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一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法

文檔序號(hào):5948543閱讀:180來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路及其制造領(lǐng)域,尤其涉及一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法。
背景技術(shù)
隨著集成電路工藝的發(fā)展以及關(guān)鍵尺寸不斷縮小,工廠需要引入更加先進(jìn)、更加昂貴的缺陷檢測(cè)設(shè)備以滿(mǎn)足對(duì)在線工藝步驟的品質(zhì)監(jiān)控的要求。然而,當(dāng)工廠工藝穩(wěn)定并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)后,很多缺陷又都是和機(jī)臺(tái)在使用過(guò)程中的各種特性相關(guān),尤其是當(dāng)設(shè)備剛做完硬件維護(hù)后的一段時(shí)間內(nèi)其不穩(wěn)定的風(fēng)險(xiǎn)特別高,但是目前業(yè)內(nèi)采用的兩種缺陷監(jiān)控方法都沒(méi)有基于這方面的設(shè)計(jì),從而造成檢測(cè)效率的低下和抽檢成本的大幅度增加?,F(xiàn)今,普遍采用的兩種缺陷檢測(cè)方法為
第一種缺陷檢測(cè)方法是按照產(chǎn)品IotID的尾數(shù)進(jìn)行控制;例如針對(duì)機(jī)臺(tái)A,如將機(jī)臺(tái)A 上尾數(shù)為“5”的產(chǎn)品IotID設(shè)為抽檢對(duì)象,那么就意味著在生產(chǎn)上就會(huì)有10%的產(chǎn)品接受抽檢;如將機(jī)臺(tái)A的工藝抽檢規(guī)則設(shè)定為20%,可采取對(duì)產(chǎn)品IotID的尾數(shù)為I和5的產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè);圖I是本發(fā)明背景技術(shù)中第一種缺陷檢測(cè)方法的影響分析示意圖,其中,橫向箭頭表示lot的進(jìn)程(process)和抽檢順序,縱向箭頭表示抽檢的產(chǎn)品,如圖I所示,第一批次11和第二批次12的產(chǎn)品13均按照20%的工藝抽檢規(guī)則進(jìn)行抽檢,第一批次11被檢測(cè)的產(chǎn)品13由于被檢測(cè)的產(chǎn)品13其IotID正好均勻分布在所有的產(chǎn)品中,而第二批次12被檢測(cè)的產(chǎn)品其IotID的時(shí)間連卻在一起,那么對(duì)于機(jī)臺(tái)工藝風(fēng)險(xiǎn)的控制,第一批次11要明顯優(yōu)于第二批次12,即第一種缺陷檢測(cè)方法的風(fēng)險(xiǎn)控制具有不確定性。第二種缺陷檢測(cè)方法是按照產(chǎn)品lot數(shù)量,每隔一定數(shù)量的產(chǎn)品進(jìn)行抽檢;例如針對(duì)機(jī)臺(tái)B,如將機(jī)臺(tái)B的工藝抽檢規(guī)則設(shè)定為50%,可采取對(duì)產(chǎn)品每隔一個(gè)進(jìn)行檢測(cè);圖 2是本發(fā)明背景技術(shù)中第二種缺陷檢測(cè)方法的影響分析示意圖,其中,橫向箭頭表示lot的進(jìn)程(process)和抽檢順序,如圖2所示,第一批次21和第二批次22的產(chǎn)品23均按照50% 的工藝抽檢規(guī)則進(jìn)行抽檢,以如此高的抽檢比例雖然可以控制機(jī)臺(tái)處于高風(fēng)險(xiǎn)條件下的安全性,但是在機(jī)臺(tái)處于相對(duì)安全的條件下進(jìn)行了過(guò)多的監(jiān)控,造成抽檢效率的低下和抽檢成本的大幅度增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,其中,包括以下步驟
步驟SI :經(jīng)定義的風(fēng)險(xiǎn)及根據(jù)該風(fēng)險(xiǎn)將工藝設(shè)備維護(hù)劃分為N個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型,并將所述的N個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型和在線監(jiān)控規(guī)則整合后存儲(chǔ)至數(shù)據(jù)庫(kù)中;
步驟S2 :缺陷抽樣系統(tǒng)根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)中風(fēng)險(xiǎn)定義給每個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型設(shè)定對(duì)應(yīng)的缺陷抽檢規(guī)則;
步驟S3 :在一機(jī)臺(tái)完成一項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)后,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的該項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型調(diào)去對(duì)應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對(duì)該機(jī)臺(tái)進(jìn)行判斷,若不進(jìn)行檢測(cè)則進(jìn)入對(duì)下個(gè)機(jī)臺(tái)的判斷;若進(jìn)行檢測(cè),缺陷抽樣系統(tǒng)則根據(jù)該機(jī)臺(tái)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型插入對(duì)應(yīng)抽樣規(guī)則檢測(cè)標(biāo)志,并對(duì)該機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)后,再進(jìn)入下個(gè)機(jī)臺(tái)的判斷。上述的基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,其中,風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型的數(shù)目N小于 200。上述的基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,其中,步驟S2中的抽樣規(guī)則,抽樣比例高低與風(fēng)險(xiǎn)大小成正比。綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明提出一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,通過(guò)將各項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)劃分為多個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型,對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行不同的工藝設(shè)備維護(hù)分別采用不同的缺陷抽檢規(guī)則,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)該缺陷抽檢規(guī)則能有效的監(jiān)控在機(jī)臺(tái)做完維護(hù)后一段時(shí)間內(nèi)的風(fēng)險(xiǎn)控制,從而提高工藝的在線監(jiān)控的效率和降低監(jiān)控的成本。


圖I是本發(fā)明背景技術(shù)中第一種缺陷檢測(cè)方法的影響分析示意圖; 圖2是本發(fā)明背景技術(shù)中第二種缺陷檢測(cè)方法的影響分析示意圖3是本發(fā)明基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明
本發(fā)明一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法
首先,根據(jù)工藝需求定義風(fēng)險(xiǎn),并根據(jù)該風(fēng)險(xiǎn)將工藝設(shè)備維護(hù)劃分為N個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型,N 一般小于200,并將劃分好的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型與在線監(jiān)控規(guī)則整合后存儲(chǔ)至數(shù)據(jù)庫(kù)中。然后,利用缺陷抽樣系統(tǒng)根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)中風(fēng)險(xiǎn)的定義給每個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型設(shè)定對(duì)應(yīng)的缺陷抽檢規(guī)則;
最后,在一機(jī)臺(tái)完成一項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)后,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中的該項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型調(diào)去對(duì)應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對(duì)該機(jī)臺(tái)進(jìn)行判斷,若不進(jìn)行檢測(cè)則進(jìn)入對(duì)下個(gè)機(jī)臺(tái)的判斷;若進(jìn)行檢測(cè),缺陷抽樣系統(tǒng)則根據(jù)該機(jī)臺(tái)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型插入對(duì)應(yīng)抽樣規(guī)則檢測(cè)標(biāo)志,并對(duì)該機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)后,再進(jìn)入下個(gè)機(jī)臺(tái)的判斷;其中,抽樣比例的高低與風(fēng)險(xiǎn)大小成正比,即風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型中風(fēng)險(xiǎn)較大時(shí)其抽樣比例就高,風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型中風(fēng)險(xiǎn)小時(shí)其抽樣比例就低;這樣就能兼顧風(fēng)險(xiǎn)控制的情況下,提升效率和降低監(jiān)控工藝成本。圖3是本發(fā)明基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法的流程示意圖。具體的,如圖3所示,在工藝機(jī)臺(tái)I進(jìn)行完一項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)后,進(jìn)入檢測(cè)階段, 生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)首先根據(jù)存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中的該項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型調(diào)去對(duì)應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對(duì)工藝機(jī)臺(tái)I進(jìn)行對(duì)比判斷,若工藝機(jī)臺(tái)I不滿(mǎn)足抽樣檢測(cè)的條件,則直接進(jìn)入對(duì)其他工藝機(jī)臺(tái)的抽檢判斷,若工藝機(jī)臺(tái)I滿(mǎn)足抽樣檢測(cè)的條件,則缺陷抽樣系統(tǒng)插入則根據(jù)工藝機(jī)臺(tái)I進(jìn)行的工藝設(shè)備維護(hù)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型插入對(duì)應(yīng)抽樣規(guī)則檢測(cè)標(biāo)志(flag),并對(duì)工藝機(jī)臺(tái)I進(jìn)行對(duì)應(yīng)的抽樣檢測(cè)后,再對(duì)其他工藝機(jī)臺(tái)進(jìn)行對(duì)比判斷,并重復(fù)上述對(duì)工藝機(jī)臺(tái)I的工藝操作步驟。綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明提出一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,通過(guò)將各項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)劃分為多個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型,對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行不同的工藝設(shè)備維護(hù)分別采用不同的缺陷抽檢規(guī)則,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)該缺陷抽檢規(guī)則能有效的監(jiān)控在機(jī)臺(tái)做完維護(hù)后一段時(shí)間內(nèi)的風(fēng)險(xiǎn)控制,從而提高工藝的在線監(jiān)控的效率和降低監(jiān)控的成本。通過(guò)說(shuō)明和附圖,給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例,基于本發(fā)明精神,還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例,然而,這些內(nèi)容并不作為局限。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言,閱讀上述說(shuō)明后,各種變化和修正無(wú)疑將顯而易見(jiàn)。 因此,所附的權(quán)利要求書(shū)應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容,都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的 意圖和范 圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,其特征在于,包括以下步驟 步驟SI :經(jīng)定義的風(fēng)險(xiǎn)及根據(jù)該風(fēng)險(xiǎn)將工藝設(shè)備維護(hù)劃分為N個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型,并將所述的N個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型和在線監(jiān)控規(guī)則整合后存儲(chǔ)至數(shù)據(jù)庫(kù)中; 步驟S2 :缺陷抽樣系統(tǒng)根據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)中風(fēng)險(xiǎn)定義給每個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型設(shè)定對(duì)應(yīng)的缺陷抽檢規(guī)則; 步驟S3 :在一機(jī)臺(tái)完成一項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)后,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的該項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型調(diào)去對(duì)應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對(duì)該機(jī)臺(tái)進(jìn)行判斷,若不進(jìn)行檢測(cè)則進(jìn)入對(duì)下個(gè)機(jī)臺(tái)的判斷;若進(jìn)行檢測(cè),缺陷抽樣系統(tǒng)則根據(jù)該機(jī)臺(tái)的風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型插入對(duì)應(yīng)抽樣規(guī)則檢測(cè)標(biāo)志,并對(duì)該機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)后,再進(jìn)入下個(gè)機(jī)臺(tái)的判斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,其特征在于,所述風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型的數(shù)目N小于200。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,其特征在于,步驟S2中的抽樣規(guī)則,抽樣比例高低與風(fēng)險(xiǎn)大小成正比。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種基于設(shè)備維護(hù)風(fēng)險(xiǎn)控制的缺陷監(jiān)控方法,通過(guò)將各項(xiàng)工藝設(shè)備維護(hù)劃分為多個(gè)風(fēng)險(xiǎn)類(lèi)型,對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行不同的工藝設(shè)備維護(hù)分別采用不同的缺陷抽檢規(guī)則,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)該缺陷抽檢規(guī)則能有效的監(jiān)控在機(jī)臺(tái)做完維護(hù)后一段時(shí)間內(nèi)的風(fēng)險(xiǎn)控制,從而提高工藝的在線監(jiān)控的效率和降低監(jiān)控的成本。
文檔編號(hào)G01R31/00GK102707168SQ20121015781
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月21日
發(fā)明者倪棋梁, 王洲男, 郭明升, 陳宏璘, 龍吟 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司
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