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集成電路壓電式加速度傳感器組件的制作方法

文檔序號:6081499閱讀:353來源:國知局
專利名稱:集成電路壓電式加速度傳感器組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于電子技術(shù)領(lǐng)域,涉及加速度傳感器,尤其與一種集成電路壓電式加速度傳感器組件有關(guān)。
背景技術(shù)
加速度傳感器實(shí)質(zhì)上是一種機(jī)電換能器,是將加速度、震動(dòng)、沖擊等物理現(xiàn)象所產(chǎn)生的壓力轉(zhuǎn)換成便于測量的電信號的測試儀器,壓電式加速度傳感器是利用壓電原件的壓電效應(yīng)去檢測力學(xué)量的。壓電加速度傳感器是在殼體底座的支架伸出軸上套裝壓電器件和質(zhì)量塊,當(dāng)殼體受力運(yùn)動(dòng)時(shí),質(zhì)量塊的慣性作用將使得壓電器件產(chǎn)生電信號,為了機(jī)加工和組裝的方便,傳統(tǒng)的壓電加速度傳感器底座與外殼一般是一個(gè)整體,且并未對底座與支架的接觸面進(jìn)行特殊處理,因此底座上表面平整度較差,導(dǎo)致底座,支架并未嚴(yán)格同軸,底座對力學(xué)量傳遞時(shí)產(chǎn)生橫向分量,造成產(chǎn)品普遍存在不穩(wěn)定,頻響較窄,靈敏度精確地較低等問題,產(chǎn)品只能用于低精度粗糙測量。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的在于解決以上的問題,提供一種集成電路壓電式加速度傳感器組件,其獨(dú)立的子組件結(jié)構(gòu),可根據(jù)不同需求靈活運(yùn)用于各種產(chǎn)品。為達(dá)成上述目的,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:集成電路壓電式加速度傳感器組件,包括絕緣片,其兩面均為拋光平面,絕緣片上面設(shè)有支架,支架與絕緣片配合的底面為拋光面,支架上部套設(shè)有壓電器件,壓電器件外套設(shè)質(zhì)量塊,質(zhì)量塊頂部設(shè)有PCB電路板。所述的壓電器件為壓電陶瓷。采用上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型將絕緣片,支架,壓電陶瓷,質(zhì)量塊,PCB電路板做成一個(gè)獨(dú)立的子組件,可根據(jù)需求靈活用于各種形狀的傳感器制作;支架底部為經(jīng)過拋光的平滑面,最大限度減小整個(gè)力學(xué)量傳遞途徑中產(chǎn)生的橫向分量噪聲,擴(kuò)寬頻帶,使振動(dòng)和沖擊極限更低。

以下用附圖對本實(shí)用新型詳細(xì)說明:圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型詳述。如圖1所示的本實(shí)用新型的實(shí)施方式,集成電路壓電式加速度傳感器組件,包括絕緣片1,其兩面均為拋光平面,絕緣片上面設(shè)有支架2,支架2與絕緣片I配合的底面為拋光面,支架2上部套設(shè)有壓電器件(實(shí)施例中為壓電陶瓷)3,壓電陶瓷外套設(shè)質(zhì)量塊4,質(zhì)量塊4頂部設(shè)有PCB電路板5。工作時(shí),將含有本組件的壓電加速度傳感器通過各種方式安裝在被測物體上,振動(dòng)時(shí),質(zhì)量塊的慣性力迫使壓電陶瓷產(chǎn)生電荷,經(jīng)過PCB電路板上的電路做信號處理后輸出,支架與絕緣片的接觸面經(jīng)過拋光處理,可抑制橫向靈敏度,擴(kuò)大頻率響應(yīng)范圍。本實(shí)用新型將絕緣片,支架,壓電陶瓷,質(zhì)量塊,PCB電路板做成一個(gè)獨(dú)立的子組件,可根據(jù)需求靈活用于各種形狀的傳感器制作;支架底部為經(jīng)過拋光的平滑面,最大限度減小整個(gè)力學(xué)量傳遞途徑中產(chǎn)生的橫向分量噪聲,擴(kuò)寬頻帶,使振動(dòng)和沖擊極限更低。上述說明示出并描述了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例,如前所述,應(yīng)當(dāng)理解本實(shí)用新型并非局限于本文所披露的形式,不應(yīng)看作是對其他實(shí)施例的排除,而可用于各種其他組合、修改和環(huán)境,并能夠在本文所述實(shí)用新型構(gòu)想范圍內(nèi),通過上述教導(dǎo)或相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)或知識進(jìn)行改動(dòng)。而本領(lǐng)域人員所進(jìn)行的改動(dòng)和變化不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍,則都應(yīng)在本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.集成電路壓電式加速度傳感器組件,其特征在于:包括絕緣片,其兩面均為拋光平面,絕緣片上面設(shè)有支架,支架與絕緣片配合的底面為拋光面,支架上部套設(shè)有壓電器件,壓電器件外套設(shè)質(zhì)量塊,質(zhì)量塊頂部設(shè)有PCB電路板。
2.如權(quán)利要求1所述的集成電路壓電式加速度傳感器組件,其特征在于:所述的壓電器件為壓電陶 瓷。
專利摘要集成電路壓電式加速度傳感器組件,包括絕緣片,其兩面均為拋光平面,絕緣片上面設(shè)有支架,支架與絕緣片配合的底面為拋光面,支架上部套設(shè)有壓電器件,壓電器件外套設(shè)質(zhì)量塊,質(zhì)量塊頂部設(shè)有PCB電路板;本實(shí)用新型將絕緣片,支架,壓電陶瓷,質(zhì)量塊,PCB電路板做成一個(gè)獨(dú)立的子組件,可根據(jù)需求靈活用于各種形狀的傳感器制作;支架底部為經(jīng)過拋光的平滑面,最大限度減小整個(gè)力學(xué)量傳遞途徑中產(chǎn)生的橫向分量噪聲,擴(kuò)寬頻帶,使振動(dòng)和沖擊極限更低。
文檔編號G01P15/09GK203164202SQ20132019089
公開日2013年8月28日 申請日期2013年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月16日
發(fā)明者崔賀偉 申請人:廈門乃爾電子有限公司
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