有正反接的瞬態(tài)二極管保護裝置，避免微電流計在試樣擊穿時承受瞬態(tài)過電壓，提高了測量裝置的安全性能。此外，本發(fā)明實施例的測量裝置的設(shè)計可拓展至高溫、強電場等多物理場耦合工況下的測量，并可集成快速動態(tài)、連續(xù)測量等功能。本發(fā)明將為電導電流與空間電荷聯(lián)合測量技術(shù)的發(fā)展提供重要的支持。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例以及不同實施例或示例的特征進行結(jié)合和組合。

盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。