本發(fā)明主要關(guān)于一種光譜測(cè)量裝置，特別涉及一種具有濾波陣列的光譜測(cè)量裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的光譜測(cè)量?jī)x為具有大量的例如分光鏡、平行光管儀(collimator)、聚焦鏡、以及線性感測(cè)器等光學(xué)元件的光學(xué)系統(tǒng)。分光鏡可為棱鏡或是光柵。平行光管儀以及聚焦鏡用以縮短光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的光學(xué)路徑。因此，現(xiàn)有的光譜測(cè)量?jī)x具有龐大的體積與重量，且具有昂貴的制造成本。

此外，由于現(xiàn)有的光譜測(cè)量?jī)x的線性感測(cè)器為線性排列?，F(xiàn)有的光譜測(cè)量?jī)x僅能測(cè)量一個(gè)樣本的線性光譜，因此限制了現(xiàn)有的光譜測(cè)量?jī)x的運(yùn)用。

雖然現(xiàn)有的光譜測(cè)量?jī)x達(dá)到了一般性的目的，然而并未滿足所有的方面。因此需要提供改良光譜測(cè)量?jī)x的技術(shù)方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供具有體積小及重量輕的光譜測(cè)量裝置。此外，光譜測(cè)量裝置可測(cè)量樣本的二維光譜。

本發(fā)明提供一光譜測(cè)量裝置包括一多頻帶通濾波器、一濾波陣列、以及一感測(cè)層。多頻帶通濾波器允許一光束的一第一波段、一第二波段以及一第三波段通過(guò)。該光束通過(guò)該多頻帶通濾波器后形成一多波段光束。該濾波陣列設(shè)置于該多頻帶通濾波器之下。

濾波陣列包括一第一濾光片、一第二濾光片、以及一第三濾光片。第一濾光片允許該多波段光束長(zhǎng)于一第一波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)，第二濾光片允許該多波段光束長(zhǎng)于一第二波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)，且第三濾光片允許該多波段光束長(zhǎng)于一第三波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。

感測(cè)層設(shè)置于該濾波陣列之下。該第二波段為該第一波長(zhǎng)至該第二波 長(zhǎng)的范圍之間，且該第三波段為該第二波長(zhǎng)至該第三波長(zhǎng)的范圍之間。

本發(fā)明提供一光譜測(cè)量裝置，包括一多頻帶通濾波器、一濾波陣列、以及一感測(cè)層。多頻帶通濾波器，允許一光束的一第一波段、一第二波段以及一第三波段通過(guò)。該光束通過(guò)該多頻帶通濾波器后形成一多波段光束。濾波陣列設(shè)置于該多頻帶通濾波器之下。

濾波陣列包括一第一濾光片、一第二濾光片、以及一第三濾光片。第一濾光片允許該多波段光束短于一第一波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。第二濾光片允許該多波段光束短于一第二波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。第三濾光片允許該多波段光束短于一第三波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。

感測(cè)層設(shè)置于該濾波陣列之下。該第二波段為該第一波長(zhǎng)至該第二波長(zhǎng)的范圍之間，且該第三波段為該第二波長(zhǎng)至該第三波長(zhǎng)的范圍之間。

綜上所述，由于濾波陣列以及感測(cè)層由半導(dǎo)體工藝所制成，因此減少了光譜測(cè)量裝置的尺寸以及重量，且不需要許多光學(xué)元件。此外，通過(guò)濾波陣列，光譜測(cè)量裝置可用以檢測(cè)樣本的二維光譜，且可增進(jìn)樣本的光譜影像的解析度。

附圖說(shuō)明

圖1為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中，一光譜測(cè)量裝置的示意圖。

圖2為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中，多波段光束的穿透率對(duì)波長(zhǎng)圖。

圖3為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中，濾波陣列的穿透率對(duì)波長(zhǎng)圖。

圖4為本發(fā)明的一些實(shí)施例中，一濾波陣列的示意圖。

圖5A至5F為本發(fā)明的一些實(shí)施例中的像素群的示意圖。

圖6A和6B為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中，濾波陣列的穿透率對(duì)波長(zhǎng)圖。

圖7為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中，光譜測(cè)量裝置的示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：

光譜測(cè)量裝置 1

多頻帶通濾波器 10

入射面 11

出光面 12

透鏡模塊 20

透鏡 21

濾波陣列 30

像素群 31

濾光片 32、32a、32b、32c、32d、32e、32f、32g

感測(cè)層 40

感測(cè)單元 41、41a、41b、41c、41d

處理模塊 50

微透鏡 60

波段 A1

波段 A11、A12、A13、A14

光束 B1

多波段光束 B2

第一光束 B31

第二光束 B32

第三光束 B33

第四光束 B34

峰值波長(zhǎng) P1、P11、P12、P13、P14

線性路徑 T1

U型路徑 T2

波狀路徑 T3

鋸齒狀路徑 T4

具體實(shí)施方式

以下的說(shuō)明提供了許多不同的實(shí)施例、或是例子，用來(lái)實(shí)施本發(fā)明的不同特征。以下特定例子所描述的元件和排列方式，僅用來(lái)精簡(jiǎn)的表達(dá)本發(fā)明，其僅作為例子，而并非用以限制本發(fā)明。例如，第一特征在一第二特征上或上方的結(jié)構(gòu)的描述包括了第一和第二特征之間直接接觸，或是以另一特征設(shè)置于第一和第二特征之間，以致于第一和第二特征并不是直接接觸。

此外，本說(shuō)明書(shū)于不同的例子中沿用了相同的元件標(biāo)號(hào)及/或文字。前 述的沿用僅為了簡(jiǎn)化以及明確，并不表示于不同的實(shí)施例以及設(shè)定之間必定有關(guān)聯(lián)。再者，附圖中的形狀、尺寸或是厚度可能為了清楚對(duì)其進(jìn)行說(shuō)明目的而未依照比例繪制或是被簡(jiǎn)化，僅提供對(duì)其進(jìn)行說(shuō)明用。

圖1為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中一光譜測(cè)量裝置1的示意圖。光譜測(cè)量裝置1用以感測(cè)經(jīng)由樣本產(chǎn)生或反射的一光束B(niǎo)1的可見(jiàn)光波段以及不可見(jiàn)光波段樣本。

光譜測(cè)量裝置1包括一多頻帶通濾波器(multi-band pass filter)10、一透鏡模塊20、一濾波陣列30、以及一感測(cè)層40。多頻帶通濾波器10、透鏡模塊20、濾波陣列30、以及感測(cè)層40依序相互疊置。

多頻帶通濾波器10為一平板狀結(jié)構(gòu)，平行于一平面。多頻帶通濾波器10允許光束B(niǎo)1的多個(gè)波段(waveband)通過(guò)，且止擋光束B(niǎo)1剩余的波段通過(guò)。

多頻帶通濾波器10具有一入射面11以及一出光面12。入射面11平行于出光面12。光束B(niǎo)1經(jīng)由入射面11進(jìn)入多頻帶通濾波器10，且經(jīng)由出光面12離開(kāi)多頻帶通濾波器10。光束B(niǎo)1通過(guò)多頻帶通濾波器10后形成一多波段光束B(niǎo)2。

圖2為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中多波段光束B(niǎo)2的穿透率對(duì)波長(zhǎng)圖。于一些實(shí)施例中，多頻帶通濾波器10對(duì)于波段A1內(nèi)的光束B(niǎo)1的穿透率大于20％、30％、或是40％。于一些實(shí)施例中，多頻帶通濾波器10對(duì)于波段A1內(nèi)的光束B(niǎo)1的穿透率為約20％至99.9％的范圍之間或是約30％至99.9％的范圍之間。于一些實(shí)施例中，多頻帶通濾波器10對(duì)于不位于波段A1內(nèi)的光束B(niǎo)1的穿透率小于20％、30％或是40％。

每一波段A1包括一峰值波長(zhǎng)(peak wavelength)P1。于一些實(shí)施例中，多頻帶通濾波器10對(duì)于在峰值波長(zhǎng)P1的光束B(niǎo)1的穿透率大于70％、80％或是90％。于一些實(shí)施例中，多頻帶通濾波器10對(duì)于在峰值波長(zhǎng)P1的光束B(niǎo)1的穿透率約為70％至99.9％、80％至99.9％、或是90％至99.9％的范圍之間。

波段A1的數(shù)目可大于2、3、4或是5。于此實(shí)施例中，波段A1的數(shù)目為4。每一波段A1可為對(duì)應(yīng)于可見(jiàn)光光譜的一可見(jiàn)光波段，或?qū)?yīng)于不可見(jiàn)光光譜的一不可見(jiàn)光波段。于一些實(shí)施例中，一些波段A1為可見(jiàn)光波 段A1，且另一些波段A1為不可見(jiàn)光波段A1。于一些實(shí)施例中，全部的波段A1為不可見(jiàn)光波段A1。

于一些實(shí)施例中，波段A11為對(duì)應(yīng)于不可見(jiàn)光光譜的一不可見(jiàn)光波段，例如一紅外線光譜或是一遠(yuǎn)紅外線光譜。舉例而言，波段A11約為830nm至870nm的范圍之間。波段A11內(nèi)的峰值波長(zhǎng)P11約為850nm。于一些實(shí)施例中，峰值波長(zhǎng)P11長(zhǎng)于或等于700nm。

于一些實(shí)施例中，波段A12為對(duì)于可見(jiàn)光光譜的一可見(jiàn)光波段，例如紅光光譜。舉例而言，波段A12約為630nm至670nm的范圍之間。波段A12內(nèi)的峰值波長(zhǎng)P12約為650nm。

于一些實(shí)施例中，波段A13為對(duì)應(yīng)于可見(jiàn)光光譜的一可見(jiàn)光波段，例如黃光光譜。舉例而言，波段A13約為530nm至570nm的范圍之間。波段A13內(nèi)的峰值波長(zhǎng)P13約為550nm。

于一些實(shí)施例中，波段A14為對(duì)應(yīng)于可見(jiàn)光光譜的一可見(jiàn)光波段，例如藍(lán)光光譜。舉例而言，波段A14約為430nm至470nm的范圍之間。波段A14內(nèi)的峰值波長(zhǎng)P14約為450nm。于一些實(shí)施例中，波段A14為對(duì)應(yīng)于不可見(jiàn)光光譜的一不可見(jiàn)光波段，例如紫外線光譜。

再者，所有的波段A1并不相互重疊。波段A11內(nèi)的波長(zhǎng)或是峰值波長(zhǎng)P11長(zhǎng)于波段A12內(nèi)的波長(zhǎng)或是峰值波長(zhǎng)P12。波段A12內(nèi)的波長(zhǎng)或是峰值波長(zhǎng)P12長(zhǎng)于波段A13內(nèi)的波長(zhǎng)或是峰值波長(zhǎng)P13。波段A13內(nèi)的波長(zhǎng)或是峰值波長(zhǎng)P13長(zhǎng)于波段A14內(nèi)的波長(zhǎng)或是峰值波長(zhǎng)P14。

如圖1所示，透鏡模塊20位于多頻帶通濾波器10以及濾波陣列30之間。透鏡模塊20用以將多波段光束B(niǎo)2聚焦于濾波陣列30或是感測(cè)層40。于一些實(shí)施例中，透鏡模塊20為一遠(yuǎn)心透鏡模塊20。透鏡模塊20用以將通過(guò)多頻帶通濾波器10的多波段光束B(niǎo)2均勻的照射于濾波陣列30。于一些實(shí)施例中，透鏡模塊20包括一或是多個(gè)透鏡21。

濾波陣列30位于多頻帶通濾波器10以及感測(cè)層40之間。如圖1所示，濾波陣列30設(shè)置于多頻帶通濾波器10的下，且連接于感測(cè)層40。于一些實(shí)施例中，濾波陣列30排列于平行于多頻帶通濾波器10以及感測(cè)層40的一平面。

濾波陣列30包括排列于一像素陣列的多個(gè)像素群(pixel group)31。 每一像素群31包括多種濾光片32。每一濾光片32允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一特定波長(zhǎng)或是于一特定范圍內(nèi)的波長(zhǎng)通過(guò)。于此實(shí)施例中，每一像素群31包括四種濾光片(filter)32a、32b、32c、32d。

圖3為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中濾波陣列30的穿透率(transmittance)對(duì)波長(zhǎng)圖。于一些實(shí)施例中，濾光片32a允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第一波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第一波長(zhǎng)約為800nm。因此，多波段光束B(niǎo)2的波段A11可通過(guò)濾光片32a，且形成一第一光束B(niǎo)31。多波段光束B(niǎo)2的波段A12、A13、A14被濾光片32a所止擋。

于一些實(shí)施例中，濾光片32b允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第二波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第二波長(zhǎng)約為600nm。因此，多波段光束B(niǎo)2的波段A11、A12可通過(guò)濾光片32b，且形成一第二光束B(niǎo)32。多波段光束B(niǎo)2的波段A13、A14被濾光片32b所止擋。

于一些實(shí)施例中，濾光片32c允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第三波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第三波長(zhǎng)約為500nm。因此，多波段光束B(niǎo)2的波段A11、A12、A13可通過(guò)濾光片32c，且形成一第三光束B(niǎo)33。多波段光束B(niǎo)2的波段A14被濾光片32c所止擋。

于一些實(shí)施例中，濾光片32d允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第四波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第四波長(zhǎng)約為400nm。因此，多波段光束B(niǎo)2的波段A11、A12、A13、A14可通過(guò)濾光片32c，且形成一第三光束B(niǎo)33。于此實(shí)施例中，濾光片32d允許多波段光束B(niǎo)2于一特定范圍且長(zhǎng)于第一波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，特定范圍約為410nm至490nm之間。因此，多波段光束B(niǎo)2的波段A11、A14可通過(guò)濾光片32d，且形成一第四光束B(niǎo)34。多波段光束B(niǎo)2的波段A12、A13被濾光片32d所止擋。

于此實(shí)施例中，第一波長(zhǎng)長(zhǎng)于第二波長(zhǎng)。第二波長(zhǎng)長(zhǎng)于第三波長(zhǎng)。第三波長(zhǎng)長(zhǎng)于第四波長(zhǎng)。此外，峰值波長(zhǎng)P11長(zhǎng)于第一波長(zhǎng)。波段A12為第一波長(zhǎng)至第二波長(zhǎng)的范圍之間，且峰值波長(zhǎng)P12長(zhǎng)于第二波長(zhǎng)。

再者，波段A13為第二波長(zhǎng)至第三波長(zhǎng)的范圍之間，且峰值波長(zhǎng)P13長(zhǎng)于第三波長(zhǎng)。于一些實(shí)施例中，波段A14為第三波長(zhǎng)至第四波長(zhǎng)的范圍之間，且峰值波長(zhǎng)P14長(zhǎng)于第四波長(zhǎng)。于此實(shí)施例中，峰值波長(zhǎng)P14及/或波段A14為約為相對(duì)于濾光片32d的410nm至490nm的特定范圍之間。

如圖1所示，感測(cè)層40位于濾波陣列30之下。于此實(shí)施例中，感測(cè)層40平行于多頻帶通濾波器10，且直接接觸濾波陣列30。感測(cè)層40包括排列于一感測(cè)陣列的多個(gè)感測(cè)單元41。感測(cè)單元41位于平行于多頻帶通濾波器10的一平面。

于一些實(shí)施例中，濾波陣列30以及感測(cè)層40由半導(dǎo)體工藝所制成。濾波陣列30以及感測(cè)層40形成一影像感測(cè)器，例如互補(bǔ)式金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS，Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)感測(cè)器、前側(cè)式(Frontside illumination)或是背照式(BSI，backside illumination)CMOS感測(cè)器，或是其他適合的感測(cè)器。因此，可減少及減輕濾波陣列30以及感測(cè)層40的體積以及重量。

于此實(shí)施例中，感測(cè)單元41包括感測(cè)單元41a、41b、41c、41d。每一感測(cè)單元41a位于濾光片32a中之一者之下。每一感測(cè)單元41a用以根據(jù)照射于其上的第一光束B(niǎo)31的強(qiáng)度產(chǎn)生一第一強(qiáng)度信號(hào)。

每一感測(cè)單元41b設(shè)置于濾光片32b中之一者之下。每一感測(cè)單元41b用以根據(jù)照射于其上的第二光束B(niǎo)32產(chǎn)生一第二強(qiáng)度信號(hào)。

每一感測(cè)單元41c設(shè)置于濾光片32c中之一者之下。每一感測(cè)單元41c用以根據(jù)照設(shè)于其上的第三光束B(niǎo)33產(chǎn)生一第三強(qiáng)度信號(hào)。

每一感測(cè)單元41d設(shè)置于濾光片32d中之一者之下。每一感測(cè)單元41d用以根據(jù)照設(shè)于其上的第四光束B(niǎo)34產(chǎn)生一第四強(qiáng)度信號(hào)。

光譜測(cè)量裝置1還包括一處理模塊50，電性連接于每一感測(cè)單元41。處理模塊50接收強(qiáng)度信號(hào)，且根據(jù)每一強(qiáng)度信號(hào)產(chǎn)生一強(qiáng)度值。

于此實(shí)施例中，處理模塊50接收第一強(qiáng)度信號(hào)，且產(chǎn)生根據(jù)第一強(qiáng)度信號(hào)產(chǎn)生一第一強(qiáng)度值。處理模塊50接收第二強(qiáng)度信號(hào)，且根據(jù)第二強(qiáng)度信號(hào)產(chǎn)生一第二強(qiáng)度值。

處理模塊50接收第三強(qiáng)度信號(hào)，且根據(jù)第三強(qiáng)度信號(hào)產(chǎn)生一第三強(qiáng)度值。處理模塊50接收第四強(qiáng)度信號(hào)，且根據(jù)第四強(qiáng)度信號(hào)產(chǎn)生一第四強(qiáng)度值。

之后，處理模塊50根據(jù)第一強(qiáng)度值取得第一光譜值。處理模塊50將第二強(qiáng)度值減去第一強(qiáng)度值藉以取得第二光譜值。處理模塊50將第三強(qiáng)度值減去第二強(qiáng)度值藉以取得第三光譜值。換句話說(shuō)，第N個(gè)光譜值通過(guò)第 N個(gè)強(qiáng)度值減去第N-1個(gè)強(qiáng)度值來(lái)取得。上述N為一整數(shù)。

第一光譜值對(duì)應(yīng)于光束B(niǎo)1的波段A11的光譜的強(qiáng)度。第二光譜值對(duì)應(yīng)于光束B(niǎo)1的波段A11、A12的光譜的強(qiáng)度。第三光譜值對(duì)應(yīng)于光束B(niǎo)1的波段A11、A12、A13的光譜的強(qiáng)度。第四光譜值對(duì)應(yīng)于光束B(niǎo)1的波段A11、A14的光譜的強(qiáng)度。

于一些實(shí)施例中，處理模塊50根據(jù)第一強(qiáng)度值取得第一光譜值。處理模塊50將第二強(qiáng)度值減去第一強(qiáng)度值藉以取得第二光譜值。處理模塊50將第三強(qiáng)度值減去第二強(qiáng)度值藉以取得第三光譜值。處理模塊50將第四強(qiáng)度值減去第一強(qiáng)度值取得第四光譜值。

因此，像素群31中之一者的對(duì)應(yīng)于濾光片32a、32b、32c、32d的光譜值形成樣本的光譜影像中的一像素。由于像素群31排列于一像素陣列，因此處理模塊50可根據(jù)光譜值產(chǎn)生樣本的二維光譜影像。

由于濾波陣列30以及感測(cè)層40由半導(dǎo)體工藝所制成，濾光片32以及感測(cè)單元41的密度很高，且增進(jìn)了樣本的光譜影像的解析度。

再者，通過(guò)多頻帶通濾波器10、濾光片32、以及感測(cè)單元41的結(jié)構(gòu)，不需要設(shè)置例如分光鏡、平行光管儀、以及聚焦鏡等光學(xué)元件，因此可減少光譜測(cè)量裝置的尺寸以及重量。

圖4為本發(fā)明的一些實(shí)施例中的濾波陣列30的示意圖。像素群31排列于一像素陣列。每一像素群31包括四種濾光片32a、32b、32c、32d。濾光片32a、32b、32c、32d排列于2x2陣列。

圖5A至5F為本發(fā)明的一些實(shí)施例中的像素群31的示意圖。圖5A至5B繪制了圖4中的濾光片32a、32b、32c、32d的不同排列，用以對(duì)應(yīng)不同種類(lèi)的樣本。

如圖1、圖5C至5F所示，像素群31包括六個(gè)濾光片32。濾光片32a鄰近或是連接于濾光片32b，濾光片32b鄰近或是連接于濾光片32c，且濾光片32c鄰近或是連接于濾光片32d。濾光片32d鄰近或是連接于濾光片32e，濾光片32e鄰近或是連接于濾光片32f。

濾光片32e允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第五波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。濾光片32f允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第六波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。第四波長(zhǎng)長(zhǎng)于第五波長(zhǎng)。第五波長(zhǎng)長(zhǎng)于第六波長(zhǎng)。

于一些實(shí)施例中，第一波長(zhǎng)約為900nm，第二波長(zhǎng)約為800nm，第三波長(zhǎng)約為700nm，第四波長(zhǎng)約為600nm，第五波長(zhǎng)約為500nm，且第六波長(zhǎng)約為400nm。換句話說(shuō)，第一至第六波長(zhǎng)的波長(zhǎng)長(zhǎng)度逐漸增加。

如圖5C所示，第一濾光片32a至第六濾光片32f依序沿一線性路徑T1排列。如圖5D所示，第一濾光片32a至第六濾光片32f依序沿一U型路徑T2排列。如圖5E所示，第一濾光片32a至第六濾光片32f依序沿一波狀路徑T3。如圖5F所示，第一濾光片32a至第六濾光片32f依序沿一鋸齒狀路徑T4排列。

圖6A為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中濾波陣列30的穿透率對(duì)波長(zhǎng)圖。于一些實(shí)施例中，濾光片32a允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第一波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第一波長(zhǎng)約為800nm。

濾光片32b允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第二波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第二波長(zhǎng)約為600nm。濾光片32c允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第三波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第三波長(zhǎng)約為500nm。

濾光片32d允許多波段光束B(niǎo)2長(zhǎng)于一第四波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第四波長(zhǎng)約為400nm或是410nm。因此，第一波長(zhǎng)長(zhǎng)于第二波長(zhǎng)，第二波長(zhǎng)長(zhǎng)于第三波長(zhǎng)，且第三波長(zhǎng)長(zhǎng)于第四波長(zhǎng)。

于波段A11中的波長(zhǎng)及/或峰值波長(zhǎng)P11長(zhǎng)于第一波長(zhǎng)。波段A12為第一波長(zhǎng)至第二波長(zhǎng)的范圍之間。波段A13為第二波長(zhǎng)至第三波長(zhǎng)的范圍之間。波段A14為第三波長(zhǎng)與第四波長(zhǎng)的范圍之間。

圖6B為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中濾波陣列30的穿透率對(duì)波長(zhǎng)圖。于一些實(shí)施例中，濾光片32a允許多波段光束B(niǎo)2短于一第一波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第一波長(zhǎng)約為500nm。

濾光片32b允許多波段光束B(niǎo)2短于一第二波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第二波長(zhǎng)約為600nm。濾光片32c允許多波段光束B(niǎo)2短于一第三波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第三波長(zhǎng)約為800nm。

濾光片32d允許多波段光束B(niǎo)2短于一第四波長(zhǎng)的波長(zhǎng)通過(guò)。舉例而言，第四波長(zhǎng)約為900nm。因此，第一波長(zhǎng)短于第二波長(zhǎng)，第二波長(zhǎng)短于第三波長(zhǎng)，且第三波長(zhǎng)短于第四波長(zhǎng)。

波段A11為第三波長(zhǎng)至第四波長(zhǎng)的范圍之間。波段A12為第二波長(zhǎng)至 第三波長(zhǎng)的范圍之間。波段A13為第一波長(zhǎng)至第二波長(zhǎng)的范圍之間。于波段A14內(nèi)的波長(zhǎng)及/或峰值波長(zhǎng)P14短于第一波長(zhǎng)。

圖7為于本發(fā)明的一些實(shí)施例中一光譜測(cè)量裝置1的示意圖。透鏡模塊20位于多頻帶通濾波器10以及濾波陣列30之上。光譜測(cè)量裝置1還包括設(shè)置于濾波陣列30的多個(gè)微透鏡60。微透鏡60用以將多波段光束B(niǎo)2聚焦于濾光片32或感測(cè)單元41。

綜上所述，由于濾波陣列以及感測(cè)層由半導(dǎo)體工藝所制成，因此減少了光譜測(cè)量裝置的尺寸以及重量，且不需要許多光學(xué)元件。此外，通過(guò)濾波陣列，光譜測(cè)量裝置可用以檢測(cè)樣本的二維光譜，且可增進(jìn)樣本的光譜影像的解析度。

上述已公開(kāi)的特征能以任何適當(dāng)方式與一或多個(gè)已公開(kāi)的實(shí)施例相互組合、修飾、置換或轉(zhuǎn)用，并不限定于特定的實(shí)施例。

本發(fā)明雖以各種實(shí)施例公開(kāi)如上，然而其僅為范例參考而非用以限定本發(fā)明的范圍，本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做些許的變動(dòng)與潤(rùn)飾。因此上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明的范圍，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。