專利名稱：膜缺陷檢查裝置、缺陷檢查方法和脫模膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于簡易且容易地進行被檢查膜的光學(xué)缺陷檢查、特別是在偏振片制造工序所用的偏振片脫模膜的偏振片加工處理前連續(xù)進行缺陷檢查的偏振片脫模膜的缺陷檢查裝置和缺陷檢查方法的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
近年來，與以往的顯示器CRT相比具有薄型輕量化、耗電低、高畫質(zhì)化這些優(yōu)點的液晶顯示器(LCD)的需求急速擴大，特別是大畫面監(jiān)視器、32英寸以上這種大畫面TV用途的LCD急速發(fā)展。大多數(shù)情況下伴隨LCD的大畫面化，通過提高背光源的亮度、或加入使亮度提高的功能性膜等，設(shè)置成在大畫面下也充分確保了亮度的LCD。這種高亮度型的LCD大多數(shù)情況下由于亮度高，所以顯示器中存在的小缺陷成為問題，在偏振片、相位差板這種具有光學(xué)特性的構(gòu)成部件中，對于以前的LCD不成為問題的尺寸缺陷成為了問題。因此，要防·止各光學(xué)部件的制造工序中產(chǎn)生缺陷，另一方面，對于即使產(chǎn)生缺陷也可確實認(rèn)識到缺陷這樣的檢查性的提高也變得尤為重要。偏振片的缺陷檢查一般采用基于正交尼科耳法的目視檢查，在用于32英寸以上這種大畫面TV的偏振片中，對通過利用正交尼科耳法的自動檢查器進行的檢查也做了各種研究。所述正交尼科耳法是使兩片偏振片的取向主軸正交地做成暗視野，在兩偏振片中間夾上膜等測定對象物，在透過光下觀察的方法。通過正交尼科耳配置，假設(shè)不存在缺陷，則從攝像部輸入全黑圖像，而存在缺陷時，該部分不變黑。即，由于偏振片中存在異物或缺陷時作為亮點表現(xiàn)出來，所以可以進行缺陷檢查。此處，在偏振片上通過粘合劑層貼合有作為脫模膜的經(jīng)單軸或雙軸拉伸的取向聚對苯二甲酸乙二醇酯膜，因而該脫模膜的光學(xué)缺陷增多時，脫模膜的亮點增多，成為缺陷檢查的障礙。迄今為止，已知脫模膜中的異物和表面瑕疵會成為缺陷檢查時的亮點。然而，取向膜從薄膜化的觀點考慮其制法也是有利的，但由于具有由拉伸導(dǎo)致的取向所引起的雙折射(相位差)，所以入射的直線偏振光透過后形成橢圓偏振光，實質(zhì)上沒有形成正交尼科耳狀態(tài)。即，僅使兩片偏振片正交時，被輸入攝像部的可見光的受光量會受到膜雙折射的影響。在通過拉伸制造的膜中，如專利文獻I的公開所示，相對于拉伸端部，中央部被延遲拉伸，導(dǎo)致產(chǎn)生弓形(bowing)現(xiàn)象。這是由下述原因引起的現(xiàn)象通過在握持著端部的狀態(tài)下的加熱拉伸，所制造的膜的中央部因自重或熱收縮應(yīng)力而相對于重力方向或制造工序的行進方向被拉伸而下垂，由此工序內(nèi)的膜構(gòu)成懸垂線(垂曲線，Catenary曲線)。因此，與專利文獻I中的二色性相同，取向膜的雙折射在膜寬度方向上是不同的。其結(jié)果產(chǎn)生如下問題根據(jù)膜制造時的寬度方向上的位置的不同，在膜的中央部和端部存在無法以良好的精度對膜中存在的缺陷進行檢查的部位。作為解決了所述問題的膜的缺陷檢測裝置，已知下述專利文獻2所公開的檢查裝置。該缺陷檢查裝置是這樣的裝置在光源與攝像部之間的光路上具有檢查用偏振片，將膜的雙折射(相位差)取消，因而以被輸入攝像部的可見光的受光量變?yōu)樽钚≈档姆绞秸{(diào)整檢查用偏振片的相對角度位置，從而以正交尼科耳狀態(tài)檢查帶偏振片的膜中的缺陷。然而，上述專利文獻2中，在檢查寬度方向上具有雙折射偏差的膜的情況下，需要在寬度方向具有多個攝像部和偏振片。根據(jù)本發(fā)明人等的認(rèn)識，此時，僅調(diào)整偏振片角度以使被輸入攝像部的可見光受光量變?yōu)樽钚≈担y以在每個攝像部位置上、即寬度方向上獲得均勻的受光量，例如，在膜寬度方向上膜端部和中央部的受光量程度產(chǎn)生差值。因此，在檢查寬度方向上具有雙折射偏差的膜的情況下，無法同時以良好的精度進行缺陷檢查。進而，根據(jù)本發(fā)明人等的認(rèn)識，造成大的光量變化的缺陷姑且不談， 僅造成小的光量變化的缺陷的情況下，當(dāng)以正交尼科耳檢查時的視野變得最暗的方式配置偏振片時，對比度差更小，難以檢測?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I :日本特公昭39-029214號公報專利文獻2 :日本特開2007-213016號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題本發(fā)明的目的在于提供一種缺陷檢查裝置，其對于膜寬度方向上具有雙折射偏差的膜也可以高精度地進行缺陷檢查，并且缺陷部與正常部的對比度大，可高精度地進行檢查。解決課題的方法為了達(dá)成上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種膜缺陷檢查裝置，其是檢測具有一定寬度的長條狀膜的缺陷的檢查裝置，其特征在于，該檢查裝置具有照明機構(gòu)，在所述膜的一側(cè)表面?zhèn)日丈渌瞿ぃ坏贗偏振片，設(shè)置在所述照明機構(gòu)與所述膜之間；第2偏振片，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)龋皇芄鈾C構(gòu)，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)?，接受從所述照明機構(gòu)照射并透過了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透過光，并且該膜缺陷檢查裝置具有分別單獨地在所述第I偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片的角度、在所述第2偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第2偏振片的角度的角度調(diào)整機構(gòu)。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查裝置，其特征在于，在所述膜的寬度方向配置有多個所述第2偏振片和所述受光機構(gòu)，所述第2角度調(diào)整機構(gòu)分別設(shè)置在所述多個第2偏振片上。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查裝置，其特征在于，在所述第I面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片角度的角度調(diào)整機構(gòu)具有在使所述第I偏振片旋轉(zhuǎn)時作為支點發(fā)揮作用的軸、和以所述第I偏振片的端部為施力點大致在旋轉(zhuǎn)方向進行推拉的直動機構(gòu)。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查裝置，其特征在于，以1°以下的旋轉(zhuǎn)精度至少在-8° +8°的范圍對所述第I、第2偏振片的角度進行調(diào)整。另外，根據(jù)本發(fā)明的另外的方式，提供一種膜缺陷檢查方法，其是檢測具有一定寬度的長條狀膜的缺陷的缺陷檢查方法，其特征在于，通過設(shè)置在所述膜的一側(cè)表面?zhèn)鹊恼彰鳈C構(gòu)照射所述膜，照明機構(gòu)，在所述膜的一側(cè)表面?zhèn)日丈渌瞿?第I偏振片，設(shè)置在所述照明機構(gòu)與所述膜之間；第2偏振片，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)龋皇芄鈾C構(gòu)，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)龋邮軓乃稣彰鳈C構(gòu)照射并透過了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透過光，并且該膜缺陷檢查裝置具有分別單獨地在所述第I偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片的角度、在所述第2偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第2偏振片的角度的角度調(diào)整機構(gòu)。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查方法，其特征在于，在所述膜的寬度方向配置多個所述第2偏振片和所述受光機構(gòu)，相應(yīng)于配置位置而單獨地調(diào)整所述第2偏振片的角度。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查方法，其特征在于，當(dāng)在所述第I面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片的角度時，通過在使所述第I偏振片旋轉(zhuǎn)時作為支點發(fā)揮作用的軸和以所述第I偏振片的端部為施力點在大致旋轉(zhuǎn)方向推拉的直動機構(gòu)，以1°以下 的旋轉(zhuǎn)精度對偏振片角度進行微調(diào)。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查方法，其特征在于，在上述膜的待檢區(qū)域中，以使所述受光機構(gòu)中的受光量在256灰度下為10 30的范圍的方式錯開所述第I、第2偏振片的角度來進行檢查。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查方法，其特征在于，在上述膜的待檢區(qū)域中，以使所述受光機構(gòu)中的受光量在256灰度下為30 50的范圍的方式錯開所述第I、第2偏振片的角度來進行檢查。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查方法，其特征在于，在上述膜的待檢區(qū)域中，在使所述第I、第2偏振片的角度相對于所述受光機構(gòu)中的受光量成為最小值的狀態(tài)錯開I 2°的范圍的狀態(tài)下進行檢查。另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選方式，提供一種膜缺陷檢查方法，其特征在于，對于檢查對象的膜，在貼合其他的光學(xué)膜或光學(xué)部件之前的脫模膜的狀態(tài)下適用缺陷檢查。另外，根據(jù)本發(fā)明的另外的方式，提供一種脫模膜，其特征在于，通過下述膜缺陷檢查裝置實施了缺陷檢查，所述膜缺陷檢查裝置是檢測具有一定寬度的長條膜的缺陷的檢查裝置，該檢查裝置具有照明機構(gòu)，在所述膜的一側(cè)表面?zhèn)日丈渌瞿?；第I偏振片，設(shè)置在所述照明機構(gòu)與所述膜之間；第2偏振片，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)?；受光機構(gòu)，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)?，接受從所述照明機構(gòu)照射并透過了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透過光，并且該膜缺陷檢查裝置具有分別單獨地在所述第I偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片的角度、在所述第2偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第2偏振片的角度的角度調(diào)整機構(gòu)。在此偏振片是指具有僅使在特定方向振動的光透過的性質(zhì)的板狀或膜狀物。在此脫模膜是為了在偏振片和相位差板等光學(xué)部件的制造或檢查、裝運時為了保護光學(xué)部件不失去光學(xué)特性而貼上、使用時剝離的目的而使用的膜?；谠撃康模梢栽诒砻嬖O(shè)置對于貼附所必需的粘合層，或者也可以在表面以使用時可剝離的方式設(shè)置脫模層。在此所謂在貼合其他的光學(xué)膜或光學(xué)部件之前的脫模膜的狀態(tài)是指沒有貼合具有偏光特性的物質(zhì)、也就是使入射的偏振光變化并透過和輸出的那樣的物質(zhì)的狀態(tài)。發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種缺陷檢查裝置，其在膜寬度方向具有雙折射偏差的膜中也可以高精度地進行缺陷檢查，而且可以增大缺陷部與正常部的對比度可高精度地檢查。


圖I是表示本發(fā)明的缺陷檢測裝置的一方式的示意性立體圖。圖2是表示本發(fā)明的缺陷檢測裝置的一方式的另外的示意性立體圖。圖3是表示本發(fā)明的缺陷檢測裝置的一方式的示意性截面圖。圖4是表示膜寬度方向上的偏振片角度和此時的受光量分布的示意圖。圖5是表示膜寬度方向上的偏振片角度和此時的受光量分布的另外的示意圖。圖6是表示膜寬度方向的各受光機構(gòu)的受光量分布的示意圖。圖7是表示膜寬度方向上的偏振片角度和此時的受光量分布的另外的示意圖。圖8是表示膜寬度方向的各受光機構(gòu)的受光量分布的另外的示意圖。圖9是將現(xiàn)有技術(shù)的缺陷檢測中背景噪音與缺陷部的受光量的關(guān)系(a)、和本發(fā)明技術(shù)的缺陷檢測中背景噪音與缺陷部的受光量的關(guān)系(b)進行對比的示意圖。圖10是表示在本發(fā)明的缺陷檢測裝置中使第I偏振片旋轉(zhuǎn)時的支點和施力點的一種配置形態(tài)的示意圖。圖11是表示在本發(fā)明的缺陷檢測裝置中將第I偏振片大致在旋轉(zhuǎn)方向推拉的直動機構(gòu)的一種形態(tài)的示意圖。圖12是表示在本發(fā)明的缺陷檢測裝置中使第2偏振片旋轉(zhuǎn)時的支點和施力點的一種配置形態(tài)的示意圖。圖13是表示在本發(fā)明的缺陷檢測裝置中使第2偏振片旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)的一種形態(tài)的示意圖(a)、和表示由此導(dǎo)致的第2偏振片的一種旋轉(zhuǎn)形態(tài)的示意圖(b)。圖14是以本發(fā)明的受光機構(gòu)的受光量在256灰度下為10 30的范圍來對常溫下膜加工時產(chǎn)生的表面缺陷進行攝像得到的圖像(a)和在256灰度下受光量為30 50的范圍進行攝像得到的圖像(a’)、以及以本發(fā)明的受光機構(gòu)的受光量在256灰度下為10 30的范圍來對膜制造時或加熱時產(chǎn)生的表面缺陷進行攝像得到的圖像(b)和在256灰度下受光量為30 50的范圍進行攝像得到的圖像(b’ )。
具體實施例方式以下，利用附圖進行詳細(xì)說明。本發(fā)明的缺陷檢查裝置如圖I所示，在膜面的受檢區(qū)域中與膜平行地在膜的一側(cè)表面?zhèn)扰渲玫贗偏振片、在另一側(cè)表面?zhèn)扰渲玫?偏振片，并且具有隔著上述第I偏振片從偏振片的外側(cè)照射膜的照明機構(gòu)、和在上述膜的另一側(cè)表面?zhèn)冉邮芡高^第I偏振片、膜和第2偏振片的透過光的受光機構(gòu)。作為適用于本發(fā)明的缺陷檢查裝置的膜，可以舉出可用作偏振片、相位差板這樣的光學(xué)部件的脫模膜的膜，具體有聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜等塑料膜。另外，對于第I偏振片，可以適用的偏振片只要為可以將來自對膜照射的照明機構(gòu)的光完全偏光的尺寸，就沒有特別限定，可以適用市售的偏振片，然而為了使來自照明機構(gòu)的照射膜的光絲毫不留地充分偏光，需要是可以充分覆蓋照明機構(gòu)的照明范圍的尺寸，優(yōu)選使用與膜平行的平面的尺寸大于照明機構(gòu)的尺寸的偏振片。更優(yōu)選的是，在膜的寬度方向并排使用多個照明機構(gòu)的情況下，通過使用與該照明機構(gòu)的數(shù)目相等的數(shù)目的偏振片，可更高精度地進行正交尼科耳光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)整。另外，對于第2偏振片也相同，只要為可以將透過膜并射入受光機構(gòu)的照明光完全偏光的尺寸，就沒有特別限定，可以適用市售的偏振片，然而優(yōu)選的是，使用與受光機構(gòu)相同數(shù)目的偏振片，并且通過將各個偏振片配置在受光機構(gòu)的受光部前面，可按各受光機構(gòu)調(diào)整各偏振片的角度，因而可更高精度地進行正交尼科耳光學(xué)系統(tǒng)的調(diào)整。另外，對于受光機構(gòu)，只要可以介由偏振片接受由缺陷所致的來自照明機構(gòu)的散射光、反射光，就沒有特別限定，然而從成本、信號處理的容易度考慮，優(yōu)選使用市售的CCD照相機或CMOS照相機。從設(shè)置空間、每一臺照相機的攝像視野考慮，更優(yōu)選使用作為受光元件的(XD或CMOS排列成一直線狀的線傳感器攝像機(line sensor camera)。另外,考慮成本、受光精度、檢查范圍，也優(yōu)選如圖2所示根據(jù)需要在寬度方向并排使用多個受光機 構(gòu)。另外，對于照明機構(gòu)，優(yōu)選可以均勻照射膜檢查范圍的照明機構(gòu)，例如，可以適用將發(fā)光元件排列成線狀的線狀LED照明進行照明、棒狀的熒光燈進行照明、或使用光纖將來自金屬鹵化物燈等光源的光傳導(dǎo)到棒狀光導(dǎo)來照明的方法。特別是從照明光量大的方面考慮，優(yōu)選使用光纖將來自金屬鹵化物燈光源的光傳導(dǎo)到棒狀光導(dǎo)來照明的方法。這種情況下，特別是當(dāng)膜的寬度大、檢查范圍寬時，用I根長的光導(dǎo)成本增大，所以考慮成本或檢查范圍、和受光機構(gòu)的個數(shù)，也可以將多個照明機構(gòu)排列在膜的寬度方向上使用。另外，對于膜與第I偏振片、第2偏振片、照明機構(gòu)、受光機構(gòu)各構(gòu)成單元的位置關(guān)系，為了可以以盡可能強的強度接受由缺陷所致的來自照明機構(gòu)的散射光、反射光，優(yōu)選如圖3所示配置成一直線狀。從設(shè)置的容易度、保守性的觀點出發(fā)，更優(yōu)選檢查對象的膜的面與上述直線垂直。另外，對于第I偏振片與第2偏振片的關(guān)系，通過按上述正交尼科耳法的正交尼科耳狀態(tài)配置，可以用與上述正交尼科耳法相同的方法進行缺陷檢查。該情況下，假設(shè)不存在缺陷，則從攝像部輸入全黑圖像，而若存在缺陷，該部分不變黑。即，偏振片中若存在異物或缺陷，作為亮點表現(xiàn)出來。由受光機構(gòu)得到的信號通過信號處理機構(gòu)處理，進行有無缺陷的判定等的處理。另外，優(yōu)選分別單獨地調(diào)整第I、第2偏振片角度。這是因為，在寬度方向上具有雙折射的偏差的膜的情況下，形成正交尼科耳的第I、第2偏振片的角度在膜的寬度方向上不同，所以如圖4所示，在膜的中心附近和膜端附近雙折射(相位差)不同；假設(shè)第I偏振片角度和第2偏振片角度在寬度方向分別為相同的角度時，無法形成寬度方向上最佳的正交尼科耳的條件，由此導(dǎo)致入射到受光機構(gòu)的受光量在寬度方向上產(chǎn)生差值。此外，在圖4中L、C、R指相對膜行進方向的左、中央、右。因此，如圖5所示，通過相對于膜的寬度方向，將第I偏振片角度和第2偏振片角度分別調(diào)整為在全部受光機構(gòu)中各自的受光量為最少的角度，可獲得寬度方向上接近光學(xué)最佳正交尼科耳條件的狀態(tài)，所以是更優(yōu)選的。此處，所謂調(diào)整偏振片角度是指使第I、第2偏振片都以與膜面平行且相對膜行進方向向內(nèi)側(cè)或外側(cè)的方式旋轉(zhuǎn)。另外，所調(diào)整的角度的方向和大小根據(jù)膜的寬度方向的偏光特性而不同，例如如圖4所示膜的寬度方向的偏光特性為U字型時，對應(yīng)U字型，第I、第2偏振片都以中央為界，膜左側(cè)的偏振片和膜右側(cè)的偏振片的旋轉(zhuǎn)方向傾向于相反，另外，與膜的中央相比，端部的最佳角度傾向于變大。進一步優(yōu)選在上述第I面內(nèi)調(diào)整上述第I偏振片的角度的角度調(diào)整機構(gòu)具有在使上述第I偏振片旋轉(zhuǎn)時作為支點發(fā)揮作用的軸、和以上述第I偏振片的端部為施力點大致在旋轉(zhuǎn)方向推拉的直動機構(gòu)。這是由于下述緣故引起的由于第I偏振片需要覆蓋待檢查的膜的整個寬度，所以對于大型LCD電視機用等的超過2m的那樣的光學(xué)膜，需要采用具有比其更寬的寬度的第I偏振片。為了如圖10所示使這么寬大的第I偏振片2以1°以下的旋轉(zhuǎn)精度傾斜，利用基于簡單的步進電機或伺服電動機的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，在旋轉(zhuǎn)角的定位和再現(xiàn)性方面不足，而通過利用如圖11所示的直動機構(gòu)15將圖10中具有的那樣的施力點13移動，從而以支點14為軸大致在旋轉(zhuǎn)方向推拉第I偏振片2的端部的方式從旋轉(zhuǎn)精度的方面考慮是優(yōu)選的。進而，利用伺服電動機驅(qū)動直動機構(gòu)15在不僅具有停止精度、而且可通過反饋確認(rèn)驅(qū)動動作的完成的方面、以及在大負(fù)荷時也確保扭矩的穩(wěn)定性的方面是優(yōu)選的。進一步優(yōu)選通過監(jiān)控受光機構(gòu)的受光量，使用電機等運轉(zhuǎn)機構(gòu)自動調(diào)整以形成最 佳角度。此時，由于偏振片角度需要與膜寬度方向的雙折射偏差的變化對應(yīng)、以及偏振片的調(diào)整精度高時更接近完全的正交尼科耳狀態(tài)，其結(jié)果可獲得高檢查精度，所以優(yōu)選以1°以下的旋轉(zhuǎn)精度在-8° +8°的范圍對第I、第2偏振片角度進行調(diào)整。作為調(diào)整第2偏振片角度的機構(gòu)，如圖12和圖13中所見，優(yōu)選通過以支點18為軸的杠桿狀的機構(gòu)，用更接近支點18的施力點17驅(qū)動第2偏振片3的端部。這是因為，與直接用步進電機、伺服電動機等旋轉(zhuǎn)機構(gòu)或使用它們的直動機構(gòu)僅驅(qū)動第2偏振片3的端部時相比，通過使更接近支點18的施力點17驅(qū)動，利用杠桿原理用較小的力，即，即使圖13中的使第2偏振片旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)的驅(qū)動裝置19的扭矩小，也可用較小的力使第2偏振片發(fā)生較大旋轉(zhuǎn)。此外，對于形成該杠桿的部分，利用如圖13中所見的棒狀的部分足以進行-8° +8°這樣的非常微少的角度調(diào)整，然而與驅(qū)動側(cè)同樣使用圓盤也可得到同樣的效果。進一步優(yōu)選的是，在上述膜的待檢區(qū)域中，將上述第I、第2偏振片的角度錯開以使上述受光機構(gòu)中的受光量在256灰度下為10 30的范圍，從而進行檢查。由此，如圖14(a) (a’)中所見，可以以更高的峰值強度鮮明地捕捉到常溫下膜加工時產(chǎn)生的表面缺陷。并且，進一步優(yōu)選在上述膜的待檢區(qū)域中，將上述第I、第2偏振片的角度錯開以使上述受光機構(gòu)的受光量在256灰度下為30 50的范圍，從而進行檢查。由此,如圖14(b)(b’ )中所見，可以作為寬度更大的大圖像捕捉到膜制造時或加熱時產(chǎn)生的表面缺陷。進一步優(yōu)選從正交尼科耳狀態(tài)將偏振片的角度錯開I 2°的范圍來設(shè)置。這是因為，即使通過用上述的方法將第I、第2偏振片角度分別調(diào)整為最佳角度，從而設(shè)置成寬度方向上接近最佳正交尼科耳條件的狀態(tài)時，由于在各受光機構(gòu)中正交尼科耳狀態(tài)不同，所以例如受光機構(gòu)的個數(shù)為5個時，如圖6所示，產(chǎn)生的受光量分布中受光量的基線在膜的中心附近和端部不同。但是，由于各受光機構(gòu)已被調(diào)整為最佳的偏振片角度，因此難以例如降低膜的端部附近的受光量的基線，使其與中心附近統(tǒng)一。因此，如圖7所示通過將配置在各受光機構(gòu)前面的第2偏振片的角度錯開I 2°的范圍，向提高受光量基線的方向進行調(diào)整，對具有由弓形所致的雙折射的曲線分布的膜，也可如圖8所示使各個受光機構(gòu)的受光量在寬度方向上均一化，獲得直線性。由此，可使膜寬度方向上檢測靈敏度恒定，與如圖9(a)所示的現(xiàn)有技術(shù)相比，通過本發(fā)明的技術(shù)，如圖9(b)中所示將不存在缺陷的部分的受光量的基線向更明亮的方向調(diào)整，同時將由空氣層所致的光散射部分等產(chǎn)生的背景噪音覆蓋，從而噪音N可以減小為N’，提高S/N比。由此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以使用于檢測缺陷的閾值更靠近沒有缺陷的部分的受光量的基線，可以確保檢測由缺陷所致的超過閾值的受光量的寬度h也更寬而成為h’，因而可進行更高精度且誤查更少的檢查。實施例[實施例I]作為被檢查樣品,準(zhǔn)備東I 制造的“Lumiror” [38R64]。在本發(fā)明的缺陷檢查裝置中，作為照明機構(gòu)，使用250W的金屬鹵化物(MejiroPrecision制造的BMH-250A)，作為受光機構(gòu)，將分辨率為25 μ m的CXD照相機(DALSA制造的P3-80-8K-40)和第2偏振片組合并配置多個，對于被檢查樣品對1255mm的檢查寬度攝像，進打基本(base)受光量的確認(rèn)。 基本受光量的評價中，調(diào)整第I偏振片、第2偏振片兩者的角度，在整個檢查寬度的受光量以256灰度評價時的平均值最小的狀態(tài)下確認(rèn)受光量的最大值和最小值的差，將該差作為受光量偏差進行評價。確認(rèn)實施例的受光量偏差為20以下。進而確認(rèn)了，通過調(diào)整第I偏振片、第2偏振片兩者的角度，可將基本受光量在256灰度下調(diào)整為10 30和30 50的范圍。由此確認(rèn)，實施例I的條件下，在膜寬度方向具有雙折射偏差的膜中檢查精度也均勻，可高精度地進行檢查。將實施例I的條件下具體拍攝的表面缺陷的圖像示于圖14。將以本發(fā)明的受光機構(gòu)的受光量在256灰度下為10 30的范圍對常溫下PET膜加工時產(chǎn)生的表面缺陷進行攝像得到的圖像(a)和在256灰度下受光量為30 50的范圍進行攝像得到的圖像(a’ )比較時，離開基線的峰值強度在(a)中為40、在(a’ )中為17。即，如此檢測常溫下膜表面產(chǎn)生的缺陷時，通過以本發(fā)明的受光機構(gòu)的受光量在256灰度下為10 30的范圍進行攝像，實現(xiàn)了 S/N比的提聞。另外，將對PET膜制造中的加熱拉伸時產(chǎn)生的表面缺陷以本發(fā)明的受光機構(gòu)的受光量在256灰度下為10 30的范圍進行攝像得到的圖像(b)、和在256灰度下受光量為30 50的范圍進行攝像得到的圖像(b’ )比較時，離開基線的峰值強度在(b)中為80、在(b’)中為70，然而檢測的寬度在(b)中為760、在(b’)中為940，可見較大的差值。S卩，如此檢測加熱工序中在膜表面產(chǎn)生的缺陷時，通過以本發(fā)明的受光機構(gòu)的受光量在256灰度下為30 50的范圍進行攝像，實現(xiàn)了用于檢測超過閾值的受光量的寬度h的提高。[比較例I]使用與實施例I中相同的裝置、相同的膜，將設(shè)置在照相機側(cè)的第2偏振片的角度固定一致，僅調(diào)整設(shè)置在光源側(cè)的第I偏振片的角度，從而如專利文獻2中記載的所示，僅調(diào)整偏振片的相對角度，除此以外與實施例同樣地進行攝像，并進行基本受光量的確認(rèn)。在比較例I的條件下受光量偏差大于30，無法將基本受光量調(diào)整為256灰度下10 30和30 50的范圍。由此可確認(rèn)，比較例的條件下，對于膜寬度方向具有雙折射偏差的膜，檢查精度不均一，無法進行精度良好的檢查。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明不限于膜的缺陷檢測裝置，也可以應(yīng)用于具有透過性的紙或片狀物的缺陷檢測裝置等，但其應(yīng)用范圍并不限于這些。符號說明
1檢查對象的膜
2弟I偏振片
3樂2偏振片
4照明機構(gòu)
5受光機構(gòu)6信號處理機構(gòu)
7制造時從左側(cè)部分得到的膜
8制造時從中央部得到的膜
9制造時從右側(cè)部分得到的膜
10制造時從左側(cè)部分得到的膜的受光量分布 11制造時從中央部得到的膜的受光量分布
12制造時從右側(cè)部分得到的膜的受光量分布
13使第I偏振片旋轉(zhuǎn)時的施力點 14使第I偏振片旋轉(zhuǎn)時的支點
15將第I偏振片大致在旋轉(zhuǎn)方向推拉的直動機構(gòu)
16直動機構(gòu)的驅(qū)動裝置
17使第2偏振片旋轉(zhuǎn)時的施力點 18使第2偏振片旋轉(zhuǎn)時的支點 19使第2偏振片旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)的驅(qū)動裝置
權(quán)利要求
1.一種膜缺陷檢查裝置，其是檢測長條狀膜的缺陷的檢查裝置，其特征在于，該檢查裝置具有 照明機構(gòu)，在所述膜的一側(cè)表面?zhèn)日丈渌瞿ぃ? 第I偏振片，設(shè)置在所述照明機構(gòu)與所述膜之間； 第2偏振片，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)龋? 受光機構(gòu)，設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)?，接受從所述照明機構(gòu)照射并透過了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透過光， 并且該膜缺陷檢查裝置具有分別單獨地在所述第I偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片的角度、在所述第2偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第2偏振片的角度的角度調(diào)整機構(gòu)。
2.如權(quán)利要求I所述的膜缺陷檢查裝置，其特征在于，在所述膜的寬度方向配置有多個所述第2偏振片和所述受光機構(gòu)，所述第2角度調(diào)整機構(gòu)分別設(shè)置在所述多個第2偏振片上。
3.如權(quán)利要求I或2所述的膜缺陷檢查裝置，其特征在于，在所述第I面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片角度的角度調(diào)整機構(gòu)具有在使所述第I偏振片旋轉(zhuǎn)時作為支點發(fā)揮作用的軸、和以所述第I偏振片的端部為施力點大致在旋轉(zhuǎn)方向進行推拉的直動機構(gòu)。
4.如權(quán)利要求I 3中任一項所述的膜缺陷檢查裝置，其特征在于，以1°以下的旋轉(zhuǎn)精度至少在-8° +8°的范圍對所述第I、第2偏振片的角度進行調(diào)整。
5.一種膜缺陷檢查方法，其是檢測長條狀膜的缺陷的缺陷檢查方法，其特征在于，通過設(shè)置在所述膜的一側(cè)表面?zhèn)鹊恼彰鳈C構(gòu)照射所述膜，在所述照明機構(gòu)與所述膜之間設(shè)置第I偏振片，在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)仍O(shè)置第2偏振片，通過設(shè)置在所述膜的另一側(cè)表面?zhèn)鹊氖芄鈾C構(gòu)接受從所述照明機構(gòu)照射并透過了所述第I偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透過光，對偏振片角度分別單獨進行調(diào)整，在所述第I偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片的角度，在所述第2偏振片的面內(nèi)調(diào)整所述第2偏振片的角度。
6.如權(quán)利要求5所述的膜缺陷檢查方法，其特征在于，在所述膜的寬度方向配置多個所述第2偏振片和所述受光機構(gòu)，相應(yīng)于配置位置而單獨地調(diào)整所述第2偏振片的角度。
7.如權(quán)利要求5或6所述的膜缺陷檢查方法，其特征在于，當(dāng)在所述第I面內(nèi)調(diào)整所述第I偏振片的角度時，通過在使所述第I偏振片旋轉(zhuǎn)時作為支點發(fā)揮作用的軸和以所述第I偏振片的端部為施力點在大致旋轉(zhuǎn)方向推拉的直動機構(gòu)，以1°以下的旋轉(zhuǎn)精度對偏振片角度進行微調(diào)。
8.如權(quán)利要求5 7中任一項所述的膜缺陷檢查方法,其特征在于，以使所述受光機構(gòu)中的受光量在256灰度下為10 30的范圍的方式錯開所述第I、第2偏振片的角度來進行檢查。
9.如權(quán)利要求5 7中任一項所述的膜缺陷檢查方法,其特征在于，以使所述受光機構(gòu)中的受光量在256灰度下為30 50的范圍的方式錯開所述第I、第2偏振片的角度來進行檢查。
10.如權(quán)利要求5 9中任一項所述的膜缺陷檢查方法，其特征在于，在使所述第I、第2偏振片的角度相對于所述受光機構(gòu)中的受光量成為最小值的狀態(tài)錯開I 2。的范圍的狀態(tài)下進行檢查。
11.如權(quán)利要求5 10中任一項所述的膜缺陷檢查方法,其特征在于,在貼合其他的光學(xué)膜或光學(xué)部件之前的脫模膜的狀態(tài)下適用缺陷檢查。
12.一種脫模膜，其特征在于，通過權(quán)利要求5 11中任一項所述的缺陷檢查方法實施缺陷檢查。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種膜缺陷檢查裝置，其是檢測長膜的缺陷的檢查裝置，其特征在于，該檢查裝置具有在上述膜的一側(cè)表面?zhèn)日丈渖鲜瞿さ恼彰鳈C構(gòu)；設(shè)置在上述照明機構(gòu)與上述膜之間的第1偏振片；設(shè)置在上述膜的另一側(cè)表面?zhèn)鹊牡?偏振片；設(shè)置在上述膜的另一側(cè)表面?zhèn)?、接受從上述照明機構(gòu)照射并透過了上述第1偏振片、上述膜和上述第2偏振片的透過光的受光機構(gòu)，并且該檢查裝置具有分別單獨地在上述第1偏振片的面內(nèi)調(diào)整上述第1偏振片的角度、在上述第2偏振片的面內(nèi)調(diào)整上述第2偏振片的角度的角度調(diào)整機構(gòu)。
文檔編號G01N21/89GK102906561SQ20118002580
公開日2013年1月30日 申請日期2011年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月25日
發(fā)明者植木克行, 宮原和久 申請人:東麗株式會社