技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種白光干涉原子力顯微鏡探針自動(dòng)標(biāo)定系統(tǒng)及自動(dòng)標(biāo)定方法，其中實(shí)現(xiàn)自動(dòng)標(biāo)定控制方法中主要涉及的自動(dòng)標(biāo)定系統(tǒng)包括：標(biāo)定樣板，原子力探針組件，原子力探針，干涉顯微物鏡，面CCD及光路系統(tǒng)，水平二維電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，垂直電機(jī)運(yùn)動(dòng)和垂直納米位移平臺(tái)。按照本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)標(biāo)定系統(tǒng)以及根據(jù)該標(biāo)定樣板執(zhí)行的標(biāo)定方法，根據(jù)標(biāo)定樣板上的光強(qiáng)與探針表面的光強(qiáng)的對(duì)比關(guān)系來控制垂直電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和垂直納米位移平臺(tái)運(yùn)動(dòng)，從而控制探針接觸到標(biāo)定樣板上的位置，由此完成標(biāo)定，此方法能進(jìn)一步提高標(biāo)定速度，并且操作簡(jiǎn)單。

技術(shù)研發(fā)人員：盧文龍;曾春陽;劉曉軍;周莉萍;庾能國(guó);楊文軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華中科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201610801968
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.05
技術(shù)公布日：2016.12.07