專利名稱：電子電路的三維檢測(cè)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，且更具體地涉及用于在線分析電子電路的系統(tǒng)。 本發(fā)明更具體地涉及配備有數(shù)字?jǐn)z像機(jī)的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
作為示例，圖1示意性地示出作為示例的本發(fā)明所適用的類型的設(shè)備。例如由印刷電路板ICC支撐的電子電路IC放置在例如在線光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的傳送帶1上。這樣的設(shè)備包括數(shù)字?jǐn)z像機(jī)系統(tǒng)2，該系統(tǒng)2連接到圖像處理計(jì)算機(jī)系統(tǒng)3。傳送帶1能夠在平面 XY(大體水平)中移動(dòng)，對(duì)于一連串照片而言，只能夠沿所述兩個(gè)方向中的一個(gè)方向即方向 X移動(dòng)。為了降低處理成本，通常希望通過(guò)對(duì)圖像進(jìn)行數(shù)字處理來(lái)彌補(bǔ)這些圖像的有限質(zhì)量。具體而言，已提供了通過(guò)拍攝在平面的兩個(gè)方向上彼此略微偏移的若干圖像以及通過(guò)實(shí)施所謂的超分辨率技術(shù)來(lái)彌補(bǔ)相機(jī)分辨率低。例如，文獻(xiàn)W02009/090633描述了利用若干數(shù)字?jǐn)z像機(jī)的陣列網(wǎng)絡(luò)的檢測(cè)設(shè)備， 所述檢測(cè)設(shè)備與拍攝對(duì)象相對(duì)放置以實(shí)施超分辨率技術(shù)。為了通過(guò)這樣的系統(tǒng)來(lái)提高平面的兩個(gè)方向中的圖像分辨率，必須使用攝像機(jī)網(wǎng)絡(luò)，且該攝像機(jī)網(wǎng)絡(luò)沿著平面的兩個(gè)方向移動(dòng)或者沿著相對(duì)于傳送方向傾斜的方向移動(dòng)。由于需要驅(qū)動(dòng)電機(jī)的準(zhǔn)確性高，這使得此系統(tǒng)機(jī)制復(fù)雜并且增大其成本。一些光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的另一目的是獲得三維圖像。像上述文獻(xiàn)中描述的設(shè)備不適于
重建三維圖象。期望具有用于通過(guò)圖像處理來(lái)分析集成電路類型的對(duì)象的設(shè)備，其允許比傳統(tǒng)系統(tǒng)使用較少數(shù)量的攝像機(jī)，而不損失分辨率。還期望具有適于三維分析的設(shè)備。還期望具有與已知解決方案相比而成本低的系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施方式的目的是提供一種通過(guò)圖像分析來(lái)檢測(cè)的設(shè)備，其解決了已知方法和已知設(shè)備的所有或部分缺點(diǎn)。根據(jù)第一方面，本發(fā)明的實(shí)施方式的目的是提供特別適用于在線處理且簡(jiǎn)化移位的解決方案。根據(jù)此第一方面，本發(fā)明的另一實(shí)施方式的另一目的是提供一種用于二維分析的特別簡(jiǎn)單的解決方案。根據(jù)第二方面，本發(fā)明的實(shí)施方式的目的是提供一種適于獲得三維圖像的解決方案。實(shí)施方式的另一目的是提供與兩個(gè)方面相容的解決方案。為了獲得所有或部分這些或其他目的，本發(fā)明提供了一種集成電路等的光學(xué)檢驗(yàn)設(shè)備，所述設(shè)備包括拍攝系統(tǒng)，所述拍攝系統(tǒng)位于由第一方向和第二方向限定的平面中的場(chǎng)景的上方，所述拍攝系統(tǒng)包括多個(gè)數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，每一數(shù)字?jǐn)z像機(jī)包括像素的正交陣列，所有攝像機(jī)的各自光軸相對(duì)于與所述的兩個(gè)方向垂直的第三方向傾斜第一角度；以及具有確定圖樣的兩個(gè)投影儀，這些圖樣使得由所述投影儀中的每一投影儀投影的兩條直線在由所述第一方向和所述第二方向限定的所述平面中對(duì)齊并且與將所述兩個(gè)投影儀的光學(xué)中心互連的直線共面。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第一角度在15度與25度之間。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，四個(gè)攝像機(jī)與每一投影儀相關(guān)聯(lián)且定向成對(duì)準(zhǔn)此投影儀的視軸上的同一點(diǎn)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，所述圖樣使得由所述投影儀中的每一投影儀投影的所述兩條直線在由所述第一方向和所述第二方向限定的平面中對(duì)齊并且與將所述兩個(gè)投影儀的所述光學(xué)中心互連的直線共面。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，所述圖像處理系統(tǒng)能夠?qū)⒊直媛侍幚響?yīng)用于所述拍攝系統(tǒng)提供的一連串圖像。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，所述設(shè)備還包括在所述平面的第一方向上待分析的對(duì)象的傳送帶，所述拍攝系統(tǒng)位于所述傳送帶的區(qū)域上方并且相對(duì)于傳送帶位于固定位置中， 所述攝像機(jī)分配成沿著與所述第一方向不同的第二方向?qū)R的兩組攝像機(jī)，所述攝像機(jī)全部定向成使得它們的像素陣列的所述正交方向中的一個(gè)方向與所述第一方向形成第二角度(α)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第二方向垂直于所述第一方向。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，不同攝像機(jī)的像素與所述第二方向?qū)R。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第二角度在3度到20度之間本發(fā)明還提供可以一種用于控制這樣的光學(xué)檢驗(yàn)設(shè)備的方法。結(jié)合附圖，將在以下具體實(shí)施方式
的非限制性描述中詳細(xì)描述本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)勢(shì)。


先前描述的圖1示意性地示出了本發(fā)明所適用的類型的集成電路檢測(cè)設(shè)備的示例，圖2是根據(jù)本發(fā)明的第一方面的實(shí)施方式的數(shù)字傳感器的簡(jiǎn)化圖，圖2Α是根據(jù)本發(fā)明的第一方面的另一實(shí)施方式的數(shù)字傳感器的簡(jiǎn)化圖，圖3示出了圖2的電路的操作，圖4是根據(jù)本發(fā)明的第二方面的實(shí)施方式的簡(jiǎn)化透視圖，圖5和圖5Α示出了具有兩個(gè)投影儀(比如圖4中所示)的實(shí)施方式的操作，圖6是根據(jù)本發(fā)明的第二方面的設(shè)備的另一實(shí)施方式的簡(jiǎn)化透視圖，以及圖7是示出圖6的設(shè)備中所考慮的角度的簡(jiǎn)化圖。
具體實(shí)施方式
在不同的附圖中，利用相同的附圖標(biāo)記表示相同的元件，這些元件是不按比例繪制的。為了清楚，僅示出并且將僅描述對(duì)理解本發(fā)明有用的那些步驟和元件。具體而言，本發(fā)明所使用的圖像處理算法本身是已知的且將不作詳細(xì)描述。而且，未詳述數(shù)字圖像傳感器的可行實(shí)現(xiàn)方式，本發(fā)明與任何常見(jiàn)的黑白陣列攝像機(jī)或彩色陣列攝像機(jī)相容，例如電荷耦合器件(CCD)或CMOS傳感器。首先將參照第一方面描述本發(fā)明，本發(fā)明的第一方面適用于二維攝影設(shè)備的實(shí)施方式。圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的第一方面的實(shí)施方式的分析設(shè)備的圖像傳感器22的組2 的簡(jiǎn)化俯視圖。規(guī)定拍攝對(duì)象(例如，圖1的集成電路)相對(duì)于傳感器系統(tǒng)移動(dòng)且規(guī)定傳感器是固定的。對(duì)于二維攝影設(shè)備，所有傳感器22在與電路傳送帶的平面(X，Y)平行的的平面上共面。在圖2的實(shí)施方式中，定位圖像傳感器使得它們的各個(gè)像素222沿著與軸X和軸 Y不一致的正交方向形成陣列。這相當(dāng)于將每一傳感器繞豎直軸Z旋轉(zhuǎn)相同角度α，使得像素沿著與軸Χ’、γ’平行的方向?qū)R，軸Χ’、Υ’定義的參考系與參考系Χ、Υ成角度a。然而傳感器22在此處沿著方向Y對(duì)齊，即垂直于輸送方向X。當(dāng)攝像機(jī)系統(tǒng)2下面的對(duì)象沿著平行于軸X的方向F移動(dòng)時(shí)，該對(duì)象的一點(diǎn)沿著傳感器的兩個(gè)方向從一個(gè)像素到另一像素，即在像素的不同位置中。圖2A示出了一變型，根據(jù)該變型，傳感器22與軸Y’對(duì)齊。傳感器的行與軸Y成角度α地對(duì)齊。與圖5的實(shí)施方式相比，優(yōu)勢(shì)在于角度α的設(shè)定較簡(jiǎn)單，因?yàn)閷?duì)所有傳感器只需執(zhí)行一次。圖3是示出傳感器陣列拍攝的四個(gè)圖像I以及這些圖像上的物點(diǎn)的各個(gè)位置的簡(jiǎn)化俯視圖。物點(diǎn)沿方向X的移位導(dǎo)致一旦圖像重疊，該物點(diǎn)要被復(fù)制四次，且其位置沿著方向X和Y有偏移。應(yīng)當(dāng)注意到，此復(fù)制不需要增加方向χ中的攝像機(jī)的數(shù)目。圖像分辨率的提高是通過(guò)由對(duì)象移動(dòng)引起的傳感器拍攝的連續(xù)圖像的重疊。通過(guò)所謂的超分辨率方法的圖像處理本身很常見(jiàn)。根據(jù)本發(fā)明，圖像在與移位垂直的方向(Y) 上相對(duì)于彼此的位置是不變的。而且，在另一方向(X)中，此位置與角度α (對(duì)所有傳感器而言不變且共用)以及兩個(gè)圖像之間的平移步長(zhǎng)有關(guān)。在逐步移動(dòng)或連續(xù)移動(dòng)中，此平移步長(zhǎng)取決于針對(duì)超分辨率而選擇的圖像的數(shù)目。選擇傳送帶的前進(jìn)速度以及圖像拍攝頻率以遵守此平移步長(zhǎng)。超分辨率圖像中的像素密度尤其取決于圖像的數(shù)目和攝像機(jī)的旋轉(zhuǎn)角度α。而且，角度α影響對(duì)圖像中的對(duì)象的抽樣均勻性。此均勻性可以基于常見(jiàn)的圖像處理方法確定。例如，可以參考Hoa Nguyen、John Burkardt、Max Gunzburger、 Lili Ju、Yuki Saka ^t 2008 ^R^^t Elsevier B. V. ± ^ Computational Geometry Theory and Applications 第 8 頁(yè)中的文獻(xiàn)"Constrained CVT meshes and a comparison of triangular mesh generators” (http://www.sciencedirect. com/science ？
ob = ArticleURL& udi = B6TYS~4SCKRTM~1& user = 10& coverDate = 01 % 2F31 % 2F2009& rdoc = 1& fmt = high& orig = search& sort = d& docanchor = &view = c& searchStrld = 1379367209& rerunOrigin = google& acct = C000050221& version ■ urlVersion = 0& userid = 10&md5 = b799274058738c6fb4dlb52dfdd44ee7)，其描述了不同的圖象均勻性確定方法，例如“規(guī)律性測(cè)量(regularity measure)發(fā)明人已發(fā)現(xiàn)在期望的應(yīng)用中，3度到20度之間的角α獲得令人滿意的結(jié)果。所提供的解決方案的優(yōu)勢(shì)在于，改變角度α改變了平移參數(shù)(兩個(gè)圖像之間的步長(zhǎng))，且因此改變了兩個(gè)方向上的分辨率。作為一變型，提前確定適用于若干數(shù)量的圖像的相同角度α。則可以僅通過(guò)改變步長(zhǎng)(且因此改變圖像數(shù)目)來(lái)改變分辨率。作為具體實(shí)施方式
，可以借助于像素分辨率為52微米的300萬(wàn)像素傳感器獲得直徑約為十幾微米(例如13微米)的物點(diǎn)的分辨率。利用六個(gè)圖像，獲得的分辨率相當(dāng)于具有用于21微米的物點(diǎn)的可接受的分辨率的1800萬(wàn)像素傳感器。已設(shè)計(jì)出將待在傳送帶上檢查的對(duì)象旋轉(zhuǎn)并使具有各自像素的光學(xué)攝像機(jī)沿著與傳送方向垂直的方向?qū)R，如慣用的解決方案。然而，該解決方案無(wú)法利用單行攝像機(jī)實(shí)現(xiàn)功能性超分辨率處理。根據(jù)本發(fā)明的第一方面的上述實(shí)施方式的優(yōu)勢(shì)在于，它們能夠降低超分辨率操作中的攝像機(jī)的數(shù)目，因此較便宜。而且，避免拍攝系統(tǒng)機(jī)動(dòng)化且因此提高了焦點(diǎn)深度。下文將描述本發(fā)明的第二方面。此方面的目的在于獲得三維圖像。關(guān)于應(yīng)用于三維圖象，常見(jiàn)的是利用若干攝像機(jī)拍攝大片點(diǎn)并使不同攝像機(jī)的圖像匹配以在將確定的圖樣投影在場(chǎng)景上。美國(guó)專利6545512中描述了三維圖象處理技術(shù)的示例。優(yōu)選地利用所謂的“相移”技術(shù)，該“相移”技術(shù)包括將正弦圖樣投射到待檢查的場(chǎng)景上。這些圖樣在圖像上的表現(xiàn)形式用來(lái)推斷場(chǎng)景的不同物點(diǎn)的高度。為了獲得三維圖象，若干個(gè)攝像機(jī)必須觀察場(chǎng)景的相同部分。因此問(wèn)題在于，由單一配準(zhǔn)投影儀投射的光具有產(chǎn)生陰影區(qū)域的風(fēng)險(xiǎn)，因?yàn)閿z像機(jī)正好在投影儀的區(qū)域中。為了解決此問(wèn)題，已設(shè)計(jì)出利用兩個(gè)投影儀按不同角度照射場(chǎng)景。然而，引起了使投影邊緣形成角度的區(qū)域發(fā)生重疊的問(wèn)題。可能的解決方案是使不同投影儀依次發(fā)光。然而，這將產(chǎn)生圖像處理時(shí)間損耗(時(shí)間乘以依次照射的次數(shù))。另一問(wèn)題在于這需要高分辨率的投影儀，且因此昂貴并且當(dāng)前不可用。根據(jù)本發(fā)明的此方面，選擇能夠容易解決投影儀之間的區(qū)域發(fā)生重疊的問(wèn)題的被投影圖像的特定圖樣。圖4是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的攝像機(jī)和投影儀的各個(gè)位置的簡(jiǎn)化透視圖。在此示例中，提供了場(chǎng)景中的圖像的兩個(gè)投影儀24和沿著方向Y中的兩個(gè)平行直線對(duì)齊的具有四個(gè)攝像機(jī)22的兩組2’。兩組2’位于投影儀24的每一側(cè)，并且沿著與方向Y平行的線對(duì)齊。攝像機(jī)被定位成使它們各自的視點(diǎn)沿著方向Y對(duì)齊并且配對(duì)，每一組的攝像機(jī)與相對(duì)于軸Y與該組攝像機(jī)對(duì)稱的另一組攝像機(jī)對(duì)準(zhǔn)相同點(diǎn)。這相當(dāng)于使所有攝像機(jī)相對(duì)于垂直方向Z傾斜角度β。對(duì)所有攝像機(jī)22而言角度β可以相同(具有不同的符號(hào))。兩個(gè)投影儀24設(shè)置成將確定的圖樣投影在場(chǎng)景(在拍攝區(qū)域中)中，該圖樣將在下文予以描述并且由處理系統(tǒng)識(shí)別。了解到圖樣后，接著可以獲得投影儀的參數(shù)和攝像機(jī)的參數(shù)、場(chǎng)景高度。傳送帶上的被檢測(cè)對(duì)象的高度不準(zhǔn)確。當(dāng)該對(duì)象低于參考高度時(shí)，位于投影儀之間的區(qū)域由兩個(gè)投影儀照射。然而，如果對(duì)象高于參考高度，則該對(duì)象的部分可能不再被照射到，則需要引入預(yù)防重疊的區(qū)域來(lái)解決此問(wèn)題。在所有情況下，必須處理重疊區(qū)域。
在被投影圖像中引入編碼以保護(hù)源(例如波長(zhǎng))，或者在重疊區(qū)域中投影的圖案使得與此重疊區(qū)域有關(guān)的圖像處理與投影儀無(wú)關(guān)。本發(fā)明適用于第二解決方案。施加到圖樣上的限制是，灰度級(jí)沿著由投影儀的圖像平面和包括使兩個(gè)投影儀的光學(xué)中心互連的線的平面之間的交叉限定的曲線不變。圖5和圖5A示出了這樣的實(shí)施方式。圖5示意性地示出了具有兩個(gè)投影儀的設(shè)備。圖5A按相對(duì)于重疊區(qū)域的位置來(lái)示意性地示出投影成的圖像的強(qiáng)度(亮度)。為了清楚，以下說(shuō)明沒(méi)有與攝像機(jī)系統(tǒng)關(guān)聯(lián)。兩個(gè)圖像II、12通過(guò)兩個(gè)投影儀24L、24R投影在場(chǎng)景S上，場(chǎng)景S相當(dāng)于被拍攝區(qū)域。例如，這些圖像是平行線(狹槽)。從圖5看到，被投影圖像11、12和包括線242的任一平面P之間的交叉提供了平行曲線244和246。而且，曲線244和246投影在所述場(chǎng)景上提供了兩個(gè)對(duì)齊的直線248L和248R。如圖5A中所示，為了在重疊區(qū)域A中遵守系統(tǒng)的光度平衡，在此區(qū)域中調(diào)整待投影的圖像輪廓。例如，調(diào)整來(lái)自每一圖像的標(biāo)準(zhǔn)亮度級(jí)(一端降低，另一端提高)，使得兩個(gè)圖像在場(chǎng)景上的重疊提供了恒定亮度級(jí)。以上實(shí)施方式符合超分辨率圖像處理。例如，可以應(yīng)用包括以下的常見(jiàn)超分辨率處理在平面的方向X和方向Y中移動(dòng)該場(chǎng)景(或拍攝場(chǎng))。根據(jù)優(yōu)選示例，合并以上描述的兩個(gè)方面以將超分辨率方法應(yīng)用于3D拍攝系統(tǒng)。圖6是適于獲得超分辨率的三維(3D)圖像的另一實(shí)施方式的拍攝系統(tǒng)的透視圖。 為了簡(jiǎn)化，未示出與處理系統(tǒng)的連接。圖7是示出圖6的設(shè)備中涉及的角度的幾何圖。與圖4的實(shí)施方式相比，攝像機(jī)22定位成四個(gè)一組地對(duì)準(zhǔn)同一點(diǎn)。這相當(dāng)于添加了一定的自由范圍，如圖7所示。優(yōu)選地，除了針對(duì)所有攝像機(jī)傾斜絕對(duì)值相等的角度β 外，使攝像機(jī)旋轉(zhuǎn)角度Y以將它們各自的視軸四個(gè)一組地朝向同一點(diǎn)。而且，為了遵守第一方面的特征，所有攝像機(jī)繞Z軸旋轉(zhuǎn)角度α。與圖2的實(shí)施方式相比，兩序列2”攝像機(jī)22沿著與方向Y平行的兩條線布置。在圖4和圖6的示例中，每一序列2’和2”包括沿方向Y對(duì)齊的四個(gè)攝像機(jī)22，但是此數(shù)目可以根據(jù)要拍攝的場(chǎng)景在與對(duì)象的移動(dòng)方向垂直的方向Y上的寬度而不同。考慮到焦點(diǎn)深度，根據(jù)沿場(chǎng)景中的方向Z的預(yù)期準(zhǔn)確度來(lái)選擇角度β、角度Y和視點(diǎn)。作為具體實(shí)施方式
，提供了角度α在3到6度之間、角度β在15度到25度之間的系統(tǒng)。已描述各種實(shí)施方式。本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員可以想到各種替代和改動(dòng)。具體而言，攝像機(jī)的位置和角度的選擇取決于期望的分辨率和待分析的物點(diǎn)的尺寸?？梢蕴峁┡c例如關(guān)于圖4和圖6描述的結(jié)構(gòu)不同的其它結(jié)構(gòu)，該其它結(jié)構(gòu)可以在攝像機(jī)和投影儀的數(shù)目方面或位置方面不同而且，每個(gè)攝像機(jī)選擇的像素?cái)?shù)目對(duì)在給定傳輸帶速度下獲得的分辨率有影響。 而且，可以使用陣列傳感器，而非方形傳感器。最后，基于上文提供的功能性指示并通過(guò)利用慣用的圖像處理算法，應(yīng)用于獲得的圖像的處理在本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員的能力內(nèi)。
這樣的替代、改動(dòng)和改善用來(lái)作為本公開(kāi)案的一部分且用來(lái)在本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)。因此，以上描述僅是示例且不是限制性的。本發(fā)明僅局限于以下權(quán)利要求及其等同物定義的內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種集成電路等的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，所述設(shè)備包括拍攝系統(tǒng)，所述拍攝系統(tǒng)位于由第一方向和第二方向限定的平面中的場(chǎng)景的上方，所述拍攝系統(tǒng)包括多個(gè)數(shù)字?jǐn)z像機(jī)(22)，每一數(shù)字?jǐn)z像機(jī)包括正交陣列的像素，所有攝像機(jī)的各自光軸相對(duì)于與所述第一方向和第二方向垂直的第三方向(Z)傾斜第一角度(β)；以及具有確定圖樣的兩個(gè)投影儀(24)，這些圖樣使得由所述投影儀中的每一投影儀投影的兩條直線在由所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)限定的所述平面中對(duì)齊并且與將所述兩個(gè)投影儀的光學(xué)中心互連的直線(242)共面。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述第一角度(β)在15度與25度之間。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中四個(gè)攝像機(jī)與每一投影儀相關(guān)聯(lián)且定向成對(duì)準(zhǔn)所述投影儀的視軸上的同一點(diǎn)。
4.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述圖樣使得由所述投影儀中的每一投影儀投影的所述兩條直線在由所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)限定的平面中對(duì)齊并且與將所述兩個(gè)投影儀的所述光學(xué)中心互連的直線(242)共面。
5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中圖像處理系統(tǒng)能夠?qū)⒊直媛侍幚響?yīng)用于由所述拍攝系統(tǒng)提供的一連串圖像。
6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，所述設(shè)備還包括在所述平面的第一方向(X)上具有待分析的對(duì)象的傳送帶，所述拍攝系統(tǒng)(2)位于所述傳送帶的區(qū)域上方并且相對(duì)于傳送帶位于固定位置中，所述攝像機(jī)分配成沿著與所述第一方向不同的第二方向(Y，Y’ )對(duì)齊的兩組 (2)攝像機(jī)，所述攝像機(jī)全部定向成使得它們的像素陣列的所述正交方向中的一個(gè)方向與所述第一方向形成第二角度(α)。
7.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其中所述第二方向垂直于所述第一方向。
8.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其中不同攝像機(jī)的像素與所述第二方向?qū)R。
9.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中所述第二角度(α)在3度到20度之間。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種電子電路的三維檢測(cè)設(shè)備。一種集成電路等的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備包括拍攝系統(tǒng)，所述拍攝系統(tǒng)位于由第一方向和第二方向限定的平面中的場(chǎng)景的上方，所述拍攝系統(tǒng)包括多個(gè)數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，每一數(shù)字?jǐn)z像機(jī)包括正交陣列的像素，所有攝像機(jī)的各自光軸相對(duì)于與所述第一方向和第二方向垂直的第三方向傾斜第一角度；以及具有確定圖樣的兩個(gè)投影儀，這些圖樣使得由所述投影儀中的每一投影儀投影的兩條直線在由所述第一方向和所述第二方向限定的所述平面中對(duì)齊并且與將所述兩個(gè)投影儀的光學(xué)中心互連的直線共面。
文檔編號(hào)G01B11/25GK102346021SQ20111021067
公開(kāi)日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月26日
發(fā)明者馬蒂厄·佩里奧拉 申請(qǐng)人:維特公司