專利名稱：尺寸測量設(shè)備、尺寸測量方法和用于尺寸測量設(shè)備的程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及尺寸測量設(shè)備、尺寸測量方法和用于尺寸測量設(shè)備的程序，更具體地，涉及對以不同拍攝放大率拍攝臺上的工件以測量工件尺寸的尺寸測量設(shè)備的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
一般，尺寸測量設(shè)備是一種用于基于通過拍攝工件而獲得的工件圖像的邊緣來測量工件尺寸的設(shè)備，并且可以被稱為圖像測量設(shè)備(例如，未審查日本專利公布第2009-300124號、未審查日本專利公布第2009-300125號、未審查日本專利公布第2010-19667號)。通常，工件位于可在X軸方向、Y軸方向和Z軸方向上移動的可移動臺中。在Z軸方向上移動可移動臺以執(zhí)行工件圖像的聚焦調(diào)整，并且在X軸方向和Z軸方向上移動可移動臺，以在視場內(nèi)執(zhí)行工件的定位。不管可移動臺在Z軸方向上的位置如何，工件圖像都具有與工件的形狀極其精確類似的形狀，因此，確定關(guān)于圖像的距離和角度可以檢測關(guān)于工件圖像的實際尺寸。在借助于這樣的尺寸測量設(shè)備測量工件的尺寸的情況下，增大拍攝放大率可以帶來測量精確性的提高。然而，已存在增大拍攝放大率使視場變窄于是縮小了臺上的拍攝區(qū)域的問題，從而使得難以將工件放置在拍攝區(qū)域內(nèi)。因此，考慮了使高放大率拍攝和低放大率拍攝可切換以執(zhí)行工件的位置調(diào)整并且將該工件置于高放大率視場內(nèi)，同時觀看通過低放大率拍攝而獲得的工件圖像的屏幕顯示。然而，傳統(tǒng)的尺寸測量設(shè)備存在的問題在于必須手動地執(zhí)行拍攝放大率的切換以及工件的姿態(tài)調(diào)整和定位，從而使得操作過程復(fù)雜并且尺寸測量要花很長時間。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情況而做出了本發(fā)明，并且本發(fā)明的一個目的在于提供如下的一種尺寸測量設(shè)備其能夠?qū)⑻幵诘头糯舐室晥鰞?nèi)的工件自動轉(zhuǎn)移到高放大率視場內(nèi)，從而以高精度地測量工件的尺寸。具體地，一個目的在于提供如下的一種尺寸測量設(shè)備即使在工件以任意姿態(tài)和任意位置布置在可移動臺上時，只要工件布置在低放大率視場內(nèi)，該尺寸測量設(shè)備就能夠高精度地測量期望尺寸。另外，一個目的在于提供如下的一種尺寸測量設(shè)備其能夠提高測量精度、同時簡化尺寸測量的操作過程，并且還能夠縮短尺寸測量所需的時間。此外，本發(fā)明的一個目的在于提供如下的一種尺寸測量方法其能夠高精度地測量工件、同時簡化尺寸測量的操作過程，并且還能夠縮短尺寸測量所需的時間。此外，本發(fā)明的一個目的在于提供一種用于尺寸測量設(shè)備的程序，其使得終端裝置起到如上所述的尺寸測量設(shè)備的作用。根據(jù)第一本發(fā)明的尺寸測量設(shè)備是如下的尺寸測量設(shè)備其中，形成低放大率視場、同時在低放大率視場內(nèi)形成比低放大率視場窄的高放大率視場，并且以不同的拍攝放大率拍攝臺上的工件，以測量工件的尺寸。該尺寸測量設(shè)備構(gòu)造為包括可移動臺，其能夠在XY方向上移動；測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部，其保存特征量信息和測量位置信息，其中該特征量信息用于從拍攝圖像檢測工件，該測量位置信息表示被指定為待測對象的待測位置；低放大率成像部，其以低放大率拍攝處在低放大率視場內(nèi)的工件，以生成低放大率圖像；工件檢測部，其基于特征量信息指定工件在低放大率圖像中的位置和姿態(tài)；臺控制部，其基于所指定的位置和姿態(tài)控制可移動臺，以使得工件的待測位置保持在高放大率視場內(nèi)；高放大率成像部，其以高放大率拍攝已移動到高放大率視場中的待測位置，以生成高放大率圖像；邊緣提取部，其基于測量位置信息，從高放大率圖像中提取待測位置的邊緣；以及尺寸值計算部，其基于所提取的邊緣獲得待測位置的尺寸值。
在該尺寸測量設(shè)備中，借助于通過以低放大率拍攝工件而獲得的低放大率圖像指定工件在可移動臺上的位置和姿態(tài)，并且控制可移動臺以使得工件的待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。因此，可以自動將處在低放大率視場內(nèi)的工件轉(zhuǎn)移到高放大率視場中，從而以高放大率拍攝待測位置。通過這種構(gòu)造，即使當(dāng)工件以任意姿態(tài)和任意位置布置在可移動臺上時，也能將工件自動轉(zhuǎn)移到高放大率視場中，并且只要工件布置在低放大率視場內(nèi)，就可以獲得待測位置的尺寸值，因此，可以高精度地測量期望尺寸。另外，由于只要工件布置在低放大率視場內(nèi)而無論其在何處及以何種姿態(tài)布置，就都可以以高放大率測量工件，因此，可以提高測量精確性、同時簡化尺寸測量的操作過程，并且還可以縮短尺寸測量所需的時間。除了上述構(gòu)造之外，根據(jù)第二本發(fā)明的尺寸測量設(shè)備構(gòu)造為包括測量位置信息生成部，其針對通過高放大率成像部以高放大率拍攝主工件而獲得的主圖像，指定待測位置和測量方法，以生成測量位置信息；以及特征量信息生成部，其基于通過低放大率拍攝部以低放大率拍攝主工件而獲得的主圖像，生成由檢驗?zāi)Ｊ綀D像組成的特征量信息。通過這種構(gòu)造，由于針對通過以高放大率拍攝主工件而獲得的主圖像來指定待測位置和測量方法，因此，可以以高放大率指定希望對形狀與主工件的形狀相同的工件進(jìn)行測量的位置。另外，由于基于通過以低放大率拍攝主工件而獲得的主圖像來生成由檢驗?zāi)Ｊ綀D像組成的特征量信息，因此，在模式圖像與通過以低放大率拍攝工件而獲得的低放大率圖像之間進(jìn)行檢驗?zāi)軌蚓_指定形狀與主工件的形狀相同的工件的位置和姿態(tài)。除了上述構(gòu)造外，根據(jù)第三本發(fā)明的尺寸測量設(shè)備構(gòu)造為使得在存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的兩個以上的工件的情況下，臺控制部針對這些工件順序地移動可移動臺，以使得待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。通過這種構(gòu)造，即使在存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的多個工件的情況下，順序地移動可移動臺，以使得待測位置保持在高放大率視場內(nèi)，因此，可以自動將這些工件順序地轉(zhuǎn)移到高放大率視場中，以獲得待測位置的尺寸值。除了上述構(gòu)造外，根據(jù)第四本發(fā)明的尺寸測量設(shè)備構(gòu)造為使得在針對同一工件存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的兩個以上待測位置的情況下，臺控制部針對各待測位置順序地移動可移動臺，以使得各待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。通過這種構(gòu)造，由于順序地移動可移動臺以使得各待測位置保持在高放大率視場內(nèi)，因此，即使在針對同一工件存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的多個待測位置的情況下，也可以自動將這些待測位置順序地轉(zhuǎn)移到高放大率視場中，以獲得各待測位置的尺寸值。根據(jù)第五本發(fā)明的尺寸測量設(shè)備構(gòu)造為使得邊緣提取部基于低放大率圖像對已在測量位置信息中指定了以低放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置執(zhí)行邊緣提取，并且臺控制部針對已在測量位置信息中指定了以高放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置來移動可移動臺，以使得待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。
通過這種構(gòu)造，以低放大率測量不能保持在高放大率視場內(nèi)的待測位置的尺寸，并且以高放大率測量保持在高放大率視場內(nèi)的待測位置的尺寸，從而允許高精度地測量尺寸值。根據(jù)第六本發(fā)明的尺寸測量方法是如下的一種尺寸測量方法其中，形成低放大率視場、同時在低放大率視場內(nèi)形成比低放大率視場窄的高放大率視場，并且以不同的拍攝放大率拍攝臺上的工件，以測量工件的尺寸。該尺寸測量方法配置為包括測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲步驟，用于存儲特征量信息和測量位置信息，其中，該特征量信息用于從拍攝圖像檢測工件，該測量位置信息表示指定為待測對象的待測位置；低放大率成像步驟，用于以低放大率拍攝低放大率視場內(nèi)的工件，以生成低放大率圖像；工件檢測步驟，用于基于特征量信息指定工件在低放大率圖像中的位置和姿態(tài)；臺控制步驟，用于基于所指定的位置和姿態(tài)在XY方向上控制可移動臺，以使得工件的待測位置保持在高放大率視場內(nèi)；高放大率成像步驟，用于以高放大率拍攝已移動到高放大率視場中的待測位置，以生成高放大率圖像；邊緣提取步驟，用于基于所指定的位置和姿態(tài)以及測量位置信息，從高放大率圖像中提取待測位置的邊緣；以及尺寸值計算步驟，用于基于所提取的邊緣獲得待測位置的尺寸值。根據(jù)第七本發(fā)明的用于尺寸測量設(shè)備的程序是如下的一種程序其用于形成低放大率視場、同時在低放大率視場內(nèi)形成比低放大率視場窄的高放大率視場，并且以不同的拍攝放大率拍攝臺上的工件，以測量工件的尺寸。用于尺寸測量設(shè)備的程序配置為包括測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲過程，用于存儲特征量信息和測量位置信息，其中，該特征量信息用于從拍攝圖像檢測工件，該測量位置信息表示指定為待測對象的待測位置；低放大率成像過程，用于以低放大率拍攝低放大率視場內(nèi)的工件，以生成低放大率圖像；工件檢測過程，用于基于特征量信息指定工件在低放大率圖像中的位置和姿態(tài)；臺控制過程，用于基于所指定的位置和姿態(tài)在XY方向上控制可移動臺，以使得工件的待測位置保持在高放大率視場內(nèi)；高放大率成像過程，用于以高放大率拍攝已移動到高放大率視場中的待測位置，以生成高放大率圖像；邊緣提取過程，用于基于所指定的位置和姿態(tài)以及測量位置信息，從高放大率圖像中提取待測位置的邊緣；以及尺寸值計算過程，用于基于所提取的邊緣獲得待測位置的尺寸值。在根據(jù)本發(fā)明的尺寸測量設(shè)備中，即使當(dāng)工件以任意姿態(tài)和任意位置布置在可移動臺上時，也能將工件自動轉(zhuǎn)移到高放大率視場中，并且只要工件布置在低放大率視場內(nèi)，就可以獲得待測位置的尺寸值，因此，可以高精度地測量期望尺寸。另外，由于只要工件布置在低放大率視場內(nèi)而無論工件布置在何處以及以何種姿態(tài)布置，就都可以以高放大率測量工件，因此可以提高測量精確性、同時簡化尺寸測量的操作過程，并且還可以縮短尺寸測量所需的時間。此外，在根據(jù)本發(fā)明的尺寸測量方法中，由于只要工件布置在低放大率視場內(nèi)而無論工件布置在何處以及以何種姿態(tài)布置，就可以以高放大率測量工件，因此可以提高測量精確性、同時簡化尺寸測量的操作過程，并且還可以縮短尺寸測量所需的時間。此外，在根據(jù)本發(fā)明的用于尺寸測量設(shè)備的程序中，可以使終端裝置起到如上所述的尺寸測量設(shè)備的作用。


圖I是示出 根據(jù)本發(fā)明實施例的尺寸測量設(shè)備I的結(jié)構(gòu)示例的透視圖；圖2是圖I的測量單元10的內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示例的說明圖，其示出沿測量單元10的垂直平面切割測量單元10的情況下的切割表面；圖3是示出圖2的環(huán)形照明單元130的結(jié)構(gòu)圖的示圖；圖4是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I中的操作示例的流程圖；圖5是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在創(chuàng)建測量設(shè)置數(shù)據(jù)時的操作示例的流程圖；圖6是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I中形成的拍攝視場的示例的示圖，其示出低放大率視場的邊界Al、高放大率視場的邊界A2和這些視場的中心A3 ；圖7A和圖7B是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在創(chuàng)建測量設(shè)置數(shù)據(jù)時的操作示例的示圖，其示出通過拍攝主工件而獲得的主圖像Ml、M2 ；圖8是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I的操作示例的流程圖；圖9A和圖9B是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在測量時的操作示例的示圖，其示出通過拍攝工件W而獲得的工件圖像W1、W2 ；圖10是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在顯示測量結(jié)果時的操作示例的示圖，其示出其中布置有測量結(jié)果的工件圖像W2 ；圖IlA至圖IlC是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在測量時的另一操作示例的示圖；以及圖12是示出圖I的控制單元20的結(jié)構(gòu)示例的框圖，其示出控制單元20內(nèi)的功能構(gòu)造的示例。
具體實施例方式<尺寸測量設(shè)備1>圖I是根據(jù)本發(fā)明實施例的尺寸測量設(shè)備I的結(jié)構(gòu)示例的透視圖。該尺寸測量設(shè)備I是拍攝布置在可移動臺上的工件并分析所拍攝的圖像以測量工件尺寸的圖像測量設(shè)備。尺寸測量設(shè)備I由測量單元10、控制單元20、鍵盤31和鼠標(biāo)32構(gòu)成。工件是形狀和尺寸待測量的待測對象。測量單元10是光學(xué)系統(tǒng)單元，其將照明光施加至工件，并且接收透過工件的透射光或由工件反射的反射光，以生成拍攝圖像。測量單元10設(shè)置有顯示器11、可移動臺12、XY位置調(diào)整旋鈕14a、Z位置調(diào)整旋鈕14b、電源開關(guān)15和測量開始按鈕16。顯示器11是對拍攝圖像、測量結(jié)果和測量條件設(shè)置畫面進(jìn)行屏幕顯示的顯示器?？梢苿优_12是用于安裝作為待測對象的工件的安裝臺，并且在其大致水平且平坦的安裝表面內(nèi)形成有照明光所透過的檢測區(qū)域13。檢測區(qū)域13是由透明玻璃制成的圓形區(qū)域。該可移動臺12可以在與拍攝軸平行的Z軸方向上以及在與拍攝軸垂直的X軸方向和Y軸方向中的每個方向上移動。XY位置調(diào)整旋鈕14a是用于在X軸方向和Y軸方向上移動可移動臺12的操作部。Z位置調(diào)整旋鈕14b是用于在Z軸方向上移動可移動臺12的操作部。電源開關(guān)15是用于接通或斷開測量單元10和控制單元20的電源的操作部，并且測量開始按鈕16是用于開始尺寸測量的操作部?？刂茊卧?0是控制測量單元10的顯示器11和可移動臺12、并分析由測量單元10拍攝到的工件圖像以計算工件的尺寸的控制器。鍵盤31和鼠標(biāo)32連接至控制單元20。在接通電源后，將工件適當(dāng)?shù)夭贾迷跈z測區(qū)域13內(nèi)并且操作測量開始按鈕16以對工件進(jìn)行自動測量?！礈y量單元10> 圖2是圖I的測量單元10的內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示例的示意圖，其示出沿著測量單元10的垂直平面切割測量單元10的情況下的切割表面。該測量單元10包括顯示器11、可移動臺12、驅(qū)動單元110、透射照明單元120、環(huán)形照明單元130、同軸落射照明光源(epi-iIlumination light source) 141、光接收透鏡單兀 150 以及成像兀件 155 和 158。顯示器11和可移動臺12布置在殼體IOa外部。臺驅(qū)動單元110、透射照明單元120、環(huán)形照明單元130、同軸落射照明光源141、光接收透鏡單元150以及成像元件155和158容納于殼體IOa內(nèi)部。另外，臺驅(qū)動單元110和透射照明單元120布置在可移動臺12下方。環(huán)形照明單元130、同軸落射照明光源141、光接收透鏡單元150以及成像元件155和158布置在可移動臺12上方。該測量單元10將照明光施加至布置在可移動臺12的檢測區(qū)域13內(nèi)的工件，并且接收透射光或反射光，以使得成像元件155和158形成圖像，從而獲取工件圖像。分析該工件圖像以測量工件的尺寸，從而使得測量結(jié)果顯示在顯示器11上?？梢砸圆煌呐臄z放大率拍攝可移動臺12上的工件。例如，可以在低放大率拍攝與高放大率拍攝之間進(jìn)行選擇，其中，在低放大率拍攝中，將直徑為25mm等級(order)的拍攝區(qū)域作為拍攝視場，在高放大率拍攝中，將直徑為6_等級的拍攝區(qū)域作為拍攝視場。通過以低放大率拍攝工件而獲得的低放大率圖像和通過以高放大率拍攝工件而獲得的高放大率圖像可以被電切換并顯示在顯示器11上。臺驅(qū)動單元110是基于來自控制單元20的控制信號移動可移動臺12的驅(qū)動單元，并且由Z驅(qū)動部11和XY驅(qū)動部112組成。Z驅(qū)動部111是用于在拍攝軸方向上調(diào)整工件的位置的Z位置調(diào)整部，其在Z軸方向上在預(yù)定范圍內(nèi)移動可移動臺。XY驅(qū)動部112是用于調(diào)整工件在拍攝區(qū)內(nèi)的位置的XY位置調(diào)整部，其在X軸方向和Y軸方向上在預(yù)定范圍內(nèi)移動可移動臺12。透射照明單元120是用于將來自下方的照明光施加至布置在可移動臺12的檢測區(qū)域13內(nèi)的工件的照明裝置，并且由透射照明光源121、反射鏡122和光學(xué)透鏡123組成。從透射照明光源121發(fā)射的透射照明光被反射鏡122反射并經(jīng)由光學(xué)透鏡123發(fā)射。該透射照明光透過可移動臺12，并且一部分透射光被工件阻斷，同時其他部分的透射光入射在光接收透鏡單元150上。透射照明適合于測量工件的外形和通孔的內(nèi)徑。環(huán)形照明單元130是用于將照明光從上方施加至可移動臺12上的工件的落射照明裝置，并且由圍繞光接收透鏡單元150的光接收部的環(huán)狀光源組成。該環(huán)形照明單元130是能夠執(zhí)行單獨照明的照明裝置，并且可以點亮該單元的整個周邊或者僅其一部分。同軸落射照明光源141是用于將發(fā)射光軸與拍攝軸基本上相同的照明光從上面施加至可移動臺12上的工件的光源。在光接收透鏡單元150A內(nèi)部，布置有用于將照明光分到發(fā)射光軸和拍攝軸的半反射鏡142。落射照明適合于測量具有不同平面的工件的尺寸。作為工件照明方法，可以選擇透射照明、環(huán)形照明或同軸落射照明。特別地，可以針對每個工件自動切換希望測量的位置和照明方法，以執(zhí)行尺寸測量。光接收透鏡單元150是由光接收透鏡151、半反射鏡152、光闌板153和156以及圖像形成透鏡154和157組成。光接收透鏡單元150接收透射照明光和被工件反射的光，以使得成像元件155和158形成圖像。光接收透鏡151是與可移動臺12相對布置的物鏡，并且共同用于高放大率拍攝和低放大率拍攝。該光接收透鏡151具有即使當(dāng)工件在Z軸方向上的位置改變時也保持圖像的大小不變的特性。光接收透鏡151被稱為遠(yuǎn)心透鏡。光闌板153和圖像形成透鏡154是低放大率側(cè)圖像形成透鏡部，并且與光接收透鏡151布置在同一軸上。圖像形成透鏡154是與成像元件155相對布置的光學(xué)透鏡。
另一方面，光闌板156和圖像形成透鏡157是高放大率側(cè)圖像形成透鏡部，并且半反射鏡152將高放大率拍攝軸從低放大率拍攝軸分支出來。圖像形成透鏡157是與成像元件158相對布置的光學(xué)透鏡。成像元件155是低放大率的圖像傳感器，其在由光接收透鏡單元150形成的低放大率視場內(nèi)以低放大率拍攝工件，以生成低放大率圖像。成像元件158是高放大率的圖像傳感器，其在由光接收透鏡單元150形成的高放大率視場內(nèi)以高放大率拍攝工件，以生成高放大率圖像。高放大率視場是比低放大率視場更窄的拍攝視場，并且形成在低放大率視場內(nèi)。成像元件155和158均由半導(dǎo)體元件(諸如，CXD(電荷耦合器件)或CMOS(互補金屬氧化物半導(dǎo)體))組成。在該尺寸測量設(shè)備I中，無論工件布置在何處以及以何種姿態(tài)布置，只要工件布置在可移動臺12的檢測區(qū)域13內(nèi)，就可捕獲工件，并且進(jìn)而分析低放大率圖像，以在X軸方向或Y軸方向上移動可移動臺12，從而將工件自動轉(zhuǎn)移到高放大率視場中。圖3是示出圖2的環(huán)形照明單元130的結(jié)構(gòu)圖的示圖。該環(huán)形照明單元130由布置在圓周上的四個發(fā)光塊131組成，并且可以任意選擇發(fā)光塊131來點亮?？梢栽跍y量位置信息中指定在尺寸測量時要點亮哪個發(fā)光塊131。尤其在測量同一工件W的多個待測位置的情況下，可以指定針對這些待測位置中的每個位置點亮的發(fā)光塊 131。<尺寸測量設(shè)備I的操作>圖4的步驟SlOl至S103是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I的操作示例的流程圖。在該尺寸測量設(shè)備I中，操作由三步處理組成，即，創(chuàng)建測量設(shè)置數(shù)據(jù)(步驟S101)、執(zhí)行測量(步驟S102)以及顯示測量結(jié)果(步驟S103)。測量設(shè)置數(shù)據(jù)是執(zhí)行測量所需的信息，并且包括表示特征量的特征量信息、表示待測位置和測量類型的測量位置信息、以及表示關(guān)于每個待測位置的設(shè)計值和容限的設(shè)計值信息。特征量信息是用于分析工件圖像以檢測工件的位置和姿態(tài)的定位信息。特征量信息是基于預(yù)定主數(shù)據(jù)而設(shè)置的。應(yīng)注意，當(dāng)特征量信息和測量位置信息是基于高放大率圖像而設(shè)置的信息時，將表示這種設(shè)置的區(qū)分信息保存為測量設(shè)置數(shù)據(jù)。在控制單元20中創(chuàng)建測量設(shè)置數(shù)據(jù)。替選地，可以存在將在諸如PC(個人計算機)的信息處理終端中創(chuàng)建的測量設(shè)置數(shù)據(jù)傳送至控制單元20并且接著使用的構(gòu)造?；谶@樣的測量設(shè)置數(shù)據(jù)執(zhí)行測量處理。然后，通過測量而獲得的尺寸值和質(zhì)量確定結(jié)果顯示在顯示器11上，以對測量結(jié)果執(zhí)行顯示處理?！礈y量設(shè)置數(shù)據(jù)的創(chuàng)建〉
圖5的步驟S201至S205是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在創(chuàng)建測量設(shè)置數(shù)據(jù)時的操作示例的流程圖。該圖示出在控制單元20中創(chuàng)建測量設(shè)置數(shù)據(jù)的情況。測量設(shè)置數(shù)據(jù)創(chuàng)建處理由以下所示的五個處理過程組成。首先，輸入設(shè)計數(shù)據(jù)(步驟S201)。在輸入設(shè)計數(shù)據(jù)時，獲取用在特征量設(shè)置和形狀比較中的主數(shù)據(jù)。主數(shù)據(jù)由通過拍攝主工件而獲得的拍攝圖像、或者借助于CAD創(chuàng)建的CAD (計算機輔助設(shè)計)數(shù)據(jù)或CAD圖像組成。這里將描述使用通過拍攝主工件而獲得的主圖像作為主數(shù)據(jù)的情況的示例。接下來，設(shè)置特征量(步驟S202)?；谥鲌D像設(shè)置特征量信息和測量范圍，從而設(shè)置特征量。接下來，設(shè)置拍攝放大率(步驟S203)。在設(shè)置拍攝放大率時，針對在步驟S202中所設(shè)置的特征量來指定低放大率尺寸測量或高放大率尺寸測量，并且與特征量相關(guān)聯(lián)地保存拍攝放大率信息。當(dāng)設(shè)置了多個特征量時，將拍攝放大率信息與每個特征量相關(guān)聯(lián)。接下來，指定待測位置和測量類型(步驟S204)。具體地，通過針對顯示在顯示器11上的主圖像指定待測位置、邊緣檢測區(qū)域和測量方法，執(zhí)行對待測位置和測量類型的指定。邊緣檢測區(qū)域是用于分析該區(qū)域內(nèi)的圖像數(shù)據(jù)的亮度的變化以提取邊緣的圖像處理區(qū)域。在指定測量類型時，選擇以何種方式測量何處的測量方法。當(dāng)完成對待測位置和測量類型的指定時，對主圖像執(zhí)行尺寸測量。即，針對主圖像提取待測位置的邊緣，以通過指定的測量方法計算待測位置的尺寸值。尺寸值的測量結(jié)果例如顯示在主圖像上。接下來，設(shè)置設(shè)計值和容限(步驟S205)。在設(shè)置設(shè)計值和容限時，根據(jù)需要改變針對每個待測位置所顯示的尺寸值，并且將該尺寸值設(shè)置為設(shè)計值。另外，與該設(shè)計值相關(guān)聯(lián)地設(shè)置容限。以此方式所創(chuàng)建的測量設(shè)置數(shù)據(jù)寫入控制單元20內(nèi)的存儲器中。<拍攝視場>圖6是示出在圖I的尺寸測量設(shè)備I中所形成的拍攝視場的示例的示圖，其示出低放大率視場的邊界Al、高放大率視場的邊界A2和這些視場的中心A3。該邊界Al形成為圓形，并且表示可移動臺12上的拍攝區(qū)域。當(dāng)可移動臺12位于基準(zhǔn)位置時，低放大率拍攝區(qū)域與檢測區(qū)域13—致。高放大率視場是比低放大率視場更窄的拍攝視場，并且被形成為具有與低放大率視場基本一致的視場中心A3。只要布置在這樣的低放大率視場內(nèi)，工件W可以以任意姿態(tài)和任意位置布置在可移動臺12上。〈主圖像〉圖7A和圖7B是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在創(chuàng)建測量設(shè)置數(shù)據(jù)時的操作示例的示圖，其示出通過拍攝主工件而獲得的主圖像Ml和M2。該圖示出借助于透射照明進(jìn)行拍攝的情況，其中，圖7A示出通過以低放大率拍攝而獲得的主圖像M1，以及圖7B示出通過以高放大率拍攝而獲得的主圖像M2。主工件是與作為待測對象的工件W具有相同形狀的基準(zhǔn)對象。主圖像Ml用于指定工件W在通過以低放大率拍攝工件W而獲得的低放大率圖像內(nèi)的位置和姿態(tài)。例如，從主圖像Ml提取主工件的邊緣Mll和M12，從而創(chuàng)建要利用工件W的低放大率圖像檢驗的模式圖像。主圖像M2用于指定待測位置和測量方法。例如，可以針對主圖像M2指定邊緣檢測區(qū)域M21。另外，主圖像M2可以用于以高精度指定工件W在通過以高放大率拍攝工件W而獲得的高放大率圖像內(nèi)的位置和姿態(tài)。<測量處理>圖8的步驟S301至S315是示 出圖I的尺寸測量設(shè)備I在測量時的操作示例的流程圖。當(dāng)工件W布置在可移動臺12上并且通過對測量開始按鈕16等的操作指定測量執(zhí)行時，首先，以低放大率拍攝可移動臺12上的工件W，以獲取低放大率圖像(步驟S301)。接下來，通過將先前登記的模式圖像作為特征量信息來檢驗該低放大率圖像，以指定工件W的諸如其位置和姿態(tài)的布置狀態(tài)(步驟S302)。此時，當(dāng)存在已經(jīng)指定以低放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置時，對待測位置執(zhí)行尺寸測量(步驟S303)。具體地，指定待測位置，并且基于工件W的布置狀態(tài)和先前登記的測量位置信息來提取邊緣(步驟S305)。然后，基于所提取的待測位置的邊緣，計算待測位置的尺寸值(步驟 S306)。另外，根據(jù)所算出的尺寸值與先前登記的設(shè)計值之間的差獲得誤差作為設(shè)計值信息，并且接著將該誤差與關(guān)于該誤差的容限進(jìn)行比較(步驟S307)，以對每個待測位置執(zhí)行質(zhì)量確定并對工件W執(zhí)行質(zhì)量確定(步驟S308)。接下來，當(dāng)存在已在測量位置信息中指定以高放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置時，對待測位置執(zhí)行尺寸測量(步驟S304)。具體地，基于工件W的布置狀態(tài)和測量位置信息，在X軸方向或Y軸方向上移動可移動臺12，以使工件W的待測位置保持在高放大率視場內(nèi)(步驟S309)，并且以高放大率拍攝已移動到高放大率視場內(nèi)的待測位置，從而獲取高放大率圖像(步驟S310)。然后，基于工件W的布置狀態(tài)和測量位置信息，指定待測位置并執(zhí)行邊緣提取(步驟S311)?；谒崛〉拇郎y位置的邊緣，計算待測位置的尺寸值(步驟S312)。另外，根據(jù)所算出的尺寸值與設(shè)計值之間的差獲得誤差，并且將該誤差與對應(yīng)于該誤差的容限進(jìn)行比較(步驟S313)，以對每個待測位置執(zhí)行質(zhì)量確定并對工件W執(zhí)行質(zhì)量確定(步驟S314)。當(dāng)在指定以高放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置當(dāng)中存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的另一待測位置時，重復(fù)從步驟S309至S314的處理過程(步驟S315)。<工件圖像>圖9A和圖9B是示出圖I的尺寸測量設(shè)備I在測量時的操作示例的示圖，其示出通過拍攝工件W而獲得的工件圖像Wl和W2。圖9A示出通過以低放大率拍攝而獲得的工件圖像W1，以及圖9B示出通過以高放大率拍攝而獲得的工件圖像WZ0利用登記為特征量信息的模式圖像來檢驗工件圖像W1，以指定工件W在工件圖像Wl內(nèi)的位置和姿態(tài)。基于這樣描述的布置狀態(tài)的這種檢測結(jié)果來控制可移動臺12，以將工件W自動轉(zhuǎn)移到高放大率視場，從而獲取工件圖像W2作為待測位置的高放大率圖像。圖10是示出在顯示測量結(jié)果時圖I的尺寸測量設(shè)備I的操作示例的示圖，示出其中布置有該測量結(jié)果的工件圖像W2。從工件圖像W2提取待測位置的邊緣，以計算待測位置的尺寸值。諸如尺寸值的測量結(jié)果可以與工件圖像W2—起顯示在顯示器11上。在該示例中，尺寸值“I. 789mm”和尺寸線與待測位置相關(guān)聯(lián)地布置在工件圖像W2上。圖IlA至圖IlC是示出在測量時圖I的尺寸測量設(shè)備I的另一操作示例的示圖，其示出低放大率測量和高放大率測量的順序執(zhí)行的狀態(tài)。圖IlA示出通過低放大率測量而獲得的工 件圖像W1，圖IlB示出添加有通過低放大率測量而獲得的尺寸值的工件圖像W1，以及圖IlC示出添加有通過高放大率測量而獲得的尺寸值的工件圖像W2。當(dāng)作為待測對象的工件W中存在不能保持在聞放大率視場內(nèi)的待測位直時，作為測量方法需要指定以低放大率對該待測位置進(jìn)行尺寸測量。通過分析低放大率工件圖像Wl獲得已被指定以低放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置的尺寸值。另一方面，可以通過分析高放大率工件圖像W2以高精度獲得保持在高放大率視場內(nèi)的待測位置的尺寸值?！纯刂茊卧?0>圖12是示出圖I的控制單元20的結(jié)構(gòu)示例的框圖，其示出控制單元20內(nèi)的功能構(gòu)造的示例。該控制單元20包括拍攝控制部201、測量位置信息生成部202、特征量信息生成部203、測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部204、工件檢測部205、臺控制部206、邊緣提取部207、尺寸值計算部208、質(zhì)量確定部209和測量結(jié)果顯示部210。拍攝控制部201基于來自測量單元10、鍵盤31和鼠標(biāo)32的操作輸入，生成用于控制測量單元10的成像元件155和158以及照明單元120、130和141的拍攝控制信號，并且將該信號輸出至測量單元10。特征量信息生成部203生成用于從拍攝的圖像檢測工件W的特征量信息，并且將特征量信息作為測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲在測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部204內(nèi)。該特征量信息由檢驗?zāi)Ｊ綀D像組成，并且是基于通過以低放大率拍攝預(yù)定主工件而獲得的主圖像而生成的。測量位置信息生成部202基于操作輸入生成由待測位置和測量方法組成的測量位置信息，并且將所生成的數(shù)據(jù)作為測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲在測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部204內(nèi)。該測量位置信息是通過針對通過以高放大率拍攝主工件而獲得的主圖像指定待測位置、測量類型和照明方法來生成的。測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部204保存特征量信息、測量位置信息和設(shè)計值信息作為測量設(shè)置數(shù)據(jù)。特征量信息是用于檢測工件W在工件圖像內(nèi)的布置狀態(tài)(諸如，位置和姿態(tài))的用于檢驗的特征信息，并且由用于模式匹配的模式圖像、用于幾何形狀相關(guān)搜索的幾何形狀信息、表示工件W的特征點的特征點信息組成。設(shè)計值信息由針對每個待測位置所設(shè)置的設(shè)計值和與該設(shè)置值相關(guān)聯(lián)的容限組成。工件檢測部205基于特征量信息指定工件圖像W在低放大率工件圖像Wl中的位置和姿態(tài)。具體地，將工件圖像Wl與檢驗?zāi)Ｊ綀D像進(jìn)行比較，以確定工件W的位置和姿態(tài)。臺控制部206基于由工件檢測部205指定的位置和姿態(tài)以及測量位置信息來生成用于控制可移動臺12的臺控制信號，以使工件W的待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。然后，臺控制部206將所生成的信號輸出至測量單元10。具體地，可移動臺12針對已在測量位置信息中指定以高放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置而移動，以使待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。
在臺控制部206中，在存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的多個工件W的情況下，針對這些工件W順序地移動可移動臺12，以使各待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。另外，在針對同一工件W存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的多個待測位置的情況下，針對這些待測位置順序地移動可移動臺12，以使各待測位置保持在高放大率視場內(nèi)。在待測位置移動到高放大率視場內(nèi)時自動獲取高放大率工件圖像W2。邊緣提取部207根據(jù)布置狀態(tài)已由工件檢測部205指定的工件的布置狀態(tài)和測量位置信息指定待測位置，并且從工件圖像提取測量位置信息的邊緣。此時，從低放大率圖像Wl對已在測量位置信息中指定以低放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置進(jìn)行邊緣提取，并且從高放大率圖像W2對已在測量位置信息中指定以高放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置進(jìn)行邊緣提取。通過分析在測量位置信息中所指定的邊緣檢測區(qū)域內(nèi)的圖像數(shù)據(jù)中的相鄰像素之間的亮度值變化來執(zhí)行邊緣提取。 尺寸值計算部208基于由邊緣提取部207提取的邊緣來計算待測位置的尺寸值，并且將所計算出的值輸出至質(zhì)量確定部209。具體地，借助于諸如最小平方法的統(tǒng)計技術(shù)將通過邊緣提取所獲得的多個邊緣點與幾何形狀擬合，從而指定工件W的邊緣。當(dāng)工件W的邊緣上的平行的兩個線性部分例如被指定為待測位置時，計算這些直線之間的距離作為尺寸值。另外，當(dāng)指定線性部分和特征點時，計算直線與特征點之間的距離作為尺寸值。此夕卜，當(dāng)指定具有不同斜率的兩個線性部分時，計算這些直線之間的角度作為尺寸值。而且，當(dāng)將圓(弧)的一部分或整個圓指定為待測位置時，計算圓的直徑、半徑或中心坐標(biāo)作為尺寸值。質(zhì)量確定部209將由尺寸值計算部208計算出的尺寸值和與其對應(yīng)的設(shè)計值之間所產(chǎn)生的差與對應(yīng)的容限進(jìn)行比較，以針對每個待測位置對尺寸值執(zhí)行質(zhì)量確定并對工件W執(zhí)行質(zhì)量確定。對尺寸值的質(zhì)量確定是通過確定尺寸值與設(shè)計值之間的差(誤差)是否在容限范圍內(nèi)來執(zhí)行的。另外，基于針對每個待測位置進(jìn)行的尺寸值的質(zhì)量確定的結(jié)果執(zhí)行對工件W的質(zhì)量確定。測量結(jié)果顯示部210創(chuàng)建用于顯示尺寸值和對工件圖像W2的質(zhì)量確定的結(jié)果的畫面數(shù)據(jù)，并且將所生成的數(shù)據(jù)輸出至測量單元10。諸如尺寸值的測量結(jié)果可以通過任意指定針對尺寸測量所獲取的工件圖像W2中的任一個來顯示。根據(jù)本實施例，即使當(dāng)工件W以任意姿態(tài)和任意位置布置在可移動臺12上時，也能將工件W自動轉(zhuǎn)移到高放大率視場中，并且只要工件布置在低放大率視場內(nèi)，就可以獲得待測位置的尺寸值，因此，可以高精度地測量期望尺寸。另外，由于無論工件布置在何處以及以何種姿態(tài)布置，只要布置在低放大率視場內(nèi)，就可以以高放大率測量工件W，因此，可以提高測量精度、同時簡化尺寸測量的操作過程，并且還可以縮短尺寸測量所需的時間。此外，由于針對通過以高放大率拍攝主工件而獲得的主圖像M2來指定待測位置和測量方法，因此，可以以高放大率指定形狀與主工件的形狀相同的工件W的希望測量的位置。此外，由于基于通過以低放大率拍攝主工件而獲得的主圖像Ml而生成由校驗?zāi)Ｊ綀D像組成的特征量信息，因此，在模式圖像與通過以低放大率拍攝工件W而獲得的低放大率圖像之間進(jìn)行檢驗可以精確指定形狀與主工件的形狀相同的工件W的位置和姿態(tài)。另外，由于順序地移動可移動臺12，以使得待測位置保持在高放大率視場內(nèi)，因此，即使在存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的多個工件W的情況下，可以自動將這些工件W順序地轉(zhuǎn)移到高放大率視場內(nèi)，以獲得待測位置的尺寸值。此外，由于順序地移動可移動臺12以使得待測位置保持在高放大率視場內(nèi)，因此，即使在針對同一工件W存在不能保持在高放大率視場內(nèi)的多個待測位置的情況下，也可以自動將這些待測位置順序地轉(zhuǎn)移到高放大率視場內(nèi)，以獲得待測位置的尺寸值。另外，在本實施例中已描述了如下情況的示例從通過以低放大率拍攝的主工件而獲得的主圖像Ml創(chuàng)建檢驗?zāi)Ｊ綀D像，并且將該模式圖像與工件圖像Wl進(jìn)行比較以指定工件W的位置和姿態(tài)，但本發(fā)明并不限于這樣的配置。例如，可以配置成使得從以高放大率 拍攝主工件而獲得的主圖像M2創(chuàng)建檢驗?zāi)Ｊ綀D像，并且將該模式圖像與高放大率工件圖像W2進(jìn)行比較，以高精度地對工件W執(zhí)行定位。即，為了提高邊緣檢測的精確性，可以配置成使得使用從主圖像M2獲得的模式圖像再次指定工件圖像W在工件圖像W2中的位置和姿態(tài)。另外，盡管已在本實施例中描述了電切換低放大率拍攝和高放大率拍攝的情況的示例，但是本發(fā)明未將用于切換拍攝放大率的方法限于上述示例。例如，本發(fā)明包括對可移動臺12上的光接收透鏡(物鏡)進(jìn)行機械切換的情況(所謂的旋轉(zhuǎn)器類型)。即，相對于由光闌板、圖像形成透鏡和成像元件組成的一組圖像形成單元來旋轉(zhuǎn)由用于低放大率拍攝的光接收透鏡和用于高放大率拍攝的光接收透鏡組成的物鏡單元，以在低放大率拍攝與高放大率拍攝之間進(jìn)行切換。附圖標(biāo)記的說明I尺寸測量設(shè)備10測量單元IOa 殼體110臺驅(qū)動單元111 Z 驅(qū)動部112 XY 驅(qū)動部120透射照明單元121透射照明光源122反射鏡123光學(xué)透鏡130環(huán)形照明單元141同軸落射照明光源142半反射鏡150光接收透鏡單元151光接收透鏡152半反射鏡153,156 光闌板154,157圖像形成透鏡155用于低放大率拍攝的成像元件158用于高放大率拍攝的成像元件11顯示器
12可移動臺13檢測區(qū)域
14a XY位置調(diào)整旋鈕14b Z位置調(diào)整旋鈕15電源開關(guān)16測量開始按鈕20控制單元201拍攝控制部202測量位置信息生成部203特征量信息生成部204測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部205工件檢測部206臺控制部207邊緣提取部208尺寸值計算部209質(zhì)量確定部210測量結(jié)果顯示部31 鍵盤32 鼠標(biāo)Al低放大率視場的邊界A2高放大率視場的邊界A3視場中心Ml, M2 主圖像Mil, M12 邊緣M21邊緣檢測區(qū)域W 工件Wl, W2工件圖像
權(quán)利要求
1.一種尺寸測量設(shè)備，其中，形成低放大率視場、同時在所述低放大率視場內(nèi)形成比所述低放大率視場窄的高放大率視場，并且以不同的拍攝放大率拍攝臺上的工件，以測量所述工件的尺寸，所述設(shè)備包括 可移動臺，其在XY方向上移動； 測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部，其保存特征量信息和測量位置信息，其中所述特征量信息用于從拍攝圖像檢測工件，所述測量位置信息表示被指定為待測對象的待測位置； 低放大率成像部，其以低放大率拍攝所述低放大率視場內(nèi)的工件，以生成低放大率圖像； 工件檢測部，其基于所述特征量信息指定所述工件在所述低放大率圖像中的位置和姿態(tài)； 臺控制部，其基于所指定的位置和姿態(tài)控制所述可移動臺，以使得所述工件的所述待測位置保持在所述高放大率視場內(nèi)； 高放大率成像部，其以高放大率拍攝已移動到所述高放大率視場中的所述待測位置，以生成高放大率圖像； 邊緣提取部，其基于所述測量位置信息從所述高放大率圖像中提取所述待測位置的邊緣；以及 尺寸值計算部，其基于所提取的邊緣獲得所述待測位置的尺寸值。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的尺寸測量設(shè)備，包括 測量位置信息生成部，其針對通過所述高放大率成像部以高放大率拍攝主工件而獲得的主圖像，指定待測位置和測量方法，以生成所述測量位置信息；以及 特征量信息生成部，基于通過所述低放大率拍攝部以低放大率拍攝所述主工件而獲得的主圖像，生成由檢驗?zāi)Ｊ綀D像組成的所述特征量信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的尺寸測量設(shè)備，其中，在存在不能保持在所述高放大率視場內(nèi)的兩個以上的工件的情況下，所述臺控制部針對這些工件順序地移動所述可移動臺，以使得各待測位置保持在所述高放大率視場內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的尺寸測量設(shè)備，其中，在針對同一工件存在不能保持在所述高放大率視場內(nèi)的兩個以上待測位置的情況下，所述臺控制部針對各待測位置順序地移動所述可移動臺，以使得各待測位置保持在所述高放大率視場內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述尺寸測量設(shè)備，其中， 所述邊緣提取部基于低放大率圖像對已在所述測量位置信息中指定以低放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置執(zhí)行邊緣提取，并且 所述臺控制部針對已在所述測量位置信息中指定以高放大率進(jìn)行尺寸測量的待測位置來移動所述可移動臺，以使得待測位置保持在所述高放大率視場內(nèi)。
6.一種尺寸測量方法，其中，形成低放大率視場、同時在所述低放大率視場內(nèi)形成比所述低放大率視場窄的高放大率視場，并且以不同的拍攝放大率拍攝臺上的工件，以測量工件的尺寸，所述方法包括 測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲步驟，用于存儲特征量信息和測量位置信息，其中，所述特征量信息用于從拍攝圖像檢測工件，所述測量位置信息表示指定為待測對象的待測位置； 低放大率成像步驟，用于以低放大率拍攝所述低放大率視場內(nèi)的工件，以生成低放大率圖像； 工件檢測步驟，用于基于所述特征量信息指定所述工件在所述低放大率圖像中的位置和姿態(tài)； 臺控制步驟，用于基于所指定的位置和姿態(tài)在XY方向上控制所述可移動臺，以使得所述工件的待測位置保持在所述高放大率視場內(nèi)； 高放大率成像步驟，用于以高放大率拍攝已移動到所述高放大率視場中的待測位置，以生成高放大率圖像； 邊緣提取步驟，用于基于所指定的位置和姿態(tài)以及所述測量位置信息，從所述高放大率圖像中提取所述待測位置的邊緣；以及 尺寸值計算步驟，用于基于所提取的邊緣獲得所述待測位置的尺寸值。
7.一種用于尺寸測量設(shè)備的程序，在所述尺寸測量設(shè)備中，形成低放大率視場、同時在所述低放大率視場內(nèi)形成比所述低放大率視場窄的高放大率視場，并且以不同的拍攝放大率拍攝臺上的工件，以測量工件的尺寸，所述程序包括 測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲過程，用于存儲特征量信息和測量位置信息，其中，所述特征量信息用于從拍攝圖像檢測工件，所述測量位置信息表示指定為待測對象的待測位置； 低放大率成像過程，用于以低放大率拍攝所述低放大率視場內(nèi)的工件，以生成低放大率圖像； 工件檢測過程，用于基于所述特征量信息指定所述工件在所述低放大率圖像中的位置和姿態(tài)； 臺控制過程，用于基于所指定的位置和姿態(tài)在XY方向上控制所述可移動臺，以使得所述工件的所述待測位置保持在所述高放大率視場內(nèi)； 高放大率成像過程，用于以高放大率拍攝已移動到所述高放大率視場中的待測位置，以生成高放大率圖像； 邊緣提取過程，用于基于所指定的位置和姿態(tài)以及所述測量位置信息，從所述高放大率圖像中提取所述待測位置的邊緣；以及 尺寸值計算過程，用于基于所提取的邊緣獲得所述待測位置的尺寸值。
全文摘要
本發(fā)明提供了尺寸測量設(shè)備、尺寸測量方法和用于尺寸測量設(shè)備的程序。尺寸測量設(shè)備由如下構(gòu)成可移動臺；測量設(shè)置數(shù)據(jù)存儲部，其保存特征量信息和測量位置信息；低放大率成像部，其以低放大率拍攝工件；工件檢測部，其基于特征量信息指定工件在低放大率圖像中的位置和姿態(tài)；臺控制部，其基于所指定的位置和姿態(tài)控制可移動臺，以使得工件的待測位置保持在高放大率視場內(nèi)；高放大率成像部，其以高放大率拍攝待測位置；邊緣提取部，其從高放大率圖像中提取待測位置的邊緣；以及尺寸值計算部，其基于所提取的邊緣獲得待測位置的尺寸值。
文檔編號G01B11/00GK102628670SQ201210022439
公開日2012年8月8日 申請日期2012年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月1日
發(fā)明者川泰孝 申請人:株式會社其恩斯