專利名稱：一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及干涉測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法。
背景技術(shù)：
隨著高精度精密光學(xué)儀器的快速發(fā)展和應(yīng)用，對(duì)光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量要求也越來越高，尤其極紫外光刻技術(shù)(EUVL)應(yīng)用，工作波長為13 14nm的波段，光學(xué)元件加工和檢測(cè)技術(shù)比傳統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)要求更高。為了保證光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量，準(zhǔn)確檢測(cè)光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)系統(tǒng)波像差已成為非常重要的環(huán)節(jié)?；诟缮鏈y(cè)量原理，已經(jīng)發(fā)展了很多種干涉儀。常見的雙光束干涉儀主要有泰曼格林(Twyman Green)干涉儀、斐索(Fizeau)干涉儀、薩瓦(Savart)干涉儀、波面錯(cuò)位干涉儀和移相點(diǎn)衍射干涉儀等。移相點(diǎn)衍射干涉儀廣泛應(yīng)用于極紫外光刻技術(shù)中的光學(xué)元件面形和光學(xué)系統(tǒng)波像差檢測(cè)。在點(diǎn)衍射干涉儀中，激光經(jīng)擴(kuò)束器擴(kuò)束，通過物鏡聚焦到玻璃平板上的小孔上 (小孔為透射，小孔周圍為鉻反射膜)，為了得到較為理想的球面波，小孔通常小于lum。國外一些知名度較高的顯微鏡廠家生產(chǎn)的顯微物鏡以其數(shù)值孔徑大、工作距長和成像質(zhì)量好廣泛應(yīng)用于很多光學(xué)儀器，由其各種類型的干涉儀中。點(diǎn)衍射干涉儀里的小孔板若其厚度較薄，使用商業(yè)化的顯微物鏡對(duì)像質(zhì)影響很小，但小孔板機(jī)械強(qiáng)度較低，小孔板不利于裝夾且容易損壞；小孔板若其厚度較厚，小孔板機(jī)械強(qiáng)度增加，小孔板利于裝夾且不容易損壞， 但使用商業(yè)化的顯微物鏡對(duì)像質(zhì)影響很大，彌散斑急聚增大；若在小孔板上加工錐形孔，減小小孔板通光部份厚度，雖然降低了小孔板厚度對(duì)成像質(zhì)量的影響，但其加工難度非常大， 表面面形質(zhì)量將對(duì)小孔的球面波質(zhì)量產(chǎn)生很大影響。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，其不但優(yōu)化了干涉儀中顯微物鏡像質(zhì)的質(zhì)量還簡化了小孔板加工裝配的難度。一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，該方法包括如下步驟步驟一把顯微物鏡固定在主鏡筒上，調(diào)整顯微物鏡光軸和高精度車床轉(zhuǎn)軸重合， 車削主鏡筒內(nèi)圓；步驟二 使彎月透鏡筒外圓的機(jī)械軸和彎月透鏡的光軸同軸；步驟三用光學(xué)平板代替小孔板，使光學(xué)平板座外圓和光學(xué)平板光軸平行；步驟四把彎月透鏡和光學(xué)平板裝入主鏡筒，壓緊后使顯微物鏡、彎月透鏡和光學(xué)平板光軸重合，裝配完成；步驟五檢查所改造顯微物鏡的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)，當(dāng)光學(xué)指標(biāo)達(dá)到要求則卸下光學(xué)平板，加工掉光學(xué)平板座凸起的部分；步驟六小孔板安裝在三維精密調(diào)整臺(tái)上，通過調(diào)整使改造顯微物鏡的光軸通過小孔板上的小孔。本發(fā)明屬于改進(jìn)性發(fā)明，采用商業(yè)化的顯微物鏡進(jìn)行改造，不但使加工周期大大縮短，加工成本也大幅降低，像質(zhì)也得到較好的保證。


圖1本發(fā)明一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法的裝置圖。圖中1、主鏡筒，2、顯微物鏡，3彎月透鏡，4、光學(xué)平板，5、彎月透鏡筒，6、光學(xué)平板座，7、隔圈和8、壓圈。
具體實(shí)施例方式一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，該改造顯微物鏡包括主鏡筒1、 顯微物鏡2、彎月透鏡3和光學(xué)平板4 ；所述顯微物鏡2安裝在主鏡筒1里面，彎月透鏡3固定在主鏡筒1上，它們的光軸是同軸的，所述光學(xué)平板4固定在主鏡筒1上，主鏡筒1的機(jī)械軸和顯微物鏡2、彎月透鏡3、光學(xué)平板4光軸重合，所述彎月透鏡3通過彎月透鏡筒5固定在主鏡筒1上并通過隔圈7保證彎月透鏡3和顯微物鏡2光學(xué)間隔，光學(xué)平板4通過光學(xué)平板座6固定在主鏡筒1上。。一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，該方法包括如下步驟步驟一首先把顯微物鏡2固定在主鏡筒1上，通過定心儀觀測(cè)，調(diào)整顯微物鏡2 光軸和高精度車床轉(zhuǎn)軸重合，車削主鏡筒1內(nèi)圓；步驟二 通過定心配車使彎月透鏡筒5外圓的機(jī)械軸和彎月透鏡3的光軸同軸；步驟三用光學(xué)平板4代替小孔板，光學(xué)平板4外形尺寸和小孔板相同，沒有小孔板中心小于1微米的小孔和小孔周圍鍍鉻反射膜，通過定心配車使光學(xué)平板座6外圓和光學(xué)平板4光軸平行；步驟四把彎月透鏡3、光學(xué)平板4裝入主鏡筒1，通過壓圈8壓緊，使顯微物鏡2、 彎月透鏡3和光學(xué)平板4光軸重合，通過修磨隔圈7保證顯微物鏡2和彎月透鏡3之間光學(xué)間隔，裝配完成；步驟五改造完成后檢查所改造顯微物鏡的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)；當(dāng)光學(xué)指標(biāo)接近衍射極限時(shí)卸下光學(xué)平板，在車床上加工掉光學(xué)平板座在改造顯微物鏡上凸起的部分，或用一隔圈代替光學(xué)平板座；步驟六小孔板安裝在三維精密調(diào)整臺(tái)上，通過調(diào)整使改造顯微物鏡的光軸通過小孔板上的小孔。
權(quán)利要求
1.一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，該方法包括如下步驟步驟一把顯微物鏡( 固定在主鏡筒(1)上，調(diào)整顯微物鏡( 光軸和高精度車床轉(zhuǎn)軸重合，車削主鏡筒(1)內(nèi)圓；步驟二 使彎月透鏡筒( 外圓的機(jī)械軸和彎月透鏡(3)的光軸同軸；步驟三用光學(xué)平板(4)代替小孔板，使光學(xué)平板座(6)外圓和光學(xué)平板(4)光軸平行；步驟四把彎月透鏡C3)和光學(xué)平板(4)裝入主鏡筒(1)，壓緊后使顯微物鏡( 、彎月透鏡( 和光學(xué)平板(4)光軸重合，裝配完成；步驟五檢查所改造顯微物鏡O)的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)，當(dāng)光學(xué)指標(biāo)達(dá)到要求則卸下光學(xué)平板G)，加工掉光學(xué)平板座(6)凸起的部分；步驟六小孔板安裝在三維精密調(diào)整臺(tái)上，通過調(diào)整使改造顯微物鏡O)的光軸通過小孔板上的小孔。
2.如權(quán)利要求1所述的一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，其特征在于， 顯微物鏡( 和彎月透鏡C3)之間具有修磨隔圈(7)，保證顯微物鏡( 和彎月透鏡(3)之間的光學(xué)間隔。
3.如權(quán)利要求1所述的一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，其特征在于， 所述小孔板中心有小于1微米的小孔，小孔周圍鍍鉻反射膜。
4.如權(quán)利要求1所述的一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法，其特征在于， 所述光學(xué)平板(4)外形尺寸和小孔板相同。
全文摘要
一種將顯微物鏡裝配在點(diǎn)衍射干涉儀中的方法屬于干涉測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，裝配方法如下把顯微物鏡固定在主鏡筒上，調(diào)整顯微物鏡光軸和高精度車床轉(zhuǎn)軸重合，車削主鏡筒內(nèi)圓；使彎月透鏡筒外圓和彎月透鏡的光軸同軸；用光學(xué)平板代替小孔板；使光學(xué)平板座外圓和光學(xué)平板光軸平行；把彎月透鏡、光學(xué)平板裝入主鏡筒，通過壓圈壓緊，使顯微物鏡、彎月透鏡和光學(xué)平板光軸重合，裝配完成；改造完成后把小孔板安裝在三維精密調(diào)整臺(tái)上，通過調(diào)整使改造顯微物鏡的光軸通過小孔板上的小孔。本發(fā)明屬于改進(jìn)性發(fā)明，采用商業(yè)化的顯微物鏡進(jìn)行改造，不但使加工周期大大縮短，加工成本也大幅降低，像質(zhì)也得到較好的保證。
文檔編號(hào)G01J9/02GK102519608SQ201110409028
公開日2012年6月27日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
發(fā)明者孟慶華 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所