專利名稱：一種藍寶石晶體生長的稱重裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置。
背景技術：
目前在晶體生長的稱重結構設計中，有兩種結構，一是傳感器、旋轉電機內置的形式，另ー是傳感器、旋傳電機都外置的結構。前者，電機內置真空室，容易產生籽晶桿的振動，也易受真空室內溫度的影響，故障率較高，檢修也很不方便；后者，傳感器初期加載太大，需要較大的傳感器量程，從而，檢測分辨率降低，亦即降低了傳感器精度，對系統(tǒng)不利，同時，受外界環(huán)境、系統(tǒng)真空度等的影響，稱量誤差也大。

發(fā)明內容
本發(fā)明為了解決上述背景技術中的不足之處，提供ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置，可大大提高了稱量精度，晶體生長率誤差小，實際值與理論值接近，能夠很好地實現(xiàn)エ藝操作，提聞晶體的良品率。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術方案為ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置，包括真空室、籽晶桿、軸承座、稱重傳感器、旋轉電機，其特征在干所述的稱重傳感器設置于真空室內，旋轉電機通過電機支座設置于真空室上。所述的旋轉電機通過聯(lián)軸器連接到主動撥盤上。所述的稱重傳感器下端設置有軸承座。所述的真空室內稱重傳感器的下部設置有冷卻水管。所述的聯(lián)軸器為弾性連軸器。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有的優(yōu)點和效果如下本發(fā)明傳感器內置、旋轉電機外置，大大提高了稱量精度，晶體生長率誤差小，實際值與理論值接近，能夠很好地實現(xiàn)エ藝操作，提聞晶體的良品率。


圖I是本發(fā)明的結構示意圖。圖中，I-旋轉電機,2-電機支座,3-聯(lián)軸器,4-旋轉密封件,5-主動撥盤,6-從動撥盤，7-軸承座，8-籽晶桿，9-波紋管，10-冷卻水管，11-稱重傳感器，12-真空室。
具體實施例方式參見圖I :本發(fā)明包括真空室12、籽晶桿8、軸承座7、稱重傳感器11、旋轉電機I、波紋管9，真空室12為空心腔體，真空室12通過波紋管9與主爐室相通，從動撥盤6、籽晶 桿8通過軸承座7與固定在真空室12內的稱重傳感器11連接，軸承座7設置于稱重傳感器11左部的下端，旋轉電機I經電機支座2安裝于真空室12上，旋轉電機I通過彈性聯(lián)軸器3連接到主動撥盤5上，主動撥盤5通過旋轉密封件4與真空室12相連；稱重傳感器11的下部靠近真空室12的下壁上設置有冷卻水管10。本發(fā)明專門用于藍寶石晶體生長稱重控徑，通過傳感器內置、旋轉電機外置的方法，很好地解決了晶體生長過程稱量的精確性，由于只有籽晶桿及其軸承座的重量添加到傳感器上，這部分重量是固定值 ，在整個晶體生長過程中，傳感器只獲取晶體的重量，改變了以往旋轉電機、波紋管及真空負壓、冷卻水壓變化等對稱重數值的影響，可以獲取精確的生長率數據，實現(xiàn)晶體生長的等徑控制。本發(fā)明所描述的裝置，選高精度傳感器分辨率1/50000，現(xiàn)有裝置籽晶桿、旋轉電機、軸承座等自重大約15Kg，抽取真空后，波紋管施加給傳感器的負載大約為20Kg，再加上測量晶體的重量為35Kg，因此，傳感器的量程要選取得較大為lOOKg，這樣，稱重系統(tǒng)的最小感量100X1000g/50000 = 2g，這個值精度較低，同時，容易受籽晶桿水冷壓カ波動、真空度波動、旋轉電機振動等因素的影響，致使測量的晶體重量產生隨機誤差；本裝置，傳感器只承擔了籽晶桿的重量2Kg、及被測晶體的重量35Kg，可選較低量程的傳感器50Kg，這樣，稱重系統(tǒng)的最小感量50xl000g/50000 = lg，大大提高了稱重的分辨率，同時，這個值不受外界因素的影響，能夠很好地滿足晶體生長エ藝要求。很明顯，以上是對本發(fā)明具體實施例的詳細描述，并不代表保護范圍局限于此，在本發(fā)明構思下所做的任何改變都將落入本發(fā)明保護范圍。
權利要求
1.ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置，包括真空室(12)、籽晶桿(8)、軸承座(7)、稱重傳感器(11)、旋轉電機(I)，其特征在于所述的稱重傳感器(11)設置于真空室(12)內，旋轉電機(I)通過電機支座⑵設置于真空室(12)上。
2.根據權利要求I所述的ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的旋轉電機(I)通過聯(lián)軸器(3)連接到主動撥盤(5)上。
3.根據權利要求I所述的ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的稱重傳感器(11)下端設置有軸承座(7)。
4.根據權利要求I所述的ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的真空室(12)內稱重傳感器(11)的下部設置有冷卻水管(10)。
5.根據權利要求I所述的ー種藍寶石晶體生長的稱重裝置，其特征在于所述的聯(lián)軸器(3)為彈性連軸器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種藍寶石晶體生長的稱重裝置。目前在晶體生長的稱重結構設計中，有兩種結構，一是傳感器、旋轉電機內置的形式，另一是傳感器、旋轉電機都外置的結構。前者，容易產生籽晶桿的振動，也易受真空室內溫度的影響，故障率較高，檢修很不方便；后者，傳感器初期加載太大，檢測分辨率降低，稱量誤差也大。一種藍寶石晶體生長的稱重裝置，包括真空室、籽晶桿、軸承座、稱重傳感器、旋轉電機，所述的稱重傳感器設置于真空室內，旋轉電機通過電機支座設置于真空室上。本發(fā)明傳感器內置、旋轉電機外置，大大提高了稱量精度，晶體生長率誤差小，實際值與理論值接近，能夠很好地實現(xiàn)工藝操作，提高晶體的良品率。
文檔編號G01G17/00GK102645259SQ201210107669
公開日2012年8月22日 申請日期2012年4月13日 優(yōu)先權日2012年4月13日
發(fā)明者楊軍良 申請人:西安藍晶機械科技有限公司