一種接線工具的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種接線工具，所述接線工具包括接線板、連線結(jié)構(gòu)和與所述接線板配合使用的插桿。所述接線工具預(yù)先通過(guò)連線結(jié)構(gòu)將測(cè)試機(jī)臺(tái)內(nèi)的插孔和探針卡內(nèi)的插孔依次引出并連接至接線板的相鄰兩側(cè)，在測(cè)試的過(guò)程中可以通過(guò)拔插插桿實(shí)現(xiàn)測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡的連通，大大提高了接線的簡(jiǎn)便性、跳線分配的可讀性，在接線出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)，排查更加便捷，更改跳線的時(shí)候更容易實(shí)現(xiàn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種接線工具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種接線工具。

【背景技術(shù)】
[0002]由于日益復(fù)雜的集成電路、材料和工藝的迅速引入，在今天的硅片制造中幾乎不可能每個(gè)芯片都符合規(guī)格要求，為了糾正制作過(guò)程中的問(wèn)題，并確保有缺陷的芯片不會(huì)被送到客戶手里，在集成電路制造過(guò)程中引入了芯片測(cè)試(CP，Circuit Probing)。芯片測(cè)試是為了檢驗(yàn)規(guī)格的一致性而在硅片級(jí)集成電路上進(jìn)行的電學(xué)參數(shù)測(cè)量和功能測(cè)試，測(cè)試可以檢驗(yàn)出各芯片是否具有可接受的電學(xué)性能和完整的功能，其測(cè)試過(guò)程中使用的電學(xué)規(guī)格隨測(cè)試目的的不同而有所不同。如果芯片測(cè)試不完善，就可能造成更多的產(chǎn)品在客戶使用過(guò)程中失效，最終給芯片制造者帶來(lái)嚴(yán)重的后果。為此，在集成電路的制造過(guò)程中引入能夠及早發(fā)現(xiàn)工藝問(wèn)題和將不良的芯片挑選出來(lái)的芯片測(cè)試是必不可少的。
[0003]圖1為芯片測(cè)試系統(tǒng)的組成結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，芯片測(cè)試系統(tǒng)包括測(cè)試機(jī)臺(tái)
11、探針卡12、位于所述測(cè)試機(jī)臺(tái)11和探針卡12內(nèi)的接線區(qū)域13、位于所述接線區(qū)域13內(nèi)的插孔14、兩端設(shè)有插頭16用于連接所述插孔14的信號(hào)線15。由于在配置芯片測(cè)試時(shí)，需要依據(jù)芯片管腳的要求，將測(cè)試機(jī)臺(tái)11內(nèi)的插孔14與探針卡12內(nèi)的插孔14相連接，然后再通過(guò)探針將測(cè)試信號(hào)輸入到芯片的管腳上。由于探針卡12內(nèi)的插孔14與測(cè)試機(jī)臺(tái)11內(nèi)的插孔14沒(méi)有固定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，測(cè)試的過(guò)程中需要用信號(hào)線15通過(guò)兩端的插頭16將測(cè)試機(jī)臺(tái)11和探針卡12進(jìn)行連接。由于所述探針卡12內(nèi)的插孔14與測(cè)試機(jī)臺(tái)11內(nèi)的插孔14沒(méi)有固定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，所述信號(hào)線15在連接的時(shí)候會(huì)交叉重疊，接線情況比較復(fù)雜，容易出現(xiàn)接錯(cuò)的情況。并且，在信號(hào)線15接好之后進(jìn)行測(cè)試的過(guò)程中，如果發(fā)現(xiàn)測(cè)試不正常時(shí)，由于接線情況比較復(fù)雜，增大了排查的困難性；而且在需要改變所述插頭16的接線位置時(shí)，更改跳線不方便。需要說(shuō)明的是，圖1中所述測(cè)試機(jī)臺(tái)11和探針卡12內(nèi)的接線區(qū)域13通過(guò)所述信號(hào)線15電性連接的插孔14被所述插頭16所遮擋，圖1中未予示出。
[0004]鑒于此，有必要設(shè)計(jì)一種新的接線工具用以解決上述技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種接線工具，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于測(cè)試機(jī)臺(tái)內(nèi)的插孔與探針卡內(nèi)的插孔沒(méi)有固定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，在將所述測(cè)試機(jī)臺(tái)內(nèi)的插孔和所述探針卡內(nèi)的插孔通過(guò)信號(hào)線連接時(shí)，信號(hào)線會(huì)交叉重疊，接線情況復(fù)雜，容易出現(xiàn)接錯(cuò)，在發(fā)現(xiàn)測(cè)試不正常時(shí)，排查比較困難，以及在需要改變信號(hào)線接線位置時(shí)，更改跳線不方便的問(wèn)題。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種接線工具，所述接線工具適于連接測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡，以對(duì)芯片進(jìn)行電性測(cè)試，所述測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡內(nèi)均設(shè)有接線區(qū)域，所述接線區(qū)域內(nèi)設(shè)置插孔，其特征在于，所述接線工具至少包括:接線板和與所述接線板配合使用的插桿；所述接線板包括第一子接線板和第二子接線板，所述第一子接線板位于所述第二子接線板的上表面；所述第一子接線板包括多個(gè)橫向排列的接線單元，所述第二子接線板包括多個(gè)縱向排列的接線單元；其中，所述接線單元包括接線條和固定于所述接線條上的插柱，所述插柱設(shè)有垂直于所述第一子接線板和第二子接線板的圓柱形通孔；所述接線條和所述插柱均為三層結(jié)構(gòu)，在垂直于所述接線板的方向上自下而上依次為第一絕緣層、導(dǎo)電層和第二絕緣層；所述插柱和所述接線條至少通過(guò)所述導(dǎo)電層接觸連接；所述第一子接線板和所述第二子接線板內(nèi)的插柱一一對(duì)應(yīng)。
[0007]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述接線工具還包括第三絕緣層，所述第一子接線板中相鄰兩接線單元均被第三絕緣層隔離開(kāi)；所述第二子接線板中相鄰兩接線單元均被第三絕緣層隔離開(kāi)。
[0008]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述每個(gè)接線條上相鄰插柱的間距相等；所述第一子接線板中相鄰兩接線條的間距與所述第二子接線板中相鄰兩接線條的間距均相等，且均等于所述接線條上相鄰兩插柱的間距。
[0009]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述圓柱形通孔內(nèi)壁涂覆一層導(dǎo)電層。
[0010]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述插柱的長(zhǎng)度小于或等于所述接線條的厚度。
[0011]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述第一子接線板內(nèi)接線條的行數(shù)與所述第二子接線板內(nèi)接線條的列數(shù)相等，且均小于或等于所述每個(gè)接線條上插柱的數(shù)目。
[0012]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述第一子接線板內(nèi)接線條的行數(shù)與所述第二子接線板內(nèi)接線條的列數(shù)均大于或等于所述測(cè)試機(jī)臺(tái)或探針卡內(nèi)插孔的數(shù)目。
[0013]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述插桿包括第一圓柱體和第二圓柱體，所述第二圓柱體位于所述第一圓柱體的上表面；所述第一圓柱體為金屬圓柱體，適于將所述第一圓柱體插入所述圓柱形通孔內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)所述第一子接線板和所述第二子接線板的連通。
[0014]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述第一圓柱體的直徑小于或等于所述圓柱形通孔的直徑，所述第二圓柱體的直徑大于所述圓柱形通孔的直徑。
[0015]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述第一圓柱體的長(zhǎng)度大于所述接線條的厚度。
[0016]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述第二圓柱體為絕緣圓柱體。
[0017]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述接線工具還包括一連線結(jié)構(gòu)，所述連線結(jié)構(gòu)包括至少兩根信號(hào)線和包裹在所述信號(hào)線外圍的包裹層，所述信號(hào)線兩端均設(shè)有與所述信號(hào)線連接的插頭，所述包裹層兩端均分別依次將所述插頭引出。
[0018]作為本實(shí)用新型的接線工具的一種優(yōu)選方案，所述連線結(jié)構(gòu)中信號(hào)線的數(shù)目大于或等于一個(gè)所述接線區(qū)域內(nèi)插孔的數(shù)目。
[0019]如上所述，本實(shí)用新型的接線工具，具有以下有益效果:所述接線工具包括接線板、插桿和連線結(jié)構(gòu)，預(yù)先通過(guò)連線結(jié)構(gòu)將測(cè)試機(jī)臺(tái)內(nèi)的插孔和探針卡內(nèi)的插孔依次引出并連接至接線板的相鄰兩側(cè)，在測(cè)試的過(guò)程中可以通過(guò)拔插插桿實(shí)現(xiàn)測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡的連通，大大提高了接線的簡(jiǎn)便性、跳線分配的可讀性，在接線出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)，排查更加便捷，更改跳線的時(shí)候更容易實(shí)現(xiàn)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)試機(jī)臺(tái)與探針卡通過(guò)信號(hào)線相連接的示意圖。
[0021]圖2顯示為本實(shí)用新型的接線單元的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖3顯示為本實(shí)用新型的第一種接線板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖4顯示為本實(shí)用新型的第一種接線板的俯視圖。
[0024]圖5顯示為本實(shí)用新型的第二種接線板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖6顯示為本實(shí)用新型的第二種接線板的俯視圖。
[0026]圖7顯示為本實(shí)用新型的插桿與插柱配合使用的示意圖。
[0027]圖8顯示為本實(shí)用新型的連線結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖9顯示為本實(shí)用新型的接線工具連接測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡的示意圖。
[0029]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0030]11 測(cè)試機(jī)臺(tái)
[0031]12 探針卡
[0032]13 接線區(qū)域
[0033]14 插孔
[0034]15 信號(hào)線
[0035]16 插頭
[0036]2 接線板
[0037]21 第一子接線板
[0038]22 第二子接線板
[0039]23 接線單元
[0040]231接線條
[0041]232 插柱
[0042]233第一絕緣層
[0043]234第二絕緣層
[0044]235導(dǎo)電層
[0045]236圓柱形通孔
[0046]237第三絕緣層
[0047]3 插桿
[0048]31 第一圓柱體
[0049]32 第二圓柱體
[0050]4 連線結(jié)構(gòu)
[0051]41 信號(hào)線
[0052]42 包裹層
[0053]43 插頭
[0054]5 測(cè)試機(jī)臺(tái)
[0055]6 接線區(qū)域
[0056]7 探針卡

【具體實(shí)施方式】
[0057]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0058]請(qǐng)參閱圖2至圖9。須知，本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0059]請(qǐng)參閱圖2至圖7，本實(shí)用新型提供一種接線工具，所述接線工具至少包括:接線板2和與所述接線板2配合使用的插桿3 ;所述接線板2包括第一子接線板21和第二子接線板22，所述第一子接線板21固定于所述第二子接線板22的上表面；所述第一子接線板21包括多個(gè)橫向排列的接線單元23，所述第二子接線板22包括多個(gè)縱向排列的接線單元23 ;其中，所述接線單元23包括接線條231和固定于所述接線條231上的插柱232，所述插柱232設(shè)有垂直于所述第一子接線板21和第二子接線板22的圓柱形通孔236 ;所述接線條231和所述插柱232均為三層結(jié)構(gòu)，在垂直于所述接線板2的方向上自下而上依次為第一絕緣層233、導(dǎo)電層235和第二絕緣層234 ;所述插柱232和所述接線條231至少通過(guò)所述導(dǎo)電層235接觸連接；所述第一子接線板21和所述第二子接線板22內(nèi)的插柱232 —一對(duì)應(yīng)。
[0060]請(qǐng)參閱圖2，圖2為所述接線單元23的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖2可知，所述接線單元23包括接線條231和若干個(gè)固定于所述接線條231上的插柱232，所述插柱232設(shè)有圓柱形通孔236 ;所述接線條231和所述插柱232均為三層結(jié)構(gòu)，上自下而上依次為第一絕緣層233、導(dǎo)電層235和第二絕緣層234 ;所述插柱232和所述接線條231至少通過(guò)所述導(dǎo)電層235接觸連接。
[0061]具體的，所述接線條231上相鄰插柱232的間距相等，即所述插柱232均勻地固定在所述接線條231上。
[0062]具體的，為了使得第一子接線板和第二子接線板中的接線條可以接觸連接，所述插柱232不應(yīng)高出所述接線條231的上下平面，即所述插柱232的長(zhǎng)度應(yīng)小于或等于所述接線條231的厚度；優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述插柱232的長(zhǎng)度小于所述接線條231的厚度。
[0063]具體的，為了使所述插柱232在與插桿配合適用于便于導(dǎo)通，所述插柱232中圓柱形通孔236的內(nèi)壁可以涂覆一層導(dǎo)電層(未示出)；優(yōu)選地，本實(shí)施例中所述導(dǎo)電層的材料與接線條231和插柱232中的導(dǎo)電層235的材料相同。
[0064]具體的，所述接線條231和所述插柱232中第一絕緣層233和第二絕緣層234的可以選擇相同的絕緣材料，亦可以選擇不同的絕緣材料；優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述接線條231和所述插柱232中第一絕緣層233和第二絕緣層234的材料相同。
[0065]請(qǐng)參閱圖3至圖4，圖3為第一種接線板2的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為圖3的俯視圖。由圖3可知，第一種接線板2中，所述第一子接線板21內(nèi)接線條231的行數(shù)與所述第二子接線板22內(nèi)接線條231的列數(shù)相等，且均等于所述每個(gè)接線條231上插232的數(shù)目。
[0066]具體的，所述接線板2包括第一子接線板21和第二子接線板22，所述第一子接線板21固定于所述第二子接線板22的上表面；所述第一子接線板21包括多個(gè)橫向排列的接線單元23，所述第二子接線板22包括多個(gè)縱向排列的接線單元23 ;所述第一子接線板21和所述第二子接線板22內(nèi)的插柱232 —一上下對(duì)應(yīng)。
[0067]具體的，所述第一子接線板21中相鄰兩接線條231的間距與所述第二子接線板22中相鄰兩接線條231的間距相等，且均等于所述接線條231上相鄰兩插柱232的間距。
[0068]具體的，為了避免第一子接線板21或第二子接線板22中相鄰兩接線單元23中的導(dǎo)電層直接導(dǎo)通，在所述第一子接線板21中每個(gè)相鄰兩接線單元23之間區(qū)域或所述第二子接線板21中每個(gè)相鄰兩接線單元23之間的區(qū)域均可以填充第三絕緣層237，所述第三絕緣層237將第一子接線板21和第二接線板22中相鄰兩接線單元23隔絕開(kāi)。
[0069]需要說(shuō)明的是，為了說(shuō)明接線板2中第一子接線板21和第二子接線板22的具體結(jié)構(gòu)及二者的連接關(guān)系，圖3中并未示出所述第三絕緣層237，所述第三絕緣層237的具體分布可以參考圖4。
[0070]優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述第三絕緣層237的材料與所述第一絕緣層233和所述第二絕緣層234的材料均相同。
[0071]請(qǐng)參閱圖5至圖6，圖5為第二種接線板2的結(jié)構(gòu)示意圖，圖6為圖5的俯視圖。由圖5可知，第一種接線板2中，所述第一子接線板21內(nèi)接線條231的行數(shù)與所述第二子接線板22內(nèi)接線條231的列數(shù)相等，且均小于所述每個(gè)接線條231上插232的數(shù)目。
[0072]具體的，所述接線板2包括第一子接線板21和第二子接線板22，所述第一子接線板21固定于所述第二子接線板22的上表面；所述第一子接線板21包括多個(gè)橫向排列的接線單元23，所述第二子接線板22包括多個(gè)縱向排列的接線單元23 ;所述第一子接線板21和所述第二子接線板22內(nèi)的插柱232 —一上下對(duì)應(yīng)。
[0073]具體的，所述第一子接線板21中相鄰兩接線條231的間距與所述第二子接線板22中相鄰兩接線條231的間距相等，且均等于所述接線條231上相鄰兩插柱232的間距。
[0074]具體的，為了避免第一子接線板21或第二子接線板22中相鄰兩接線單元23中的導(dǎo)電層直接導(dǎo)通，在所述第一子接線板21中每個(gè)相鄰兩接線單元23之間區(qū)域或所述第二子接線板21中每個(gè)相鄰兩接線單元23之間的區(qū)域均可以填充第三絕緣層237，所述第三絕緣層237將第一子接線板21和第二接線板22中相鄰兩接線單元23隔絕開(kāi)。
[0075]需要說(shuō)明的是，為了說(shuō)明接線板2中第一子接線板21和第二子接線板22的具體結(jié)構(gòu)及二者的連接關(guān)系，圖5中并未示出所述第三絕緣層237，所述第三絕緣層237的具體分布可以參考圖6。
[0076]優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述第三絕緣層237的材料與所述第一絕緣層233和所述第二絕緣層234的材料均相同。
[0077]請(qǐng)參閱圖7，圖7為插桿3與插柱232配合使用的示意圖。由圖7可知，所述插桿3包括第一圓柱體31和第二圓柱體32，所述第二圓柱體32位于所述第一圓柱體31的上表面；所述第一圓柱體31為金屬圓柱體，適于將所述第一圓柱體31插入所述圓柱形通孔236內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)所述第一子接線板21和所述第二子接線板22的連通。
[0078]具體的，所述第一圓柱體31的直徑小于或等于所述圓柱形通孔236的直徑，所述第二圓柱體32的直徑大于所述圓柱形通孔236的直徑。
[0079]具體的，所述第一圓柱體31的長(zhǎng)度應(yīng)大于所述接線條231的厚度，以確保所述第一圓柱體31插入所述圓柱形通孔236內(nèi)以后，可以實(shí)現(xiàn)所述第一子接線板21和所述第二子接線板22的連通。
[0080]具體的，所述第二圓柱體32設(shè)置為絕緣圓柱體。
[0081]具體的，在需要連通所述第一子接線板21和所述第二子接線板22的時(shí)候，只需將所述插桿3插入所述圓柱形通孔236中即可，將所述插桿3從所述圓柱形通孔236內(nèi)拔出即可實(shí)現(xiàn)所述第一子接線板21和所述第二子接線板22的斷開(kāi)。
[0082]請(qǐng)參閱圖8，圖8為連線結(jié)構(gòu)4的結(jié)構(gòu)示意圖。由于測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡內(nèi)每個(gè)連線區(qū)域內(nèi)均由多個(gè)插孔，為了接線的方便，可以設(shè)計(jì)一如圖8所示的連線結(jié)構(gòu)4將每個(gè)接線區(qū)域的插孔依次順序引出。由圖8可知，所述連線結(jié)構(gòu)4包括至少兩根信號(hào)線41和包裹在所述信號(hào)線41外圍的包裹層42，所述信號(hào)線41兩端均設(shè)有與所述信號(hào)線41連接的插頭43，所述包裹層42兩端均分別依次將所述插頭43引出。
[0083]請(qǐng)參閱圖9，圖9為接線工具連接測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡的示意圖。所述接線工具適于連接測(cè)試機(jī)臺(tái)5和探針卡7，以對(duì)芯片進(jìn)行電性測(cè)試，所述測(cè)試機(jī)臺(tái)5和探針卡7內(nèi)均設(shè)有接線區(qū)域6，所述接線區(qū)域6內(nèi)設(shè)置插孔。
[0084]具體的，請(qǐng)結(jié)合圖6，所述第一子接線板21內(nèi)接線條231的行數(shù)與所述第二子接線板22內(nèi)接線條231的列數(shù)均大于或等于所述測(cè)試機(jī)臺(tái)5或探針卡7內(nèi)插孔的數(shù)目。優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述第一子接線板21內(nèi)接線條231的行數(shù)與所述第二子接線板22內(nèi)接線條231的列數(shù)均等于所述測(cè)試機(jī)臺(tái)5或探針卡7內(nèi)插孔的數(shù)目。
[0085]具體的，請(qǐng)結(jié)合圖8，所述連線結(jié)構(gòu)4中信號(hào)線41的數(shù)目應(yīng)大于或等于測(cè)試機(jī)臺(tái)5或探針卡7內(nèi)一個(gè)接線區(qū)域6內(nèi)插孔的數(shù)目；優(yōu)選地，所述連線結(jié)構(gòu)4中信號(hào)線41的數(shù)目等于測(cè)試機(jī)臺(tái)5或探針卡7內(nèi)一個(gè)接線區(qū)域6內(nèi)插孔的數(shù)目。
[0086]具體的，將所述連線結(jié)構(gòu)4 一端的插頭43依次插入測(cè)試機(jī)臺(tái)5中每個(gè)連線區(qū)域6的插孔內(nèi)，將所述測(cè)試機(jī)臺(tái)5中的信號(hào)依次引出，并將所述連線機(jī)構(gòu)4的另一端沿著連線方向通過(guò)信號(hào)線41依次連接所述接線板2的一側(cè)；將所述連線結(jié)構(gòu)4 一端的插頭43依次插入探針卡7中每個(gè)連線區(qū)域6的插孔內(nèi)，將所述探針卡7中的信號(hào)依次引出，并將所述連線機(jī)構(gòu)4的另一端沿著連線方向通過(guò)信號(hào)線41依次連接所述接線板2的另一側(cè)；需要說(shuō)明的是，所述接線板2中連接所述測(cè)試機(jī)臺(tái)5的一側(cè)與連接所述探針卡7的一側(cè)相鄰。
[0087]在將所述測(cè)試機(jī)臺(tái)5與所述探針卡7內(nèi)的插孔通過(guò)所述連線結(jié)構(gòu)4均連接至所述接線板2之后，根據(jù)測(cè)試的具體需要，只需要將所述插桿插入到相應(yīng)位置處的圓柱形通孔內(nèi)，即可以實(shí)現(xiàn)測(cè)試機(jī)臺(tái)5與所述探針卡7的連通，以完成相應(yīng)的電性測(cè)試。在完成連接以后，由于連接均通過(guò)插桿3和接線板2來(lái)實(shí)現(xiàn)，所有的連線關(guān)系均展現(xiàn)在所述接線板2上，接線關(guān)系一目了然；在發(fā)現(xiàn)連線錯(cuò)誤的時(shí)候，由于連接點(diǎn)均在接線板2上，使得排查變得非常便捷；在需要進(jìn)行跳線時(shí)，只需要將原先位置所插的插桿拔出，重新插至新的需要連接的位置即可，使得跳線變得更加容易實(shí)現(xiàn)。
[0088]需要說(shuō)明的是，圖9中所述測(cè)試機(jī)臺(tái)5和探針卡7內(nèi)的接線區(qū)域6通過(guò)所述信號(hào)線41電性連接的插孔被所述插頭43所遮擋，圖9中未予示出。
[0089]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種接線工具，所述接線工具包括接線板、插桿和連線結(jié)構(gòu)，預(yù)先通過(guò)連線結(jié)構(gòu)將測(cè)試機(jī)臺(tái)內(nèi)的插孔和探針卡內(nèi)的插孔依次引出并連接至接線板的相鄰兩側(cè)，在測(cè)試的過(guò)程中可以通過(guò)拔插插桿實(shí)現(xiàn)測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡的連通，大大提高了接線的簡(jiǎn)便性、跳線分配的可讀性，在接線出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)，排查更加便捷，更改跳線的時(shí)候更容易實(shí)現(xiàn)。
[0090]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種接線工具，適于連接測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡，以對(duì)芯片進(jìn)行電性測(cè)試，所述測(cè)試機(jī)臺(tái)和探針卡內(nèi)均設(shè)有接線區(qū)域，所述接線區(qū)域內(nèi)設(shè)置插孔，其特征在于，所述接線工具至少包括:接線板和與所述接線板配合使用的插桿； 所述接線板包括第一子接線板和第二子接線板，所述第一子接線板位于所述第二子接線板的上表面；所述第一子接線板包括多個(gè)橫向排列的接線單元，所述第二子接線板包括多個(gè)縱向排列的接線單元；其中，所述接線單元包括接線條和固定于所述接線條上的插柱，所述插柱設(shè)有垂直于所述第一子接線板和第二子接線板的圓柱形通孔；所述接線條和所述插柱均為三層結(jié)構(gòu)，在垂直于所述接線板的方向上自下而上依次為第一絕緣層、導(dǎo)電層和第二絕緣層；所述插柱和所述接線條至少通過(guò)所述導(dǎo)電層接觸連接； 所述第一子接線板和所述第二子接線板內(nèi)的插柱一一對(duì)應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線工具，其特征在于:還包括第三絕緣層，所述第一子接線板中相鄰兩接線單元均被第三絕緣層隔離開(kāi)；所述第二子接線板中相鄰兩接線單元均被第三絕緣層隔離開(kāi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的接線工具，其特征在于:所述每個(gè)接線條上相鄰插柱的間距相等；所述第一子接線板中相鄰兩接線條的間距與所述第二子接線板中相鄰兩接線條的間距均相等，且均等于所述接線條上相鄰兩插柱的間距。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線工具，其特征在于:所述圓柱形通孔內(nèi)壁涂覆一層導(dǎo)電層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線工具，其特征在于:所述插柱的長(zhǎng)度小于或等于所述接線條的厚度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線工具，其特征在于:所述第一子接線板內(nèi)接線條的行數(shù)與所述第二子接線板內(nèi)接線條的列數(shù)相等，且均小于或等于所述每個(gè)接線條上插柱的數(shù)目。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的接線工具，其特征在于:所述第一子接線板內(nèi)接線條的行數(shù)與所述第二子接線板內(nèi)接線條的列數(shù)均大于或等于所述測(cè)試機(jī)臺(tái)或探針卡內(nèi)插孔的數(shù)目。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線工具，其特征在于:所述插桿包括第一圓柱體和第二圓柱體，所述第二圓柱體位于所述第一圓柱體的上表面；所述第一圓柱體為金屬圓柱體，適于將所述第一圓柱體插入所述圓柱形通孔內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)所述第一子接線板和所述第二子接線板的連通。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的接線工具，其特征在于:所述第一圓柱體的直徑小于或等于所述圓柱形通孔的直徑，所述第二圓柱體的直徑大于所述圓柱形通孔的直徑。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的接線工具，其特征在于:所述第一圓柱體的長(zhǎng)度大于所述接線條的厚度。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的接線工具，其特征在于:所述第二圓柱體為絕緣圓柱體。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接線工具，其特征在于:所述接線工具還包括一連線結(jié)構(gòu)，所述連線結(jié)構(gòu)包括至少兩根信號(hào)線和包裹在所述信號(hào)線外圍的包裹層，所述信號(hào)線兩端均設(shè)有與所述信號(hào)線連接的插頭，所述包裹層兩端均分別依次將所述插頭引出。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的接線工具，其特征在于:所述連線結(jié)構(gòu)中信號(hào)線的數(shù)目大于或等于一個(gè)所述接線區(qū)域內(nèi)插孔的數(shù)目。
【文檔編號(hào)】G01R1/04GK204008736SQ201420470076
【公開(kāi)日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月20日
【發(fā)明者】趙瑞豪, 林光啟, 胡啟譽(yù), 張克堂 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司