一種單軸mems電容式陀螺儀的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種單軸MEMS電容式陀螺儀，包括扭動質(zhì)量塊、平動質(zhì)量塊、各錨點和驅(qū)動、檢測以及敏感電容組，其中電容組的固定和可動梳齒具有沿z軸方向的高低差；驅(qū)動、檢測電容組的固定梳齒通過相應(yīng)錨點固定在基底上，可動梳齒與平動質(zhì)量塊連接；敏感電容組的固定梳齒通過敏感錨點固定在基底上，可動梳齒通過外周彈性梁與扭動質(zhì)量塊連接；平動質(zhì)量塊的一端通過彈性梁與相應(yīng)錨點相連接，其另一端通過彈性梁連接扭動質(zhì)量塊；位于扭動質(zhì)量塊中心位置處的中心錨點通過中部彈性梁與扭動質(zhì)量塊相連接。本實用新型涉及的陀螺儀具有結(jié)構(gòu)簡單，對于單向運動的角速度測量結(jié)果誤差較小的特點。
【專利說明】一種單軸MEMS電容式陀螺儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及MEMS陀螺儀，尤其涉及一種單軸MEMS電容式陀螺儀。
【背景技術(shù)】
[0002]MEMS (Micro Electro Mechanical System,微機電系統(tǒng))陀螺儀體積小、成本低、集成性好，已得以越來越廣泛的應(yīng)用，如在移動終端、相機防抖、游戲手柄、玩具飛機、導(dǎo)航等產(chǎn)品中。但是，現(xiàn)在市面上的MEMS陀螺儀結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，其測量結(jié)果存在較大誤差，抗震性能比較差。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于提出一種單軸MEMS電容式陀螺儀，以解決現(xiàn)有陀螺儀應(yīng)用在運動方向單一的產(chǎn)品中，存在測量結(jié)果誤差偏大的問題。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出了一種單軸MEMS電容式陀螺儀，包括扭動質(zhì)量塊、平動質(zhì)量塊、驅(qū)動電容組，檢測電容組，敏感電容組，錨點以及彈性梁，定義以扭動質(zhì)量塊的中心為原點的笛卡爾坐標系的X軸的正向指向右側(cè)，y軸的正向指向上側(cè)，其中所述各電容組包括固定梳齒和可動梳齒，并且各電容組的固定梳齒和可動梳齒具有沿z軸方向的聞低差；
[0005]所述各電容組包括至少一對驅(qū)動電容組、至少一對檢測電容組和至少一對敏感電容組，每對兩個驅(qū)動電容組的固定梳齒分別通過與所述驅(qū)動電容組相對應(yīng)的驅(qū)動錨點固定在基底上，所述驅(qū)動電容組的可動梳齒分別連接至與該驅(qū)動電容組相對應(yīng)的平動質(zhì)量塊的外側(cè)壁，所述驅(qū)動錨點被配置為一對驅(qū)動電極；
[0006]每對兩個檢測電容組的固定梳齒分別通過與所述檢測電容組相對應(yīng)的檢測錨點固定在所述基底上，所述檢測電容組的可動梳齒分別連接至與該檢測電容組相對應(yīng)的平動質(zhì)量塊的外側(cè)壁，所述檢測錨點被配置為一對檢測電極；
[0007]每對兩個敏感電容組的固定梳齒分別通過與所述敏感電容組相對應(yīng)的敏感錨點固定在所述基底上，所述敏感電容組的可動梳齒通過外周彈性梁與扭動質(zhì)量塊連接，所述敏感電容組的可動梳齒還通過固定彈性梁與各固定錨點連接，所述敏感錨點被配置為一對敏感電極；以及，
[0008]位于扭動質(zhì)量塊中心位置處的中心錨點通過中部彈性梁與扭動質(zhì)量塊相連接，平動質(zhì)量塊的一側(cè)通過第一彈性梁與扭動質(zhì)量塊相連接，平動質(zhì)量塊的另外一側(cè)通過第二彈性梁連接到與之對應(yīng)的錨點。
[0009]本實用新型的該方案的有益效果在于本實用新型涉及的陀螺儀結(jié)構(gòu)簡單，對于單向運動的角速度測量結(jié)果誤差較小，抗震性能好。
[0010]優(yōu)選的是，平動質(zhì)量塊位于扭動質(zhì)量塊的左右兩側(cè)關(guān)于I軸對稱設(shè)置。
[0011]優(yōu)選的是，所述電容組包括兩對驅(qū)動電容組，兩對驅(qū)動電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置，每對兩個驅(qū)動電容組關(guān)于y軸對稱設(shè)置，及每對兩個驅(qū)動電容組與平動質(zhì)量塊的連接位置關(guān)于I軸對稱。
[0012]優(yōu)選的是，所述驅(qū)動錨點在X軸上關(guān)于y軸對稱設(shè)置。
[0013]優(yōu)選的是，所述電容組包括兩對檢測電容組，每對檢測電容組關(guān)于y軸對稱設(shè)置，兩對檢測電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置，在分別與所述檢測電容組中的固定梳齒相連接的檢測錨點中，處于對角線位置的檢測錨點相連接形成一對檢測電極。
[0014]優(yōu)選的是，所述電容組包括兩對敏感電容組，每對敏感電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置，兩對敏感電容組關(guān)于y對稱設(shè)置，在分別與所述敏感電容組中的固定梳齒相連接的敏感錨點中，處于對角線位置的敏感錨點相連接形成一對敏感電極。
[0015]優(yōu)選的是，所述固定錨點設(shè)置于單軸微機電系統(tǒng)陀螺儀的四個邊角處。
[0016]優(yōu)選的是，所述固定彈性梁在X軸方向的剛度小于I軸和z軸方向的剛度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1示出了本實用新型所涉及的單軸MEMS電容式陀螺儀整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2示出了本實用新型所涉及的單軸MEMS電容式陀螺儀驅(qū)動電容組可動梳齒與固定梳齒的截面圖。
[0019]圖3示出了本實用新型所涉及的單軸MEMS電容式陀螺儀中扭動質(zhì)量塊運動狀態(tài)圖。
[0020]圖4示出了本實用新型所涉及的單軸MEMS電容式陀螺儀中驅(qū)動電路的原理圖。
[0021]圖5示出了現(xiàn)有技術(shù)中陀螺儀的局部結(jié)構(gòu)。
【具體實施方式】
[0022]下面將結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作進一步說明:
[0023]現(xiàn)以設(shè)置兩對驅(qū)動電容組Cl、兩對檢測電容組C2和兩對敏感電容組C3為實施例說明本實用新型的單軸微機電系統(tǒng)電容式陀螺儀的具體結(jié)構(gòu)。定義以扭動質(zhì)量塊ml的中心為原點的笛卡爾坐標系的X軸方向為左、右方向，y軸方向為上、下方向，至少驅(qū)動電容組和檢測電容組的固定梳齒和可動梳齒具有沿z軸方向的聞低差,如圖1所不，扭動質(zhì)量塊ml及其兩側(cè)的平動質(zhì)量塊m2, m3的四周分布有錨點,錨點與扭動質(zhì)量塊ml及左右平動質(zhì)量塊m2, m3之間的區(qū)域為用于設(shè)置各類電容組的電容組設(shè)置區(qū)，電容組設(shè)置區(qū)包括分別位于扭動質(zhì)量塊左、右側(cè)的左、右電容組設(shè)置區(qū)和扭動質(zhì)量塊上、下側(cè)的上、下電容組設(shè)置區(qū)。其中平動質(zhì)量塊m2包括平動質(zhì)量塊m21和m22,平動質(zhì)量塊m3包括平動質(zhì)量塊m31和m32,所述四個平動質(zhì)量塊m21，m22, m31和m32完全一樣且m21和m22，m31和m32關(guān)于x軸對稱設(shè)置，m21和m31，m22和m32關(guān)于y軸對稱設(shè)置。每對驅(qū)動電容組的兩個驅(qū)動電容組Cl分別設(shè)置在左、右電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)，位于左電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)的兩個驅(qū)動電容組Cl I和C12的固定梳齒通過左驅(qū)動錨點Ia固定在陀螺儀的基底上，可動梳齒分別與平動質(zhì)量塊m21和m22的左側(cè)壁連接；位于右電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)的兩個驅(qū)動電容組C13和C14的固定梳齒通過右驅(qū)動錨點Ib固定在所述基底上，可動梳齒分別與平動質(zhì)量塊m31和m32的右側(cè)壁連接；左、右驅(qū)動錨點la、lb作為一對驅(qū)動電極用于接收外圍電路提供的驅(qū)動信號。
[0024]每對檢測電容組的兩個檢測電容組分設(shè)在左、右電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)，位于左電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)的第一、第二檢測電容組C21、C22的固定梳齒分別通過第一、第二檢測錨點2al、2bI固定在所述基底上，可動梳齒分別與平動質(zhì)量塊m21和m22的左側(cè)壁連接；位于右電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)的第三、第四檢測電容組C23、C24的固定梳齒分別通過第三、第四檢測錨點2a2、2b2固定在所述基底上，可動梳齒分別與平動質(zhì)量塊m31和m32的右側(cè)壁連接，其中，第一、第三檢測錨點2al、2a2連接在一起，構(gòu)成一個檢測電極，第二、第四檢測錨點2b1、2b2連接在一起構(gòu)成另一個檢測電極，使四個檢測電容組C2形成差動連接，如圖4所示，兩個檢測電極用于將檢測電容組C2的電容變化信號反饋給一對驅(qū)動電極，即反饋給驅(qū)動電容組Cl，以通過改變外加電壓大小，調(diào)節(jié)驅(qū)動電容組Cl的振動幅度，在此，電容變化信號可經(jīng)過電荷放大電路再反饋給一對驅(qū)動電極。以上的與平動質(zhì)量塊m2和m3連接的可動梳齒將隨平動質(zhì)量塊m2和m3運動，連接于同一錨點上的電容組相當(dāng)于進行并聯(lián)連接，并聯(lián)連接的電容組具有相同的電容變化趨勢，比如，在結(jié)構(gòu)運動中，并聯(lián)連接的電容組的電容值會同時增加或減少。
[0025]位于平動質(zhì)量塊m2和m3外側(cè)的錨點6通過彈性梁b4與平動質(zhì)量塊m2和m3相連接。平動質(zhì)量塊m2和m3通過彈性梁b5與扭動質(zhì)量塊ml相連接。
[0026]位于扭動質(zhì)量塊ml中心位置處的中心錨點3通過中部彈性梁bl與扭動質(zhì)量塊ml相連接。
[0027]每對敏感電容組的兩個敏感電容組分設(shè)在上、下電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)，位于上電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)的第一、第二敏感電容組C31、C32的固定梳齒分別通過第一、第二敏感錨點4al、4bI固定在所述基底上，可動梳齒通過外周彈性梁b2與扭動質(zhì)量塊ml連接；位于下電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)的第三、第四敏感電容組C33、C34的固定梳齒分別通過第三、第四敏感錨點4a2、4b2固定在所述基底上，可動梳齒通過外周彈性梁b2與扭動質(zhì)量塊ml連接；第一、第三敏感錨點4al、4a2連接在一起構(gòu)成一個敏感電極，第二、第四敏感錨點4bl、4b2連接在一起構(gòu)成另一個敏感電極，通過一對敏感電極提供用于測定外加角速度值的敏感信號。在此，所有敏感電容組C3的可動梳齒可通過固定彈性梁b3與各固定錨點5連接，以起到支撐和平衡作用。
[0028]為了保證陀螺儀整體的均衡性，左、右驅(qū)動錨點la、lb在X軸上關(guān)于原點對稱設(shè)置，第一檢測錨點2al和第四檢測錨點2b2位于X軸的上方、且關(guān)于y軸對稱，第二檢測錨點2bl與第一檢測錨點2al關(guān)于X軸對稱設(shè)置，第三檢測錨點2a2與第四檢測錨點2b2關(guān)于X軸對稱設(shè)置，第一、第二敏感錨點4al、4bl位于扭動質(zhì)量塊ml的上方，且關(guān)于y軸對稱設(shè)置，第一敏感錨點4al與第四敏感錨點4b2關(guān)于X軸對稱設(shè)置，第二敏感錨點4bl與第三敏感錨點4a2關(guān)于X軸對稱設(shè)置；另外，本實施例設(shè)置四個固定錨點5，四個固定錨點5分設(shè)在陀螺儀的四個邊角處。本實施例還設(shè)置了四個錨點6和兩個中心錨點3，該四個錨點6位于平動質(zhì)量塊m2和m3的外側(cè)，中心錨點3位于扭動質(zhì)量塊ml的中心位置處。對于上述配置，位于左、右電容組設(shè)置區(qū)內(nèi)的驅(qū)動電容組Cl I和C14，以及驅(qū)動電容組C12和C13關(guān)于y軸對稱設(shè)置，驅(qū)動電容組Cll和C12關(guān)于X軸對稱設(shè)置，并且驅(qū)動電容組C13和C14關(guān)于X軸對稱設(shè)置。第一檢測電容組C21與第四檢測電容組C24作為一對檢測電容組在驅(qū)動電容組Cl的上方關(guān)于Y軸對稱設(shè)置，第二檢測電容組C22和第三檢測電容組C23作為另一對檢測電容組與上一對檢測電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置。第一敏感電容組C31與第四敏感電容組C34作為一對敏感電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置，第二敏感電容組C32和第三敏感電容組C33作為另一對敏感電容組與上一對敏感電容組關(guān)于y軸對稱設(shè)置。[0029]在此，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，驅(qū)動電容組Cl，檢測電容組C2及敏感電容組C3的數(shù)目和連接方式并非限制為以上給出的實施例。設(shè)置驅(qū)動電容組，檢測電容組及敏感電容組的目的分別在于提供驅(qū)動，檢測及敏感信號，電容組的數(shù)目和連接的不同僅提供了驅(qū)動，檢測及敏感信號大小及對稱性的差異，而不改變相應(yīng)的驅(qū)動，檢測和敏感的功能。
[0030]如圖2所示，驅(qū)動電容組Cl相鄰梳齒(可動和固定梳齒間隔設(shè)置)在z軸方向上的聞度存在聞低差，當(dāng)固定梳齒和可動梳齒的電位不相等時，驅(qū)動電容組Cl的固定梳齒與可動梳齒將產(chǎn)生沿Z軸方向的相互作用力。如圖1所示，一對驅(qū)動電極la、lb上將施加幅值，頻率相等，相位相反的驅(qū)動電壓，使得左、右側(cè)的兩對驅(qū)動電容組產(chǎn)生反相的驅(qū)動力，帶動m2和m3產(chǎn)生相反方向的簡諧運動，通過調(diào)節(jié)彈性梁b4和b5的相對剛度，并且驅(qū)動電容分組Cl和檢測電容組C2的可動梳齒與平動質(zhì)量塊連接的部分設(shè)計為剛度遠大于彈性梁b4和b5，因此可以使平動質(zhì)量塊m2及其與之相連的一對驅(qū)動電容組和m3及其與之相連的另一對驅(qū)動電容組分別沿Z軸相反方向上下平動，此時驅(qū)動電容組電容變化線性度最好，震動更加穩(wěn)定。
[0031 ] 平動質(zhì)量塊m2和m3通過彈性梁b5帶動扭動質(zhì)量塊ml繞y軸做簡諧振動。檢測電容組C2由于平動質(zhì)量塊m2和m3的振動，其電容值也發(fā)生變化，根據(jù)檢測電容組C2數(shù)值的變化調(diào)節(jié)外加驅(qū)動電壓的變化，調(diào)整平動質(zhì)量塊m2和m3的振動幅度，最終調(diào)節(jié)扭動質(zhì)量塊ml的振動幅度。
[0032]如圖3所示，扭動質(zhì)量塊ml繞y軸擺動，當(dāng)外加角速度作用于x方向，其產(chǎn)生的哥氏力將使扭動質(zhì)量塊ml繞z軸發(fā)生轉(zhuǎn)動，并通過外周彈性梁b2帶動敏感電容組C3的可動梳齒運動，使敏感電容組C3的電容值發(fā)生變化，從而測定外加角速度的大小。
[0033]根據(jù)以上說明的陀螺儀的工作原理可知，其至少存在兩個模態(tài):驅(qū)動模態(tài)和敏感模態(tài)，驅(qū)動模態(tài)為平動質(zhì)量塊m2和m3沿z軸方向相反的上下平動，通過彈性梁b5帶動扭動質(zhì)量塊ml繞y軸扭動，此時，外周彈性梁b2與扭動質(zhì)量塊ml連接的一端會隨扭動質(zhì)量塊ml扭動，而另一端間接通過彈性梁b3與固定錨點5相連，固定彈性梁b3設(shè)計為在z軸方向剛度較大，不易在z軸方向運動，從而限制了外周彈性梁b2另一端z方向的運動，因此，在驅(qū)動模態(tài)下，驅(qū)動和敏感部分通過外周彈性梁b2實現(xiàn)解耦；當(dāng)扭動質(zhì)量塊ml受到X軸方向的角速度影響時，會產(chǎn)生x，y軸平面內(nèi)，繞z軸方向旋轉(zhuǎn)的哥氏力,在敏感模態(tài)下，z軸方向轉(zhuǎn)動的哥氏力通過外周彈性梁b2傳導(dǎo)到敏感電容組C3上，而固定彈性梁b3設(shè)計為在X軸方向剛度較小，y軸方向剛度較大，故敏感電容組C3的可動梳齒受到哥氏力時影響容易產(chǎn)生X軸方向運動，據(jù)此設(shè)計的敏感電容組C3的電容值會發(fā)生變化。
[0034]本實用新型所涉及的單軸MEMS電容式陀螺儀相對傳統(tǒng)陀螺儀具有體積小，成本低，功耗小的顯著優(yōu)點。
[0035]添加了平動質(zhì)量塊m2和m3的陀螺儀在非線性，抗震性等參數(shù)上得到了進一步改進，原因如下:
[0036]現(xiàn)有技術(shù)中僅具有扭動質(zhì)量塊ml的方案如下圖5所示，驅(qū)動電容組和檢測電容組的可動梳齒全部連接在扭動質(zhì)量塊ml上,在驅(qū)動模態(tài)下隨扭動質(zhì)量塊ml —起繞y軸轉(zhuǎn)動，可動梳齒遠離轉(zhuǎn)軸的部分轉(zhuǎn)動快，靠近轉(zhuǎn)軸的部分轉(zhuǎn)動慢，導(dǎo)致驅(qū)動模態(tài)下驅(qū)動電容組和檢測電容組電容變化速率的非線性很大，可能導(dǎo)致整個器件輸出的非線性也增大。同時驅(qū)動力變化的非線性大，也會導(dǎo)致驅(qū)動模態(tài)下震動不夠穩(wěn)定，抵抗外界震動的能力差。本實用新型所涉及的陀螺儀加入了平動質(zhì)量塊后，通過設(shè)計調(diào)節(jié)支撐該平動質(zhì)量塊的彈性梁的剛度，使驅(qū)動模態(tài)下平動質(zhì)量塊連同驅(qū)動電容組和檢測電容組的可動梳齒分別沿Z軸相反方向上下平動，解決了上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題。
[0037]綜上所述僅為本實用新型較佳的實施例，并非用來限定本實用新型的實施范圍。即凡依本實用新型申請專利范圍的內(nèi)容所作的等效變化及修飾，皆應(yīng)屬于本實用新型的技術(shù)范疇。例如，將上述笛卡爾坐標系的X軸和I軸方向顛倒，即可檢測作用于y方向的外加角速度。
【權(quán)利要求】
1.一種單軸MEMS電容式陀螺儀,其特征在于:包括扭動質(zhì)量塊、平動質(zhì)量塊、驅(qū)動電容組，檢測電容組，敏感電容組，錨點以及彈性梁，定義以扭動質(zhì)量塊的中心為原點的笛卡爾坐標系的X軸的正向指向右側(cè)，y軸的正向指向上側(cè)，其中所述各電容組包括固定梳齒和可動梳齒，并且各電容組的固定梳齒和可動梳齒具有沿z軸方向的聞低差； 所述各電容組包括至少一對驅(qū)動電容組、至少一對檢測電容組和至少一對敏感電容組，每對兩個驅(qū)動電容組的固定梳齒分別通過與所述驅(qū)動電容組相對應(yīng)的驅(qū)動錨點固定在基底上，所述驅(qū)動電容組的可動梳齒分別連接至與該驅(qū)動電容組相對應(yīng)的平動質(zhì)量塊的外側(cè)壁，所述驅(qū)動錨點被配置為一對驅(qū)動電極； 每對兩個檢測電容組的固定梳齒分別通過與所述檢測電容組相對應(yīng)的檢測錨點固定在所述基底上，所述檢測電容組的可動梳齒分別連接至與該檢測電容組相對應(yīng)的平動質(zhì)量塊的外側(cè)壁，所述檢測錨點被配置為一對檢測電極； 每對兩個敏感電容組的固定梳齒分別通過與所述敏感電容組相對應(yīng)的敏感錨點固定在所述基底上，所述敏感電容組的可動梳齒通過外周彈性梁與扭動質(zhì)量塊連接，所述敏感電容組的可動梳齒還通過固定彈性梁與各固定錨點連接，所述敏感錨點被配置為一對敏感電極；以及， 位于扭動質(zhì)量塊中心位置處的中心錨點通過中部彈性梁與扭動質(zhì)量塊相連接，平動質(zhì)量塊的一側(cè)通過第一彈性梁與扭動質(zhì)量塊相連接，平動質(zhì)量塊的另外一側(cè)通過第二彈性梁連接到與之對應(yīng)的錨點。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單軸MEMS電容式陀螺儀，其特征在于:平動質(zhì)量塊位于扭動質(zhì)量塊的左右兩側(cè)關(guān)于I軸對稱設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的單軸MEMS電容式陀螺儀，其特征在于:所述電容組包括兩對驅(qū)動電容組，兩對驅(qū)動電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置，每對兩個驅(qū)動電容組關(guān)于I軸對稱設(shè)置，及每對兩個驅(qū)動電容組與平動質(zhì)量塊的連接位置關(guān)于y軸對稱。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的單軸MEMS電容式陀螺儀，其特征在于:所述驅(qū)動錨點在X軸上關(guān)于y軸對稱設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的單軸MEMS電容式陀螺儀，其特征在于:所述電容組包括兩對檢測電容組，每對檢測電容組關(guān)于I軸對稱設(shè)置，兩對檢測電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置，在分別與所述檢測電容組中的固定梳齒相連接的檢測錨點中，處于對角線位置的檢測錨點相連接形成一對檢測電極。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的單軸MEMS電容式陀螺儀，其特征在于:所述電容組包括兩對敏感電容組，每對敏感電容組關(guān)于X軸對稱設(shè)置，兩對敏感電容組關(guān)于I對稱設(shè)置，在分別與所述敏感電容組中的固定梳齒相連接的敏感錨點中，處于對角線位置的敏感錨點相連接形成一對敏感電極。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單軸MEMS電容式陀螺儀，其特征在于:所述固定錨點設(shè)置于單軸微機電系統(tǒng)陀螺儀的四個邊角處。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單軸MEMS電容式陀螺儀，其特征在于:所述固定彈性梁在X軸方向的剛度小于I軸和z軸方向的剛度。
【文檔編號】G01C19/5656GK203704940SQ201320594609
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月24日
【發(fā)明者】郭梅寒 申請人:深迪半導(dǎo)體(上海)有限公司