專利名稱：一種徑向位移傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種位移傳感器，特別是檢測(cè)旋轉(zhuǎn)部件徑向位移的傳感器，它不帶能量源，以磁感應(yīng)方式取得位移信號(hào)，是能量轉(zhuǎn)換型或稱被動(dòng)型磁電式傳感器。
背景技術(shù)：
位移傳感器已形成相當(dāng)龐大的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，通常為包含電渦流式傳感器的電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器等。它們?cè)谛盘?hào)變換過程中其能量靠外電源供給，屬于能量控制型傳感器。見《傳感器技術(shù)》清華大學(xué)出版社、北京交通大學(xué)出版社，孫鍵民、楊清海編著2005年10月第I版，第4 頁。也可稱主動(dòng)型傳感器。磁電式傳感器，是利用電磁感應(yīng)原理，將被測(cè)對(duì)象的能量轉(zhuǎn)換成線圈中的感應(yīng)電勢(shì)輸出信號(hào)的一種傳感器。例如《傳感器技術(shù)》清華大學(xué)出版社、北京交通大學(xué)出版社，孫鍵民、楊清海編著2005年10月第I版，第6章介紹的恒定磁通磁電式傳感器，是利用其感應(yīng)電壓與被測(cè)物體的運(yùn)動(dòng)速度的線性關(guān)系來獲取該速度值。變磁阻磁電式傳感器，一般都做成轉(zhuǎn)速傳感器，運(yùn)動(dòng)的鐵磁性材料制成齒輪，轉(zhuǎn)動(dòng)中氣隙厚度是不斷以齒為周期改變的，即磁路中的磁阻以此周期波動(dòng)，氣隙中磁通波動(dòng)使線圈中的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)以一定的頻率輸出， 該頻率和齒數(shù)決定了轉(zhuǎn)速。它們是能量轉(zhuǎn)換型或稱被動(dòng)型傳感器?，F(xiàn)有技術(shù)的位移傳感器在用于旋轉(zhuǎn)部件比如轉(zhuǎn)子的徑向位移測(cè)量時(shí)占用空間較大，假如需對(duì)轉(zhuǎn)子的徑向位移進(jìn)行控制時(shí)，則測(cè)量點(diǎn)與執(zhí)行力點(diǎn)距離難以設(shè)計(jì)成重合或很近。再則，比如普通的電感式位移傳感器頻率響應(yīng)較低，不適合快速動(dòng)態(tài)測(cè)量，《傳感器技術(shù)》第81頁，所以在超高轉(zhuǎn)速的位移測(cè)量時(shí)較困難。而新型的超高振蕩頻率的電感式位移傳感器的價(jià)格又很高，其感應(yīng)的原始信號(hào)電壓較低微伏至毫伏級(jí)，必須有高抗干擾的電磁屏蔽線引導(dǎo)?，F(xiàn)有技術(shù)的普通磁電式傳感器的構(gòu)造僅用于轉(zhuǎn)速測(cè)量不適用旋轉(zhuǎn)部件的徑向位移測(cè)量。退磁曲線可以表征磁路中永磁體的工作特性，當(dāng)外磁路磁阻變大時(shí)，需要永磁體向外磁路提供的磁動(dòng)勢(shì)也要大，永磁體向外磁路提供的每極總磁通就變小。在通常溫度范圍內(nèi)稀土永磁的退磁曲線是直線，如釹鐵硼、釤鈷等。見《現(xiàn)代永磁電機(jī)理論與設(shè)計(jì)》唐任遠(yuǎn)著，機(jī)械工業(yè)出版社2005年8月第I版第4次印刷，第38頁至42頁。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種被動(dòng)型磁電式徑向位移傳感器。它成本要低、感應(yīng)的原始信號(hào)電壓高、抗干擾能力強(qiáng)，專門用于旋轉(zhuǎn)部件的徑向位移測(cè)量，當(dāng)需要對(duì)轉(zhuǎn)子的徑向位移進(jìn)行控制時(shí)，感應(yīng)部件可以方便地與執(zhí)行器設(shè)計(jì)成一體，使測(cè)量點(diǎn)與執(zhí)行點(diǎn)距離重合或很近，以提高控制穩(wěn)定性。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的基本構(gòu)思是由電機(jī)原理，永磁體與轉(zhuǎn)子同轉(zhuǎn)，線圈在定子上靜止，則線圈中感應(yīng)出電動(dòng)勢(shì)。再結(jié)合永磁體的工作特性退磁曲線，在結(jié)構(gòu)不變的情況下永磁體向外磁路提供的每極總磁通，主要由轉(zhuǎn)子與定子間氣隙的大小決定，當(dāng)氣隙變小時(shí)總磁通變大，氣隙變大時(shí)總磁通變小，使得線圈中感應(yīng)的交流電動(dòng)勢(shì)幅值變大或變小。含有永磁體的轉(zhuǎn)子與含線圈的定子的結(jié)構(gòu)，在轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)并有徑向晃動(dòng)時(shí)，氣隙將一邊大而另一邊小，在晃動(dòng)方向的兩對(duì)邊的相同尺寸和匝數(shù)的線圈中，交流脈動(dòng)感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)幅值，氣隙小的邊其值大，氣隙大的邊其值小，將兩邊的電動(dòng)勢(shì)相減便反映了徑向位移量；若先整流，后取值之差，則可知位移量及其正負(fù)方向。在定子中心設(shè)立X、y直角坐標(biāo)系，即坐標(biāo)零點(diǎn)在定子中心，則，X方向的線圈或線圈組，反映X向徑向位移量；y方向的線圈或線圈組，反映y向徑向位移量。如此，便可知徑向位移矢量的大小方向。兩對(duì)邊的線圈的尺寸和匝數(shù)不完全相同時(shí)，只需由測(cè)量電路將數(shù)據(jù)作簡(jiǎn)單矯正，便可使座標(biāo)零點(diǎn)移至定子中心。輸出電動(dòng)勢(shì)差與位移轉(zhuǎn)速的關(guān)系為Δ ex = K Δ χ ωAex為輸出電動(dòng)勢(shì)差；Λχ為χ向位移量；ω為角速度轉(zhuǎn)速；K為構(gòu)造系數(shù)。在永磁體為稀土永磁時(shí)為常量，它與永磁的種類、轉(zhuǎn)子與定子間氣隙厚度、線圈的匝數(shù)個(gè)數(shù)以及排列、結(jié)構(gòu)尺寸等相關(guān)。y方向電動(dòng)勢(shì)差A(yù)ey，只需將上式χ替換為y即可。為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明基本構(gòu)思的技術(shù)方案是一種徑向位移傳感器，它包括永磁塊，線圈，定子，轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與定子間設(shè)氣隙，它的線圈設(shè)在定子上，其特征在于永磁塊固定在轉(zhuǎn)子上，使磁極磁場(chǎng)在氣隙處以N-S的順序沿轉(zhuǎn)子周向排列，在定子的中心建立χ、y直角坐標(biāo)系，線圈在坐標(biāo)軸上靠近氣隙的兩對(duì)邊設(shè)置，每個(gè)坐標(biāo)軸兩對(duì)邊的線圈出線對(duì)沖相連，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)使它們的電動(dòng)勢(shì)相減從而取得信號(hào)。對(duì)沖相連是指連接后線圈的電動(dòng)勢(shì)為相減，總幅值變小。定子每個(gè)坐標(biāo)軸兩對(duì)邊線圈出線的對(duì)沖相連可以是整流對(duì)沖相連或者不整流對(duì)沖相連，前者變成直流后電動(dòng)勢(shì)相減可辨別位移矢量的大小和方向，后者僅適用于辨別位移的大小。稀土永磁的退磁曲線是直線，永磁塊以稀土永磁制造為佳。本發(fā)明的兩對(duì)邊是指位置，在坐標(biāo)的正方為一邊，負(fù)方為另一邊。兩對(duì)邊的線圈可以單個(gè)也可以是多個(gè)。每邊的線圈可以串聯(lián)在一起以提高感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)；也可以并聯(lián)在一起以獲取更好的波形，并具備即使一組線圈斷線也能工作的安全冗余。這種串并聯(lián)可以先整流再進(jìn)行，也可以串并聯(lián)后再整流。線圈可以在定子上周向滿布，但必須按x、y坐標(biāo)分組。兩對(duì)邊的線圈具有相同的幾何角度大小和總匝數(shù)，即兩對(duì)邊的完全對(duì)稱為最佳， 線圈幾何角度的大小也與磁極所占的幾何角度大小相等為最佳。線圈可以嵌卡在硅鋼片制成的定子鐵芯線槽中以減少磁阻。同樣永磁塊也可吸合在轉(zhuǎn)子的鐵芯上。每個(gè)坐標(biāo)軸的兩對(duì)邊線圈的個(gè)數(shù)可以是單個(gè)也可以多個(gè)。線圈嵌卡在定子鐵芯上時(shí)，定子鐵芯附屬于定子也可以認(rèn)為它就是定子；永磁塊吸合在轉(zhuǎn)子鐵芯時(shí)，轉(zhuǎn)子鐵芯或者永磁塊和轉(zhuǎn)子鐵芯的組合附屬于轉(zhuǎn)子也可以認(rèn)為它們就是轉(zhuǎn)子。本方案還可以沒有定子鐵芯，比如線圈固定在非金屬材料的定子上；或者沒有轉(zhuǎn)子鐵芯，永磁塊固定在非鐵磁性材料的轉(zhuǎn)子上。本發(fā)明與永磁電機(jī)用途和領(lǐng)域不同，但是，永磁電機(jī)中轉(zhuǎn)子的永磁塊各種周向排布方式均適用于本發(fā)明，但并不是必須布滿整周。本發(fā)明的線圈排列與聯(lián)接則不同于電機(jī)。本發(fā)明的轉(zhuǎn)子可以在定子外即外轉(zhuǎn)子、內(nèi)定子構(gòu)造，也可以在定子內(nèi)即內(nèi)轉(zhuǎn)子、外定子構(gòu)造。轉(zhuǎn)子磁極的軸向?qū)挾瓤尚∮诨蛘叽笥诙ㄗ拥妮S向?qū)挾?，用于消除轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)、 和側(cè)轉(zhuǎn)振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響，從而實(shí)現(xiàn)軸向和側(cè)轉(zhuǎn)的解耦。本發(fā)明的轉(zhuǎn)子磁極可以就是永磁體自身的磁極，也可以是獨(dú)立的轉(zhuǎn)子鐵芯吸附在永磁體上而形成磁極。為了控制器數(shù)據(jù)采集和計(jì)算的便捷，永磁磁極的數(shù)量以2的整數(shù)次方倍為佳，比如2、4、8、16、32等。永磁塊可以為32片，以永磁塊的16對(duì)磁極面朝氣隙周向排列在轉(zhuǎn)子面上。本發(fā)明還具有轉(zhuǎn)速傳感器功能，信號(hào)變換電路讀取單位時(shí)間的波峰數(shù)除以轉(zhuǎn)子的磁極數(shù)便可得轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速。對(duì)于固定轉(zhuǎn)速的應(yīng)用場(chǎng)合，ω轉(zhuǎn)速角速度為常量，得到了輸出電動(dòng)勢(shì)差A(yù)ex、Aey 便可知轉(zhuǎn)子晃動(dòng)的位移矢量的大小、方向。而對(duì)于變轉(zhuǎn)速的場(chǎng)合，信號(hào)變換電路測(cè)得轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速，然后將轉(zhuǎn)速除電動(dòng)勢(shì)差得到轉(zhuǎn)子晃動(dòng)位移矢量的大小、方向。本發(fā)明所獲得的電動(dòng)勢(shì)差電壓值，通?？梢允且苑鼮閱挝坏牧考?jí)，所以抗干擾能力強(qiáng)。在應(yīng)用時(shí)，設(shè)定一系列的轉(zhuǎn)子位移偏心量，測(cè)得對(duì)應(yīng)的一系列電動(dòng)勢(shì)差來進(jìn)行傳感器的特性標(biāo)定。本發(fā)明的技術(shù)方案列出了為解決本案技術(shù)問題相關(guān)的各必要技術(shù)特征及其主題名稱，作為主題一種徑向位移傳感器，本發(fā)明的技術(shù)方案在用于具體產(chǎn)品中實(shí)施時(shí)，所需的現(xiàn)有技術(shù)可自行加入。本發(fā)明的有益效果原理結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，根據(jù)使用條件可設(shè)計(jì)體積的大小，原始信號(hào)電壓相對(duì)高，故可靠性佳。尤其是在控制系統(tǒng)使用傳感器場(chǎng)合，比如磁懸浮軸承系統(tǒng)中表現(xiàn)尤為突出，可方便使測(cè)量點(diǎn)與執(zhí)行點(diǎn)重合，無動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)問題，令控制系統(tǒng)穩(wěn)定性大為提高。它不依靠外界電源供電故節(jié)省能源，很適合應(yīng)用于飛輪儲(chǔ)電裝置，以提高效率。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
圖I永磁塊沿外轉(zhuǎn)子周向排列示意圖2永磁塊沿內(nèi)轉(zhuǎn)子周向一種排列示意圖3線圈在內(nèi)定子上的一種排布圖4線圈在外定子上的一種排布圖5線圈在定子上的另一種排布圖6外轉(zhuǎn)子內(nèi)定子的一種實(shí)施例示意圖7內(nèi)轉(zhuǎn)子外定子的一種實(shí)施例示意圖8本發(fā)明實(shí)施例轉(zhuǎn)子位移O. Imm時(shí)的信號(hào)波；
圖9本發(fā)明實(shí)施的特性線。
具體實(shí)施方式
圖I永磁塊沿外轉(zhuǎn)子周向排列示意圖，永磁塊2沿轉(zhuǎn)子3的周向整圈排布，徑向吸附在轉(zhuǎn)子鐵芯I的內(nèi)壁上，永磁塊2的磁極9面朝徑向，它們以N-S極的順序沿轉(zhuǎn)子周向排列。圖2永磁塊沿內(nèi)轉(zhuǎn)子另一種周向排列示意圖，永磁塊2沿轉(zhuǎn)子3的周向整圈排布， 周向吸附在轉(zhuǎn)子鐵芯I的側(cè)壁上，在轉(zhuǎn)子鐵芯I的外徑向形成磁極9，它們以N-S極的順序沿轉(zhuǎn)子周向排列。圖3線圈在內(nèi)定子上的一種排布圖，定子6中心上建立x、y直角坐標(biāo)系，線圈4設(shè)置在各坐標(biāo)軸兩對(duì)邊，它們處在定子6即定子鐵芯5外徑邊側(cè)的位置上，兩對(duì)邊的線圈4完全對(duì)稱。圖4線圈在外定子上的一種排布圖，它的線圈4以定子6上建立的X、y直角坐標(biāo)為依據(jù)，沿各坐標(biāo)軸在定子6即定子鐵芯5內(nèi)徑邊側(cè)的位置，以xl，x2、x3, x4 ；yl, y2、y3， y4兩對(duì)邊成對(duì),兩對(duì)邊的線圈4完全對(duì)稱,線圈4在定子6上周向滿布。圖5線圈在定子上的另一種排布圖，定子6中心上建立x、y直角坐標(biāo)系,線圈4設(shè)置在各坐標(biāo)軸兩對(duì)邊，位于定子6的定子鐵芯5邊側(cè)的位置上，總匝數(shù)和角度尺寸相同顯現(xiàn)兩對(duì)邊完全對(duì)稱，兩對(duì)邊的線圈4均呈現(xiàn)內(nèi)外兩排每排多個(gè)，每個(gè)位置的線圈4可以各自全部串聯(lián)在一起以提聞感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)；或者每排多個(gè)串聯(lián)后，各自兩排并聯(lián)在一起以獲取更好的波形，并具備即使一組線圈4斷線也能工作的安全冗余。圖6為外轉(zhuǎn)子內(nèi)定子的一種實(shí)施例示意圖，它包括永磁塊2，線圈4，內(nèi)定子6，外轉(zhuǎn)子3,外轉(zhuǎn)子3與內(nèi)定子6間設(shè)氣隙7,內(nèi)定子6固定不動(dòng),永磁塊2固定在外轉(zhuǎn)子3上, 使磁極9磁場(chǎng)在氣隙7處以N-S的順序沿外轉(zhuǎn)子3周向排列，永磁塊2為32片，以永磁塊 2的16對(duì)磁極9面朝氣隙7周向排列在轉(zhuǎn)子3內(nèi)面。它的線圈4在定子6上,定子6中心上建立x、y直角坐標(biāo)系，線圈4處在各坐標(biāo)軸的兩對(duì)邊并設(shè)在定子6的定子鐵芯5外邊上， 它們總匝數(shù)和幾何角度尺寸相同顯現(xiàn)兩對(duì)邊完全對(duì)稱，線圈4所占的角度大小與磁極9相等為a，每個(gè)坐標(biāo)軸的兩對(duì)邊線圈4的出線對(duì)沖相連8，轉(zhuǎn)子3轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)使它們不經(jīng)整流的電動(dòng)勢(shì)相減從而取得信號(hào)。圖7為內(nèi)轉(zhuǎn)子外定子的一種實(shí)施例示意圖，它包括永磁塊2，線圈4，外定子6，內(nèi)轉(zhuǎn)子3,內(nèi)轉(zhuǎn)子3與外定子6間設(shè)氣隙7,外定子6固定不動(dòng),永磁塊2固定在內(nèi)轉(zhuǎn)子3上, 使磁極9磁場(chǎng)在氣隙7處以N-S的順序沿內(nèi)轉(zhuǎn)子3周向排列，它的線圈4在定子6上，定子 6中心上建立χ、y直角坐標(biāo)系，線圈4在各坐標(biāo)軸兩對(duì)邊成對(duì)地設(shè)直在定子6的定子鐵芯 5邊上，它們?cè)褦?shù)和幾何角度尺寸相同顯現(xiàn)兩對(duì)邊完全對(duì)稱，每個(gè)坐標(biāo)軸的兩對(duì)邊線圈4的出線以直流整流對(duì)沖相連8-1，轉(zhuǎn)子3轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)使它們的電動(dòng)勢(shì)相減從而取得信號(hào)。圖8本發(fā)明實(shí)施例轉(zhuǎn)子位移O. Imm時(shí)的信號(hào)波，它是線圈4直流整流對(duì)沖相連8-1 的電動(dòng)勢(shì)波形，這時(shí)轉(zhuǎn)子3轉(zhuǎn)速為每分鐘1000轉(zhuǎn)。圖9本發(fā)明實(shí)施的特性線，可見徑向位移與電壓值的關(guān)系己乎是直線，靈敏度和精度都很高。本發(fā)明并不僅僅局限于上述的實(shí)施方式。與本發(fā)明屬同一基本構(gòu)思的其它形式， 也屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。本發(fā)明所述的技術(shù)方案是為解決本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題而設(shè)，相對(duì)于所要解決的技術(shù)問題，它建立了其技術(shù)內(nèi)容的完整性。將它實(shí)施于具體的徑向位移傳感器或其它產(chǎn)品中時(shí)，實(shí)現(xiàn)該產(chǎn)品所必需的技術(shù)特征，可以多于本發(fā)明技術(shù)方案解決技術(shù)問題的必要技術(shù)特征的總和。本發(fā)明各技術(shù)特征的含義按照說明書中各專有名詞的定義；沒有專門定義的，引入本技術(shù)領(lǐng)域的公知常識(shí)和技術(shù)，但該知識(shí)的范疇受限于本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題、基本構(gòu)思、技術(shù)方案，結(jié)合它在本發(fā)明所具備的功能、所起的作用和產(chǎn)生的效果，即參考說明書及其附圖的內(nèi)容進(jìn)行理解，該特征名稱的文字措辭不是其含義的限制，以免產(chǎn)生對(duì)本發(fā)明的歧義。本發(fā)明進(jìn)一步作說明，本發(fā)明的說明書及其附圖所表達(dá)的所有內(nèi)容僅用作權(quán)利要求的解釋和理解，它不得積極、主動(dòng)地介入確定權(quán)利要求保護(hù)范圍，即不可作為限制，尤其是跟本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題無關(guān)聯(lián)的內(nèi)容部分，更是如此。本條為說明書之內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種徑向位移傳感器，它包括永磁塊(2)，線圈(4)，定子￠)，轉(zhuǎn)子(3)，轉(zhuǎn)子(3)與定子(6)間設(shè)氣隙(7)，它的線圈(4)在定子(6)上，其特征在于永磁塊(2)固定在轉(zhuǎn)子(3) 上，使磁極(9)磁場(chǎng)在氣隙(7)處以N-S的順序沿轉(zhuǎn)子(3)周向排列，在定子(6)的中心建立x、y直角坐標(biāo)系，線圈(4)在坐標(biāo)軸上靠近氣隙(7)的兩對(duì)邊設(shè)置，每個(gè)坐標(biāo)軸兩對(duì)邊的線圈(4)出線對(duì)沖相連(8)，轉(zhuǎn)子(3)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)使感應(yīng)的電動(dòng)勢(shì)相減從而取得信號(hào)。
2.如權(quán)利要求I所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的對(duì)沖相連(8)是整流對(duì)沖相連(8-1)。
3.如權(quán)利要求I所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的兩對(duì)邊的線圈(4)內(nèi)外兩排成組，每邊的線圈(4)全部串聯(lián)。
4.如權(quán)利要求I所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的兩對(duì)邊的線圈(4)內(nèi)外兩排成組，每排線圈⑷串聯(lián)后，每邊的兩排線圈⑷再并聯(lián)在一起。
5.如權(quán)利要求I所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的磁極(9)數(shù)量為2的整數(shù)次方倍。
6.如權(quán)利要求I所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的線圈(4)兩對(duì)邊的完全對(duì)稱。
7.如權(quán)利要求6所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的線圈(4)所占的角度大小與磁極(9)相等。
8.如權(quán)利要求7所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的對(duì)沖相連(8)是整流對(duì)沖相連(8-1)。
9.如權(quán)利要求8所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的兩對(duì)邊的線圈(4)內(nèi)外兩排成組，每排線圈⑷串聯(lián)后，每邊的兩排線圈⑷再并聯(lián)在一起。
10.如權(quán)利要求9所述的徑向位移傳感器，其特征還在于所述的兩對(duì)邊的線圈(4)是單個(gè)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種徑向位移傳感器，是被動(dòng)型磁電式，專門用于旋轉(zhuǎn)部件的徑向位移測(cè)量，原始信號(hào)電壓較高，抗干擾能力強(qiáng)體積小，它的線圈(4)在定子(6)上，它的永磁塊(2)固定在轉(zhuǎn)子(3)上，使磁極(9)磁場(chǎng)在氣隙(7)處以N-S極的順序沿轉(zhuǎn)子(3)周向排列，在定子(6)的中心建立x、y直角坐標(biāo)系，線圈(4)設(shè)置在各坐標(biāo)軸靠近氣隙(7)的兩對(duì)邊，每個(gè)坐標(biāo)軸兩對(duì)邊的線圈(4)出線對(duì)沖相連(8)，轉(zhuǎn)子(3)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)使感應(yīng)的電動(dòng)勢(shì)相減從而取得信號(hào)。采用這種結(jié)構(gòu)的徑向位移傳感器無動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)問題，令測(cè)量精度、靈敏度，及用于控制時(shí)系統(tǒng)的穩(wěn)定性大為提高。
文檔編號(hào)G01B7/02GK102607396SQ201210101198
公開日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2012年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月31日
發(fā)明者劉延風(fēng) 申請(qǐng)人:劉延風(fēng)