已知相機(jī)探針用于捕捉待檢測(cè)物體的圖像。相機(jī)探針繞物體移動(dòng)，例如通過(guò)移動(dòng)設(shè)備，并采集物體的圖像。在某一時(shí)刻(例如，可以是緊接在它們被捕捉之后或在采集之后的某一時(shí)間)，處理圖像以確定關(guān)于該物體的信息。這可通過(guò)相機(jī)探針上的處理器，或相機(jī)探針外部的處理器來(lái)進(jìn)行。

在一些情形中，期望使用相機(jī)探針來(lái)檢測(cè)當(dāng)相機(jī)探針繞物體移動(dòng)時(shí)物體上的選擇特征。例如，可需要檢測(cè)物體中的一個(gè)或多個(gè)孔/洞/孔隙，例如，以確定它們的大小和/或形式。

WO2009/141606和WO2010/139950公開(kāi)用于使用相機(jī)探針來(lái)測(cè)量孔的已知技術(shù)。WO2009/141606公開(kāi)使用激光束照射物體，該激光束穿過(guò)相機(jī)鏡頭系統(tǒng)投射。光斑投射到待測(cè)量的邊緣的部分上，以將其安放到剪影中。相機(jī)視野是這樣的：它只能看到孔的邊緣的小部分(因此，相機(jī)探針僅能看到孔的部分剪影)，并且因此相機(jī)被環(huán)繞驅(qū)動(dòng)以沿著該邊緣而行，并獲得隨后拼接在一起的一系列圖像。在WO2010/139950中，由經(jīng)照明光點(diǎn)(該光點(diǎn)穿過(guò)鏡頭被投射到邊緣上)形成剪影，對(duì)該剪影的焦點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，以用于尋找孔的特定部分的邊緣，并用于幫助相機(jī)探針沿孔的邊緣而行。在WO2009/141606和WO2010/139950中，相機(jī)的景深足夠淺以使得聚焦區(qū)域的高度是已知的，并使得可以直接測(cè)得邊緣的實(shí)際位置。換句話說(shuō)，利用這些文件的技術(shù)，其類(lèi)似于引入接觸式探針的觸針針尖來(lái)觸碰所關(guān)注的邊緣從而直接測(cè)量它。

本發(fā)明涉及一種用于獲得有關(guān)物體(具體來(lái)說(shuō)，有關(guān)在物體中的孔)的計(jì)量信息的替代技術(shù)。本發(fā)明提供一種技術(shù)，其包括從一個(gè)視角獲得孔的剪影的至少一個(gè)圖像，并處理該至少一個(gè)圖像以推斷有關(guān)孔的計(jì)量信息。例如，本發(fā)明提供一種技術(shù)，其包括從不同視角獲得孔的剪影的多個(gè)圖像，并處理那些圖像以獲得有關(guān)孔的計(jì)量信息。

根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種利用安裝在坐標(biāo)定位機(jī)上的相機(jī)探針來(lái)檢測(cè)工件中的孔的方法，其包括：關(guān)于至少一個(gè)(例如，多個(gè)不同的)視角從孔的第一末端獲得孔的剪影的至少一個(gè)圖像(例如，以獲得孔的剪影圖像的集合)，并使用該孔的剪影圖像(例如，剪影圖像的集合)來(lái)推斷孔的邊界的至少部分，例如，在孔的表面上的至少一個(gè)點(diǎn)(例如，多個(gè)點(diǎn))的位置。

使用剪影圖像(例如，剪影圖像的集合)來(lái)推斷孔輪廓信息使得孔/洞/孔隙(在本文中提到的“孔”可與“孔隙”和“洞”互換)能夠被快速和可靠地檢測(cè)。當(dāng)從孔的第一末端獲得圖像時(shí)，這意味著可以只從單側(cè)來(lái)檢測(cè)孔，即使部分的孔在位于第一末端的孔的開(kāi)口的遠(yuǎn)側(cè)。盡管與直接測(cè)量(類(lèi)似在WO2009/141606和WO2010/139950中的)截然不同地來(lái)推斷孔的邊界信息，但是已發(fā)現(xiàn)仍可足夠精確地推斷孔的表面上的位置，且尤其適合于檢測(cè)孔的某些方面，例如，孔的最小橫截面面積。

從本說(shuō)明書(shū)可以清楚的是，本發(fā)明的方法可用于僅推斷孔的表面上(例如，其內(nèi)表面上)的一個(gè)離散點(diǎn)。任選地，本發(fā)明的方法可用于推斷孔的表面(例如，內(nèi)表面)上的多個(gè)離散點(diǎn)。任選地，多個(gè)點(diǎn)可繞孔的表面(例如，內(nèi)表面)的周邊擴(kuò)展，并且例如，可全部包含在理論測(cè)量表面(例如，平面)內(nèi)。任選地，本發(fā)明的方法可用于沿著孔的長(zhǎng)度的至少部分，和任選地沿著其整個(gè)長(zhǎng)度，來(lái)推斷孔的三維模型。

使用根據(jù)本發(fā)明的相機(jī)探針獲得的剪影可以由處于不同的(例如，未知的)高度/深度處的孔的不同的(例如，未知的)部分來(lái)產(chǎn)生。也就是說(shuō)，至少一個(gè)圖像的剪影可以由處于不同高度/深度處的孔的不同部分來(lái)產(chǎn)生。因此，該方法可以包括：使用至少一個(gè)圖像來(lái)推斷孔內(nèi)處于至少兩個(gè)不同高度處的孔的表面上的至少一個(gè)點(diǎn)。例如，該方法可以包括：從至少一個(gè)圖像來(lái)推斷接近孔的第一末端的至少一個(gè)點(diǎn)的位置。任選地，該方法包括：從至少一個(gè)圖像來(lái)推斷在孔的第一末端的遠(yuǎn)側(cè)的至少一個(gè)點(diǎn)的位置。例如，該方法可以包括：推斷在孔的第一末端的遠(yuǎn)側(cè)的孔的末端的點(diǎn)(例如，推斷在孔的底部的點(diǎn))。例如，該方法可以包括，從至少一個(gè)圖像來(lái)推斷接近孔的第一末端的至少一個(gè)點(diǎn)的位置和在孔的第一末端的遠(yuǎn)側(cè)的至少一個(gè)點(diǎn)的位置(例如，推斷在孔的頂部和底部的點(diǎn))。

本發(fā)明的方法可以包括從該剪影圖像提取在至少一個(gè)高度/深度處(例如，在至少兩個(gè)高度/深度處)的孔的位置信息(例如，點(diǎn)的信息，例如，輪廓信息)。因此，本發(fā)明的方法可以包括處理剪影圖像以識(shí)別在至少兩個(gè)不同高度/深度處的該孔的邊界的至少部分。因此，方法可以包括關(guān)于待檢測(cè)的孔來(lái)選擇一個(gè)或多個(gè)高度，和使用剪影圖像的集合來(lái)推斷在該一個(gè)或多個(gè)高度處的孔的邊界的至少部分。

可以理解的是，視角可為已知的視角。例如，至少視角的相對(duì)位置和/或定向可為已知的。舉例來(lái)說(shuō)，對(duì)于圖像集合來(lái)說(shuō)，視角的相對(duì)位置/定向可為已知的。任選地，視角相對(duì)于物體的相對(duì)位置/定向可為已知的。任選地，坐標(biāo)定位設(shè)備的測(cè)量體積內(nèi)的視角的絕對(duì)位置/定向是已知的。

這樣的視角可從來(lái)自坐標(biāo)定位機(jī)的數(shù)據(jù)得知，該坐標(biāo)定位機(jī)安裝在該視角上。例如，可從坐標(biāo)定位機(jī)的位置(和，例如，定向)的了解來(lái)得知視角/相機(jī)透視中心，例如，從對(duì)坐標(biāo)定位機(jī)的位置傳感器的輸出進(jìn)行讀取。

推斷可包括針對(duì)給定(例如，已知/預(yù)定)的(孔的)高度/深度，假定剪影的邊緣由該高度/深度處的孔的邊界(例如，孔壁/孔的內(nèi)表面)所產(chǎn)生?？梢岳斫獾氖?，該高度/深度可為坐標(biāo)定位機(jī)的測(cè)量體積內(nèi)的、給定/已知/預(yù)定的高度/深度(例如，在第一維度上)(例如，Z維度)。同樣地，該確定邊界的至少部分的位置可以是，關(guān)于該給定/已知/預(yù)定的高度/深度，確定坐標(biāo)定位機(jī)的測(cè)量體積內(nèi)的孔的邊界的至少部分的側(cè)向位置/定位(例如，在第二和第三彼此垂直的維度上)(例如，X和Y維度)。

因此，該方法可以包括使用孔的該剪影圖像來(lái)推斷在給定高度/深度處的孔的邊界的至少部分(例如，在孔的邊界上的至少一個(gè)點(diǎn))的位置。如下文更詳細(xì)所解釋的，該方法還可以包括，關(guān)于多個(gè)不同的給定/已知/預(yù)定的高度/深度，使用孔的該剪影圖像來(lái)推斷孔的邊界的至少部分的位置(例如，在孔的邊界上的至少一個(gè)點(diǎn)的位置)。

使用該剪影圖像(該剪影圖像的集合)可以包括識(shí)別該剪影中的邊緣。任選地，使用該剪影圖像(該剪影圖像的集合)可以包括對(duì)圖像使用邊緣偵測(cè)處理以在圖像中識(shí)別該圖像中的剪影的邊緣上的至少一個(gè)點(diǎn)。任選地，該方法可以包括使用邊緣偵測(cè)處理以在一幅圖像內(nèi)識(shí)別在該孔的第一高度/深度(例如，孔的第一末端/頂部)處的孔的邊界上的至少第一點(diǎn)，以及在該孔的第二高度/深度(例如，孔的第二末端/底部)處的孔的邊界上的至少第二點(diǎn)。

任選地，該方法包括推斷圖像中的剪影的哪一部分與在第一高度/深度(例如，孔的第一末端/頂部)處的孔的部分相關(guān)，以及推斷圖像中的剪影的哪一部分與在第二高度/深度(例如，孔的第二末端/底部)處的孔的部分相關(guān)。

可以理解的是，該至少一個(gè)高度/深度相對(duì)于相機(jī)探針可以為任意的。推斷孔的邊界的至少部分所在的至少一個(gè)高度/深度(例如，推斷在孔的表面上一個(gè)或多個(gè)點(diǎn)的側(cè)向位置所在的至少一個(gè)高度/深度)，可以獨(dú)立于相機(jī)探針來(lái)選定(例如，獨(dú)立于相機(jī)探針的光學(xué)裝置，例如，任意的并獨(dú)立于相機(jī)探針的物體焦平面)。可以理解的是，在此意義上的任意未必意味著隨機(jī)，而是可意味著高度/深度可為個(gè)別的選擇(例如，不受限制)。因此，當(dāng)獲得圖像時(shí)，所關(guān)注的/待檢測(cè)的特征不需要位于相機(jī)探針的物體焦平面或靠近相機(jī)探針的物體焦平面。

任選地，該方法可以包括推斷孔的邊界的至少部分(例如，推斷該至少一個(gè)點(diǎn))，其沒(méi)有位于多個(gè)圖像中的任一個(gè)的相機(jī)物體焦平面上。換句話說(shuō)，該方法可以包括推斷離開(kāi)相機(jī)物體焦平面的孔的邊界的至少部分。因此，該方法可以包括，關(guān)于沒(méi)有位于相機(jī)的物體焦平面上(相機(jī)的物體焦平面處于獲取圖像的點(diǎn)處)的至少一個(gè)高度/深度，使用剪影圖像的該集合來(lái)推斷在該高度/深度處的孔的邊界的至少部分(例如，推斷孔的內(nèi)表面/孔壁上的至少一個(gè)點(diǎn)(例如，多個(gè)點(diǎn))的位置/定位)。因此，該方法可以用于推斷處于相機(jī)物體焦平面以外的孔的邊界的至少部分(例如，在孔的內(nèi)表面/孔壁上的一個(gè)或多個(gè)點(diǎn)的定位)，而沒(méi)有受限于只檢測(cè)位于相機(jī)探針的物體焦平面上(相機(jī)探針的物體焦平面處于獲得圖像的點(diǎn)處)的那些點(diǎn)的孔。

該方法可以包括，關(guān)于多個(gè)不同的視角(例如，關(guān)于多個(gè)不同的位置關(guān)系)，從孔的第一末端獲得孔的整個(gè)(或“完整”)剪影的至少一個(gè)圖像。因此，相機(jī)探針的視場(chǎng)可被布置成包括孔的整個(gè)第一末端。

該方法可以包括，關(guān)于多個(gè)不同的視角(例如，關(guān)于多個(gè)不同的位置關(guān)系)從孔的第一末端獲得工件中的多個(gè)孔的剪影的至少一個(gè)圖像。這可使得能夠使用相同圖像來(lái)檢測(cè)多個(gè)孔。

因此，該方法可以包括，使用該多個(gè)孔的剪影圖像的該集合來(lái)推斷多個(gè)孔的邊界的至少部分的位置(例如，在多個(gè)孔的(內(nèi))表面/孔壁上的至少一個(gè)點(diǎn))。任選地，所推斷的該孔的邊界的至少部分處于相同高度/深度(例如，點(diǎn)全部處于相同高度/深度)。例如，任選地，該方法可以包括，關(guān)于至少一個(gè)給定/已知的高度，使用該多個(gè)孔的剪影圖像的該集合來(lái)推斷在該高度處的每個(gè)孔的孔邊界的至少部分(例如，在孔表面的每一表面上的至少一個(gè)點(diǎn)的位置/定位)。

上述給定的(例如，已知的)高度/深度可以包括給定的(例如，已知的)理論測(cè)量表面。因此，該經(jīng)推斷的點(diǎn)(例如，多個(gè)點(diǎn))可包括在該理論測(cè)量表面內(nèi)。例如，該方法可以包括，使用該孔(或多個(gè)孔)的剪影圖像的該集合來(lái)推斷在理論測(cè)量表面上的孔(或孔的)的邊界的至少部分，該理論測(cè)量表面橫穿該孔。

這種理論表面的實(shí)例是平面。然而，可以理解的是，理論表面不一定是平面的，而替代地可以在一個(gè)或多個(gè)維度上是非線性的(例如，弧形的)。例如，理論表面可以是圓柱形、球形或例如圓錐形。在一些情況下，有利的是，該理論表面具有與其中布置有孔的物體的大體形狀相對(duì)應(yīng)的形狀(例如，對(duì)于平面物體來(lái)說(shuō)，理論表面可以是平面的，而對(duì)于圓柱形物體來(lái)說(shuō)，理論表面也可以是圓柱形的)。該理論表面的其它合適的術(shù)語(yǔ)包括理論測(cè)量表面、虛擬表面和抽象幾何結(jié)構(gòu)。該理論表面可穿過(guò)孔的縱軸。例如，該理論表面可以大致垂直于孔的縱軸(即，至少在其與孔的縱軸交叉的點(diǎn)處)。

該理論表面可以位于孔的端之間。任選地，該理論表面接近或位于第一末端遠(yuǎn)側(cè)的孔的末端。

孔可以是通孔。也就是說(shuō)，孔可以具有至少兩個(gè)開(kāi)口端。任選地，物體基本上是片狀。任選地，物體是葉片，例如，渦輪機(jī)葉片。物體可以大體上是平面的。物體可以是非平面的，例如，弧形或波形。例如，物體的形狀可以是大體圓柱形的。舉例來(lái)說(shuō)，物體可以是大體環(huán)形物體，其具有穿過(guò)環(huán)壁延展的至少一個(gè)孔。

該方法可以包括，關(guān)于至少兩個(gè)不同的高度/深度中的每一個(gè)(例如，至少兩個(gè)不同的理論表面)，使用孔的剪影圖像的該集合來(lái)推斷在孔的表面上的至少一個(gè)點(diǎn)的位置，優(yōu)選地多個(gè)點(diǎn)的位置。任選地，從相同圖像推斷至少兩個(gè)不同的高度/深度(例如，兩個(gè)不同的理論表面)的孔的表面上的點(diǎn)的位置。

該方法(例如，該推斷)可以包括利用對(duì)物體的一個(gè)或多個(gè)特征的定位的認(rèn)識(shí)。例如，該方法可以包括利用對(duì)包含孔的頂部的物體的表面的定位的認(rèn)識(shí)，和/或?qū)Π椎牡撞康奈矬w的表面的定位的認(rèn)識(shí)。此類(lèi)認(rèn)識(shí)可以從直接測(cè)量此類(lèi)特征(例如，界定孔的頂部開(kāi)口的物體的表面)來(lái)確定。此類(lèi)認(rèn)識(shí)可以從直接測(cè)量物體的和/或該物體所固定到的另一個(gè)物體(例如，夾具)的不同特征來(lái)確定。例如，包含孔的底部的物體表面的定位可以通過(guò)直接測(cè)量界定孔的頂部的表面并根據(jù)對(duì)物體的厚度的認(rèn)識(shí)而得知。

因此，該方法可以包括測(cè)量孔的高度/深度的位置(例如，測(cè)量理論表面的位置)，在該高度/深度處推斷孔的邊界。例如，理論表面可以包含孔的第一末端。該方法可以包括測(cè)量包含孔的第一末端的表面的位置?？梢允褂脺y(cè)量探針(例如，接觸式或非接觸式探針)直接測(cè)量理論表面的位置。任選地，測(cè)量探針是不同于相機(jī)探針的探針。

相機(jī)可以包括用于在圖像傳感器上形成圖像的一個(gè)或多個(gè)鏡頭。優(yōu)選地，相機(jī)探針是非遠(yuǎn)心的，即，它具有透視失真。盡管這有助于使得相機(jī)具有大景深以使得整個(gè)孔聚焦，但不一定是這種情況?？梢岳斫獾氖牵椎囊恍┎糠?或甚至所有部分)可以在一定程度上(例如，在圖像分析技術(shù)/軟件的限制內(nèi))離焦，而圖像分析軟件可用于識(shí)別由相機(jī)捕捉的剪影的邊緣。

該方法可以包括，一個(gè)相機(jī)探針用于獲得剪影圖像的該集合中的多個(gè)(或全部)圖像。在此情況下，可以通過(guò)在獲得圖像之間移動(dòng)相機(jī)探針來(lái)實(shí)現(xiàn)不同視角。然而，任選地，相機(jī)可以(例如)具有多個(gè)透視中心。例如，相機(jī)探針可包括光場(chǎng)相機(jī)(也被稱(chēng)作全光相機(jī))。在另一個(gè)實(shí)例中，相機(jī)探針可包括用于在不同的傳感器上形成多個(gè)圖像(或任選地，選擇性地在一個(gè)傳感器上形成多個(gè)圖像)的多光學(xué)系統(tǒng)，即，相機(jī)探針可實(shí)質(zhì)上包括多個(gè)獨(dú)立的相機(jī)。任選地，相機(jī)探針可以包括可內(nèi)部移動(dòng)的透視中心以提供視角的改變。因此，可實(shí)現(xiàn)不同視角而不用相對(duì)于孔來(lái)物理地移動(dòng)相機(jī)探針，例如，通過(guò)使用相機(jī)的不同透視中心來(lái)獲得圖像，或通過(guò)移動(dòng)相機(jī)的透視中心(例如，通過(guò)移動(dòng)相機(jī)內(nèi)的光學(xué)裝置)來(lái)獲得圖像。

因此，該方法可以包括，關(guān)于至少一個(gè)(例如，已知的)相機(jī)透視中心，從孔的第一末端獲得孔的剪影的至少一個(gè)圖像，以獲得孔的剪影圖像，孔是背光的以形成該剪影，以及使用孔的該剪影圖像來(lái)推斷在給定高度處的孔的邊界的至少部分。任選地，單個(gè)相機(jī)探針被用于獲得在剪影圖像的該集合中的全部圖像，且該方法包括相對(duì)地移動(dòng)相機(jī)探針和物體以實(shí)現(xiàn)該不同的視角。因此，該方法可以包括，關(guān)于相機(jī)探針和物體/孔之間的多個(gè)不同的位置關(guān)系，從孔的第一末端獲得孔的剪影的至少一個(gè)圖像，以獲得孔的剪影圖像集合。

任選地，提供多個(gè)獨(dú)立的相機(jī)探針，每一個(gè)都具有孔/物體的不同視角。在此情況下，該方法可以包括，不同的相機(jī)探針從不同視角獲得孔的剪影的圖像。

可以理解的是，任何一個(gè)剪影圖像提供的數(shù)據(jù)中都可能存在模糊。舉例來(lái)說(shuō)，經(jīng)成像的剪影的邊界上的任何一個(gè)點(diǎn)都可以已經(jīng)由在坐標(biāo)定位機(jī)的測(cè)量體積中的多個(gè)不同點(diǎn)處的孔來(lái)產(chǎn)生。推斷可包括降低任何此類(lèi)模糊或不確定性的程度(例如，至少部分地解決)。如所提到，這可通過(guò)利用對(duì)有關(guān)(在坐標(biāo)定位機(jī)的測(cè)量體積中的)物體的一個(gè)或多個(gè)特征的定位的認(rèn)識(shí)來(lái)完成。任選地，這可通過(guò)使用多個(gè)剪影圖像來(lái)完成。例如，該方法可以包括使用多個(gè)剪影圖像以推斷可行的孔邊界或可行的孔體積。

可以理解的是，本發(fā)明的方法可以包括利用對(duì)有關(guān)(例如，在獲得圖像的點(diǎn)處)物體相機(jī)探針的相對(duì)位置(和例如，定向)的認(rèn)識(shí)。例如，該方法可以包括確定在獲得圖像的點(diǎn)處的物體和相機(jī)探針的相對(duì)位置(和例如，定向)。例如，這可以包括讀取在坐標(biāo)定位機(jī)上的位置傳感器(例如，編碼器)的輸出。

不同的視角意味著可以在相對(duì)于孔的不同的位置高度處、和/或相對(duì)于孔的不同的橫軸面位置處、和/或相對(duì)于孔的不同的角度定向處，來(lái)獲得圖像。可以理解的是，用于不同圖像的相機(jī)透視中心可以在相對(duì)于孔的不同位置處(在遠(yuǎn)心相機(jī)探針的情況下，透視中心可被視為具有特定的x、y維度值但位于z維度的無(wú)限處的位置中心(在此情況下，遠(yuǎn)心相機(jī)的不同透視中心可以涉及在x與y維度上相機(jī)探針和孔之間的相對(duì)位置的改變))。

因此，相機(jī)探針和/或物體可以被安裝以使得它/它們可以相對(duì)于另一者以至少一個(gè)線性自由度、任選地至少兩個(gè)正交線性自由度、舉例來(lái)說(shuō)三個(gè)正交自由度來(lái)移動(dòng)。任選地，相機(jī)探針和/或物體可被安裝，以使得它/它們可相對(duì)于另一者繞至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸、任選地繞至少兩個(gè)(例如，正交)旋轉(zhuǎn)軸、舉例來(lái)說(shuō)繞至少三個(gè)(例如，正交)旋轉(zhuǎn)軸來(lái)移動(dòng)。

坐標(biāo)定位機(jī)可以為笛卡爾式或非笛卡爾式坐標(biāo)定位機(jī)。坐標(biāo)定位機(jī)可以為機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)、鉸接臂等等。任選地，相機(jī)探針被安裝在鉸接頭上，該鉸接頭提供至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度，任選地提供至少兩個(gè)正交自由度。鉸接頭可以為分度頭(其具有有限數(shù)量的可分度定向)或連續(xù)頭(continuous head)。相機(jī)探針可安裝在坐標(biāo)定位機(jī)的套管軸上，該坐標(biāo)定位機(jī)提供在至少一個(gè)、任選地至少兩個(gè)和例如至少三個(gè)正交線性維度上的套管軸的移動(dòng)(以及因此，提供安裝于其上的鉸接頭部和/或相機(jī)探針的移動(dòng))。任選地，待檢測(cè)物體安裝在可移動(dòng)的臺(tái)子，例如轉(zhuǎn)臺(tái)上。

任選地，可以利用相對(duì)靜止的相機(jī)和物體來(lái)獲得圖像。任選地，可以利用相對(duì)于彼此移動(dòng)的相機(jī)和物體來(lái)獲得圖像。當(dāng)相機(jī)探針被安裝在連續(xù)鉸接頭上時(shí)可以獲得圖像，而同時(shí)通過(guò)該頭部重新定向相機(jī)探針。

該方法可以包括根據(jù)該圖像(例如，圖像的集合)來(lái)產(chǎn)生表示孔的至少一個(gè)理論幾何結(jié)構(gòu)，并使用該至少一個(gè)理論幾何結(jié)構(gòu)來(lái)推斷該孔的邊界的至少部分。這可以包括為從不同視角獲得的該多個(gè)圖像中的每一個(gè)產(chǎn)生已知適配該孔的至少一個(gè)理論幾何結(jié)構(gòu)。該理論幾何結(jié)構(gòu)可以用于推斷孔的邊界的至少部分。例如，該方法可以包括合并關(guān)于每一視角所確定的該理論幾何結(jié)構(gòu)以提供合成理論幾何結(jié)構(gòu)(其接著用于推斷該孔的邊界的至少部分)。例如，該理論幾何結(jié)構(gòu)可以包括表示經(jīng)推論已經(jīng)穿過(guò)該孔的光線的向量束。任選地，該理論幾何結(jié)構(gòu)可以包括表示孔的至少部分的至少一個(gè)幾何形狀。

推斷可以包括對(duì)產(chǎn)生剪影的光線執(zhí)行向量分析以確定在給定(例如，已知的)高度/深度處的剪影的邊界。因此，推斷可以包括確定穿過(guò)孔(例如，擦過(guò)孔的邊界/邊緣)的至少一個(gè)光線的向量以產(chǎn)生剪影的邊界。可以理解的是，向量/光線可以是來(lái)自背光、穿過(guò)孔、穿過(guò)相機(jī)的透視中心并到達(dá)相機(jī)的傳感器上的直線。例如，該方法可以包括產(chǎn)生表示穿過(guò)孔的光線的多個(gè)(例如，一束)向量，以形成類(lèi)似于根據(jù)不同位置關(guān)系獲得的剪影圖像。因此，不同的向量/光線可以用于表示孔周?chē)倪吘?邊界的不同點(diǎn)。也就是說(shuō)，不同的向量/光線可擦過(guò)孔周?chē)倪吘?邊界的不同點(diǎn)。該方法可以包括分析向量(例如，多個(gè)向量)以推斷關(guān)于孔的計(jì)量信息，例如，孔邊界信息，例如，橫截面輪廓信息。例如，該方法可以包括產(chǎn)生三維模型，該三維模型在由該多個(gè)向量界定的邊界內(nèi)適配。例如，該方法可以包括，關(guān)于橫穿向量束的至少一個(gè)理論表面(例如，平面)，識(shí)別于該理論表面處由該向量界定的邊界上的至少一個(gè)點(diǎn)。該方法可以包括，關(guān)于橫穿向量束的多個(gè)理論表面，識(shí)別于在該理論表面中的每一個(gè)表面處由該向量界定的邊界上的至少一個(gè)點(diǎn)。因此，例如，可以從由橫穿該理論表面的向量束界定的邊界，來(lái)推斷在任何特定理論表面處的孔的橫截面形狀和/或大小?？梢岳斫獾氖?，通過(guò)推斷在多個(gè)不同的深度處的孔的橫截面形狀/大小，可產(chǎn)生孔沿著其長(zhǎng)度的經(jīng)推斷輪廓。

任選地，孔是背光的(即，來(lái)自與獲得圖像的末端相對(duì)的末端；根據(jù)上述，來(lái)自第一末端的遠(yuǎn)側(cè)的末端)。因此，任選地，孔在相機(jī)的圖像傳感器上呈現(xiàn)為亮斑。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種設(shè)備，其包括：安裝在坐標(biāo)定位設(shè)備上的至少一個(gè)相機(jī)探針，其用于獲得包括至少一個(gè)待檢測(cè)的孔的工件的圖像；控制器，其經(jīng)配置以控制相機(jī)探針，以使得關(guān)于至少一個(gè)(例如，多個(gè)不同的)視角從孔的第一末端獲得孔的剪影的至少一個(gè)圖像(例如，以獲得孔的剪影圖像集合)；以及處理器，其經(jīng)配置以使用孔的該剪影圖像(集合)來(lái)推斷孔的邊界的至少部分。

根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供一種利用安裝在坐標(biāo)定位機(jī)上的相機(jī)探針來(lái)檢測(cè)多個(gè)孔的方法，其包括：關(guān)于多個(gè)不同的位置關(guān)系，從孔的第一末端獲得多個(gè)孔的剪影的至少一個(gè)圖像，以及處理剪影圖像以確定關(guān)于多個(gè)孔的計(jì)量信息。例如，該方法可以被用于確定至少一個(gè)高度/深度處的孔輪廓信息(例如，橫截面輪廓信息)，諸如孔的形式、形狀、維度、大小等(例如，關(guān)于穿過(guò)孔的至少一個(gè)理論表面)。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種利用安裝在坐標(biāo)定位機(jī)上的至少一個(gè)相機(jī)探針來(lái)檢測(cè)工件中的孔的方法。該方法包括：獲得孔的剪影的至少一個(gè)圖像，以及處理該圖像以識(shí)別在至少兩個(gè)不同的高度/深度處的該孔的邊界的至少部分。因此，該方法可以包括僅處理一個(gè)圖像以識(shí)別在至少兩個(gè)不同的高度/深度處的該孔的邊界的至少部分。例如，該方法可以包括處理該圖像以識(shí)別位于或朝向孔的第一末端的邊界的至少部分(例如至少一個(gè)點(diǎn)，例如多個(gè)點(diǎn))和位于或朝向孔的第二末端的邊界的至少部分(例如至少一個(gè)點(diǎn)，例如多個(gè)點(diǎn))。例如，該方法可以包括處理該圖像以識(shí)別在孔的底部邊緣的邊界的至少部分(例如至少一個(gè)點(diǎn)，例如多個(gè)點(diǎn))和在孔的頂部邊緣的邊界的至少部分(例如至少一個(gè)點(diǎn)，例如多個(gè)點(diǎn))?？芍貜?fù)這一過(guò)程用于不同圖像，例如，從不同視角獲得的不同圖像。

因此，該方法可以包括推斷圖像中的剪影的哪一部分與在第一高度/深度(例如，孔的第一末端/頂部)處的孔的部分相關(guān)，以及剪影的哪一部分與在第二高度/深度(例如，孔的第二末端/底部)處的孔的部分相關(guān)。

該處理可以包括在該剪影圖像中識(shí)別邊緣。因此，該處理可以包括使用邊緣偵測(cè)方法。該方法可以包括推斷該所識(shí)別的邊緣的至少一個(gè)點(diǎn)在坐標(biāo)定位機(jī)的測(cè)量體積內(nèi)的位置。此推斷可以基于對(duì)在獲得該至少一個(gè)圖像的點(diǎn)處的相機(jī)探針的位置的認(rèn)識(shí)。此推斷可以基于對(duì)物體的至少部分的位置的認(rèn)識(shí)。例如，此推斷可以基于對(duì)物體的表面(例如，包含孔口的表面)的定位的認(rèn)識(shí)。因此，該方法可以包括測(cè)量物體的至少部分的位置，例如，測(cè)量包含孔口的表面的位置。

可以理解的是，上文結(jié)合本發(fā)明的其它實(shí)施例所描述的特征適用于本發(fā)明的此實(shí)施例，且反之亦然。例如，如上文結(jié)合本發(fā)明的其它實(shí)施例所描述的方法可以包括從多個(gè)不同的視角獲得孔的剪影的至少一個(gè)圖像。因此，該方法可以包括處理多個(gè)圖像以在該多個(gè)圖像中的每一個(gè)中識(shí)別在至少兩個(gè)不同的高度/深度處的該孔的邊界的至少部分。

并且，如上文結(jié)合本發(fā)明的其它實(shí)施例所描述的，該方法可以用于同時(shí)檢測(cè)多個(gè)孔。因此，該方法可以包括獲得多個(gè)孔的剪影的至少一個(gè)圖像，并處理該圖像以針對(duì)多個(gè)該孔，識(shí)別在至少兩個(gè)不同的高度/深度處的孔的邊界的至少部分。

現(xiàn)將僅通過(guò)實(shí)例并且參考以下附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，其中：

圖1示出了用于測(cè)量物體的安裝在坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)的鉸接頭部上的相機(jī)探針；

圖2a、2b和2c示出了從三個(gè)不同位置獲得的三個(gè)不同的剪影圖像；

圖3a、3b和3c示出了對(duì)應(yīng)圖2a、2b和2c中的剪影圖像的向量圖；

圖4a和4b分別示出了不規(guī)則孔的剪影和其對(duì)應(yīng)的向量圖；

圖5a和5b分別示出了從不同相機(jī)位置獲得的各種剪影圖像和那些不同相機(jī)位置的向量圖。

圖5c和5d示意性地示出了根據(jù)穿過(guò)圖5a和5b的孔的給定平面中的多個(gè)向量識(shí)別孔的邊界；

圖6a和6b示意性地示出了根據(jù)用于穿過(guò)圖5a和5b的孔的多個(gè)不同平面的多個(gè)向量識(shí)別孔的邊界；

圖7a、7b和7c示意性地示出了根據(jù)用于穿過(guò)孔的多個(gè)不同的平面的多個(gè)向量識(shí)別孔的邊界；

圖8a、8b和8c示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的從多個(gè)不同的視角獲得的剪影推斷孔的邊界信息的另一技術(shù)；以及

圖9a和9b分別示出了在一個(gè)圖像中獲得的多個(gè)孔剪影和用于來(lái)自多個(gè)不同的相機(jī)位置的多個(gè)孔的向量。

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的物體檢測(cè)設(shè)備，其包括坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)10、相機(jī)探針20、控制器22和主機(jī)23。CMM 10包括物體16可以安裝到其上的臺(tái)子12和相對(duì)于臺(tái)子12可在三個(gè)正交線性維度X、Y和Z上移動(dòng)的套管軸14。鉸接探頭18被安裝在套管軸14上，并提供繞至少兩個(gè)正交軸A1、A2的旋轉(zhuǎn)。相機(jī)探針20被安裝到鉸接探頭18上，并經(jīng)配置以獲得位于臺(tái)子12上的物體16的圖像。因此，可通過(guò)CMM 10在X、Y和Z上移動(dòng)相機(jī)探針20，并可通過(guò)鉸接探頭18繞A1和A2軸旋轉(zhuǎn)相機(jī)探針20。CMM或鉸接探頭可以提供額外運(yùn)動(dòng)，例如，鉸接探頭可提供繞視頻探針的縱線A3的旋轉(zhuǎn)。任選地，物體16可被安裝在轉(zhuǎn)臺(tái)上以提供旋轉(zhuǎn)自由度。

通過(guò)主機(jī)23計(jì)算出相機(jī)探針20相對(duì)于物體16的所期望的運(yùn)動(dòng)軌跡/路線，并將其饋送到控制器22。在CMM 10和鉸接探頭18中提供電動(dòng)機(jī)(未圖示)以在控制器22的控制下驅(qū)動(dòng)相機(jī)探針20到所期望的位置/定向上，該控制器22發(fā)送驅(qū)動(dòng)信號(hào)到CMM 10和鉸接探頭18。CMM 10和鉸接探頭18的各種軸的位置和定向是通過(guò)例如位置編碼器(未圖示)的轉(zhuǎn)換器來(lái)確定的，并且該位置被反饋到控制器22?？梢岳斫獾氖?，可以在獲得關(guān)于所關(guān)注的特征的計(jì)量信息期間，使用位置和定向信息。

相機(jī)探針20可拆卸地被安裝到鉸接探頭18上。不同的(接觸式或非接觸式)探針可被安裝在鉸接探頭18上來(lái)代替相機(jī)探針20。例如，包括用于接觸物體16的可偏轉(zhuǎn)觸針的接觸式探針可被安裝在鉸接探頭18上。接觸式探針可為觸發(fā)式探針，其提供探測(cè)與物體16相接觸而導(dǎo)致的觸針偏轉(zhuǎn)的信號(hào)，或者，接觸式探針可為模擬(或掃描)探針，其提供對(duì)與物體16相接觸而導(dǎo)致的觸針偏轉(zhuǎn)(在至少一個(gè)、兩個(gè)或三個(gè)維度上)的測(cè)量。CMM 10可以包括用于存儲(chǔ)多個(gè)不同探針(例如，接觸式和/或非接觸式)的托架，其位于鉸接頭部18的操作體積內(nèi)，使得探針在鉸接頭部18上可自動(dòng)地互換。

如圖1所示，待檢測(cè)的物體16包括孔17的多個(gè)19(或孔17的集合19)。在此實(shí)施例中，孔17是通孔，因?yàn)樗鼈円宦反┻^(guò)物體16。

根據(jù)本發(fā)明的檢測(cè)物體16中的孔17的方法將參考其余的圖式加以描述。關(guān)于圖2和圖3來(lái)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的第一方法。在此情況下，孔17具有已知的形式(在此情況下，為通常圓柱形)，并且該技術(shù)用于確認(rèn)孔的末端的形狀和大小。從圖2a開(kāi)始，如果相機(jī)探針20被放置在孔17的軸上(即，從而其成像軸與孔的軸一致)，并且使用光源30(圖1中未示出)背光照射孔17，那么所產(chǎn)生的相機(jī)圖像將示出孔17的剪影為亮圓形，其中背光照耀穿過(guò)孔，如圖2a中所示，由于相機(jī)探針的鏡頭的透視失真，孔17的前面在圖像上比孔的后面呈現(xiàn)得更大，因此(基于孔17通常是圓柱形的假定知識(shí))可假定全部測(cè)量點(diǎn)36都涉及孔17的后邊緣32。

如圖2b所示，如果相機(jī)探針20的位置移動(dòng)遠(yuǎn)離孔17的軸(例如，如果相機(jī)探針20在垂直于孔的縱軸的第一方向上平移移動(dòng))，則形成不同的圖像。基于孔17通常是圓柱形的假定知識(shí)，圖像分析可用于將亮剪影的二分之一歸為孔17的前面34，且另一半歸為孔17的后面32。這允許產(chǎn)生用于孔17的前邊緣34的測(cè)量點(diǎn)38的一個(gè)集合，以及添加用于孔17的后邊緣32的測(cè)量點(diǎn)36的集合。

接著在不同的方向上移動(dòng)相機(jī)探針20的位置遠(yuǎn)離孔17的軸，例如，如果相機(jī)探針20在與第一方向完全相等但相反的第二方向上平移移動(dòng)，則會(huì)形成另一個(gè)不同的圖像，如圖2c所示。再次，(基于孔17通常是圓柱形的假定知識(shí))可將亮剪影的二分之一歸為孔17的前面34，且另一半歸為孔17的后面32。這允許將額外的測(cè)量點(diǎn)38添加到用于孔17的前邊緣34的測(cè)量點(diǎn)集合中，以及允許將額外的測(cè)量點(diǎn)36添加到用于孔17的后邊緣32的測(cè)量點(diǎn)集合中。

在此情況下，孔的前邊緣34和后邊緣32(或頂部和底部)的位置是已知的。例如，這可通過(guò)直接測(cè)量物體16的平坦面來(lái)得知，例如，通過(guò)使用接觸式探針觸碰其來(lái)得知。

圖像分析可用于識(shí)別圖像上亮剪影的邊緣周?chē)臏y(cè)量點(diǎn)36的集合。例如，可以使用已知的邊緣偵測(cè)算法，諸如檢索方法(例如，坎尼(Canny)算法)、零交叉方法(例如，高斯拉普拉斯(Laplacian of Gaussian))。具體的實(shí)例程序可以涉及以下步驟：i)將高斯平滑化濾波器應(yīng)用到整個(gè)圖像上；ii)根據(jù)已知的相機(jī)位置和圖像中孔形狀的質(zhì)心，估計(jì)近邊緣和遠(yuǎn)邊緣兩者的邊緣中心的圖像位置；iii)關(guān)于兩個(gè)邊緣，估計(jì)可在剪影中看到該邊緣的自中心的角度范圍；iv)關(guān)于兩個(gè)邊緣，內(nèi)插經(jīng)平滑的圖像，以在從邊緣中心輻射的角度范圍內(nèi)獲得沿著多個(gè)‘輻條’線的圖像強(qiáng)度數(shù)據(jù)；v)關(guān)于每一輻條，計(jì)算強(qiáng)度數(shù)據(jù)的導(dǎo)數(shù)，并搜索最小值(使用內(nèi)插法以給出子像素精度)；以及vi)使用相機(jī)校準(zhǔn)，并根據(jù)表面的已知位置，計(jì)算圖像邊緣點(diǎn)的3D位置?？芍粚?duì)一個(gè)圖像執(zhí)行此技術(shù)，并且為了獲得增加了的點(diǎn)密度和/或出于覆蓋度的目的，對(duì)其它圖像重復(fù)此技術(shù)(例如，因?yàn)樵诓煌膱D像中，孔的不同部分/側(cè)面將是可見(jiàn)的/將是不可見(jiàn)的)。

圖3a到圖3c分別示意性地示出了圖2a到圖2c中的剪影圖像的光學(xué)情形。光線示出到達(dá)相機(jī)探針的圖像傳感器40的光的邊界。如圖3a中可見(jiàn)，當(dāng)相機(jī)探針的光軸至少大致上與孔的縱軸對(duì)準(zhǔn)時(shí)，落在該圖像傳感器40上的剪影由孔17的后邊緣32產(chǎn)生。然而，如圖3b和圖3c所示，當(dāng)相機(jī)探針20大體上為離軸時(shí)，部分剪影由孔17的前邊緣32產(chǎn)生，和部分剪影由孔17的后邊緣34產(chǎn)生。為簡(jiǎn)單起見(jiàn)且為了輔助對(duì)本發(fā)明的理解，在圖3a到圖3c中示出相機(jī)探針20使用針孔相機(jī)模型，但可以理解的是，相機(jī)探針20可以包括一個(gè)或多個(gè)鏡頭以在圖像傳感器40上形成圖像，并且相同的光學(xué)圖示也適用。

本發(fā)明的技術(shù)還可用于檢測(cè)更復(fù)雜的孔和/或未知形式的孔。在其中集合19內(nèi)的孔21中的至少一個(gè)不是圓形的情況下，和/或前面34和后面32之間的大小出現(xiàn)變化的情況下，任何給定的剪影圖像上的任何測(cè)量點(diǎn)都難以歸為在3D空間中的孔17的特定點(diǎn)。圖4a示出了當(dāng)利用大致安置在孔的軸線上的相機(jī)來(lái)觀察時(shí)所產(chǎn)生的不規(guī)則孔21的剪影。如圖4b中所示，在剪影的邊緣上的點(diǎn)可以被轉(zhuǎn)換成3D向量，但無(wú)法只從一個(gè)圖像來(lái)確定這些向量擦過(guò)孔壁(即，其“內(nèi)表面”或“孔的邊界”)的3D位置。(為簡(jiǎn)單起見(jiàn)，在圖4a或隨后圖式中未示出相機(jī)探針的圖像傳感器40)。

如果相機(jī)移動(dòng)到多個(gè)不同的位置，那么一系列不同的剪影被捕捉到，如圖5a中所示。如圖5b中所示，剪影圖像可經(jīng)分析以產(chǎn)生與不同的相機(jī)視角相關(guān)聯(lián)的3D向量束，并且已知這些向量全部穿過(guò)孔，并在一些點(diǎn)處擦過(guò)孔壁。

向量束50可經(jīng)進(jìn)一步處理以推斷孔21的形狀。如圖5c中所示，一種方法是在CMM 10的測(cè)量體積內(nèi)的給定/已知位置和定向處(具體來(lái)說(shuō)，在已知將與孔21交叉的位置和定向處)產(chǎn)生理論測(cè)量表面52(在此情況下，虛擬測(cè)量平面52)。接著可計(jì)算向量穿過(guò)此平面52的點(diǎn)58。在圖5d中示出此類(lèi)點(diǎn)在測(cè)量平面上的典型分布54。分布中的最外點(diǎn)(結(jié)合線56示出)近似虛擬測(cè)量平面中的孔壁的形狀，而所有其它點(diǎn)可舍棄。已知方法(例如，“凸包”算法或“非凸包”算法(也被稱(chēng)作“凹包”算法)可用于推斷分布中的最外點(diǎn)。在所描述的實(shí)施例中，理論測(cè)量表面52是平面的，但可以理解的是，不一定是這種情況，例如，理論測(cè)量表面可為弧形的，例如圓錐形、球形、圓柱形或具有任何規(guī)則/不規(guī)則的形式。

如圖6a中所示，可通過(guò)以下步驟來(lái)推斷孔21的整個(gè)3D輪廓：在孔21的前面34和后面32(物體16的前面34和后面32可根據(jù)對(duì)它們的直接測(cè)量得知(如上文所描述))之間，產(chǎn)生多個(gè)理論測(cè)量表面52a到52e(例如，虛擬測(cè)量平面52a到52e)；并計(jì)算在每一平面中近似孔21的壁的輪廓的點(diǎn)集合(如上文結(jié)合圖5c和圖5d所描述)。接著，可從點(diǎn)的所有集合來(lái)構(gòu)建孔21沿著其長(zhǎng)度的所推斷形式。圖6b示出了從向量束50推斷孔21的形式為粗線60，其疊加在物體16的實(shí)際形式上?？梢岳斫獾氖?，相機(jī)位置的數(shù)量越多，向量的數(shù)量越多，并且因此，所推斷的孔的形式的精確度越高。

圖7a示出了孔25的實(shí)例，其具有不垂直于物體16的前面34和后面32的縱軸線，其中典型的向量束50從四個(gè)不同的相機(jī)視角穿過(guò)孔。當(dāng)計(jì)算孔25的輪廓時(shí)，測(cè)量平面52a到52e可在任何所需的定向中構(gòu)建。圖7b和圖7c示出了兩個(gè)可能的選擇。圖7b示出了平行于零件的前表面34和后表面32的平面52a到52b，以及圖7c示出了垂直于孔25的縱軸的平面52a到52e。取決于所需的測(cè)量數(shù)據(jù)的應(yīng)用和形式，每一方法都可以具有其優(yōu)點(diǎn)。例如，通過(guò)采用垂直于孔25的軸線的平面，可更加易于計(jì)算孔25的橫截面面積。

可以理解的是，其它技術(shù)可用于處理剪影來(lái)推斷孔邊界信息。例如，參考圖8a到圖8c，說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例。其中，例如通過(guò)直接測(cè)量其中存在孔17的物體16的頂部和/或底部表面來(lái)產(chǎn)生界限表面15。在圖8a所示出的第一步驟中，關(guān)于第一視角/相機(jī)透視中心，建立穿過(guò)孔17的“有效”或“可行”體積13。這可(例如)為二維多邊形的集合(例如，其中的一個(gè)在圖8a中示出)或三維截頭圓錐形體積。在圖8b所示的第二步驟中，相機(jī)的視角/透視中心移動(dòng)到用于產(chǎn)生新剪影的新位置上。產(chǎn)生用于那一剪影和視角的可行體積，并將其用于延展先前確定的有效/可行體積13，例如，通過(guò)布爾(Boolean)或運(yùn)算?？梢园葱柚貜?fù)(如圖8c中所示)上述的移動(dòng)到新視角/透視中心、獲得孔17的剪影的新圖像以及延展可行體積13的過(guò)程，例如，直到不存在可見(jiàn)的剪影和/或已得知關(guān)于孔的內(nèi)部的足夠信息。此技術(shù)可尤其適合于確定孔17內(nèi)是否存在任何多余的材料。

上述實(shí)施例示出了本發(fā)明用于檢測(cè)單個(gè)孔。本發(fā)明還可用于同時(shí)檢測(cè)多個(gè)孔。舉例來(lái)說(shuō)，圖9a示出了從不同視角獲得的孔的陣列19的三個(gè)圖像。可以理解的是，上文結(jié)合圖1到圖8所描述的技術(shù)中的任一個(gè)都可以用于推斷陣列19中的每一個(gè)孔的邊界。例如，圖9b示意性地示出了根據(jù)這些圖像所產(chǎn)生的向量束?？尚畜w積可適配用于孔中的每一個(gè)的向量束(例如，如在圖8到圖8c的實(shí)施例中)。任選地，橫穿這些向量束的理論測(cè)量表面，例如平面，可用于推斷在理論測(cè)量表面處的每一孔的橫截面形狀(例如，如在圖4到圖7的實(shí)施例中)。另外地或可替代地，還可使用圖2的實(shí)施例，其需要更多關(guān)于孔的定位和假定形狀的認(rèn)識(shí)以使用圖像處理技術(shù)，從而識(shí)別剪影圖像的哪些點(diǎn)涉及孔的前面和后面。圖9示出了本發(fā)明用于檢測(cè)孔的一維陣列，但可以理解的是，本發(fā)明可用于檢測(cè)物體中的孔的多維(例如，二維)陣列。

在上述實(shí)施例中，相機(jī)探針經(jīng)移動(dòng)以從不同視角獲得圖像。然而，作為相機(jī)探針移動(dòng)的替代或添加，可移動(dòng)物體19。此外，可以理解的是，可避免相對(duì)移動(dòng)，例如通過(guò)提供具有不同視角的多個(gè)相機(jī)探針，和/或(例如)具有可內(nèi)部移動(dòng)的透視中心和/或多個(gè)透視中心的相機(jī)探針。