技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的檢查裝置(1)具備：THz波照射部(3)，其對被檢查物(2)照射THz波；THz波探測部(5)，其檢測被照射到被檢查物(2)上的THz波的透射波(4)或反射波(22)；以及信息處理部(10)，其基于被照射THz波的被檢查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的強度數(shù)據(jù)，得到被檢查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的強度分布，信息處理部(10)獲取透射波(4)或反射波(22)的二維強度分布，通過對檢測沒有附著異物(7)的被檢查物(2)時得到的強度分布與在檢查時檢測被檢查物(2)時得到的檢查時強度分布進行比較，來檢測在檢查時的被檢查物(2)上是否附著有異物(7)。被檢查物例如是紙張類。對于附著在被檢查物上的異物(7)，信息處理部(10)也可以根據(jù)基于異物(7)的折射率與沒有附著異物(7)的被檢查物(2)的折射率之差的透鏡效應(yīng)而產(chǎn)生的強度變化來檢測。

技術(shù)研發(fā)人員：小山裕;五井廣一
受保護的技術(shù)使用者：勞雷爾精機株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.09
技術(shù)公布日：2017.09.08