可滲透的測(cè)量單元的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一個(gè)可滲透的測(cè)量單元，具有：一用于流體流入的入口（2），一用于流體流出的出口（3），一設(shè)置在入口（2）與出口（3）之間的、尤其唯一的測(cè)量室，一用于測(cè)量在測(cè)量單元（1,1’）中的流體與測(cè)量單元（1,1’）外部的電磁射線的相互作用的射線測(cè)量范圍（6），其中所述射線范圍（6）由兩個(gè)對(duì)置設(shè)置的窗口（7,7’,8,8’）限制，由此規(guī)定一用于流入電磁射線的窗口和另一個(gè)用于流出電磁射線的窗口，其特征在于，所述測(cè)量單元（1,1’）具有調(diào)整范圍，該范圍具有多個(gè)運(yùn)行位置，它們具有在窗口（7,7’,8,8’）之間的不同距離（A,A’），以該距離可以無旋轉(zhuǎn)地調(diào)整、尤其固定測(cè)量單元（1,1’）。本發(fā)明還涉及一個(gè)由這種測(cè)量單元（1,1’）組成的系統(tǒng)，具有多個(gè)不同長(zhǎng)度的間隔部件（19,20），用于調(diào)整通過各間隔部件（19,20）定義的距離A’。
【專利說明】可滲透的測(cè)量單元
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一個(gè)如權(quán)利要求1前序部分所述的可滲透的測(cè)量單元和一個(gè)如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]為了測(cè)量電磁射線與流體在測(cè)量單元中的相互作用，必需在測(cè)量單元中設(shè)有對(duì)于測(cè)量重要的電磁頻譜范圍通透或透明的窗口。該窗口必需相對(duì)于環(huán)境密封測(cè)量單元的測(cè)量空間，而且也在可能較高的壓力時(shí)。這尤其適用于在線測(cè)量單元。
[0003]尤其在吸收測(cè)量時(shí)必需的是，準(zhǔn)確地識(shí)別沿著電磁射線的光程派生的層厚或者說光學(xué)路徑長(zhǎng)度，用于可以相應(yīng)地評(píng)價(jià)測(cè)量值。
[0004]在某些測(cè)量單元應(yīng)用時(shí)需要經(jīng)常清潔測(cè)量單元和/或提供其它層厚。目前對(duì)此使用不同的測(cè)量單元或者對(duì)于不同的層厚規(guī)定不同的使用。
[0005]在US 5，905，271中公開了一個(gè)具有復(fù)雜機(jī)械構(gòu)造的測(cè)量單元，其中能夠在非常小的范圍里面(通過壓縮密封31在止擋22上)調(diào)整光學(xué)路徑長(zhǎng)度、即窗口之間的距離。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是，給出一個(gè)靈活使用的、成本有利制成的測(cè)量單元。
[0007]這個(gè)目的通過權(quán)利要求1和11的特征得以實(shí)現(xiàn)。在從屬權(quán)利要求中給出本發(fā)明的有利擴(kuò)展結(jié)構(gòu)。由至少兩個(gè)在說明書、權(quán)利要求和/或附圖中公開的特征組成的所有組合都在本發(fā)明的范圍內(nèi)。在給出的數(shù)值范圍中位于所列界限以內(nèi)的數(shù)值也應(yīng)該適用于公開的極限值，并且以任意的組合也應(yīng)該是主張權(quán)利的。為了避免重復(fù)，按照系統(tǒng)公開的特征也適用于按照裝置公開的特征并且主張權(quán)利。按照裝置公開的特征同樣也應(yīng)該適用于按照系統(tǒng)公開的特征并且主張權(quán)利。
[0008]本發(fā)明的思想是，至少一個(gè)設(shè)置在光程里面的窗口沒有調(diào)整結(jié)構(gòu)地在測(cè)量單元上或者在測(cè)量單元體上沿著光程在裝配時(shí)可以調(diào)節(jié)或者隨時(shí)調(diào)整地構(gòu)成，由此(首次)實(shí)現(xiàn)在窗口之間距離A，A’的調(diào)節(jié)或調(diào)整，至少在測(cè)量單元的調(diào)整狀態(tài)，尤其以給定的溫度范圍。換言之，所述測(cè)量單元具有多個(gè)運(yùn)行位置，在這些位置可以調(diào)節(jié)或調(diào)整測(cè)量單元。通過這個(gè)措施可以通過盡可能微少的成本加工測(cè)量單元，因?yàn)檠刂{(diào)整范圍可以調(diào)節(jié)大的距離A，A’范圍(對(duì)應(yīng)于尤其測(cè)量單元的光學(xué)路徑長(zhǎng)度)，尤其在裝配時(shí)。在裝配和調(diào)節(jié)時(shí)或以后可以固定窗口，由此不再能夠調(diào)整。
[0009]在存在調(diào)整性時(shí)(也不固定窗口)省去了為了改變層厚必需更換測(cè)量單元或者必需更換測(cè)量單元的至少一嵌件。使用者可以在調(diào)整范圍內(nèi)部任意地調(diào)節(jié)距離A，A’。
[0010]測(cè)量單元的結(jié)構(gòu)規(guī)定，可以無旋轉(zhuǎn)地實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)/調(diào)整。由此避免復(fù)雜的機(jī)構(gòu)。也可以省去用于限制運(yùn)動(dòng)的止擋。
[0011]尤其可以設(shè)想，按照本發(fā)明以特別簡(jiǎn)單的可加工的基本形狀設(shè)有窗口?？梢允∪ネ廨喞?、尤其止擋或者類似部件的塑形。所述窗口的外輪廓尤其是平面的，或者無臺(tái)階的，或者在每個(gè)橫截面中沿著光程是矩形的。橫交于光程所述窗口可以在整個(gè)窗口長(zhǎng)度上具有一致直徑的圓形橫截面(必要時(shí)除了窗口端面上的倒角)。在一個(gè)特別簡(jiǎn)單的可加工的變化中，所述窗口具有圓柱體形狀?？梢赃x擇，簡(jiǎn)單的基本形狀也可以由板狀的外形組成，具有橫交于光程的矩形橫截面。
[0012]換言之，通過在光程方向上施加壓力僅僅由測(cè)量單元外部、必要時(shí)與用于限制運(yùn)動(dòng)的窗口之間的間隔部件組合可以調(diào)節(jié)運(yùn)行位置。僅僅從外部意味著，在測(cè)量單元本身上沒有用于施加壓力的機(jī)械措施。
[0013]在本發(fā)明的有利實(shí)施例中規(guī)定，所述測(cè)量單元在調(diào)節(jié)第一運(yùn)行位置以后可以在調(diào)整范圍以內(nèi)、尤其沒有安置在測(cè)量單元上的機(jī)械調(diào)整措施地、最好僅僅在對(duì)置的窗口方向上調(diào)整。
[0014]因?yàn)樗鰷y(cè)量單元至少在窗口容納體上、尤其測(cè)量單元的絕大部分上、最好基本整個(gè)測(cè)量單元上由塑料制成，因此能夠成本有利地加工測(cè)量單元。此外所述測(cè)量單元可以由單向測(cè)量單元構(gòu)成。此外可以使至少一個(gè)窗口以壓配合實(shí)現(xiàn)，由此可以沿著壓配合調(diào)節(jié)距離A，A’，并且至少在對(duì)置的窗口方向上簡(jiǎn)單地通過壓力從外面調(diào)整。由此簡(jiǎn)化裝配，因?yàn)橥ㄟ^一致的測(cè)量單元可以實(shí)現(xiàn)不同的光學(xué)路徑長(zhǎng)度。在裝配測(cè)量單元時(shí)可以固定所調(diào)節(jié)的距離A，A’(或者說光學(xué)路徑長(zhǎng)度)并且相應(yīng)地標(biāo)記，尤其通過編碼測(cè)量單元。
[0015]按照本發(fā)明也可以設(shè)想，所述運(yùn)行位置可以沿著窗口或者容納窗口的窗口容納體的配合在測(cè)量單元里面調(diào)節(jié)或調(diào)整，優(yōu)選通過與尤其由測(cè)量單元體外形構(gòu)成的、測(cè)量單元或測(cè)量單元體的導(dǎo)向通道相對(duì)的窗口的直接配合。在入口或出口的對(duì)面實(shí)現(xiàn)配合并且配合具有允差，以該允差至少在裝配時(shí)沿著光程通過施加壓力從測(cè)量單元外部可以移動(dòng)窗口。
[0016]同時(shí)通過配合允差保證測(cè)量室相對(duì)于測(cè)量單元環(huán)境的密封，尤其無需單獨(dú)的密封措施(如密封環(huán))。所述配合的名義直徑沿著調(diào)整范圍是相同的。
[0017]在此一個(gè)或兩個(gè)窗口沿著其直線相互間、尤其沿著一對(duì)應(yīng)于窗口外輪廓的窗口容納體通道、最好通過摩擦鎖合在這個(gè)通道里面固定、調(diào)整。因?yàn)閮蓚€(gè)窗口可以調(diào)整，可以實(shí)現(xiàn)更大的調(diào)整范圍。通過窗口或者說窗口容納體的相應(yīng)配合起到摩擦鎖合的作用。窗口容納體通道最好在調(diào)整范圍里面具有平行的通道壁。
[0018]按照本發(fā)明的另一有利實(shí)施例規(guī)定，所述調(diào)整范圍從最小可調(diào)節(jié)的距離A，A’至少以最小可調(diào)節(jié)距離A，A’的因數(shù)1.5、尤其至少以因數(shù)2、最好至少以因數(shù)3延展。調(diào)整范圍越大，可以更靈活地使用測(cè)量單元。
[0019]按照本發(fā)明的可選擇實(shí)施例有利地規(guī)定，其中至少一限制測(cè)量空間的壁體可以沿著窗口的直線柔性變形并且一用于固定窗口平面的間隔部件以通過選擇間隔部件給定的距離在測(cè)量室以外安裝在窗口之間。通過這個(gè)實(shí)施例能夠?qū)崿F(xiàn)特別大的調(diào)整范圍。
[0020]在此特別有利的是，所述壁體設(shè)計(jì)成折疊匣。
[0021]作為獨(dú)立的發(fā)明一個(gè)由上述測(cè)量單元組成的系統(tǒng)具有多個(gè)不同長(zhǎng)度的間隔部件，用于調(diào)整通過各間隔部件定義的距離A’。由此能夠?qū)τ诖_定的光學(xué)路徑長(zhǎng)度或距離A’提供一套不同的等級(jí)。使用者對(duì)于相應(yīng)的不同使用條件可以使用同一套(部件)，無需儲(chǔ)備不同的測(cè)量單元。
[0022]因?yàn)樗鲩g隔部件設(shè)計(jì)成U形輪廓，因此易于測(cè)量單元的裝配、尤其在調(diào)整時(shí)。特別有利的是，在改變距離A時(shí)無需干預(yù)測(cè)量室或者敞開測(cè)量室。[0023]因?yàn)樗霰隗w同時(shí)為了密封測(cè)量室密封地設(shè)置、尤其固定在一個(gè)窗口上，因此所述壁體滿足雙重功能，因此附加的零部件如密封環(huán)等是多余的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]由下面借助于實(shí)施例以及附圖的描述給出本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)、特征和細(xì)節(jié)。附圖中:
圖1示出按照本發(fā)明的測(cè)量單元的第一實(shí)施例的橫截面圖，
圖2示出按照本發(fā)明的測(cè)量單元的第二實(shí)施例的橫截面圖，
圖3a示出按照本發(fā)明的測(cè)量單元的第三實(shí)施例的立體圖橫截面圖，
圖3b示出按照?qǐng)D3a的實(shí)施例沿著剖面As的橫截面圖，
圖3c示出按照?qǐng)D3a的第三實(shí)施例沿著剖面Bs的橫截面圖。
[0025]在附圖中相同的部件和相同功能的部件以相同的標(biāo)記表示。
【具體實(shí)施方式】
[0026]在圖1中示出可以通過流體滲透的測(cè)量單元1，它具有由測(cè)量單元體5限制的測(cè)量室4。測(cè)量室4被流體通流，其相互作用能夠通過電磁射線、尤其來自光源的光測(cè)量。
[0027]為此設(shè)有射線測(cè)量范圍6,在其旁邊橫交于流體的流動(dòng)方向來自未示出的射線源、尤其光源的電磁射線穿過流體傳導(dǎo)。在對(duì)置的一側(cè)上測(cè)量電磁射線。
[0028]在光程(橫交于流動(dòng)方向的射線方向)中設(shè)有窗口 7，8，用于允許電磁射線穿過測(cè)量室4進(jìn)入流體。窗口 7，8分別在導(dǎo)向通道11，12里面導(dǎo)弓丨，其內(nèi)輪廓對(duì)應(yīng)于窗口 7，8的外輪廓，由此在窗口 7，8與各導(dǎo)向通道11，12之間設(shè)有配合。由此能夠沿著導(dǎo)向通道11，12的內(nèi)輪廓調(diào)整窗口 7，8，由此可以調(diào)節(jié)或調(diào)整窗口 7，8之間的距離A。距離A尤其對(duì)應(yīng)于光學(xué)的路徑長(zhǎng)度。
[0029]窗口 7,8由石英玻璃構(gòu)成，而測(cè)量單元體5在本實(shí)施例中由塑料制成。這樣設(shè)計(jì)窗口 7，8外輪廓和導(dǎo)向通道11，12內(nèi)輪廓的尺寸，使窗口 7，8在室溫時(shí)、即在約20°C時(shí)可以沿著導(dǎo)向通道11，12滑動(dòng)地移動(dòng)，其中也在工藝條件下、即在溫度提高時(shí)、尤其大于40°C、最好大于60°C時(shí)在窗口 7，8外輪廓與導(dǎo)向通道11，12各內(nèi)輪廓之間存在摩擦鎖合，因此窗口 7，8也在頂壓時(shí)、尤其大于3bar頂壓時(shí)使測(cè)量室4相對(duì)于環(huán)境密封。相應(yīng)地設(shè)計(jì)配合允差，其中考慮不同材料的不同膨脹。
[0030]為此按照本發(fā)明有利地規(guī)定，窗口 7，8具有厚度D，它與窗口 7，8寬度B的相比一般較大。優(yōu)選D與B的比例至少I; 10，尤其至少1:5，最好至少1:3，更優(yōu)選至少1:2。
[0031]按照本發(fā)明也可以設(shè)想，窗口 7，8在調(diào)整距離A以后在加工/裝配窗口 7，8時(shí)固定，由此結(jié)束窗口調(diào)整。這尤其在測(cè)量單元I作為單向測(cè)量單元時(shí)是有利的。
[0032]在非常類似第一實(shí)施例的按照?qǐng)D2的第二實(shí)施例中與按照?qǐng)D1的實(shí)施例不同，分別設(shè)有用于容納窗口 7，8的窗口容納體9，10。窗口容納體9，10管狀地通過內(nèi)輪廓構(gòu)成，內(nèi)輪廓與窗口的外輪廓對(duì)應(yīng)，由此使窗口 7，8固定在窗口容納體9，10里面。窗口 7，8分別在指向測(cè)量室4的窗口容納體9，10端部上、尤其與窗口容納體9，10齊平地固定在窗口容納體9，10里面。窗口容納體9，10通過其外輪廓與導(dǎo)向通道11，12這樣對(duì)應(yīng)，使在窗口 7,8與導(dǎo)向通道11，12之間的上述相互作用如同在按照?qǐng)D1的第一實(shí)施例中那樣有效。不僅導(dǎo)向通道11，12與窗口容納體9，10而且窗口容納體9，10與窗口 7，8都相互間具有配合。分別這樣設(shè)計(jì)配合，使相互間的移動(dòng)只能在兩個(gè)配合中的一個(gè)配合中實(shí)現(xiàn)。兩個(gè)配合有利地可移動(dòng)地構(gòu)成，由此可以實(shí)現(xiàn)更大的調(diào)整范圍。
[0033]通過使窗口容納體9，10在其分別背離窗口 7，8的端部上突出于測(cè)量單元體5或者說突出于導(dǎo)向通道11，12，能夠簡(jiǎn)化窗口 7，8之間的距離A調(diào)整，尤其在加大距離A的時(shí)候。因此窗口容納體9，10可以在其突出于測(cè)量單元體5或者導(dǎo)向通道11，12的端部上被握住。借助于窗口容納體9，10沿著光程的尺寸可以測(cè)量并計(jì)算距離A、即光學(xué)路徑長(zhǎng)度并且相應(yīng)地自動(dòng)調(diào)節(jié)。在此有利的是，只有導(dǎo)向通道11，12與窗口容納體9，10之間的配合可移動(dòng)地構(gòu)成。
[0034]第一實(shí)施例的描述也類似地適用于第二實(shí)施例。
[0035]在圖3a中示出測(cè)量單元I’，具有絕大部分由柔性材料、尤其橡膠制成的測(cè)量單元體5’。要被測(cè)量的流體通過入口 2導(dǎo)引到測(cè)量室4’并且通過在圖3b中所示的出口 3離開測(cè)量室。入口 2和出口 3具有工藝接頭，用于連接測(cè)量單元I’在工藝管道上，即用于在線測(cè)量。
[0036]橫交于流體的流動(dòng)方向設(shè)有射線測(cè)量范圍6，在其中測(cè)量流體與電磁射線的相互作用。
[0037]射線通過窗口 V進(jìn)入到測(cè)量室4’并且通過對(duì)置的窗口 8，從測(cè)量室4’流出。電磁射線由未示出的射線源在測(cè)量單元I’外部產(chǎn)生并且橫交于流體流動(dòng)方向穿過測(cè)量室4’和窗口 7’，8’傳導(dǎo)。在對(duì)置的一側(cè)、即在窗口 8，下面和測(cè)量單元I’外部由相應(yīng)的測(cè)量裝置檢測(cè)射線，其中通過與流體沿著在窗口 7’，8’之間的光學(xué)路徑長(zhǎng)度的相互作用可以檢測(cè)表征流體的變化。
[0038]檢測(cè)的主要方面是光學(xué)路徑長(zhǎng)度，它通過窗口 V與窗口 8，之間的距離A’組成。
[0039]由圓周壁構(gòu)成的、測(cè)量單元體5’的柔性壁體13安置在指向測(cè)量室4’的窗口 7’一側(cè)上，其中尤其在窗口 7’中心設(shè)有通流孔14，由此使電磁射線可以進(jìn)入到測(cè)量室4’里面。對(duì)應(yīng)的、對(duì)置的、由圓周壁構(gòu)成的壁體15同樣柔性地構(gòu)成。它相應(yīng)地在指向測(cè)量室4’的窗口 8，一側(cè)上固定在窗口 8，上并且具有用于電磁射線通過窗口 8，流出的通孔16。
[0040]測(cè)量單元體5’或者測(cè)量單元I’通過至少一個(gè)、在本實(shí)施例中兩個(gè)U形彈簧箍17，18橫交于流體流動(dòng)方向固定。彈簧箍17，18分別從背離測(cè)量室4’的窗口 7’，8’ 一側(cè)圍卡測(cè)量單元體5’和窗口 7’，8’。
[0041]為了確定窗口 7’，8’之間的距離A’設(shè)有至少一個(gè)、在本實(shí)施例中兩個(gè)間隔體19，20，它們?cè)跍y(cè)量單元體5’外部作為剛性的間隔體夾緊在窗口 7，’，8’之間，而且通過彈簧箍17，18的夾緊作用。
[0042]相應(yīng)地通過更換間隔體19，20和必要時(shí)的彈簧箍17，18可以實(shí)現(xiàn)通過壁體13，15形狀限制的距離A’調(diào)整范圍，由此得到由一致的測(cè)量單元I’和一套彈簧箍17，18和分別對(duì)應(yīng)的間隔體19，20組成的系統(tǒng)。
[0043]在此按照本發(fā)明有利地規(guī)定，為了調(diào)整距離A，A’無需更換窗口 7，7’，8，8’。對(duì)于確定的距離A‘規(guī)定的彈簧箍17，18和間隔體19，20可以理解為分別具有確定標(biāo)識(shí)的套件，由此可以相應(yīng)方便地操作更換。
[0044]間隔體19，20分別具有裝配孔21，22，尤其在其中中間隔體19，20設(shè)計(jì)成U形輪廓，由此能夠無需斷開測(cè)量單元I與工藝管道地調(diào)整距離A’。
[0045]彈簧箍17，18的功能按照未示出的有利實(shí)施例可以組合到間隔體里面，通過使窗口 7’，8’容納在間隔體里面。為此間隔體可以在其頂面和底面上具有相應(yīng)的容納體、尤其插槽。
[0046]附圖標(biāo)記清單 1，1’測(cè)量單元
2入口
3出口
4，4’測(cè)量室 5,5’測(cè)量單元體 6射線測(cè)量范圍 7,7’ 窗口 8,8，窗口 9窗口容納體 10窗口容納體 11導(dǎo)向通道 12導(dǎo)向通道 13壁體 14通孔 15壁體 16通孔 17彈簧箍 18彈簧箍 19間隔體 20間隔體 21裝配孔 22裝配孔。
【權(quán)利要求】
1.一種可滲透的測(cè)量單元，具有: -一用于流體流入的入口(2)， -一用于流體流出的出口( 3 )， -一設(shè)置在入口(2)與出口(3)之間的、尤其唯一的測(cè)量室， -一用于測(cè)量在測(cè)量單元(1，I’)中的流體與來自測(cè)量單元(1，I’)外部的電磁射線相互作用的射線測(cè)量范圍(6)， 其中所述射線范圍(6)由兩個(gè)對(duì)置設(shè)置的窗口(7，7’，8，8’)限制，由此規(guī)定一個(gè)用于電磁射線流入的窗口和另一用于電磁射線流出的窗口，其特征在于，所述測(cè)量單元(1，I’)具有調(diào)整范圍，該范圍具有多個(gè)運(yùn)行位置，它們具有在窗口(7，7’，8，8’)之間的不同距離(A，A’)，在該窗口中可以無旋轉(zhuǎn)地調(diào)整、尤其固定測(cè)量單元(1，I’)。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)量單元，其中所述測(cè)量單元(1，1')在調(diào)節(jié)第一運(yùn)行位置以后可以在調(diào)整范圍以內(nèi)、尤其沒有安置在測(cè)量單元(1，I’)上的機(jī)械調(diào)整措施地、最好僅僅在對(duì)置的窗口(7，7’，8，8’)方向上調(diào)整。
3.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)量單元，其中所述測(cè)量單元(1，I’)至少部分地、尤其絕大部分地由塑料和/或橡膠制成。
4.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)量單元，其中所述運(yùn)行位置沿著窗口(7，8)或者容納窗口(7，8)的窗口容納體(9，10)的配合可以在測(cè)量單元(1，I’)里面調(diào)節(jié)或調(diào)整。
5.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)量單元，其中一個(gè)或兩個(gè)窗口(7，8)沿著其直線相互間、尤其沿著一對(duì)應(yīng)于窗口(7，8)外輪廓的導(dǎo)向通道(11，12)、最好通過摩擦鎖合在這個(gè)通道里面固定、調(diào)節(jié)或調(diào)整。
6.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)量單元，其中所述調(diào)整范圍從最小可調(diào)節(jié)的距離A，A’至少以最小可調(diào)節(jié)距離A，A’的因數(shù)1.5、尤其至少以因數(shù)2、最好至少以因數(shù)3延展。
7.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)量單元，其中設(shè)有與各個(gè)尤其由測(cè)量單元體外形構(gòu)成的、測(cè)量單元或測(cè)量單元體(5，5’)的導(dǎo)向通道(11，12)相對(duì)的窗口(7，7’，8，8’)的直接配合。
8.如權(quán)利要求1至3或6所述的測(cè)量單元，其中至少一限制測(cè)量空間(4’)的壁體(13，15)可以沿著窗口(7’，8，)的直線柔性變形并且一用于固定窗口(7’，8，)的間隔部件(19，20)以通過選擇間隔部件(19，20)給定的距離在測(cè)量室(4’)以外安裝在窗口(7’，8’)之間。
9.如權(quán)利要求7所述的測(cè)量單元，其中所述壁體(13，15)設(shè)計(jì)成折疊匣。
10.如權(quán)利要求7或8所述的測(cè)量單元，其中所述壁體(13，15)為了密封測(cè)量室(4’)密封地設(shè)置在一個(gè)窗口(7’，8’)上，固定在窗口下面。
11.一個(gè)由如權(quán)利要求7，8或9所述的測(cè)量單元(I’)組成的系統(tǒng)具有多個(gè)不同長(zhǎng)度的間隔部件(19，20)，用于調(diào)整通過各間隔部件(19，20)定義的距離A’。
12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中所述間隔部件(19，20)設(shè)計(jì)成U形輪廓。
【文檔編號(hào)】G01N21/03GK103547908SQ201280011655
【公開日】2014年1月29日 申請(qǐng)日期:2012年2月27日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月4日
【發(fā)明者】D.普拉特, P.施勒倫, J.達(dá)努拉特, A.里澤 申請(qǐng)人:奧普特克－丹奴拉特有限責(zé)任公司