專利名稱：一種標準流量計的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于測量技術領域，涉及一種標準流量計。
背景技術：
文獻“恒壓式氣體微流量計的設計，《中國空間科學技術》、1999年第3期、第65頁 71頁”，介紹了一種恒壓式氣體微流量計。該流量計由壓力補償系統(tǒng)、測量與控制系統(tǒng)、恒溫系統(tǒng)和抽氣系統(tǒng)組成，該流量計不只是采用恒壓法的原理設計，其核心更是采用了活塞驅動波紋管結構，采用活塞驅動液壓油保持變容室內氣體壓力不變來產生標準流量。但是這種流量計還存在著以下不足之處一、該流量計的核心采用了活塞驅動波紋管結構，采用活塞驅動液壓油保持變容 室內氣體壓力不變來產生標準流量，溫度變化將引起液壓油體積的膨脹或收縮，且油室中存在著死空間，這些都會影響流量計的性能；二、該流量計結構復雜、體積重量較大，適用于在實驗室內提供標準流量，不能用于現(xiàn)場提供流量；三、該流量計所采用的儀器設備較多，產生成本較高，運行的費用較高，不利于推廣應用。
發(fā)明內容為了解決現(xiàn)有流量計性能差、體積大、成本高、不利于推廣應用的技術問題，本實用新型提供一種標準流量計，克服已有技術的不足。本實用新型的技術解決方案一種標準流量計，其特殊之處在于包括進氣閥門I、進氣管道、壓力計2、壓力管道、定容室3、抽氣閥門4、抽氣管道、排氣板及流量閥門6，所述排氣板的幾何中心設置有小孔5，所述進氣閥門通過進氣管道與定容室的入口連通，所述定容器的出口與排氣板連接，所述排氣板另一端與流量閥門6連接，所述壓力計通過壓力管道與定容室內連通，所述抽氣閥門通過抽氣管道與定容室連通。上述定容室容積為1L。上述定容室3本底壓力小于10_3Pa。上述小孔5的內徑為10 μ m,小孔流導為10_8m3/s。本實用新型所具有的優(yōu)點I、本實用新型提出的標準流量計，采用了定容室與小孔測量流量的結構，采用這種結構能夠實現(xiàn)提供特定氣體流量，且該流量計便于攜帶，可用于工業(yè)現(xiàn)場。2、本實用新型流量計避免了溫度變化引起液壓油體積的膨脹或收縮，避免了存在死空間。3、本實用新型流量計所采用的儀器設備少，產生成本低，運行的費用低，便于攜帶，可用于工業(yè)現(xiàn)場，易于推廣應用。
圖I為本實用新型標準流量計的結構示意圖；其中，I-進氣閥門、2-壓力計、3-定容室、4-抽氣閥門、5-小孔、6_流量閥門。
具體實施方式
一種標準流量計，包括進氣閥門I、進氣管道、壓力計2、壓力管道、定容室3、抽氣閥門4、抽氣管道、排氣 板及流量閥門6，排氣板的幾何中心設置有小孔5，進氣閥門通過進氣管道與定容室的入口連通，定容器的出口與排氣板連接，排氣板另一端與流量閥門6連接，壓力計通過壓力管道與定容室內連通，抽氣閥門通過抽氣管道與定容室連通。壓力計用于測量定容室中真空本底壓力及充入的氣體壓力，測量下限小于10_3Pa ；定容室用于儲存給定壓力的氣體，容積為IL左右，本底壓力小于10_3Pa ；抽氣閥門打開，用于對定容室進行抽真空本底，使得本底壓力小于10_3Pa，用于抽出定容室中的多余的氣體，控制定容室內的氣體壓力，內漏氣率小于KTuiPa. m3/s ；小孔用于提供穩(wěn)定的流量，連接在定容室及流量閥門之間，小孔的性能穩(wěn)定、流導穩(wěn)定，小孔的內徑為 ο μ m左右，小孔流導為10_8m3/s左右。流量閥門用于通過開關提供或截止標準流量，并可與現(xiàn)場其余裝置連接，內漏氣率小于 l(T1QPa. m3/so本實用新型的工作過程為首先，通過抽氣閥門利用抽氣系統(tǒng)對定容室進行抽真空，本底抽至小于l(T3Pa。然后，關閉抽氣閥門，通過進氣閥門利用充氣系統(tǒng)對定容室進行充氣，當定容室內的壓力達到預定值時，關掉進氣閥門。如果定容室中氣體壓力過高，則慢慢打開抽氣閥門，將多余氣體抽除。之后，斷開充氣系統(tǒng)及抽氣系統(tǒng)。最后，將標準流量計帶至現(xiàn)場，打開流量閥門，將標準流量引入需要標準流量的設備。通過在定容室中充入預先計算的氣體壓力，從而提供所需的標準壓力。實施例本實用新型的一種標準流量計，包括由進氣閥門I、壓力計2、定容室3、抽氣閥門4、小孔5、流量閥門6，進氣閥門I通過管道與定容室3連接，同時在充氣時與充氣系統(tǒng)連接壓力計2通過管道與定容室3連接；抽氣閥門4通過管道與定容室3連接，在抽氣時與抽氣系統(tǒng)連接；小孔5 —端與定容室3連接、另一端與流量閥門6連接。其中，定容室的容積要求為1L，考慮到誤差，一般做成為I. 05L，小孔5的流導值為2. 9Xl(T8m3/s。本實用新型的一種標準流量計工作過程為首先，通過抽氣閥門4利用抽氣系統(tǒng)對定容室3進行抽真空，本底為8. OX 10_4Pa。然后，關閉抽氣閥門4，通過進氣閥門I利用充氣系統(tǒng)對定容室3進行充氣，當定容室3內的壓力達到預定值2. OXKT1Pa時，關掉進氣閥門I。之后，斷開充氣系統(tǒng)及抽氣系統(tǒng)。最后，將標準流量計帶至現(xiàn)場，打開流量閥門6，將標準流量5.8X10_9Pa.m3/s引入需要標準流量的設備 。
權利要求1.一種標準流量計，其特征在于包括進氣閥門(I)、進氣管道、壓力計(2)、壓力管道、定容室(3)、抽氣閥門(4)、抽氣管道、排氣板及流量閥門(6)， 所述排氣板的幾何中心設置有小孔(5)，所述進氣閥門通過進氣管道與定容室的入口連通，所述定容器的出口與排氣板連接，所述排氣板另一端與流量閥門(6)連接，所述壓力計通過壓力管道與定容室內連通，所述抽氣閥門通過抽氣管道與定容室連通。
2.根據權利要求I所述的一種標準流量計，其特征在于所述定容室容積為1L。
3.根據權利要求I或2所述的一種標準流量計，其特征在于所述定容室(3)本底壓力小于 I (T3Pa。
4.根據權利要求3所述的一種標準流量計，其特征在于所述小孔(5)的內徑為.10 μ m,小孔流導為10 8m3/s。
專利摘要本實用新型涉及一種標準流量計，包括進氣閥門、進氣管道、壓力計、壓力管道、定容室、抽氣閥門、抽氣管道、排氣板及流量閥門，排氣板的幾何中心設置有小孔，進氣閥門通過進氣管道與定容室的入口連通，定容器的出口與排氣板連接，排氣板另一端與流量閥門連接，壓力計通過壓力管道與定容室內連通，抽氣閥門通過抽氣管道與定容室連通。本實用新型解決了現(xiàn)有流量計性能差、體積大、成本高、不利于推廣應用的技術問題，采用定容室與小孔測量流量的結構，提供特定氣體流量，且便于攜帶，可用于工業(yè)現(xiàn)場。
文檔編號G01F25/00GK202676250SQ20122028070
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月14日 優(yōu)先權日2012年6月14日
發(fā)明者劉波, 盧耀文, 任和漢, 丁立莉, 劉卿 申請人:西安航天計量測試研究所