在微流體結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生化學(xué)物圖案的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了流通池和制造流通池的方法。該方法包括組合三個(gè)部分:第一襯底、第二襯底以及位于第一襯底和第二襯底之間的微流體流道,該微流體流道具有光刻膠干膜構(gòu)成的壁。在第一襯底或第二襯底中形成有用于入口和出口的通孔。通過納米壓印光刻工藝將圖案化的捕獲點(diǎn)壓印在第一襯底和第二襯底上。在其他實(shí)施例中,部分圖案化的捕獲點(diǎn)的選擇性地粘附于表面化學(xué)物圖案上,表面化學(xué)物圖案由分別設(shè)置在軟底層的露出部分上的氧化硅島部形成。
【專利說明】
在微流體結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生化學(xué)物圖案的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及生物傳感器和形成生物傳感器的方法。更具體地,本發(fā)明涉及微流體器件及其形成方法。
【背景技術(shù)】
[0002]生物傳感器是用于感測和檢測生物分子的器件并且基于電子、電化學(xué)、光學(xué)和/或機(jī)械的檢測原理來進(jìn)行操作。生物傳感器可以感測或通過分子標(biāo)簽感測電荷、光子以及生物體或生物分子的機(jī)械性質(zhì)。可以通過檢測生物體或生物分子本身或通過具體的反應(yīng)物與生物體或生物分子之間的相互作用和反應(yīng)來實(shí)施檢測。生物傳感器在提高敏感性和增大信息內(nèi)容的同時(shí)持續(xù)微型化從而減小樣品尺寸。
[0003]流通池(flow cell)是一種生物傳感器類型,其包括微流體結(jié)構(gòu),該微流體結(jié)構(gòu)允許利用例如顯微鏡、分光鏡或折射計(jì),通過透明窗口對其內(nèi)容進(jìn)行外部檢測。流通池包括多個(gè)在其上發(fā)生生化反應(yīng)的捕獲點(diǎn)(capture site)。可以對位于一個(gè)或若干個(gè)微流體流道上的或其中的(隨機(jī)分布)捕獲點(diǎn)進(jìn)行圖案化或不進(jìn)行圖案化。可以使用流通池來分析生物分子、進(jìn)行反應(yīng)以及輻照樣品。例如,流通池可以用于使用光學(xué)感測的熒光染料來對脫氧核糖核酸(DNA)進(jìn)行測序。
[0004]光學(xué)傳感器技術(shù)得到持續(xù)性的改進(jìn),該改進(jìn)源于使用更好的、具有更高像素和更好敏感性的照相機(jī)以從流通池中獲得更多信息。得益于改進(jìn)的光學(xué)感測技術(shù),進(jìn)一步使用半導(dǎo)體工藝技術(shù)使流通池中的捕獲點(diǎn)微型化。例如,由于半導(dǎo)體制造工藝與生物應(yīng)用之間的兼容性問題,以及半導(dǎo)體制造工藝上的限制和/或局限性,因此在使用半導(dǎo)體工藝制造流通池的過程中出現(xiàn)了挑戰(zhàn)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供了一種形成流通池的方法,該方法包括:使用納米壓印光刻將圖案化的助粘劑壓印在第一襯底上;使用納米壓印光刻將生物介質(zhì)壓印在第一襯底上的圖案化的助粘劑上以形成第一捕獲點(diǎn)圖案;在第一襯底和第二襯底中的至少一個(gè)上形成圖案化的聚合物層;以及聚合物將第一襯底接合至第二襯底;其中,第一襯底和第二襯底中的至少一個(gè)是透明的。
[0006]優(yōu)選地,該方法還包括:在壓印生物介質(zhì)之后軟烘第一襯底。
[0007]優(yōu)選地,該方法還包括:使用納米壓印光刻將圖案化的助粘劑壓印在第二襯底上;以及使用納米壓印光刻將生物介質(zhì)壓印在第二襯底上的圖案化的助粘劑上以形成第二捕獲點(diǎn)圖案。
[0008]優(yōu)選地,該方法還包括:在壓印生物介質(zhì)之后軟烘第一襯底和第二襯底。
[0009]優(yōu)選地,第一捕獲點(diǎn)圖案和第二捕獲點(diǎn)圖案是對準(zhǔn)的。
[0010]優(yōu)選地,該方法還包括:在第二襯底中用激光鉆出一個(gè)或多個(gè)通孔。
[0011]優(yōu)選地,聚合物接合包括:使第一襯底和第二襯底對準(zhǔn);安裝第一襯底和第二襯底;以及在低于100攝氏度的溫度下烘烤第一襯底和第二襯底。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的另一方面,提供了一種形成流通池的方法,該方法包括:提供第一襯底,第一襯底具有基底、位于基底上的軟底層以及涂覆的頂層;通過壓印穿過涂覆的頂層并且停止在軟底層和涂覆的頂層的界面的下方來壓印表面化學(xué)物圖案;將第一襯底暴露于助粘劑,助粘劑選擇性地與涂覆的頂層發(fā)生反應(yīng)并且粘附至涂覆的頂層;將第一襯底暴露于生物介質(zhì),生物介質(zhì)選擇性地粘附于助粘劑;在第一襯底或第二襯底上形成圖案化的聚合物層;以及聚合物將第一襯底接合至第二襯底;其中,第一襯底和第二襯底中的至少一個(gè)是透明的。
[0013]優(yōu)選地,涂覆的頂層是旋涂玻璃(SOG)氧化物。
[0014]優(yōu)選地,軟底層是熱塑料樹脂。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的又一方面,提供了一種流通池,包括:第一襯底;第二襯底,具有通孔;圖案化的光刻膠干膜,位于第一襯底和第二襯底之間,圖案化的光刻膠干膜形成位于第一襯底和襯底之間的微流體流道的壁;以及多個(gè)圖案化的捕獲點(diǎn),位于第一襯底和第二襯底中的至少一個(gè)上的微流體流道內(nèi),多個(gè)捕獲點(diǎn)中的每個(gè)均包括圖案化的助粘劑和生物介質(zhì);其中,第一襯底和第二襯底中的至少一個(gè)是透明的。
[0016]優(yōu)選地,圖案化的助粘劑和生物介質(zhì)是共價(jià)鍵合的。
[0017]優(yōu)選地,將圖案化的捕獲點(diǎn)設(shè)置在表面化學(xué)物圖案上,并且表面化學(xué)物圖案是分別被設(shè)置在基底上方的軟底層的露出部分上的氧化硅島部。
[0018]優(yōu)選地,軟底層包括鋁、銅、鈦、它們的合金或它們的組合。
[0019]優(yōu)選地,軟底層是熱塑料樹脂。
[0020]優(yōu)選地,使多個(gè)圖案化的捕獲點(diǎn)凹進(jìn)至第一襯底內(nèi)、第二襯底內(nèi)或這兩者內(nèi)。
[0021]優(yōu)選地,第一襯底和第二襯底的厚度約為或小于1_。
[0022]優(yōu)選地,透明襯底是石英。
[0023]優(yōu)選地,多個(gè)第一圖案化的捕獲點(diǎn)位于第一襯底上,而多個(gè)第二圖案化的捕獲點(diǎn)位于第二襯底上,并且從上往下看時(shí),多個(gè)第一圖案化的捕獲點(diǎn)未與多個(gè)第二圖案化的捕獲點(diǎn)對準(zhǔn)。
[0024]優(yōu)選地,生物介質(zhì)是水凝膠。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0025]當(dāng)結(jié)合附圖進(jìn)行閱讀時(shí),根據(jù)下面詳細(xì)的描述可以更好地理解本發(fā)明。應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的是,根據(jù)工業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐,各種部件沒有被按比例繪制。實(shí)際上,為了清楚的討論,各種部件的尺寸可以被任意增大或減小。
[0026]圖1A和圖1B是根據(jù)本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例的流通池的截面圖;
[0027]圖1C是根據(jù)本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例的流通池的頂視圖;
[0028]圖2A和圖2B是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)方面的制造流通池的方法的各個(gè)實(shí)施例的流程圖;
[0029]圖3A至圖3L是根據(jù)本發(fā)明的圖2A和圖2B的方法的各個(gè)實(shí)施例的流通池的截面圖;
[0030]圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)方面的制造流通池的方法的一些實(shí)施例的流程圖;
[0031]圖5A至圖5E是根據(jù)本發(fā)明的圖4的方法的各個(gè)實(shí)施例的流通池的截面圖;以及
[0032]圖6A至圖6J是根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的流通池的截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]應(yīng)該理解,以下公開提供了多種不同實(shí)施例或?qū)嵗?,用于?shí)現(xiàn)本發(fā)明的不同特征。下文中描述了組件和布置的特定實(shí)例以簡化本發(fā)明。當(dāng)然,這些僅是實(shí)例并且不旨在限制本發(fā)明。而且,在以下描述中,在第二部件上方或上形成第一部件可以包括第一部件和第二部件直接接觸的實(shí)施例,也可以包括額外的部件可以形成在第一部件和第二部件之間使得第一部件和第二部件不直接接觸的實(shí)施例。此外,在此可使用諸如“頂部”、“前面”、“底部”以及“后面”的空間關(guān)系術(shù)語,以提供元件之間的相對關(guān)系且并不旨在暗指任何絕對的方向。為了簡明和清楚可以任意比例繪制各個(gè)部件。
[0034]流通池包括多個(gè)生物受體,這些生物受體在一個(gè)或多個(gè)圖案化的捕獲點(diǎn)中與具有不同特性的生物材料發(fā)生反應(yīng)。一種這樣的反應(yīng)是聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)(PCR),它可以在一個(gè)位點(diǎn)上乘以分子鏈個(gè)數(shù)的數(shù)量級。使用多種方法來區(qū)分用于檢測的不同的反應(yīng)物和反應(yīng)。一種常用的方法是使用熒光或磷光標(biāo)簽標(biāo)記反應(yīng),可以從外部拍攝到這種熒光或磷光標(biāo)簽放射的可檢測的光子。可以制造不同標(biāo)記以放射不同的熒光、磷光或其他可檢測和可區(qū)分的輻射??梢曰谵D(zhuǎn)換的信號來確定檢測的性質(zhì)。轉(zhuǎn)換的信號可以是光子,例如,產(chǎn)生不同波長的光以用于不同的生物材料或反應(yīng)。在對脫氧核糖核酸(DNA)測序的實(shí)例中,對于不同的DNA堿基(例如,A、G、C和T)可以放射出不同的顏色。
[0035]生物受體位于將生物材料輸送至傳感器的各個(gè)微流體流道內(nèi)。微流體流道可以是微流體系統(tǒng)的一部分,該微流體系統(tǒng)包括泵、閥門和各種測量器件,諸如,流量計(jì)、壓力傳感器和溫度傳感器。流體處理和傳感的組合可有益地成為一體。
[0036]半導(dǎo)體工藝通常包括烘烤、固化和將各種表面暴露于等離子體能量和輻射能量。在高溫(例如,約100攝氏度以上或150攝氏度以上)和/或高能條件下,這些工藝可能損害或毀壞通常是脆弱的生物分子或非常薄的表面化學(xué)物層的有機(jī)的生物受體和捕獲點(diǎn)。根據(jù)各個(gè)實(shí)施例,捕獲點(diǎn)的表面改性化學(xué)物包括助粘劑(adhesive promoter)層(例如,六甲基二硅氮烷(HMDS)或3-氨丙基三乙氧基硅烷(APTES))以及生物介質(zhì)層(例如,瓊脂或水凝膠)。在一些實(shí)施例中,可以混合助粘劑層和生物介質(zhì)層并且一起應(yīng)用于表面。通常表現(xiàn)為硅烷形式的助粘劑粘附在含硅的表面上。生物介質(zhì)層粘附于助粘劑。如果沒有助粘劑,生物介質(zhì)可能從含硅的表面上脫離。
[0037]因此,通常在所有半導(dǎo)體工藝都完成之后對粘附有生物分子的表面進(jìn)行生物功能化,從而避免它們暴露于高溫工藝。在一些設(shè)計(jì)中,微流體流道與捕獲點(diǎn)一起直接形成在襯底上,通常襯底為透明襯底(諸如,石英)或不透明襯底(諸如,硅晶圓)。流通池的至少一側(cè)是透明的從而允許對發(fā)出的輻射進(jìn)行光學(xué)感測。詞語“透明的”的使用并不旨在將本發(fā)明的襯底限制為100%透光的襯底。反之,本發(fā)明中所使用的透明的與本領(lǐng)域的通常用法一致,指的是具有足夠的透射率以獲得所得到的器件的期望的功能。
[0038]在其他設(shè)計(jì)中,微流體流道形成在微流體襯底上,該微流體襯底隨后與另一個(gè)具有捕獲點(diǎn)的襯底相接合。在微流體流道位于其中之一的襯底的情況下,微流體流道的形成(通常是在襯底中蝕刻流道或通孔)可能難以在透明襯底上制造。當(dāng)使用高溫接合工藝時(shí),為了避免損壞,要在接合工藝和形成微流體流道之后,將溫度敏感材料沉積在微流體流道的內(nèi)壁上。高濃度的材料經(jīng)過對材料具有一定親合力的微流體流道表面而流過每個(gè)流通池。然而,附在表面上的材料的密度和厚度均難以控制,并且這種工藝較緩慢并且浪費(fèi)溫度敏感材料。在一些情況下,隨著試劑的濃度從入口至出口發(fā)生改變,材料密度在整個(gè)流通池或一批流通池(不統(tǒng)一)內(nèi)發(fā)生變化。隨機(jī)的、未對準(zhǔn)的位置以及不均勻的濃度使得采用圖像處理算法對不同位點(diǎn)上的可檢測的活動(dòng)的分辨變得復(fù)雜。這些位置可以彼此覆蓋并且難以分辨。隨機(jī)性還使得不同的流通池之間難以發(fā)生關(guān)聯(lián),因?yàn)槊總€(gè)流通池都具有不同的捕獲點(diǎn)布置。
[0039]本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例關(guān)注的是晶圓級工藝以及通過避免高溫處理和/或允許對透明襯底使用捕獲點(diǎn)密集圖案而不進(jìn)行傳統(tǒng)光刻來解決這些問題中的多個(gè)問題的流通池。生物受體(例如,DNA引物)在流通池制造后附著在捕獲點(diǎn)上。使用助粘劑層和生物介質(zhì)來圖案化位點(diǎn)位置以形成捕獲點(diǎn)。密度問題以及隨機(jī)、未對準(zhǔn)的位置問題均通過迫使生物受體僅粘附在圖案化的捕獲點(diǎn)上來解決。所選擇的用于捕獲點(diǎn)的材料允許在制造流通池中使用特定的半導(dǎo)體工藝(在其他情況下不能被使用),例如,使用低溫烘烤和固化的工藝。本發(fā)明的各種方法實(shí)施例可以在半導(dǎo)體制造設(shè)備中實(shí)施。更具體地說,對諸如石英和玻璃的透明襯底上的材料的處理以及對透明襯底的蝕刻通常不與CMOS工藝的一些階段兼容,其原因在于例如對玻璃的處理可以引入對于其他CMOS工藝而言被視為污染物的顆粒。本發(fā)明的一些實(shí)施例包括當(dāng)將玻璃用作透明襯底時(shí),對玻璃不進(jìn)行處理或最小限度對玻璃進(jìn)行處理。
[0040]在某些實(shí)施例中,通過組合兩個(gè)襯底(其中至少一個(gè)是透明的)來形成本發(fā)明的流通池。圖1A至圖1C是根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的流通池100的截面圖和頂視圖。圖1A是通過圖1C的剖面線A-A’截取的流通池100的截面圖。圖1B是通過圖1C的剖面線B-B’截取的視圖。流通池100包括第一襯底101,該襯底接合至透明襯底103。第一襯底101具有微流體入口 107/109以及為流出口 109/107。微流體流道圖案表示為流道111、113和115。各種流道111、113和115均通過多個(gè)路徑相互連接,且根據(jù)流通池的設(shè)計(jì)各種流道可以是不同尺寸的。流道包括多個(gè)位于接近透明襯底103的流道底部上的或位于第一襯底101上的流道頂部(或兩者都有)的捕獲點(diǎn)117。圖1A和圖1B示出了位于流道111和113的頂部和底部上的捕獲點(diǎn)117。捕獲點(diǎn)117形成在第一襯底101和透明襯底103上。捕獲點(diǎn)117在不同的流道中可以具有不同的密度。在一些實(shí)施例中,第一襯底101和透明襯底103上的捕獲點(diǎn)117在頂視圖中是對準(zhǔn)的。在其他實(shí)施例中,第一襯底101和透明襯底103上的捕獲點(diǎn)117在頂視圖中是偏移的,從而使得光學(xué)探測器在每個(gè)位置上僅僅看到一個(gè)捕獲點(diǎn)117。
[0041]捕獲點(diǎn)具有特定的允許一些材料與其相結(jié)合的化學(xué)物質(zhì)。根據(jù)各個(gè)實(shí)施例,將其上可以接合多種生物材料的生物介質(zhì)(包括瓊脂或聚乙二醇(PEG)水凝膠)沉積在捕獲點(diǎn)上。生物介質(zhì)通過助粘劑層連接至襯底上的捕獲點(diǎn)上,該助粘劑層可以是3-氨丙基三乙氧基硅烷(APTES)或六甲基二硅氮烷(HMDS)。
[0042]接合聚合物層沉積在第一襯底101和透明襯底103之間。接合聚合物層119限定出微流體流道111、113和115,并且將相鄰接的微流體流道彼此密封隔絕。接合聚合體層119粘附在第一襯底101和透明襯底103上,并且還沿著外周密封流通池100,使得通向微流體流道111、113和115的唯一通道穿過入口 /出口 107/109。
[0043]圖2A是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)方面的制造流通池器件的方法200的一些實(shí)施例的流程圖。圖3A至圖3L是根據(jù)圖2A的方法200的一個(gè)或多個(gè)步驟構(gòu)造的部分制造的流通池器件的截面圖。
[0044]在圖2的操作202中,在第一或第二襯底中以激光鉆出通孔。其他形成通孔的技術(shù)包括各種蝕刻技術(shù)和射流鉆孔。圓柱形孔的激光鉆孔基本上通過吸收源于聚焦的激光束的能量以熔融和蒸發(fā)(也稱為“燒蝕”)襯底材料而實(shí)現(xiàn)。根據(jù)激光能量的方向,激光鉆出的通孔可以在截面上具有倒梯形形狀。在一些實(shí)施例中,通過微爆鉆孔或超聲鉆孔來形成通孔。微爆炸通過驅(qū)動(dòng)空氣或惰性氣體的高速液流來去除材料,空氣或惰性氣體包括精細(xì)研磨的粒子,其直徑通常約為0.0Olmm至0.025_。超聲鉆孔包括使用高頻振動(dòng)來一點(diǎn)點(diǎn)錘擊穿過材料。根據(jù)用來形成通孔的工藝,需要通過蝕刻或清潔將副產(chǎn)物從襯底上去除。
[0045]每個(gè)流通池形成至少兩個(gè)通孔-進(jìn)口和出口。兩個(gè)以上的通孔可以用于不同的進(jìn)口流體,或者如果流通池執(zhí)行分析物分離,則使用一個(gè)以上的出口。通孔可以形成在分開的襯底或同一襯底上。兩個(gè)通孔可以形成在同一襯底上,第一襯底或者第二襯底上。圖3A是在形成通孔之前襯底301的截面圖。圖3B是其中具有通孔303的襯底301的截面圖。
[0046]在操作204至208中,在第一襯底上形成多個(gè)第一捕獲點(diǎn)。在操作204中,納米壓印光刻(NIL)模具(stamp)將圖案化的助粘劑壓印在第一襯底上。在NIL工藝中,樣品液(也稱為墨水)在壓印動(dòng)作中轉(zhuǎn)移到平坦的目標(biāo)面上。模具可以是有機(jī)硅材料,諸如,聚二甲基硅氧烷(PDMS )、硅材料或氧化硅材料。通過模制、光刻圖案化或離子束圖案化形成島部。根據(jù)所使用的工藝,島部可以是具有較小節(jié)距的小型部件。例如,島部可以是十幾埃,其在橫向上的節(jié)距處于相同的數(shù)值范圍內(nèi)。在一些實(shí)例中,每個(gè)島部均具有約10至50埃的寬度和長度。在其他實(shí)例中,每個(gè)島部均可以具有約50至200埃的寬度和長度。島部尺寸由流通池的使用來決定。對于DNA測序而言,其中,通過光學(xué)感測儀器可檢測到較小的簇,島部可以為約20埃。如果流通池與細(xì)胞或較大的生物分子共同工作,那么可以使用較大的島部。
[0047]島部與儲液器中的液體樣品相接觸,就像模具首次接觸墨水池。一些液體樣本通過島部保留在島部表面上。然后將模具壓在襯底的表面上從而將至少一部分液體樣品從島部表面轉(zhuǎn)移到襯底表面。圖3C示出了第一襯底301和位于第一襯底301上方的NIL模具305。第一襯底301可以是石英、硅、藍(lán)寶石、碳化硅或不與分析物發(fā)生反應(yīng)的透明的或非透明的襯底。NIL模具305包括在其表面上具有助粘劑309的多個(gè)島部307。助粘劑是接合至襯底301的液態(tài)化學(xué)物質(zhì)(例如,硅烷基的或含硫基的分子),并且可以與生物介質(zhì)相接合從而將生物介質(zhì)固定在襯底上。在一些實(shí)施例中,助粘劑是HMDS或APTES。
[0048]NIL模具305與第一襯底301相接觸并且如圖3D所示那樣被提起。助粘劑309的一部分遺留下來并且在第一襯底301上形成助粘劑壓印。助粘劑壓印可以是單層。第一襯底上的圖案化的助粘劑309具有與NIL模具305上的島部307相同的圖案。助粘劑的轉(zhuǎn)移可以是不完全的,一些助粘劑材料可以保留在島部307上。另外,雖然在圖3C中助粘劑309僅僅涂在島部307上,但助粘劑309可以存在于NIL模具305中的島部307之間的凹陷區(qū)域中。然而,由于僅島部表面接觸第一襯底301,所以位于島部之間的附加的助粘劑309不影響壓印的圖案。
[0049]在圖2A的操作206中,NIL模具將生物介質(zhì)壓印在第一襯底上的圖案化的助粘劑上。助粘劑和生物介質(zhì)形成捕獲點(diǎn)。圖案化的助粘劑和位于圖案化的助粘劑上的生物介質(zhì)形成捕獲點(diǎn)圖案。用于壓印生物介質(zhì)的NIL模具可以是用于壓印助粘劑的相同的NIL模具或具有相同的島部圖案的不同的NIL模具。圖3E示出了第一襯底301和位于第一襯底301上方的NIL模具315。NIL模具315包括表面上具有生物介質(zhì)材料311的多個(gè)島部307。生物介質(zhì)材料是可接合至引物的支持介質(zhì)以在流通池中發(fā)生反應(yīng)。生物介質(zhì)可以是天然的或人造的材料。在一些實(shí)施例中,生物介質(zhì)材料是瓊脂或水凝膠,例如,聚乙二醇(PEG)水凝膠。
[0050]NIL模具315與第一襯底301相接觸且如圖3F所示那樣被提起。生物介質(zhì)311的一部分遺留在第一襯底301上的助粘劑309上。由于將生物介質(zhì)311直接壓印在助粘劑圖案309上,所以NIL模具315要仔細(xì)地與助粘劑圖案309對準(zhǔn)??梢远啻螌?shí)施生物介質(zhì)311的壓印從而增大生物介質(zhì)311層的厚度。第一襯底上的圖案化的生物介質(zhì)311具有與NIL模具315上的島部317相同的圖案。在一些實(shí)施例中,圖3C的NIL模具305和圖3E的NIL模具315由不同的材料形成但具有相同的島部圖案??梢圆煌耆D(zhuǎn)移生物介質(zhì),一些生物介質(zhì)可以保留在島部317上。另外,雖然在圖3E中生物介質(zhì)311僅僅涂在島部317上,但生物介質(zhì)311可以存在于NIL模具315的島部317之間的凹陷區(qū)域中。然而,由于僅島部表面接觸第一襯底301,所以位于島部之間的額外的生物介質(zhì)311不影響壓印的圖案。
[0051]根據(jù)用作助粘劑和用作生物介質(zhì)的具體材料,可以在相對較低的溫度下烘烤襯底從而使生物介質(zhì)和助粘劑形成共價(jià)鍵合。在一些實(shí)施例中,在40攝氏度至200攝氏度下形成共價(jià)鍵。在一些實(shí)施例中,使用用于固化的UV/Vis/IR光來輻照材料從而促進(jìn)共價(jià)鍵合。捕獲點(diǎn)包括助粘劑層和鍵合在助粘劑層上方的生物介質(zhì)層。
[0052]重新參考圖2A,在操作210中,在第一襯底或第二襯底上形成圖案化的聚合物層??梢栽谛纬刹东@點(diǎn)之前或之后形成圖案化的聚合物層。在一些實(shí)施例中,通過使用光刻膠(PR)干膜來形成聚合物層。將PR干膜應(yīng)用于襯底,第一襯底或第二襯底。然后使PR干膜暴露于用于圖案化的光線并且顯影從而去除PR干膜中未曝光的部分。在一些實(shí)施例中,取決于PR干膜的類型,去除曝光的部分。選擇用來溶解PR干膜的顯影劑以具有生物兼容性。PR膜具有低溶劑含量,由此在低于100攝氏度(例如,約在90攝氏度)的低烘烤溫度下PR膜將硬化。在低溫下,已經(jīng)形成的捕獲點(diǎn)將不會受損。圖案化的聚合物層變成微流體流道的外壁并且密封流通池。圖3G和圖3H是襯底351在形成圖案化的聚合物層353之前和之后的截面圖。圖案化的聚合物層353具有介于約10微米至幾百微米之間的厚度。例如,圖案化的聚合物層353可以為約100微米。
[0053]重新參考圖2A,除了 NIL模具形狀不同,對第二襯底進(jìn)行的操作212至216 (圖31至圖3L)與對第一襯底進(jìn)行的操作204至208 (圖3C至圖3F)相同。當(dāng)在第二襯底上形成捕獲點(diǎn)時(shí)使用操作212至216。當(dāng)在捕獲點(diǎn)之前形成圖案化的聚合物層時(shí),對NIL模具進(jìn)行適當(dāng)塑形以插入到聚合物圖案之間。根據(jù)一些實(shí)施例,使用聚合物層圖案來對準(zhǔn)NIL模具。參考圖31,具有流道基底356、島部357以及助粘劑359的NIL模具355插入到聚合物圖案353之間從而將助粘劑359壓印到第二襯底351上。在一些實(shí)施例中,流道基座356具有一個(gè)成角度的側(cè)面或兩個(gè)成角度的側(cè)面,從而形成梯形形狀以在壓印過程中將NIL模具355與微流體流道對準(zhǔn)。在圖3J中,NIL模具355從第二襯底351上提起,將圖案化的助粘劑359遺留在第二襯底351上。在圖3K中,NIL模具365將生物介質(zhì)361壓印在助粘劑359上。在圖3L中,NIL模具365從第二襯底351上提起,留下生物介質(zhì)361。操作216與操作208相同,并且如果通過軟烘操作接合捕獲點(diǎn)中的材料時(shí),則可以使用該操作。在所示的實(shí)施例中,圖案化的聚合物層形成在第一和第二襯底上。在其他實(shí)施例中,圖案化的聚合物層可以僅形成在第一和第二襯底中的一個(gè)上,并且隨后與第二和第一襯底中的另一個(gè)相接合。
[0054]重新參考圖2A,在操作218中,第一襯底和第二襯底通過第一襯底或第二襯底上的圖案化的聚合物層進(jìn)行接合。在一些實(shí)施例中,圖案化的聚合物層以非重疊或重疊的方式形成在第一襯底和第二襯底兩者上。重疊的實(shí)施例可以用于增大微流體流道的高度。圖2B是示出了操作218的更多細(xì)節(jié)的工藝流程圖。在操作220中,第一襯底和第二襯底是對準(zhǔn)的??梢酝ㄟ^第一襯底和第二襯底上的對準(zhǔn)標(biāo)記來實(shí)施對準(zhǔn)。如果使用對準(zhǔn)標(biāo)記,該對準(zhǔn)標(biāo)記則設(shè)置在襯底中位于流通池外側(cè)的區(qū)域上。對準(zhǔn)標(biāo)記可以設(shè)置在劃線區(qū)域中,該劃線區(qū)域?qū)⒃趯⒔雍系囊r底切塊時(shí)隨后被去除。對準(zhǔn)標(biāo)記也可以是流通池的一部分。例如,可以使用圖案化的聚合物層作為對準(zhǔn)標(biāo)記來實(shí)施對準(zhǔn)。
[0055]在操作222中,安裝第一襯底和第二襯底。在一些實(shí)施例中,當(dāng)定位傳感器可以使用位于非透明襯底上的并且可透過透明襯底探測到的部件時(shí),將透明的襯底安裝在非透明的襯底上。在安裝襯底之后,在操作224中,在低于100攝氏度的溫度下烘烤第一襯底和第二襯底,在烘烤過程中可以具有或不具有向下的壓力。除了烘烤之外,可以應(yīng)用紫外(UV)線代替烘烤來促進(jìn)聚合物層與襯底的接合。一旦接合,圖案化的聚合物層形成接合的襯底的密封件。接合操作可以包括烘烤、機(jī)械壓力應(yīng)用以及UV光線中的一個(gè)或多個(gè)。在某些實(shí)施例中,UV光線可以是圖案化的,由此將這種應(yīng)用指向聚合物層的區(qū)域而不指向捕獲點(diǎn)。用來形成圖案化的聚合物層的光刻掩??梢杂脕韴D案化UV光線。
[0056]在接合操作之后,將任意的背面膠帶或承載裝置(handling apparatus)從接合的襯底上去除。在一個(gè)實(shí)施例中,UV膠帶應(yīng)用于一個(gè)襯底上從而有助于承載。將襯底和聚合物相接合的UV光線也可以降解膠帶上的粘合劑從而使其容易地去除。在接合操作之后,可以將襯底切塊或單一化從而形成如圖1A至圖1C中所示的單個(gè)的流通池。可以在切割之前或之后去除膠帶。由此形成的流通池具有圖案化的捕獲點(diǎn),這些捕獲點(diǎn)具有小尺寸和高密度從而能夠在諸如DNA測序的生物反應(yīng)過程中捕獲更多信息。縮短了對目標(biāo)進(jìn)行測序的時(shí)間。NIL壓印工藝允許在形成捕獲點(diǎn)之前將圖案化的聚合物層形成在襯底上,從而降低了用于PR干膜的光刻工藝中的用作顯影劑的化學(xué)物質(zhì)或其他部分對捕獲點(diǎn)上的化學(xué)物質(zhì)造成影響的可能性。另外避免了使用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)在蝕刻的缺角(divot)中形成捕獲點(diǎn)的潛在的損害性操作。這個(gè)方法還允許在半導(dǎo)體制造中使用透明的襯底,而不存在由于蝕刻玻璃或石英襯底引起的污染問題。
[0057]本發(fā)明還涉及了使用INL工藝在襯底上形成捕獲點(diǎn)的可選的方法。圖4是形成捕獲點(diǎn)的方法400的流程圖。圖5A至圖5E中的截面圖與方法400中的各個(gè)操作相應(yīng)。在操作402中,提供了具有基底、基底上的軟底層以及涂覆的頂層的襯底。
[0058]圖5A是包括基底501、軟底層503和涂覆的頂層505的襯底500的截面圖。基底501可以是透明的襯底或非透明的襯底。軟底層503比NIL模具柔軟并且允許NIL模具令軟底層503變形。軟底層503可以是熱塑料樹脂或金屬層。金屬層可以包括鋁、銅、鈦和它們的合金中的一種或多種。軟底層503具有介于約3微米至約10微米之間的厚度。軟底層503可以使用包括物理汽相沉積(PVD)、化學(xué)汽相沉積(CVD)或旋涂工藝的半導(dǎo)體沉積工藝沉積在襯底501上。涂覆的頂層505是厚度介于約1000埃至約5000埃之間的氧化硅。涂覆的頂層505可以是使用旋涂工藝沉積的旋涂玻璃(SOG)。SOG可以部分固化或完全固化并且是薄而軟的,從而允許NIL模具穿透。
[0059]在圖4的操作404中,通過使NIL模具壓印穿過涂覆的頂層并且停止在軟底層和涂覆頂層的界面之下來形成表面化學(xué)物圖案。圖5B包括NIL模具507。在壓印的工藝中,NIL模具507穿透涂覆的頂層505,在軟底層503中形成凹痕,并且在不到達(dá)基底501的情況下停止。NIL模具507可以是可以圖案化以形成穿孔部件509的硅材料、氧化硅材料、藍(lán)寶石或其他硬質(zhì)材料。通過光刻圖案化或離子束圖案化來形成穿孔部件509。根據(jù)所使用的工藝,穿孔部件509可以是小型的并且具有小節(jié)距。例如,穿孔部件509可以是十幾埃,其在橫向上的節(jié)距處于相同的數(shù)值范圍內(nèi)。在一些實(shí)例中,每個(gè)穿孔部件509都可以具有約10至50埃的寬度和長度。在其他實(shí)例中,每個(gè)穿孔部件509都可以具有約50至200埃的寬度和長度。穿孔部件節(jié)距尺寸由使用的流通池來決定。對于DNA測序而言,其中,可以通過光學(xué)感測儀器探測到較小的簇,穿孔部件可以為約40埃。如果流通池與細(xì)胞或大型的生物分子共同工作,那么可以使用較大的節(jié)距。穿孔部件509的厚度由涂覆的頂層505和軟底層503的厚度來決定。由于壓印被設(shè)計(jì)成在到達(dá)基層501之前停止,所以穿孔部件厚度小于涂覆的頂層505和軟底層503的厚度之和。
[0060]可以對穿孔部件509表面進(jìn)行表面處理從而增大其硬度并且確保其在壓印操作過程中不與襯底500上的材料相接合。例如,可以使用約200至460攝氏度下的附加的烘烤操作或UV固化來硬化穿孔部件??稍趬河〔僮髦笄鍧嵰r底500從而確保不會有氧化硅材料余留在開口 511的底部。將檢查NIL模具507并且如果需要的話將其更換從而確保壓印操作過程中的機(jī)械完整性。
[0061]如圖5C所示,將NIL模具507提起,在涂覆的頂層505和軟底層503中的襯底500中留下開口 511。涂覆的頂層505的剩余部分是表面化學(xué)物圖案。在后續(xù)的操作中捕獲點(diǎn)形成在表面化學(xué)物圖案上。因此,穿孔部件的尺寸并不限定捕獲點(diǎn)的尺寸,而是穿孔部件之間間距的尺寸限定了捕獲點(diǎn)的尺寸。
[0062]參考圖4,在操作406中,將襯底暴露于僅與涂覆頂層發(fā)生反應(yīng)并且粘附其上的助粘劑。根據(jù)各個(gè)實(shí)施例,軟底層不與助粘劑形成接合。在一些實(shí)施例中,選擇軟底層從而不會被助粘劑浸潤??赏ㄟ^旋涂和沖洗工藝將襯底暴露于助粘劑。助粘劑選擇性地粘附在含硅的表面,尤其是含有氧化硅的圖案化的涂覆頂層上。軟底層覆蓋和保護(hù)下面的基底使其不受到助粘劑的損害。然后,在操作408中,將襯底暴露于僅粘附于助粘劑的生物介質(zhì)。涂覆頂層的每個(gè)圖案化的部件均變成具有助粘劑層和其上的生物介質(zhì)的捕獲點(diǎn)。
[0063]圖是襯底500在助粘劑513粘附在圖案化的涂覆頂層之后的截面圖。如圖所示,助粘劑513粘附在圖案化的涂覆頂層的頂部和側(cè)面,該圖案化的涂覆頂層是位于軟底層的露出部分上方的氧化硅島部。捕獲點(diǎn)是三維的,諸如箱型或圓柱型。在一些實(shí)施例中,捕獲點(diǎn)具有頂面和四個(gè)側(cè)壁。在其他實(shí)施例中,捕獲點(diǎn)具有頂面和環(huán)形側(cè)壁。與僅具有一個(gè)頂面的二維捕獲點(diǎn)相比,三維的形狀允許將更多表面區(qū)域用作捕獲點(diǎn)。
[0064]在操作410中,軟烘襯底從而使生物介質(zhì)和圖案化的助粘劑形成共價(jià)鍵合。操作410與圖2A中的操作208相同。在操作410之后,捕獲點(diǎn)形成在襯底上。圖4的方法400可以用來在一塊或多塊襯底上制備捕獲點(diǎn)。圖5E是流通池550的截面圖。流通池550包括兩個(gè)基底551和553,兩者均具有捕獲點(diǎn)555?;?51、軟底層561和捕獲點(diǎn)555是第一襯底?;?53、軟底層561和捕獲點(diǎn)555第二襯底。每個(gè)捕獲點(diǎn)555均包括由涂覆頂層形成的氧化硅島部,該涂覆頂層位于由壓印操作形成的軟底層561的露出的部分上方。
[0065]基底553包括通孔557,可以在沉積軟底層之后以及可選擇地沉積涂覆頂層之后形成該通孔。盡管僅僅示出了一個(gè)通孔557,但其中形成有兩個(gè)或更多通孔的實(shí)施例是可預(yù)期的。圖案化的聚合物層559設(shè)置在第一襯底和第二襯底之間并且限定出微流體流道壁。圖2A和圖2B的操作218中的聚合物接合工藝用于附著圖案化的聚合物層。雖然圖5E示出了設(shè)置在兩個(gè)軟底層561之間的圖案化的聚合物層,但其他實(shí)施例可以包括直接接觸基底551和553的圖案化聚合物層。
[0066]在一些實(shí)施例中,在襯底接合之后形成捕獲點(diǎn)。在圖4的壓印操作404之后,使用圖案化的聚合物層來接合襯底。然后,通過流過助粘劑層和/或生物介質(zhì)來完成捕獲點(diǎn)。由于暴露的涂覆頂層選擇性地與助粘劑材料相接合,可使助粘劑流經(jīng)微流體流道并將其沖洗,隨后,可使生物介質(zhì)材料流經(jīng)微流體流道并將其沖洗。該可選的實(shí)施例具有不會令捕獲點(diǎn)的化學(xué)物質(zhì)暴露于任何高溫的優(yōu)點(diǎn);然而,捕獲點(diǎn)上的不同層的厚度難以控制。
[0067]根據(jù)一些實(shí)施例,流通池可以包括如圖6A至圖6J所示的凹進(jìn)的捕獲點(diǎn)。在圖6A中,提供了透明的襯底601和承載裝置603。承載裝置(不透明層)可以是膠帶/聚合物或通過PVD/CVD沉積的多層膜,或者是與透明襯底601相接合的另一個(gè)襯底。在圖6B中,襯底上形成了數(shù)個(gè)凹槽605。在一些實(shí)例中,通過圖案化并且蝕刻透明襯底601來形成凹槽605。在圖6C中,在凹槽中形成捕獲點(diǎn)607。在一些實(shí)施例中,通過對助粘劑和生物介質(zhì)順序進(jìn)行NIL壓印來形成捕獲點(diǎn)607。在其他實(shí)施例中,通過對助粘劑和生物介質(zhì)的混合物進(jìn)行組合NIL壓印來形成捕獲點(diǎn)。在另外的其他實(shí)施例中,通過連續(xù)地沉積助粘劑和生物介質(zhì)以及通過CMP去除不在凹槽中的部分來形成捕獲點(diǎn)607。在圖6D中,根據(jù)之前描述的圖2A的操作210,在透明襯底601上形成圖案化的聚合物層609。
[0068]在圖6E中,提供了第二襯底611。第二襯底611可以是透明的或非透明的。在圖6F中,以與在第一襯底601中形成凹槽605類似的工藝在第二襯底611中形成凹槽613。在圖6G中,以與圖2A的操作202所述的類似的工藝在第二襯底611中形成一個(gè)或多個(gè)通孔615。在圖6H中,以與在第一襯底中形成捕獲點(diǎn)607類似的工藝在第二襯底611中形成捕獲點(diǎn)617。
[0069]在圖61中,根據(jù)圖2A的操作218所描述的聚合物接合工藝接合圖6D和圖6H中的兩個(gè)襯底。在圖6J中,從圖61的流通池中去除承載裝置603。
[0070]根據(jù)各個(gè)實(shí)施例,流通池中的捕獲點(diǎn)可以具有相對平坦的表面(圖1A至圖1C)、突出的三維(3-D)結(jié)構(gòu)(圖5E)或凹進(jìn)的結(jié)構(gòu)(圖6J)??梢允褂盟枋龅腘IL壓印工藝來制造各個(gè)捕獲點(diǎn)結(jié)構(gòu)。在一個(gè)流通池中,位于一側(cè)的捕獲點(diǎn)可以具有與位于另一側(cè)的捕獲點(diǎn)不同的結(jié)構(gòu)。例如,在一些實(shí)施例中,流通池的一側(cè)可以具有突出的3-D捕獲點(diǎn),而相對側(cè)可以具有凹進(jìn)的捕獲點(diǎn)。對捕獲點(diǎn)的設(shè)計(jì)的考慮其中包括微流體流道中的預(yù)期的流速、生物樣品的尺寸、流通池中的預(yù)期反應(yīng)的性質(zhì)、最大化表面區(qū)域或分離各簇的重要性以及制造費(fèi)用。
[0071]本發(fā)明的一方面涉及了一種流通池的制造方法,該方法包括:使用納米壓印光刻將圖案化的助粘劑壓印在第一襯底上;使用納米壓印光刻將生物介質(zhì)壓印在第一襯底上的圖案化的助粘劑上從而形成第一捕獲點(diǎn)圖案;在第一襯底或第二襯底上形成圖案化的聚合物層;以及聚合物將第一襯底接合至第二襯底。第一襯底或第二襯底或兩個(gè)襯底均是透明的。該方法還包括在壓印生物介質(zhì)之后軟烘第一襯底從而使生物介質(zhì)和圖案化的助粘劑形成共價(jià)鍵合。在一些實(shí)施例中,該方法還包括使用納米壓印光刻將圖案化的助粘劑壓印在第二襯底上以及使用納米壓印光刻將生物介質(zhì)壓印在第二襯底上的圖案化的助粘劑上從而形成第二捕獲點(diǎn)圖案。在頂視圖中第一捕獲點(diǎn)圖案和第二捕獲點(diǎn)圖案可以是對準(zhǔn)的。在一些實(shí)施例中,該方法還包括在第二襯底中用激光鉆出一個(gè)或多個(gè)通孔。聚合物接合操作可以包括使第一襯底和第二襯底對準(zhǔn),安裝第一襯底和第二襯底,以及在低于100攝氏度的溫度下烘烤第一襯底和第二襯底。
[0072]本發(fā)明的另一個(gè)方面涉及了一種制造流通池的方法。該方法包括:提供具有基底、位于基底上的軟底層以及涂覆的頂層的第一襯底;通過壓印穿過涂覆頂層并且在軟底層和涂覆頂層的界面以下停止來壓印表面化學(xué)物圖案;將第一襯底暴露于助粘劑;將第一襯底暴露于生物介質(zhì);在第一襯底或第二襯底上形成圖案化的聚合物層;以及聚合物將第一襯底接合至第二襯底。助粘劑僅與涂覆的頂層發(fā)生反應(yīng)并且粘附其上,而生物介質(zhì)僅粘附于助粘劑。第一襯底或第二襯底或兩個(gè)襯底均為透明的。在一些實(shí)施例中,涂覆的頂層是旋涂玻璃(SOG)氧化物。在一些實(shí)施例中,軟底層是熱塑料樹脂。
[0073]本發(fā)明還涉及了一種具有透明襯底以及可以是透明的或不透明的底部襯底的流通池。襯底之一具有通孔。該流通池還包括位于第一襯底和第二襯底之間的圖案化的光刻膠干膜。圖案化的聚合物層形成位于第一襯底和第二襯底之間的微流體流道的壁面。多個(gè)圖案化的捕獲點(diǎn)位于第一襯底、第二襯底或這兩者上的微流體流道內(nèi)。多個(gè)捕獲點(diǎn)分別包括圖案化的助粘劑和生物介質(zhì)。圖案化的助粘劑和生物介質(zhì)可以形成共價(jià)鍵合。圖案化的捕獲點(diǎn)可以設(shè)置在表面化學(xué)物圖案上,該表面化學(xué)物圖案具有分別設(shè)置在基底上方的軟底層中的露出部分上的氧化硅島部。軟底層可以是鋁、銅、鈦、它們的合金、它們的組合,或熱塑料樹脂??墒苟鄠€(gè)圖案化的捕獲點(diǎn)凹進(jìn)至第一襯底、第二襯底或這兩者中,直接形成在第一襯底、第二襯底或這兩者的平坦的表面上。第一襯底和第二襯底可以約為或小于Imm厚并且可以由石英形成。生物介質(zhì)是水凝膠。
[0074]在描述這些實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)時(shí),本發(fā)明可以提供若干優(yōu)于現(xiàn)有技術(shù)裝置的優(yōu)點(diǎn)。在討論實(shí)施例所涵蓋的優(yōu)點(diǎn)或益處時(shí),應(yīng)該注意這些益處和/或結(jié)果可能存在于一些實(shí)施例中,但并不是在每個(gè)實(shí)施例中均是必要的。另外,應(yīng)該理解,在此所公開的不同的實(shí)施例提供了不同的特征和優(yōu)點(diǎn),并且可以在不背離本發(fā)明的精神和范圍的情況下,做出多種改變、替換和變化。
【權(quán)利要求】
1.一種形成流通池的方法,所述方法包括: 使用納米壓印光刻將圖案化的助粘劑壓印在第一襯底上; 使用納米壓印光刻將生物介質(zhì)壓印在所述第一襯底上的所述圖案化的助粘劑上以形成第一捕獲點(diǎn)圖案; 在所述第一襯底和第二襯底中的至少一個(gè)上形成圖案化的聚合物層;以及 聚合物將所述第一襯底接合至所述第二襯底; 其中,所述第一襯底和所述第二襯底中的至少一個(gè)是透明的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,還包括: 在壓印所述生物介質(zhì)之后軟烘所述第一襯底。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,還包括: 使用納米壓印光刻將圖案化的助粘劑壓印在所述第二襯底上;以及使用納米壓印光刻將生物介質(zhì)壓印在所述第二襯底上的所述圖案化的助粘劑上以形成第二捕獲點(diǎn)圖案。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,還包括: 在壓印所述生物介質(zhì)之后軟烘所述第一襯底和所述第二襯底。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其中,所述第一捕獲點(diǎn)圖案和所述第二捕獲點(diǎn)圖案是對準(zhǔn)的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,還包括: 在所述第二襯底中用激光鉆出一個(gè)或多個(gè)通孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述聚合物接合包括: 使所述第一襯底和所述第二襯底對準(zhǔn); 安裝所述第一襯底和所述第二襯底;以及 在低于100攝氏度的溫度下烘烤所述第一襯底和所述第二襯底。
8.一種形成流通池的方法,所述方法包括: 提供第一襯底,所述第一襯底具有基底、位于所述基底上的軟底層以及涂覆的頂層;通過壓印穿過所述涂覆的頂層并且停止在所述軟底層和所述涂覆的頂層的界面的下方來壓印表面化學(xué)物圖案; 將所述第一襯底暴露于助粘劑,所述助粘劑選擇性地與所述涂覆的頂層發(fā)生反應(yīng)并且粘附至所述涂覆的頂層; 將所述第一襯底暴露于生物介質(zhì),所述生物介質(zhì)選擇性地粘附于所述助粘劑; 在所述第一襯底或第二襯底上形成圖案化的聚合物層;以及 聚合物將所述第一襯底接合至所述第二襯底; 其中,所述第一襯底和所述第二襯底中的至少一個(gè)是透明的。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,其中,所述涂覆的頂層是旋涂玻璃(SOG)氧化物。
10.一種流通池,包括: 第一襯底; 第二襯底,具有通孔; 圖案化的光刻膠干膜,位于所述第一襯底和所述第二襯底之間,所述圖案化的光刻膠干膜形成位于所述第一襯底和所述襯底之間的微流體流道的壁;以及 多個(gè)圖案化的捕獲點(diǎn),位于所述第一襯底和所述第二襯底中的至少一個(gè)上的微流體流道內(nèi),所述多個(gè)捕獲點(diǎn)中的每個(gè)均包括圖案化的助粘劑和生物介質(zhì); 其中,所述第一襯底和所述第二襯底中的至少一個(gè)是透明的。
【文檔編號】G01N21/05GK104515737SQ201310689189
【公開日】2015年4月15日 申請日期:2013年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月27日
【發(fā)明者】蔡尚穎, 洪麗閔, 彭榮輝 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司