一種半導(dǎo)體p、n類型非接觸測(cè)試裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置，包括紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路，用于給傳感器傳送激發(fā)脈沖；傳感器，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并生成電荷信號(hào)；電荷放大器，用于將接收的電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳；整形放大器，用于將接收的放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)；相位鉗位電路，用于將接收的電平信號(hào)進(jìn)行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類型。本發(fā)明傳感器激發(fā)半導(dǎo)體表面誘發(fā)產(chǎn)生光生電荷并生成相應(yīng)的電荷信號(hào)，電荷信號(hào)依次經(jīng)過(guò)電荷放大器、整形放大器、相位鉗位電路后生成電平信號(hào)，從而分別出半導(dǎo)體的P、N類型，采用紅外激發(fā)二極管在感應(yīng)距離不超過(guò)0.15mm也可達(dá)到較高的準(zhǔn)確度，不需要直接與半導(dǎo)體接觸。
【專利說(shuō)明】一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于半導(dǎo)體具有摻雜性可控導(dǎo)電特性的物理效應(yīng)，使其具有熱敏性、光敏性、磁敏性、及電子放大、突變能力等特點(diǎn)，因此在非電量電測(cè)信息電子技術(shù)、電子光學(xué)成像技術(shù)、通信、固體信息儲(chǔ)存器等具有很高的實(shí)用價(jià)值。
[0003]不同電學(xué)類型的半導(dǎo)體材料具有不同的載流子特性，在應(yīng)用中也有不同需求?，F(xiàn)有檢測(cè)半導(dǎo)體材料的P、N類型大多使用接觸式冷熱探針?lè)?，極易損傷半導(dǎo)體材料以致造成隱性缺陷。
[0004]因此，亟需一種非接觸的測(cè)試半導(dǎo)體P、N類型的裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試 裝直。
[0006]實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體Ρ、Ν類型非接觸測(cè)試裝置，包括:紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路，其輸出端與下述傳感器連接，用于給下述傳感器傳送激發(fā)脈沖；
傳感器，其輸出端與下述電荷放大器連接，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并收集生成電荷信號(hào)傳送給電荷放大器；
電荷放大器，其輸出端與下述整形放大器連接，用于將接收的電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器；
整形放大器，其輸出端與下述相位鉗位電路連接，用于將接收的放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路；
相位鉗位電路，用于將接收的電平信號(hào)進(jìn)行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類型。
[0007]進(jìn)一步的，所述傳感器包括殼體、以及設(shè)置于所述殼體內(nèi)的紅外激發(fā)二極管和電荷感應(yīng)電極，所述紅外激發(fā)二極管輸入端與所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸出端連接，所述電荷感應(yīng)電極輸出端與所述電荷放大器輸入端連接。
[0008]進(jìn)一步的，還包括用于給所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路提供矩形波的矩形波激勵(lì)信號(hào)電路，所述矩形波激勵(lì)信號(hào)電路輸出端與所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸入端連接。
[0009]進(jìn)一步的，還包括第一 LED燈和第二 LED燈，所述第一 LED燈和第二 LED燈分別與所述相位鉗位電路輸出端連接。
[0010]本發(fā)明具有積極的效果:本發(fā)明紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)傳感器激發(fā)半導(dǎo)體表面誘發(fā)產(chǎn)生微弱的光生電荷并生成相應(yīng)的電荷信號(hào)，根據(jù)N型半導(dǎo)體為電子型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢(shì)的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極生成一個(gè)脈動(dòng)正電荷信號(hào)，而P型半導(dǎo)體為空穴型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢(shì)的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極生成一個(gè)脈動(dòng)負(fù)電荷信號(hào)；電荷放大器接收上述電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器；整形放大器接收上述放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路由相位鉗位電路分別出半導(dǎo)體的P、N類型；本發(fā)明中采用紅外激發(fā)二極管在感應(yīng)距離不超過(guò)0.15mm也可達(dá)到較高的準(zhǔn)確度，不需要直接與半導(dǎo)體接觸。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中:圖1為本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖；
圖2為本發(fā)明傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖。
[0012]其中:1、外殼，2、電荷感應(yīng)電極，3、紅外激發(fā)二極管。
【具體實(shí)施方式】
[0013]實(shí)施例1
如圖1至圖2所示，本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置，包括:紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路，其輸出端與傳感器連接，用于給傳感器傳送激發(fā)脈沖；傳感器，其輸出端與電荷放大器連接，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并收集生成電荷信號(hào)傳送給電荷放大器；
電荷放大器，其輸出端與整形放大器連接，用于將接收的電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器；
整形放大器，其輸出端與相位鉗位電路連接，用于將接收的放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路；
相位鉗位電路，用于將接收的電平信號(hào)進(jìn)行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類型。
[0014]上述實(shí)施例中傳感器包括殼體1、以及設(shè)置于殼體I內(nèi)的紅外激發(fā)二極管3和電荷感應(yīng)電極2，紅外激發(fā)二極管3輸入端與紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸出端連接，電荷感應(yīng)電極2輸出端與電荷放大器輸入端連接。
[0015]下面對(duì)本實(shí)施例的工作原理作進(jìn)一步說(shuō)明:1.紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)紅外激發(fā)二極管3激發(fā)半導(dǎo)體表面誘發(fā)產(chǎn)生微弱的光生電荷；
2.電荷感應(yīng)電極2采集到光生電荷并生成相應(yīng)的電荷信號(hào)，根據(jù)N型半導(dǎo)體為電子型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢(shì)的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極2生成一個(gè)脈動(dòng)正電荷信號(hào)，而P型半導(dǎo)體為空穴型載流子，表面受光的誘激下產(chǎn)生相反電勢(shì)的表面本征態(tài)，因此電荷感應(yīng)電極2生成一個(gè)脈動(dòng)負(fù)電荷信號(hào)；
3.電荷放大器接收上述電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器；
4.整形放大器接收上述放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路由相位鉗位電路分別出半導(dǎo)體的P、N類型。
[0016]本實(shí)施例中采用紅外激發(fā)二極管3在感應(yīng)距離不超過(guò)0.15mm也可達(dá)到較高的準(zhǔn)確度，不需要直接與半導(dǎo)體接觸。
[0017]實(shí)施例2
如圖3所示，作為第二優(yōu)選實(shí)施例，其余與實(shí)施例1相同，不同之處在于，還包括用于給紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路提供矩形波的矩形波激勵(lì)信號(hào)電路、第一 LED燈和第二 LED燈，矩形波激勵(lì)信號(hào)電路輸出端與紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸入端連接，第一 LED燈和第二LED燈分別與相位鉗位電路輸出端連接。
[0018]本實(shí)施例中相位鉗位電路識(shí)別出半導(dǎo)體的P、N類型后分別由第一 LED燈或第二LED燈點(diǎn)亮識(shí)別。
[0019]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置，其特征在于，包括:紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路，其輸出端與下述傳感器連接，用于給下述傳感器傳送激發(fā)脈沖； 傳感器，其輸出端與下述電荷放大器連接，用于激發(fā)半導(dǎo)體表面生成光生電荷并收集生成電荷信號(hào)傳送給電荷放大器； 電荷放大器，其輸出端與下述整形放大器連接，用于將接收的電荷信號(hào)進(jìn)行放大生成放大電荷信號(hào)傳送給整形放大器； 整形放大器，其輸出端與下述相位鉗位電路連接，用于將接收的放大電荷信號(hào)進(jìn)行整形生成電平信號(hào)傳送給相位鉗位電路； 相位鉗位電路，用于將接收的電平信號(hào)進(jìn)行鉗制以判斷半導(dǎo)體P、N類型。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置，其特征在于，所述傳感器包括殼體、以及設(shè)置于所述殼體內(nèi)的紅外激發(fā)二極管和電荷感應(yīng)電極，所述紅外激發(fā)二極管輸入端與所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸出端連接，所述電荷感應(yīng)電極輸出端與所述電荷放大器輸入端連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置，其特征在于，還包括用于給所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路提供矩形波的矩形波激勵(lì)信號(hào)電路，所述矩形波激勵(lì)信號(hào)電路輸出端與所述紅外發(fā)射激勵(lì)脈沖驅(qū)動(dòng)電路輸入端連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體P、N類型非接觸測(cè)試裝置，其特征在于，還包括第一LED燈和第二 LED燈，所述第一 LED燈和第二 LED燈分別與所述相位鉗位電路輸出端連接。
【文檔編號(hào)】G01R31/00GK103675549SQ201310699140
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月19日
【發(fā)明者】趙丹, 顏友鈞, 鄭鈺 申請(qǐng)人:江蘇瑞新科技股份有限公司