一種x射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法
【專利摘要】一種X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，包括以下步驟：（1）首先調(diào)整雙鏡鏡筒，將第一X射線組合折射透鏡移入光路，讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一X射線組合折射透鏡的入射口徑處；接著，從第一X射線組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)分析，得到初步檢測(cè)分析結(jié)果；（2）經(jīng)步驟（1）得到初級(jí)檢測(cè)分析結(jié)果；（3）調(diào)整雙鏡鏡筒，將第一X射線組合折射透鏡移出光路，同時(shí)將一個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移入光路，重復(fù)步驟（1）針對(duì)第一X射線組合折射透鏡的操作，得到二級(jí)檢測(cè)結(jié)果。本發(fā)明獲得高微區(qū)分辨率的同時(shí)、分辨率在線調(diào)節(jié)。
【專利說明】ー種X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及X射線探測(cè)和成像領(lǐng)域，尤其是ー種X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的探測(cè)分析方法。
【背景技術(shù)】
[0002]自從1895年倫琴發(fā)現(xiàn)X射線以來，X射線所具有的獨(dú)特的特性就使得它在醫(yī)學(xué)和エ業(yè)探傷領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。X射線所具有的獨(dú)特的特性是指:x射線輻射光子能量越高，波長就越短，而其相應(yīng)的X射線診斷系統(tǒng)的分辨率就越高；同時(shí)X射線所具有的大穿透深度，可以無損地觀測(cè)各種樣本的不透明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。近年來，隨著X射線輻射源和X射線光學(xué)元器件的發(fā)展，X射線探測(cè)和成像技術(shù)向著更高的分辨率和更好的無損性的方向發(fā)展，比如，用于樣本中元素分布測(cè)量的X射線熒光微層析實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)(C.u Schroer, Reconstructing x-ray fluorescence microtomograms, App1.Phys.Lett.，79 (2001): 1912-1914)，以及用于單細(xì)胞檢測(cè)的X射線實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)(S.Bohic, etal.，ynchrontron hard x-ray microprobe: Fluorescence imaging 01 singlecells, App1.Phys.Lett.，78 (2001): 3544-3546)等。X射線探測(cè)和成像裝置主要包括X射線顯微鏡、X射線微探針、X射線衍射儀、X射線散射儀、X射線反射儀、X射線層析術(shù)、X射線投影光刻裝置等等。要進(jìn)ー步提高上述探測(cè)和成像系統(tǒng)的分辨率，使其達(dá)到微米、亞微米甚至納米量級(jí)，能實(shí)現(xiàn)亞微米甚至納米量級(jí)X射線探測(cè)聚焦微束的光學(xué)結(jié)構(gòu)是核心技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服已有X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的探測(cè)分析技術(shù)的微區(qū)分辨率較低、分辨率不能在線調(diào)節(jié)、不能實(shí)現(xiàn)分級(jí)檢測(cè)的不足，本發(fā)明提供ー種獲得高微區(qū)分辨率的同時(shí)、分辨率在線調(diào)節(jié)的X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0005]ー種X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，實(shí)現(xiàn)該方法的雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件包括雙鏡鏡筒、X射線跨接式組合折射透鏡和第一 X射線組合折射透鏡，所述X射線跨接式組合折射透鏡包括第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡，所述第二 X射線組合折射透鏡與所述第一 X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑，所述第二 X射線組合折射透鏡出射端與所述第三X射線組合折射透鏡的入射端連接；所述X射線跨接式組合折射透鏡、第一 X射線組合折射透鏡位于所述雙鏡鏡筒內(nèi)，所述X射線跨接式組合折射透鏡的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸平行，所述X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比第一 X射線組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸?。凰鲭p鏡式探測(cè)分析方法包括以下步驟:[0006]( I)首先調(diào)整雙鏡鏡筒，將所述第一 X射線組合折射透鏡移入光路，使得X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸重合，讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一 X射線組合折射透鏡的入射口徑處；
[0007]接著，從所述第一 X射線組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)分析，得到初步檢測(cè)分析結(jié)果；
[0008](2)經(jīng)步驟(I)得到初級(jí)檢測(cè)分析結(jié)果，判斷是否需要對(duì)目標(biāo)進(jìn)行精細(xì)結(jié)構(gòu)的探測(cè)分析，如果需要，進(jìn)入步驟(3)；
[0009](3)調(diào)整雙鏡鏡筒，將所述第一 X射線組合折射透鏡移出光路，同時(shí)將ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移入光路，使得X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與X射線跨接式組合折射透鏡的光軸重合，讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到X射線跨接式組合折射透鏡的入射口徑處；
[0010]接著，從所述X射線跨接式組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)分析，得到ニ級(jí)檢測(cè)結(jié)果。
[0011]進(jìn)ー步，所述雙鏡鏡筒內(nèi)安裝至少兩個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡和I個(gè)第一 X射線組合折射透鏡，至少兩個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸由大到小分級(jí)；所述雙鏡式探測(cè)分析方法還包括以下步驟:
[0012](4)經(jīng)步驟(3)得到ニ級(jí)檢測(cè)結(jié)果，對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析，判斷是否需要調(diào)整不同的探測(cè)分辨率，對(duì)被檢目標(biāo)進(jìn)行進(jìn)ー步的分析，如果需要，進(jìn)入步驟(5)；
[0013](5)調(diào)整雙鏡鏡筒，另ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸小，將所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移出光路，同時(shí)將所述另ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移入光路，重復(fù)步驟(3)針對(duì)所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的操作，得到三級(jí)檢測(cè)結(jié)果；
[0014](6)依次類推逐級(jí)增加探測(cè)分辨率，直到檢測(cè)得到針對(duì)被檢目標(biāo)的滿意的檢測(cè)結(jié)果。
[0015]所述步驟(I)中，對(duì)于X射線熒光分析系統(tǒng)而言，所述第一 X射線組合折射透鏡對(duì)X射線光管發(fā)射的X射線光束聚焦，形成探測(cè)光斑對(duì)被檢樣品進(jìn)行分析。
[0016]所述步驟(I)中，對(duì)于X射線顯微系統(tǒng)而言，須將被檢目標(biāo)放置在X射線光管與X射線組合折射透鏡之間，利用所述第一 X射線組合折射透鏡的光學(xué)原理進(jìn)行顯微放大。
[0017]所述雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件還包括雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述雙鏡鏡筒安裝在用以將X射線跨接式組合折射透鏡或第一 X射線組合折射透鏡移出或移入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)光路的機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)上；所述步驟(3)中，移出移入動(dòng)作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定。
[0018]本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思為-X射線組合折射透鏡是ー種基于折射效應(yīng)的新型X射線聚焦器件，其理論聚焦光斑尺寸可達(dá)納米量級(jí)，實(shí)際測(cè)試所得聚焦光斑尺寸通常在幾個(gè)微米，并具有尺寸小、制作エ藝簡單、魯棒性好、可批量加工的優(yōu)點(diǎn)，適合高探測(cè)分辨率的X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)；其次，X射線組合折射透鏡覆蓋的光子能量非常寬，因此基于它構(gòu)架X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)，適用于多種應(yīng)用場(chǎng)合；最后由于其基于折射效應(yīng)，因此在對(duì)X射線束聚焦時(shí)不需要折轉(zhuǎn)光路，因此所形成的探測(cè)裝置結(jié)構(gòu)緊湊、尺寸小、重量輕。
[0019]本發(fā)明的有益效果主要表現(xiàn)在:1、采用X射線組合折射透鏡作為聚焦和成像器件，本身就可以達(dá)到更高的探測(cè)分辨率，再與X射線跨接式組合折射透鏡相結(jié)合，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)被檢目標(biāo)的更高精度的精細(xì)結(jié)構(gòu)分析；2、通過發(fā)明雙鏡式光學(xué)結(jié)構(gòu)，X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢目標(biāo)宏觀和細(xì)節(jié)同時(shí)檢測(cè)的目的；3、實(shí)現(xiàn)了探測(cè)分辨率在線實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)；4、探測(cè)雙鏡基于折射效應(yīng)工作，在對(duì)X射線束聚焦時(shí)不需要折轉(zhuǎn)光路，因此所形成的探測(cè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、尺寸小、重量輕。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1-1是本發(fā)明一種用于X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件的正視圖，其中，I是X射線組合折射透鏡，2是X射線跨接式組合折射透鏡，3是雙鏡鏡筒，4是雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)。
[0021]圖1-2是本發(fā)明一種用于X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件的俯視圖。
[0022]圖2是X射線跨接式組合折射透鏡的示意圖。
[0023]圖3是本發(fā)明一種基于雙鏡式探測(cè)光學(xué)結(jié)構(gòu)的X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的示意圖，其中，5是X射線光管，6是X射線探測(cè)器。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)ー步描述。
[0025]參照?qǐng)D1?圖3，ー種X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，實(shí)現(xiàn)該方法的雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件包括雙鏡鏡筒3、X射線跨接式組合折射透鏡2和第一 X射線組合折射透鏡1，所述X射線跨接式組合折射透鏡2包括第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡，所述第二 X射線組合折射透鏡與所述第一 X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑，所述第二X射線組合折射透鏡出射端與所述第三X射線組合折射透鏡的入射端連接；所述X射線跨接式組合折射透鏡2、第一 X射線組合折射透鏡I位于所述雙鏡鏡筒3內(nèi)，所述X射線跨接式組合折射透鏡2的光軸與第一 X射線組合折射透鏡I的光軸平行，所述X射線跨接式組合折射透鏡2的聚焦光斑尺寸比第一 X射線組合折射透鏡I的聚焦光斑尺寸?。凰鲭p鏡式探測(cè)分析方法，包括以下步驟:
[0026]( I)從X射線光管5發(fā)出的X射線光有比較大的發(fā)散角，因此首先調(diào)整雙鏡鏡筒，將所述第一 X射線組合折射透鏡I移入光路，使得X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與第一 X射線組合折射透鏡I的光軸重合，讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一 X射線組合折射透鏡I的入射口徑處。從所述第一X射線組合折射透鏡I出射的X射線光束傳輸入X射線探測(cè)器6進(jìn)行探測(cè)分析。對(duì)于X射線熒光分析系統(tǒng)而言，第一 X射線組合折射透鏡I對(duì)X射線光管5發(fā)射的X射線光束聚焦，形成探測(cè)光斑對(duì)被檢樣品進(jìn)行分析；對(duì)于X射線顯微系統(tǒng)而言，須將被檢目標(biāo)放置在X射線光管5與第一 X射線組合折射透鏡I之間，利用X射線組合折射透鏡的光學(xué)原理進(jìn)行顯微放大。
[0027](2)經(jīng)步驟(I)得到初級(jí)檢測(cè)分析結(jié)果，判斷是否需要對(duì)目標(biāo)進(jìn)行精細(xì)結(jié)構(gòu)的探測(cè)分析，如果需要，進(jìn)入步驟(3)。
[0028](3)調(diào)整雙鏡鏡筒3，將所述第一 X射線組合折射透鏡I移出光路，同時(shí)將所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡2移入光路，移出移入動(dòng)作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定，重復(fù)步驟(I)針對(duì)所述第一 X射線組合折射透鏡I的操作。
[0029](4)經(jīng)步驟(3)得到ニ級(jí)檢測(cè)結(jié)果，對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析，判斷是否需要調(diào)整不同的探測(cè)分辨率，對(duì)被檢目標(biāo)進(jìn)行進(jìn)ー步的分析，如果需要，進(jìn)入步驟(5)。
[0030](5)調(diào)整雙鏡鏡筒3，將所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡2移出光路，同時(shí)將所述另ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移入光路，移出移入動(dòng)作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定，重復(fù)步驟(I)針對(duì)所述X射線組合折射透鏡的操作，直到利用不同的探測(cè)分辨率檢測(cè)得到針對(duì)被檢目標(biāo)的滿意的檢測(cè)結(jié)果。
[0031]所述探測(cè)分析過程，需要使用標(biāo)準(zhǔn)X射線信號(hào)和信息處理系統(tǒng)進(jìn)行分析處理。
[0032]所述ー種用于X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)光學(xué)結(jié)構(gòu)，沿光軸方向可以進(jìn)行調(diào)節(jié)，形成多種物象關(guān)系，以適應(yīng)對(duì)被檢目標(biāo)不同區(qū)域的探測(cè)和成像。
[0033]所述雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件還包括雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4，所述雙鏡鏡筒3安裝在用以將X射線跨接式組合折射透鏡2或第一 X射線組合折射透鏡I移出或移入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)光路的機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4上。
[0034]進(jìn)ー步，所述第二 X射線組合折射透鏡出射端制作有微結(jié)構(gòu)連接銷，所述第三X射線組合折射透鏡的入射口徑與所述第二X射線組合折射透鏡的出射口徑匹配，所述第三X射線組合折射透鏡的入射端制作有與所述微結(jié)構(gòu)連接銷適配的銷孔，以便于將所述第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡接續(xù)起來。
[0035]再進(jìn)ー步，所述雙鏡鏡筒3內(nèi)安裝至少兩個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡2和ー個(gè)第一 X射線組合折射透鏡I。例如可以配置為ー個(gè)第一 X射線組合折射透鏡I和三個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡2，三個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡2的聚焦光斑尺寸處于不同等級(jí)，當(dāng)然，也可以采用其他組合。至少兩個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡2的聚焦光斑尺寸由大到小分級(jí)。
[0036]更進(jìn)一歩，至少兩個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡和ー個(gè)第一 X射線組合折射透鏡的光軸位于所述雙鏡鏡筒3的同心圓上，所述機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4與雙鏡鏡筒3的中心軸聯(lián)動(dòng)。由于X射線跨接式組合折射透鏡和第一 X射線組合折射透鏡位于同心圓上，通過轉(zhuǎn)動(dòng)，可以調(diào)節(jié)相互的位置，通過雙鏡鏡筒將X射線跨接式組合折射透鏡或第一 X射線組合折射透鏡雙鏡移出或移入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)光路；當(dāng)然，也可以采用其他的調(diào)節(jié)方式。
[0037]本實(shí)施例中，采用第一 X射線組合折射透鏡I和X射線跨接式組合折射透鏡2組成雙鏡，所述第一 X射線組合折射透鏡I作為初級(jí)X射線聚焦和成像器件，對(duì)從X射線光源(包括同步輻射線束和X射線光管)出射的X射線光束進(jìn)行一次聚焦；所述X射線跨接式組合折射透鏡2，由第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡接續(xù)構(gòu)成，所述第ニ X射線組合折射透鏡與所述X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑，出射口徑端制作有微結(jié)構(gòu)連接銷，所述第三X射線組合折射透鏡的入射口徑與所述第二 X射線組合折射透鏡的出射口徑匹配，入射端ロ制作有與所述微結(jié)構(gòu)連接銷適配的銷孔，以便于將所述第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡接續(xù)起來。
[0038]所述雙鏡鏡筒3是用于裝配所述第一 X射線組合折射透鏡I和X射線跨接式組合折射透鏡2的機(jī)械器件。
[0039]所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)4，與所述雙鏡鏡筒3連接，用于通過機(jī)械旋轉(zhuǎn)將所述第一X射線組合折射透鏡I或者X射線跨接式組合折射透鏡2移出或者移入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)光路。
[0040]所述第一 X射線組合折射透鏡I的聚焦光斑尺寸大于所述X射線跨接式組合折射透鏡2，即對(duì)于X射線熒光分析系統(tǒng)而言，X射線跨接式組合折射透鏡2能夠分析比所述第一 X射線組合折射透鏡I更加微小的樣品微區(qū)；對(duì)于X射線顯微系統(tǒng)而言，X射線跨接式組合折射透鏡2能夠?qū)Ω〕叽绲奈矬w進(jìn)行顯微成像。
[0041]所述第一 X射線組合折射透鏡I和所述X射線跨接式組合折射透鏡2之間的光學(xué)參數(shù)必須匹配，以便使二者相結(jié)合對(duì)被測(cè)目標(biāo)進(jìn)行宏觀和細(xì)節(jié)的分級(jí)檢測(cè)，所述第一 X射線組合折射透鏡I實(shí)現(xiàn)初級(jí)檢測(cè)，分辨率較低，所述X射線跨接式組合折射透鏡2實(shí)現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)檢測(cè)，具有更高的分辨率；同時(shí)二者的結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)探測(cè)分辨率的在線動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。
[0042]所述光學(xué)參數(shù)的匹配通過下列理論公式進(jìn)行設(shè)計(jì)計(jì)算實(shí)現(xiàn):
[0043]焦距
【權(quán)利要求】
1.ー種X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，其特征在于:實(shí)現(xiàn)該方法的雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件包括雙鏡鏡筒、X射線跨接式組合折射透鏡和第一 X射線組合折射透鏡，所述X射線跨接式組合折射透鏡包括第二 X射線組合折射透鏡和第三X射線組合折射透鏡，所述第二 X射線組合折射透鏡與所述第一 X射線組合折射透鏡具有相同的入射口徑，所述第二 X射線組合折射透鏡出射端與所述第三X射線組合折射透鏡的入射端連接；所述X射線跨接式組合折射透鏡、第一 X射線組合折射透鏡位于所述雙鏡鏡筒內(nèi)，所述X射線跨接式組合折射透鏡的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸平行，所述X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比第一 X射線組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸?。凰鲭p鏡式探測(cè)分析方法包括以下步驟: (1)首先調(diào)整雙鏡鏡筒，將所述第一X射線組合折射透鏡移入光路，使得X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與第一 X射線組合折射透鏡的光軸重合，讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到第一 X射線組合折射透鏡的入射口徑處； 接著，從所述第一 X射線組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)分析，得到初步檢測(cè)分析結(jié)果； (2)經(jīng)步驟(I)得到初級(jí)檢測(cè)分析結(jié)果，判斷是否需要對(duì)目標(biāo)進(jìn)行精細(xì)結(jié)構(gòu)的探測(cè)分析，如果需要，進(jìn)入步驟(3); (3)調(diào)整雙鏡鏡筒，將所述第一X射線組合折射透鏡移出光路，同時(shí)將ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移入光路，使得 X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線光管所發(fā)出的X射線光束的光軸與X射線跨接式組合折射透鏡的光軸重合，讓X射線光管發(fā)出的X射線光束照射到X射線跨接式組合折射透鏡的入射口徑處； 接著，從所述X射線跨接式組合折射透鏡出射的X射線光束傳輸入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的X射線探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)分析，得到ニ級(jí)檢測(cè)結(jié)果。
2.如權(quán)利要求1所述的X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，其特征在于:所述雙鏡鏡筒內(nèi)安裝至少兩個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡和I個(gè)第一X射線組合折射透鏡，至少兩個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸由大到小分級(jí)；所述雙鏡式探測(cè)分析方法還包括以下步驟: (4)經(jīng)步驟(3)得到ニ級(jí)檢測(cè)結(jié)果，對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析，判斷是否需要調(diào)整不同的探測(cè)分辨率，對(duì)被檢目標(biāo)進(jìn)行進(jìn)ー步的分析，如果需要，進(jìn)入步驟(5)； (5)調(diào)整雙鏡鏡筒，另ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸比所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的聚焦光斑尺寸小，將所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移出光路，同時(shí)將所述另ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡移入光路，重復(fù)步驟(3)針對(duì)所述ー個(gè)X射線跨接式組合折射透鏡的操作，得到三級(jí)檢測(cè)結(jié)果； (6)依次類推，逐級(jí)增加探測(cè)分辨率，直到檢測(cè)得到針對(duì)被檢目標(biāo)的滿意的檢測(cè)結(jié)果。
3.如權(quán)利要求1或2所述的X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，其特征在于:所述步驟(I)中，對(duì)于X射線熒光分析系統(tǒng)而言，所述第一 X射線組合折射透鏡對(duì)X射線光管發(fā)射的X射線光束聚焦，形成探測(cè)光斑對(duì)被檢樣品進(jìn)行分析。
4.如權(quán)利要求1或2所述的X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，其特征在于:所述步驟(I)中，對(duì)于X射線顯微系統(tǒng)而言，須將被檢目標(biāo)放置在X射線光管與X射線組合折射透鏡之間，利用所述第一 X射線組合折射透鏡的光學(xué)原理進(jìn)行顯微放大。
5.如權(quán)利要求1或2所述的X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)的雙鏡式探測(cè)分析方法，其特征在于:所述雙鏡式探測(cè)光學(xué)部件還包括雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述雙鏡鏡筒安裝在用以將X射線跨接式組合折射透鏡或第一 X射線組合折射透鏡移出或移入X射線探測(cè)和成像系統(tǒng)光路的機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu) 上；所述步驟(3)中，移出移入動(dòng)作和精度由所述雙鏡機(jī)械調(diào)整機(jī)構(gòu)決定。
【文檔編號(hào)】G01N23/223GK103454290SQ201310361429
【公開日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2013年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月19日
【發(fā)明者】樂孜純, 董文 申請(qǐng)人:浙江工業(yè)大學(xué)