專利名稱：一拖二開關切換式轉接線纜的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于半導體技術領域，尤其是一種半導體設備連接裝置。
背景技術：
目前的半導體可靠性實驗中，用到一臺半導體測試分析儀(例如AgilentB1500A)，同時又有兩個設備需要和它連接以進行測試，一臺是探針臺(例如Cascade Elite 300),另一臺是測試夾具(例如 Agilent 16442B test fixture)。但是，目前Agilent B1500A由于端口受限,一次只能連接一臺設備,所以需要反復插拔SMU (SourceMeasurement Unit)線纜以在 Cascade Elite 300 與 Agilent 16442Btest fixture 之間進行切換。這樣做的弊端是會導致SMU連接線的連接頭以及設備上的SMU端口的磨損，磨損會使得漏電流升高，進而影響測試的精度。而半導體技術領域中對于測試的精度是要求很高的，例如很多低漏電項目需要的測試精度在1E-13安培左右，容易受到上述磨損的影響

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是對上述連接方式進行改進，避免SMU反復插拔帶來的磨損及其導致的測試精度受影響。本發(fā)明所采用的技術方案是一種一拖二開關切換式轉接線纜，包括主控接頭、第一分接頭以及第二分接頭；雙控開關，所述雙控開關包括主控端、第一連接端以及第二連接端，所述主控端通過主控線纜與主控接頭連接，所述第一連接端通過第一分線纜與第一分接頭連接，所述第二連接端通過第二分線纜與第二分接頭連接；通過操作雙控開關使得所述線纜具有兩個工作狀態(tài)第一，主控接頭與第一分接頭導通、與第二分接頭斷開；第二，主控接頭與第一分接頭斷開、與第二分接頭導通。此發(fā)明的一拖二開關切換式轉接線纜，可以把一路SMU分成兩路，而且可以通過切換開關隨時在兩路分支之間進行切換，從而實現(xiàn)不同設備之間的切換，避免了頻繁插拔SMU連接線所帶來的接頭磨損和漏電加大的影響，不但減少了頻繁的插拔動作，也保證了測試設備的高精度。并且，采用雙控開關，可以確保當某一分支使用時，屏蔽另一分支所帶來的噪音。


通過附圖中所示的本發(fā)明的優(yōu)選實施例的更具體說明，本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點在于示出本發(fā)明的主旨。圖I是本發(fā)明提出的一拖二開關切換式轉接線纜示意圖；圖2a 2c是各種切換開關工作原理示意圖。
具體實施方式
參見圖I所示的一拖二開關切換式轉接線纜4，用于連接半導體測試分析儀I (例如Agilent B1500A)、探針臺2 (例如Cascade Elite 300)以及是測試夾具3 (例如Agilent16442B test fixture)進行可靠性實驗。所述線纜4首先包括分別與上述三個設備連接的主控接頭41、第一分接頭42以及第二分接頭43，分別與三個設備上的SMU端口對應連接。線纜4還包括雙控開關40，所述雙控開關40用于實現(xiàn)連接端口的切換，該雙控開關40包括主控端、第一連接端以及第二連接端。所述主控端通過主控線纜44與主控接頭41連接；所述第一連接端通過第一分線纜45與第一分接頭42連接；所述第二連接端通過第二分線纜46與第二分接頭43連接。由此，通過操作雙控開關40即可實現(xiàn)該線纜4的兩個工作狀態(tài)第一，主控接頭41與第一分接頭42導通、與第二分接頭43斷開；第二，主控接頭41與第一分接頭42斷開、與第二分接頭43導通。
下面通過三個更為具體的雙控開關40的結構說明各種切換開關的工作原理。參見圖2a所示的雙控開關40為旋轉撥片式的結構，旋轉撥片的一端轉動連接在雙控開關40的主控端，另一端通過轉動(參見圖中旋轉箭頭方向)能分別實現(xiàn)主控端與第一連接端或者第二連接端的連接。圖中實線表示旋轉撥片與第一連接端導通、與第二連接端斷開；圖中虛線表示旋轉撥片與第一連接端斷開、與第二連接端導通。參見圖2b所示的雙控開關40為滑塊式的結構，通過滑塊的滑動(參見圖中平移箭頭方向)能分別實現(xiàn)主控端與第一連接端或者第二連接端的連接。圖中實線表示旋轉撥片與第一連接端導通、與第二連接端斷開；圖中虛線表示旋轉撥片與第一連接端斷開、與第二連接端導通。參見圖2c，此圖的視角與圖2a、2b有區(qū)別，令圖2a、2b為主視圖，那么圖2c則為俯視圖或者仰視圖。圖2c所示的雙控開關40為按鈕式的結構，按鈕的中間部分與主控端轉動連接，通過按鈕圍繞主控端的旋轉(參見圖中旋轉箭頭方向)能分別實現(xiàn)主控端與第一連接端或者第二連接端的連接。圖中實線表示旋轉撥片與第一連接端導通、與第二連接端斷開；圖中虛線表示旋轉撥片與第一連接端斷開、與第二連接端導通。本發(fā)明雖然以較佳實施例公開如上，但本發(fā)明并不局限于半導體可靠性試驗，其它需要應用到一拖二線纜連接的場合也適用于本專利。本發(fā)明的保護范圍應當以本發(fā)明權利要求所界定的范圍為準。
權利要求
1.一種一拖二開關切換式轉接線纜，其特征在于包括主控接頭、第一分接頭以及第二分接頭；雙控開關，所述雙控開關包括主控端、第一連接端以及第二連接端，所述主控端通過主控線纜與主控接頭連接，所述第一連接端通過第一分線纜與第一分接頭連接，所述第二連接端通過第二分線纜與第二分接頭連接；通過操作雙控開關使得所述線纜具有兩個工作狀態(tài)第一，主控接頭與第一分接頭導通、與第二分接頭斷開；第二，主控接頭與第一分接頭斷開、與第二分接頭導通。
2.如權利要求I所述的一拖二開關切換式轉接線纜，其特征在于雙控開關為旋轉撥片式的結構，旋轉撥片的一端轉動連接在雙控開關的主控端，另一端通過轉動能分別實現(xiàn)主控端與第一連接端或者第二連接端的連接。
3.如權利要求I所述的一拖二開關切換式轉接線纜，其特征在于雙控開關為滑塊式的結構，通過滑塊的滑動能分別實現(xiàn)主控端與第一連接端或者第二連接端的連接。
4.如權利要求I所述的一拖二開關切換式轉接線纜，其特征在于雙控開關為按鈕式的結構，按鈕的中間部分與主控端轉動連接，通過按鈕圍繞主控端的旋轉能分別實現(xiàn)主控端與第一連接端或者第二連接端的連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種半導體設備連接裝置，尤其是一種一拖二開關切換式轉接線纜，包括主控接頭、第一分接頭以及第二分接頭；雙控開關，所述雙控開關包括主控端、第一連接端以及第二連接端，所述主控端通過主控線纜與主控接頭連接，所述第一連接端通過第一分線纜與第一分接頭連接，所述第二連接端通過第二分線纜與第二分接頭連接；通過操作雙控開關使得所述線纜具有分別與第一分接頭或者第二分接頭導通的工作狀態(tài)。此發(fā)明通過切換開關隨時在兩路分支之間進行切換，避免了頻繁插拔SMU連接線所帶來的接頭磨損和漏電加大的影響，保證了測試設備的高精度。并且，采用雙控開關可以確保當某一分支使用時，屏蔽另一分支所帶來的噪音。
文檔編號G01R1/06GK102621359SQ20121009150
公開日2012年8月1日 申請日期2012年3月30日 優(yōu)先權日2012年3月30日
發(fā)明者周柯, 尹彬鋒, 王炯 申請人:上海華力微電子有限公司