專利名稱：振動歸位梭車及具有該梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺的制作方法
振動歸位梭車及具有該梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于ー種梭車及具有該梭車的檢測機(jī)臺，尤其是一種振動歸位梭車及具有該振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺。
背景技木目前測試半導(dǎo)體元件的方法，主要可以分為虛擬測試與實(shí)境測試，其中虛擬測試是指針對各IC的不同特性、根據(jù)預(yù)定的電路設(shè)計(jì)撰寫出特定的測試軟件，藉以確認(rèn)例如腳位間是否非預(yù)期地短路或斷路、以及是否符合預(yù)定的邏輯關(guān)系；實(shí)境測試則是藉由已經(jīng)具有完整功效的公板，僅將待測IC位置留白，將每個(gè)待測IC輪流補(bǔ)入該空白位置，測試此時(shí)公板是否能正常運(yùn)作，從而確認(rèn)此待測IC的功能正常，并依測試結(jié)果作為分類的依據(jù)。當(dāng)要測試不同IC時(shí)，僅需替換不同公板及測試的軟件即可。
為提升效率，目前測試機(jī)臺輸送及量測待測半導(dǎo)體元件過程均已采用自動化測試，如圖I所示，在入料區(qū)疊放有多組入料匣4，每一入料匣4中放置有多顆待測半導(dǎo)體元件51。開始測試時(shí)，先將最下方的入料匣4向圖式下方移出約一行的間距，并由ー個(gè)入料臂31將此入料匣4第一行內(nèi)的待測半導(dǎo)體元件51移載至橫向移動的入料梭車33上，入料梭車33隨即右移至測試臂組件221可汲取的位置，再由測試臂組件221將待測半導(dǎo)體元件51移載于測試座21進(jìn)行測試，測試完成后，測試臂組件221將已測半導(dǎo)體元件52送至圖式上方的出料梭車34上，出料梭車34隨即右移至出料臂32可汲取的位置，并由出料臂32依測試的數(shù)據(jù)資料做為已測半導(dǎo)體元件52的分類依據(jù)，分別移載至圖式右下方諸多分類料匣中的對應(yīng)分類料匣中。一井參考圖2及圖3所示，然而，當(dāng)入料臂31將待測半導(dǎo)體元件51移載至橫向移動的入料梭車33上，以及測試臂組件221將已測的半導(dǎo)體元件52送至出料梭車34上時(shí)，若半導(dǎo)體元件未被平整放置，造成如圖2所示的歪斜，半導(dǎo)體元件擺放超出梭車上預(yù)設(shè)的承載座位置，此時(shí)沒有即時(shí)修正，則在測試臂組件221或出料臂32下壓汲取吋，極可能造成如圖3所示，破壞該半導(dǎo)體元件的不良后果。如此，不僅需立即停機(jī)而以人力排除受壓損壞的廢品，因而無謂延緩自動化的產(chǎn)出效能，甚至可能更進(jìn)ー步影響機(jī)械臂的定位精度，導(dǎo)致整個(gè)機(jī)臺必須重新校準(zhǔn)或甚至維修。為避免上述情況發(fā)生，申請人原本規(guī)劃的安全機(jī)制是一旦發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體元件置放不平整，就會直接停機(jī)警示，讓操作人員人力排除不平整元件，再重新啟動機(jī)臺進(jìn)行檢測；但是，對于機(jī)臺的產(chǎn)出效率無疑仍有延宕。因此,若能提供ー種振動歸位梭車,一旦察覺有半導(dǎo)體兀件未被穩(wěn)妥地放在承載座中，即可透過沿水平方向的振動，使該元件受振動而些許位移，直到其被導(dǎo)正歸位，機(jī)臺才進(jìn)行后續(xù)動作。如此，提高半導(dǎo)體元件被確實(shí)安放的機(jī)率，也大幅降低機(jī)臺非預(yù)期地停機(jī)與損壞的風(fēng)險(xiǎn)，達(dá)到提高半導(dǎo)體元件產(chǎn)出效率與良率，且降低機(jī)臺停機(jī)排除廢品、以及被迫維修保養(yǎng)的發(fā)生機(jī)會，達(dá)到有效降低成本的目的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明之一目的在于提供ー種具有振動單元、并提供梭車的承載座沿置放平面方向振動的振動歸位梭車。本發(fā)明的另ー目的在于提供一種可自動將歪斜擺放至梭車承載座的半導(dǎo)體元件利用振動使其歸位的振動歸位梭車。本發(fā)明的再一目的在于提供一種可自動化導(dǎo)正被歪斜放置于承載座的半導(dǎo)體元件的具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺。
本發(fā)明的又一目的在于提供ー種意外停機(jī)的機(jī)率可被大幅降低，使產(chǎn)出效率提升的具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺。依照本發(fā)明掲示的一種半導(dǎo)體元件的振動歸位梭車，是供承載多個(gè)待測或已測半導(dǎo)體元件,其中該振動歸位梭車包括ー個(gè)形成有至少ー個(gè)供ー個(gè)前述半導(dǎo)體元件沿ー個(gè)置放平面置入的承載座的本體；及一個(gè)使該至少ー個(gè)承載座沿該置放平面方向振動的振動單元,該振動單元包括至少ー個(gè)振蕩子。而且，依照本發(fā)明掲示的ー種具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺，供檢測多個(gè)半導(dǎo)體元件，該檢測機(jī)臺包括一個(gè)基座；ー個(gè)形成于該基座、供置放至少ー個(gè)形成有供承載多個(gè)待測半導(dǎo)體元件的入料盤的入料區(qū)；ー個(gè)形成于該基座、供置放多個(gè)形成有供承載多個(gè)完測半導(dǎo)體元件的出料盤的出料區(qū)；ー組具有至少ー個(gè)測試座、并設(shè)置于該基座上的檢測裝置；至少ー個(gè)對應(yīng)前述至少ー個(gè)測試座、并供攜帯前述待測半導(dǎo)體元件至該檢測裝置及攜出來自該檢測裝置的完測半導(dǎo)體元件的振動歸位梭車，包括ー個(gè)形成有至少ー個(gè)供ー個(gè)前述半導(dǎo)體元件沿一個(gè)置放平面置入的承載座的本體；及一個(gè)使該至少ー個(gè)承載座沿該置放平面方向振動的振動單元，該振動単元包括至少ー個(gè)振蕩子；且該檢測機(jī)臺還包括一組在該入料區(qū)、前述至少ー個(gè)振動歸位梭車、及該出料區(qū)間搬移前述半導(dǎo)體元件的移載裝置；及一個(gè)供驅(qū)動該振動單元振動的控制裝置。由于本案所掲示具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺，在對應(yīng)振動歸位梭車處可設(shè)置水平檢測裝置，無論是待測或完測的半導(dǎo)體元件，若是被歪斜放置于承載座時(shí)，將驅(qū)動振動單元沿著一個(gè)大致水平的置放平面振動，使得歪斜的元件相對梭車小幅移動，直到正確回到承載座中。因此，無論是在入料檢測過程或出料分類過程，入料臂或測試臂在置放時(shí)略有偏差，機(jī)臺仍可自動將大部分歪斜的半導(dǎo)體元件擺正，因此機(jī)臺可以順暢地進(jìn)行自動化檢測，無須動輒停機(jī)；測試臂或出料臂在后續(xù)流程中，更不致輕易撞及歪斜擺放的半導(dǎo)體元件，從而導(dǎo)致元件損壞或機(jī)械臂偏移；產(chǎn)出效率與良率因而提升，并達(dá)成所有上述目的。

圖I是公知半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺的示意圖；圖2是圖I半導(dǎo)體元件未擺放正確的立體示意圖；圖3是圖I半導(dǎo)體元件未擺放正確而進(jìn)行汲取時(shí)導(dǎo)致破片的立體示意圖；圖4是本案第一較佳實(shí)施例具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺的俯視圖；圖5是圖4檢測機(jī)臺的側(cè)視圖；圖6是圖4檢測機(jī)臺的裝置操控的方塊示意圖7是圖4振動歸位梭車的立體圖；圖8是圖7振動歸位梭車的立體分解圖；圖9是圖7振動歸位梭車的控制電路圖；圖10是圖5檢測機(jī)臺的水平檢測裝置的立體示意圖；圖11至圖13是本例具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺的梭車、入料臂、出料臂及測試臂的操作步驟的上視圖；圖14至圖15是本案第二較佳實(shí)施例具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺，是由兩組梭車及兩組測試臂高度同步化進(jìn)行移載作業(yè)的操作步驟的上視圖；圖16是本案第三較佳實(shí)施例具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺；圖17是圖16的振動歸位梭車、且梭車具有單ー承載座的立體圖；圖18是圖16的振動歸位梭車內(nèi)部的剖視圖,是說明振動單元以齒輪組件示意。主要元件符號說明I ’基座2’、2”，入料區(qū)21’入料盤22，、22”入料臂221測試臂組件3’、3”，出料區(qū)31入料臂31’分類料盤34出料梭車32、32，、32”出料臂33入料梭車4入料匣4’檢測裝置21、41’、41”測試座42’、42”測試臂220，、320，、420，吸嘴422’溫度調(diào)節(jié)件43’處理分類裝置51、51’、51”待測半導(dǎo)體元件52、52’、52”已測半導(dǎo)體元件6’移載裝置V控制裝置8’、8廣、82 ”、8”’ 振動歸位梭車81’本體80，、SO1 ”、802 ”、80 ”’ 承載座 811’上半部件812’下半部件
813，、813”， 容室814’承載部814”，內(nèi)齒輪815”，太陽齒輪82’、82”’振動單元821，、821，”振蕩子8211’偏心輪8212，轉(zhuǎn)軸8213”，行星齒輪8210’樞接孔9’、9”’水平檢測裝置91’、91”，光學(xué)收發(fā)單元911’發(fā)光二極管911”’激光二極管912’光纖913’、912”’光學(xué)接收器
具體實(shí)施方式有關(guān)本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效，在以下配合說明書附圖的較佳實(shí)施例的詳細(xì)說明中，將可清楚地呈現(xiàn)。請ー并參考圖4、圖5及圖6所示，為本案具有振動歸位梭車及振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺的第一較佳實(shí)施例，包括基座I’、入料區(qū)2’、出料區(qū)3’、檢測裝置4’、振動歸位梭車8’、移載裝置6’、控制裝置7’及水平檢測裝置9’?；鵌’上形成有供擺放料匣的入料區(qū)2’及出料區(qū)3’，其中入料區(qū)2’處的料匣內(nèi)，預(yù)先承載放置有數(shù)個(gè)待測半導(dǎo)體元件51’，而出料區(qū)3’則是分別供置放數(shù)個(gè)料匣，每個(gè)料匣分別對應(yīng)承載具有某特定電氣性質(zhì)、且被測試分類完畢的半導(dǎo)體元件，為便于說明，在此定義位于入料區(qū)2’的料匣為入料盤21’，且在本例中，入料盤21’是以堆疊方式置放于入料區(qū)2’，而位于出料區(qū)3’的多個(gè)料匣為分類料盤31’。一井參考圖5所示，設(shè)置在基座I’上的檢測裝置4’在本例中包括ー個(gè)處理分類裝置43’、四個(gè)測試座41’及一個(gè)附有吸嘴420’及溫度調(diào)節(jié)件422’的測試臂42’，藉由吸嘴420’施加負(fù)壓吸引/釋放負(fù)壓方式汲取/釋放待測半導(dǎo)體元件51’，溫度調(diào)節(jié)件422’則可依照需求進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，尤其在進(jìn)行半導(dǎo)體元件測試時(shí)，保持待測半導(dǎo)體元件51’處于ー個(gè)預(yù)定溫度，以測試出半導(dǎo)體元件在模擬出的高溫環(huán)境或是低溫環(huán)境狀態(tài)下是否還能正常運(yùn)作。測試臂42’可將吸嘴420’所汲取的半導(dǎo)體元件移入測試座41’或反向移出，而測式結(jié)果會傳至處理分類裝置43’作為分類的依據(jù)。雖然在本例中使用吸嘴以負(fù)壓/釋放負(fù)壓方式汲取半導(dǎo)體元件，但熟悉本技術(shù)者亦可使用例如夾持等方式進(jìn)行移載，皆無礙于本案的實(shí)施。移載裝置6’在本例中包括一個(gè)設(shè)于基座I’的入料區(qū)2’位置的入料臂22’，以及一個(gè)設(shè)于基座I’的出料區(qū)3’位置的出料臂32’，其中，入料臂22’及出料臂32’分別例釋為具有ー組吸引/釋放半導(dǎo)體元件的吸嘴220’、320’，并于基座I’的入料區(qū)2’及出料區(qū)3’之間設(shè)置一個(gè)貫穿的振動歸位梭車8’，且振動歸位梭車8’所經(jīng)過之處正好能交會到測試臂42’從振動歸位梭車8，汲取、或釋放半導(dǎo)體元件的交換位置，使振動歸位梭車8，位于交換位置時(shí)可對應(yīng)到測試座41’。因此，本例中的振動歸位梭車8’在機(jī)臺上的移動途徑是貫穿上述入料區(qū)、交換位置、及出料區(qū)并往返移動。參閱圖7及圖8所示,本例的振動歸位梭車8’包括ー個(gè)本體81’，本體81’中形成有四個(gè)凹陷的承載座80’，為便于說明，在此定義承載座底部大致水平的方向?yàn)橹梅牌矫?，以供半?dǎo)體元件置入，而本體81’則是由ー個(gè)上半部件811’及ー個(gè)下半部件812’所組成，并且在上半部件811’及下半部件812’間形成有一個(gè)容室813’，容室813’內(nèi)則設(shè)有ー個(gè)振動單元82’，本例中，振動單元82’包括對應(yīng)于每ー承載座80’位置分別設(shè)置的一個(gè)振蕩子821，。本例的振蕩子821’包括ー個(gè)偏心輪8211’及一個(gè)轉(zhuǎn)軸8212’，偏心輪8211’中形 成有一個(gè)偏離重心位置的樞接孔8210’，并由轉(zhuǎn)軸8212’穿過，而轉(zhuǎn)軸8212’的兩端分別設(shè)于上半部件811’及下半部件812’，且每ー個(gè)振蕩子821’分別對應(yīng)一個(gè)承載座80’的承載部814’，使得偏心輪8211’會以承載部814’為樞軸旋轉(zhuǎn)，故當(dāng)任一振蕩子821’被驅(qū)動吋，均會偏心旋轉(zhuǎn)而使得對應(yīng)的承載座80’沿著置放平面方向振動，并且，由于檢測不同的半導(dǎo)體元件時(shí)，會因?yàn)椴煌陌雽?dǎo)體元件會有不同的大小及重量，因此，振動單元82’的振動幅度也因該有所區(qū)別，請ー并參考圖9，是控制振動單元82’振動幅度的控制電路，透過可調(diào)式電阻VRl VR4調(diào)整輸出的功率，即可使得振動單元82’振動幅度受到調(diào)整。一井參考圖4、圖5及圖10所示，本例的水平檢測裝置9’是設(shè)置于基座I’的測試臂42’從振動歸位梭車8，汲取、或釋放半導(dǎo)體元件的交換位置上，而水平檢測裝置9’包括有四個(gè)光學(xué)收發(fā)單元91’，分別對應(yīng)前振動歸位梭車8’的承載座80’，且本例的光學(xué)收發(fā)單元91’包括發(fā)光二極管911’、光纖912’及光學(xué)接收器913’，先由光纖912’將發(fā)光二極管911’所發(fā)的光往大致垂直朝向?qū)?yīng)承載座80’置放平面方向?qū)б蛊湔障虺休d座所承載的半導(dǎo)體元件，再將反射光由光纖912’反向傳輸并導(dǎo)引至對應(yīng)的光學(xué)接收器913’，并由水平檢測裝置9’將檢測訊息傳至控制裝置V。在進(jìn)行移載測試作業(yè)時(shí)，一井參考圖6及圖11至13所示，首先由入料臂22’從入料盤21’中透過吸嘴220’汲取待測半導(dǎo)體元件51’，移載并放置到位于入料區(qū)2’的振動歸位梭車8’的承載座80’上，隨后如圖11所示，當(dāng)振動歸位梭車8，受驅(qū)動右移，使承載座80’對應(yīng)移至交換位置，此時(shí)水平檢測裝置9’會檢測待測半導(dǎo)體元件51’是否有歪斜，如果待測或已測半導(dǎo)體元件51’、52’有歪斜情況發(fā)生時(shí)，則射出的光不會被反射回原來的出光位置，光學(xué)接收器913’沒有接收到足夠的反射光，即可由控制裝置V判定待測或已測半導(dǎo)體元件51’、52’放置時(shí)產(chǎn)生歪斜，就此驅(qū)動振動單元振動歸位梭車8’，并帶動承載座80’沿著置放平面方向振動，使得歪斜的待測半導(dǎo)體元件51’回歸到承載座80’正確的放置位置。振動完后，再次由水平檢測裝置9’進(jìn)行檢測，直到待測半導(dǎo)體元件51’已正確無誤地回歸到承載座80’，才交由對應(yīng)于交換位置的測試臂42’將承載座80’上所承載的待測半導(dǎo)體元件51’由吸嘴420’汲取，再如圖12所示，當(dāng)待測半導(dǎo)體元件51’被移載至測試座41’的測試位置后，測試臂42’將下降，使得被吸嘴420’汲取的待測半導(dǎo)體元件51’被壓制在測試座41’上進(jìn)行測試，并同時(shí)模擬特定環(huán)境，由溫度調(diào)節(jié)件422’調(diào)整施加預(yù)定溫度至待測半導(dǎo)體元件51’，并將測試結(jié)果傳輸至處理分類裝置43’，接著再由測試臂42’將已測半導(dǎo)體元件52’移回至交換位置并釋放，使已測半導(dǎo)體元件52’落在承載座80’，并且再由水平檢測裝置9’進(jìn)行檢測已測半導(dǎo)體元件52’是否有擺放歪斜。最后如圖13所示，振動歸位梭車8’受驅(qū)動右移至出料區(qū)3’，并提供至出料臂32’已經(jīng)依照處理分類裝置43’的指令，將所汲取的已測半導(dǎo)體元件釋放至對應(yīng)的分類料匣31，中。當(dāng)然，如熟于此技術(shù)領(lǐng)域者所能輕易理解，雖然在本例中是使用發(fā)光二極管做為光源，但熟悉本技術(shù)者亦可使用例如激光二極管做為光源，皆無礙于本案的實(shí)施。另ー方面為提升整體產(chǎn)出效率，更可如本案第二較佳實(shí)施例，ー并參考如圖14及圖15所示，以兩組振動歸位梭車S1 ”、82”進(jìn)行半導(dǎo)體元件的測試作業(yè)的移載，當(dāng)入料臂22”將待測的半導(dǎo)體元件51”移載至振動歸位梭車8廣的承載座80廣吋，已承載待測的半導(dǎo)體元件51”的振動歸位梭車82”則已經(jīng)先出發(fā)并移動至對應(yīng)測試座41”的交換位置，由測試臂42”進(jìn)行移載測 試后，再將已測半導(dǎo)體元件52”移載回振動歸位梭車82”的承載座802”。并如圖15所示，振動歸位梭車S2”移動至出料區(qū)由出料臂32”汲取已測半導(dǎo)體元件52”時(shí)，振動歸位梭車8廣則移動至對應(yīng)測試座41”的交換位置同樣由測試臂42”進(jìn)行移載測試，此種設(shè)計(jì)讓貫穿輸送梭車ー舉統(tǒng)合入料與出料的同步協(xié)調(diào)運(yùn)作，使入、出料動作可以被高度同步化，移載作業(yè)與測試作業(yè)效率從而提升，機(jī)臺的競爭カ與市場接受度藉此提高，達(dá)成本發(fā)明所有上述目的。本案具有振動歸位梭車及具有該梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺的第三較佳實(shí)施例，如圖16、圖17及圖18所示，在本例中，振動歸位梭車8”’是ー個(gè)具有單ー承載座80”’，并于振動歸位梭車8”’的容室813”’的壁面向內(nèi)形成有內(nèi)齒輪814”’，并于容室813”’內(nèi)中心位置設(shè)有ー個(gè)可轉(zhuǎn)動的太陽齒輪815”’，且本例的振蕩子821”’是ー個(gè)具有相當(dāng)重量的行星齒輪8213”’，藉由同時(shí)接觸太陽齒輪815”’及內(nèi)齒輪814”’，當(dāng)太陽齒輪815”’受驅(qū)動而轉(zhuǎn)動時(shí)，行星齒輪8213”’亦會連帶轉(zhuǎn)動，并且會受到內(nèi)齒輪814”’的牽制而繞著太陽齒輪815”’于容室813”’內(nèi)公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)，行星齒輪8213”’就此影響整個(gè)梭車，使得振動單元82”’被驅(qū)動而振動時(shí)，承載座80”’同樣會沿著置放平面方向振動。而本例的水平檢測裝置9”’的光學(xué)收發(fā)單元91”’則是例示為激光二極管911”’及光學(xué)接收器912”’所組成，并設(shè)于振動歸位梭車8”’的移動路徑位于入料區(qū)2”’與交換位置、以及交換位置與出料區(qū)3”’之間，由激光二極管911”’發(fā)射ー個(gè)可平行承載座80”’置放平面的光，并由設(shè)于相對側(cè)面的光學(xué)接收器912”’接收激光二極管911”’所發(fā)的光束，使得振動歸位梭車8”’移動經(jīng)過光學(xué)收發(fā)單元91”’時(shí)，若半導(dǎo)體元件擺放歪斜時(shí)，激光二極管911”’所發(fā)的光束便會受到了阻絕，光學(xué)接收器912”’無法接收到光束，即可判定半導(dǎo)體元件擺放已歪斜，需進(jìn)行歸位程序。經(jīng)由上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在進(jìn)行半導(dǎo)體元件的移載及檢測作業(yè)時(shí)，不僅可以水平檢測裝置檢測擺放至振動歸位梭車的承載座是否有歪斜，即使有歪斜情況發(fā)生，亦可透過振動單元產(chǎn)生一個(gè)沿承載座置放平面方向的振動，使得下壓汲取半導(dǎo)體元件時(shí)，不會對半導(dǎo)體元件造成壓迫損壞，因此亦不需經(jīng)常性地暫停作業(yè)處理被破壞的半導(dǎo)體元件以及維修因此造成損壞的機(jī)臺，令自動化檢測流程無礙，而且若能透過兩組梭車完整肩負(fù)入料與出料使命，也使得各工作崗位的部件具有高度協(xié)調(diào)性，可有效率地同步進(jìn)行半導(dǎo)體元件移載、測試、與分類，提升檢測效率與產(chǎn)出效率的目的。以上所述僅本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，當(dāng)不能以此限定本發(fā)明實(shí)施的范圍，即凡依本發(fā)明權(quán)利要求書范圍及說明書內(nèi)容所作簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發(fā)明專利涵 蓋的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種振動歸位梭車，是供承載多個(gè)待測或已測半導(dǎo)體元件，其中該振動歸位梭車包括 ー個(gè)形成有至少ー個(gè)供ー個(gè)前述半導(dǎo)體元件沿一個(gè)置放平面置入的承載座的本體；及一個(gè)使該至少ー個(gè)承載座沿該置放平面方向振動的振動單元，該振動単元包括至少ー個(gè)振蕩子。
2.如權(quán)利要求I所述的振動歸位梭車,其中該本體包括ー個(gè)上半部件、及一個(gè)與該上半部件共同形成有一個(gè)容納該振動単元的容室的下半部件。
3.如權(quán)利要求2所述的振動歸位梭車，其中前述振蕩子分別包括 ー個(gè)形成有一個(gè)偏離重心位置的樞接孔的偏心輪；及 一個(gè)兩端分別設(shè)置于該上半部件及該下半部件、且穿經(jīng)該樞接孔的轉(zhuǎn)軸。
4.如權(quán)利要求2所述的振動歸位梭車，其中該容室壁面向內(nèi)形成有內(nèi)齒輪，該振動單元更包括一個(gè)位于該容室中心的太陽齒輪，且該振蕩子是一個(gè)同時(shí)接觸該太陽齒輪及該內(nèi)齒輪的行星齒輪。
5.如權(quán)利要求2、3或4所述的振動歸位梭車，其中前述振蕩子是ー對一地對應(yīng)于前述承載座設(shè)置；以及每一前述承載座分別具有一個(gè)連接該對應(yīng)振蕩子的承載部。
6.ー種具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺，供檢測數(shù)個(gè)半導(dǎo)體元件，該檢測機(jī)臺包括 一個(gè)基座； ー個(gè)形成于該基座、供置放至少ー個(gè)形成有供承載數(shù)個(gè)待測半導(dǎo)體元件的入料盤的入料區(qū)； ー個(gè)形成于該基座、供置放數(shù)個(gè)形成有供承載數(shù)個(gè)已測半導(dǎo)體元件的出料盤的出料區(qū)； ー組具有至少ー個(gè)測試座、并設(shè)置于該基座上的檢測裝置； 至少ー個(gè)對應(yīng)前述至少ー個(gè)測試座、并供攜帯前述待測半導(dǎo)體元件至該檢測裝置及攜出來自該檢測裝置的已測半導(dǎo)體元件的振動歸位梭車，包括 ー個(gè)形成有至少ー個(gè)供ー個(gè)前述半導(dǎo)體元件沿一個(gè)置放平面置入的承載座的本體；及一個(gè)使該至少ー個(gè)承載座沿該置放平面方向振動的振動單元，該振動単元包括至少ー個(gè)振蕩子； 一組在該入料區(qū)、前述至少ー個(gè)振動歸位梭車、及該出料區(qū)間搬移前述半導(dǎo)體元件的移載裝置；及 ー個(gè)供驅(qū)動該振動單元振動的控制裝置。
7.如權(quán)利要求6所述的檢測機(jī)臺，其中該檢測裝置包括多個(gè)測試座，及分別對應(yīng)前述測試座并供在該測試座與前述振動歸位梭車間搬移待測與已測半導(dǎo)體元件的多個(gè)測試臂；以及該檢測機(jī)臺更包括多個(gè)分別對應(yīng)前述測試座的振動歸位梭車。
8.如權(quán)利要求6或7所述的檢測機(jī)臺，更包括一組供檢測前述至少ー個(gè)振動歸位梭車的水平檢測裝置，該水平檢測裝置包括多個(gè)分別對應(yīng)前述振動歸位梭車各承載座的光學(xué)收發(fā)單元。
9.如權(quán)利要求8所述的檢測機(jī)臺，其中前述光學(xué)收發(fā)單元分別包括 一個(gè)發(fā)光/激光二極管；一根將該發(fā)光/激光二極管所發(fā)光以大致垂直該置放平面方向?qū)б猎搶?yīng)承載座、并供將該對應(yīng)承載座中容納的待測半導(dǎo)體元件反射光反向傳輸?shù)墓饫w；及一個(gè)對應(yīng)該光纖的光學(xué)接收器。
10.如權(quán)利要求8所述的檢測機(jī)臺，其中前述光學(xué)收發(fā)單元分別包括 ー個(gè)以光發(fā)射方向平行該置放平面設(shè)置于該機(jī)臺的激光二極管；及ー個(gè)與該激光二極管位于該對應(yīng)承載座的相對側(cè)面，供接收該激光二極管所發(fā)光束的光學(xué)接收器。
全文摘要
一種具有振動歸位梭車的半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺，該梭車具有一本體及一振動單元，其中本體上形成有供承載半導(dǎo)體元件的承載座，當(dāng)入料臂將待測半導(dǎo)體元件移至承載座，梭車便移至使承載座對應(yīng)于交換位置，供測試臂將待測元件移至測試座進(jìn)行測試，然后由測試臂將已測半導(dǎo)體元件移回承載座，梭車再移至出料臂可汲取的位置，供取出已測元件進(jìn)行分類。其中，當(dāng)半導(dǎo)體元件相對承載座歪斜時(shí)，可透過振動單元使承載座沿置放平面方向振動，令半導(dǎo)體元件受到振動而正確歸位落入承載座中，大幅減低被迫停機(jī)與損壞受測元件的風(fēng)險(xiǎn)。
文檔編號G01R31/02GK102645558SQ201110210510
公開日2012年8月22日 申請日期2011年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月18日
發(fā)明者劉盈成, 歐陽勤一, 謝一志 申請人:致茂電子股份有限公司