專利名稱:條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于光譜儀器與光譜技術(shù)領(lǐng)域,特別是指一種條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦
口衣且O
背景技術(shù):
條紋相機(jī)是用于測量光學(xué)時(shí)變信號(hào)的儀器,具有靈敏度高(光子計(jì)數(shù)量級(jí))、時(shí)間分辨率高(可達(dá)皮秒和亞皮秒量級(jí))、多波長同時(shí)測量等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于超短脈沖光實(shí)驗(yàn)、時(shí)間分辨光譜等方面。條紋相機(jī)在使用時(shí),通常需要光學(xué)耦合裝置將被測的光信號(hào)耦合到條紋相機(jī)內(nèi),照射在條紋管的光電陰極上,光電陰極利用光電效應(yīng)將光子轉(zhuǎn)換成電子。目前,條紋相機(jī)光學(xué)耦合裝置主要包括兩種類型,一種是采用多片透鏡的透射式光學(xué)耦合裝置,一種是采用多個(gè)反射面(包括平面和球面)的反射式光學(xué)耦合裝置。其中透射式光學(xué)耦合裝置成像質(zhì)量好、結(jié)構(gòu)簡單、成本較低,近紫外至近紅外波段的條紋相機(jī)多采用該類光學(xué)耦合裝置。但由于透鏡存在色散,透射式光學(xué)耦合裝置的成像波段的范圍較小,波長越短能夠清晰成像的波段范圍越小。另外,由于在深紫外波段,適合制作透鏡的材料有限及透鏡表面鍍膜的工藝不夠成熟,所以透射式光學(xué)耦合裝置不適合在深紫外或更短波段應(yīng)用。目前使用的反射式光學(xué)耦合裝置中的反射面數(shù)目較大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜,導(dǎo)致光損失大、調(diào)整不便、 成本較高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有條紋相機(jī)光學(xué)耦合裝置的技術(shù)缺陷,實(shí)現(xiàn)新型的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置和條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置。所述裝置分別采用反射式離軸光學(xué)設(shè)計(jì)和反射式共軸光學(xué)設(shè)計(jì),用于耦合狹縫和條紋相機(jī),將從狹縫進(jìn)入的光聚焦到條紋相機(jī)光電陰極上。所述裝置具有結(jié)構(gòu)簡單、無色散、成像質(zhì)量好、光譜范圍寬、光損失小、調(diào)試簡單、成本低等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明涉及新型的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置和條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,所述裝置分別采用反射式離軸光學(xué)設(shè)計(jì)和反射式共軸光學(xué)設(shè)計(jì),在光學(xué)系統(tǒng)中用于耦合狹縫和條紋相機(jī),將從狹縫進(jìn)入的光聚焦到條紋相機(jī)光電陰極上。技術(shù)方案如下本發(fā)明提供一種一種條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,包括一鏡筒,在該鏡筒的中心開有一圓柱形孔;一準(zhǔn)直鏡座,該準(zhǔn)直鏡座為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一出光口,在出光口的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽,該圓形凹槽與中心軸線成一預(yù)定角度,該準(zhǔn)直鏡座用螺絲固定在鏡筒的一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整準(zhǔn)直鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一準(zhǔn)直鏡,該準(zhǔn)直鏡位于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽內(nèi);一聚焦鏡座,該聚焦鏡座為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一進(jìn)光口,在進(jìn)光口的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽,該圓形凹槽與中心軸線成一預(yù)定角度,該聚焦鏡座
4用螺絲固定在鏡筒的另一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整聚焦鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一聚焦鏡,該聚焦鏡位于聚焦鏡座上的圓形凹槽內(nèi)。本發(fā)明還提供一種條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,包括一鏡筒,在該鏡筒的中心開有一圓柱形孔;一準(zhǔn)直鏡座,該準(zhǔn)直鏡座為一圓柱體,在其中心開有一圓形凹槽,在圓形凹槽的中心開有一出光口,該準(zhǔn)直鏡座用螺絲固定在鏡筒的一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整準(zhǔn)直鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一準(zhǔn)直鏡,該準(zhǔn)直鏡的中心開有一出光口,該準(zhǔn)直鏡位于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽內(nèi);一聚焦鏡座,該聚焦鏡座為一圓柱體,在其中心開有一圓形凹槽,在圓形凹槽的中心開有一進(jìn)光口,該聚焦鏡座用螺絲固定在鏡筒的另一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整聚焦鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一聚焦鏡,該聚焦鏡的中心開有一進(jìn)光口,該聚焦鏡位于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽內(nèi);一遮光板,該遮光板用4個(gè)連桿均勻固定在鏡筒的圓柱形孔中心,該遮光板位于鏡筒內(nèi)的中間部位。本發(fā)明提供的新型條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置和條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,分別采用反射式離軸光學(xué)設(shè)計(jì)和反射式共軸光學(xué)設(shè)計(jì),在光學(xué)系統(tǒng)中用于耦合狹縫和條紋相機(jī),將從狹縫進(jìn)入的光聚焦到條紋相機(jī)光電陰極上??梢源婺壳笆褂玫耐干涫焦鈱W(xué)耦合系統(tǒng)和反射式耦合系統(tǒng),具有結(jié)構(gòu)簡單、無色散、成像質(zhì)量好、光譜范圍寬、 光損失小、調(diào)試簡單、成本低等優(yōu)點(diǎn)。
為進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容,以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做一詳細(xì)的描述,其中圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的光路示意圖;圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3(a)、圖3(b)是圖2中A向及B向的視圖;圖4是本發(fā)明第二實(shí)施例的光路示意圖;圖5是本發(fā)明第二實(shí)施例條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖6(a)、圖6(b)是圖5中A向及B向的視圖。
具體實(shí)施例方式請結(jié)合參閱圖1所示條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置光路圖,具體實(shí)施方式
如下所述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置的光路,由一個(gè)準(zhǔn)直鏡11和一個(gè)聚焦鏡 12組成。將狹縫13置于準(zhǔn)直鏡11的焦平面上,使得從狹縫13出射的發(fā)散光照射到準(zhǔn)直鏡11后變換為平行光。并且要求,狹縫13位于準(zhǔn)直鏡11的光軸之外,以確保光束到達(dá)準(zhǔn)直鏡11之前不被聚焦鏡12所遮擋。經(jīng)準(zhǔn)直鏡11準(zhǔn)直后的平行光照射到聚焦鏡12上,經(jīng)聚焦鏡12后平行光變?yōu)闀?huì)聚光,最后照射到條紋相機(jī)光電陰極14上。條紋相機(jī)光電陰極 14置于聚焦鏡12的焦平面上,并且要求,焦點(diǎn)在聚焦鏡12的光軸之外,以確保光束到達(dá)條紋相機(jī)光電陰極14之前不被準(zhǔn)直鏡11所遮擋。上述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置光路中,所采用的準(zhǔn)直鏡11和聚焦鏡 12可以是球面鏡。根據(jù)球面鏡表面不同的鍍膜,所述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置可應(yīng)用于不同的光學(xué)波段,例如深紫外、近紫外、可見至近紅外等。 上述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置光路中,所采用的準(zhǔn)直鏡11和聚焦鏡 12可以是拋物面鏡。根據(jù)拋物面鏡表面不同的鍍膜,所述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置可應(yīng)用于不同的光學(xué)波段,例如深紫外、近紫外、可見至近紅外等。請結(jié)合參閱圖2所示條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置結(jié)構(gòu)示意圖以及圖3(a)、 圖3(b),具體實(shí)施方式
如下 所述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置包括一鏡筒21,該鏡筒21為該條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置的結(jié)構(gòu)支撐部件,主要用于固定下述的準(zhǔn)直鏡座22和聚焦鏡座24。在該鏡筒21的中心開有一圓柱形孔211, 該圓柱形孔211是光束的通道;一準(zhǔn)直鏡座22,該準(zhǔn)直鏡座22為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一出光口 221。出光口 221的作用是使得被下述聚焦鏡25聚焦的光束從該反射式離軸光學(xué)耦合裝置射出時(shí), 而不被準(zhǔn)直鏡座22所遮擋。在出光口 221的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽222, 該圓形凹槽222與中心軸線成一預(yù)定角度。該圓形凹槽222用于放置下述準(zhǔn)直鏡23。該準(zhǔn)直鏡座22用螺絲固定在鏡筒21的一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整準(zhǔn)直鏡座22與鏡筒21的相對(duì)位置;一準(zhǔn)直鏡23,該準(zhǔn)直鏡23位于準(zhǔn)直鏡座22上的圓形凹槽222內(nèi)。該準(zhǔn)直鏡23的作用是將入射的發(fā)散光變換為平行光;一聚焦鏡座24,該聚焦鏡座24為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一進(jìn)光口 241。進(jìn)光口 241的作用是使得入射光能無阻礙地進(jìn)入該反射式離軸光學(xué)耦合裝置,而不被聚焦鏡座24所遮擋。在進(jìn)光口 241的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽242,該圓形凹槽242 與中心軸線成一預(yù)定角度。該該圓形凹槽242用于放置下述聚焦鏡25。該聚焦鏡座24用螺絲固定在鏡筒21的另一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整聚焦鏡座24與鏡筒21的相對(duì)位置;一聚焦鏡25,該聚焦鏡25位于聚焦鏡座24上的圓形凹槽242內(nèi)。該聚焦鏡25的作用是把從準(zhǔn)直鏡射來的平行光聚焦。上述準(zhǔn)直鏡23和聚焦鏡25可以是球面鏡,也可以是拋物面鏡。根據(jù)該準(zhǔn)直鏡23 和聚焦鏡25表面不同的鍍膜,所述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置可應(yīng)用于不同的光學(xué)波段,例如深紫外、近紫外、可見至近紅外等。上述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒21上的圓柱形孔211左側(cè)端面的上沿不低于聚焦鏡座24上的進(jìn)光口 241的上沿。同時(shí),圓柱形孔211左側(cè)端面的下沿不高于聚焦鏡座24上的圓形凹槽242的下沿。其目的是保證圓柱形孔211的尺寸足夠大,不妨礙其內(nèi)光束的傳播。上述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒21上的圓柱形孔211右側(cè)端面的下沿不高于準(zhǔn)直鏡座22上的出光口 221的下沿。同時(shí),圓柱形孔211右側(cè)端面的上沿不低于準(zhǔn)直鏡座22上的圓形凹槽222的上沿。其目的是保證圓柱形孔211的尺寸足夠大,不妨礙其內(nèi)光束的傳播。上述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒21的長度要大于準(zhǔn)直鏡23和聚焦鏡25的焦距,并必須同時(shí)保證準(zhǔn)直鏡23的焦點(diǎn)落在聚焦鏡座M左側(cè)邊緣的左側(cè)以及聚焦鏡25的焦點(diǎn)落在準(zhǔn)直鏡座22右側(cè)邊緣的右側(cè)。上述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中準(zhǔn)直鏡座22的圓形凹槽222的軸線與中心軸線的夾角為0-90度,并應(yīng)盡可能選取小角度,以減小像差。上述條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中聚焦鏡座M的圓形凹槽242與的軸線與中心軸線的夾角為0-90度,并應(yīng)盡可能選取小角度,以減小像差。請結(jié)合參閱圖4所示條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置光路圖,具體實(shí)施方式
如下所述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,由一個(gè)中心有孔的準(zhǔn)直鏡31、一個(gè)中心有孔的聚焦鏡32和一個(gè)遮光板35組成。將狹縫33置于準(zhǔn)直鏡31的焦平面上,使得從狹縫33出射的發(fā)散光照射到準(zhǔn)直鏡11后變換為平行光。并且要求,狹縫33位于準(zhǔn)直鏡31 的光軸之上。準(zhǔn)直鏡31的中心孔是為了被聚焦鏡32聚焦的光在到達(dá)條紋相機(jī)光電陰極 34之前不被遮擋。經(jīng)準(zhǔn)直鏡31準(zhǔn)直后的平行光照射到中心有孔的聚焦鏡32上,經(jīng)聚焦鏡 32后平行光變?yōu)闀?huì)聚光,最后照射到條紋相機(jī)光電陰極34上。條紋相機(jī)光電陰極34置于聚焦鏡32的焦平面上。并且要求,焦點(diǎn)在聚焦鏡32的光軸之上。聚焦鏡32的中心孔是為了使來自狹縫33的光在到達(dá)準(zhǔn)直鏡31之前不被遮擋。在光軸上放置遮光板35,遮光板35 的作用是阻止從狹縫33進(jìn)入的光直接照射條紋相機(jī)光電陰極34。所以,該裝置中,準(zhǔn)直鏡 31、聚焦鏡32、狹縫33、條紋相機(jī)光電陰極34和遮光板35全部共軸。上述的條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,所采用的中心有孔的準(zhǔn)直鏡31和中心有孔的聚焦鏡32可以是球面鏡。根據(jù)球面鏡表面不同的鍍膜,所述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置可應(yīng)用于不同的光學(xué)波段,例如深紫外、近紫外、可見至近紅外等。上述的條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,所采用的中心有孔的準(zhǔn)直鏡31和中心有孔的聚焦鏡32可以是拋物面鏡。根據(jù)拋物面鏡表面不同的鍍膜,所述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置可應(yīng)用于不同的光學(xué)波段,例如深紫外、近紫外、可見至近紅外等。請結(jié)合參閱圖5所示條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置結(jié)構(gòu)示意圖以及圖6(a) 和圖6(b),具體實(shí)施方式
如下所述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置包括一鏡筒41,該鏡筒41為該條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置的結(jié)構(gòu)支撐部件,主要用于固定下述的準(zhǔn)直鏡座42和聚焦鏡座44。在該鏡筒41的中心開有一圓柱形孔411, 該圓柱形孔411是光束的通道;一準(zhǔn)直鏡座42,該準(zhǔn)直鏡座42為一圓柱體,在其中心開有一圓形凹槽422,該圓形凹槽422用于放置下述準(zhǔn)直鏡43。在圓形凹槽422的中心開有一出光口 421。出光口 421 的作用是使得被下述聚焦鏡45聚焦的光束從該反射式共軸光學(xué)耦合裝置射出時(shí),而不被準(zhǔn)直鏡座42所遮擋。該準(zhǔn)直鏡座42用螺絲固定在鏡筒41的一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整準(zhǔn)直鏡座42與鏡筒41的相對(duì)位置;一準(zhǔn)直鏡43,該準(zhǔn)直鏡43的中心開有一出光口 431,該準(zhǔn)直鏡43位于準(zhǔn)直鏡座42上的圓形凹槽422內(nèi)。該準(zhǔn)直鏡43的作用是將入射的發(fā)散光變換為平行光。出光口 431 的作用是使得被下述聚焦鏡45聚焦的光束從該反射式共軸光學(xué)耦合裝置射出時(shí),而不被準(zhǔn)直鏡43所遮擋;一聚焦鏡座44,該聚焦鏡座44為一圓柱體,在其中心開有一圓形凹槽442,該圓形凹槽442用于放置下述聚焦鏡45。在圓形凹槽442的中心開有一進(jìn)光口 441。進(jìn)光口 441 的作用是使得入射光能無阻礙地進(jìn)入該反射式共軸光學(xué)耦合裝置,而不被聚焦鏡座44所遮擋。該聚焦鏡座44用螺絲固定在鏡筒41的另一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整聚焦鏡座44與鏡筒41的相對(duì)位置;一聚焦鏡45,該聚焦鏡45的中心開有一進(jìn)光口 451,該聚焦鏡45位于準(zhǔn)直鏡座44 上的圓形凹槽442內(nèi)。該聚焦鏡45的作用是把從準(zhǔn)直鏡射來的平行光聚焦。進(jìn)光口 451的作用是使得入射光能無阻礙地進(jìn)入該反射式共軸光學(xué)耦合裝置,而不被聚焦鏡45所遮擋;一遮光板46,該遮光板46用4個(gè)連桿均勻固定在鏡筒41的圓柱形孔411中心, 該遮光板46位于鏡筒41內(nèi)的中間部位。遮光板46的作用是阻止從進(jìn)光口 441和進(jìn)光口 451進(jìn)入的光直接從出光口 431和出光口 421射出。上述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置中,準(zhǔn)直鏡43、聚焦鏡45、和遮光板46共軸ο上述準(zhǔn)直鏡43和聚焦鏡45可以是球面鏡,也可以是拋物面鏡。根據(jù)該準(zhǔn)直鏡43 和聚焦鏡45表面不同的鍍膜,所述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置可應(yīng)用于不同的光學(xué)波段,例如深紫外、近紫外、可見至近紅外等。上述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒41的長度要大于準(zhǔn)直鏡43和聚焦鏡45的焦距,并必須同時(shí)保證準(zhǔn)直鏡43的焦點(diǎn)落在聚焦鏡座44左側(cè)邊緣的左側(cè)以及聚焦鏡45的焦點(diǎn)落在準(zhǔn)直鏡座42右側(cè)邊緣的右側(cè)。上述條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒41上的圓柱形孔411的直徑不小于準(zhǔn)直鏡座42上圓形凹槽422的直徑,也不小于聚焦鏡座44上圓形凹槽442的直徑。其目的是保證圓柱形孔411的尺寸足夠大,不妨礙其內(nèi)光束的傳播。雖然參照上述具體實(shí)施方式
詳細(xì)地描述了本發(fā)明,但是應(yīng)該理解本發(fā)明并不限于所公開的實(shí)施方式,對(duì)于本專業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,可對(duì)其形式和細(xì)節(jié)進(jìn)行各種改變。總之,本發(fā)明意欲涵蓋所附權(quán)利要求書的精神和范圍內(nèi)的各種變形。
權(quán)利要求
1.一種條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,包括一鏡筒,在該鏡筒的中心開有一圓柱形孔;一準(zhǔn)直鏡座,該準(zhǔn)直鏡座為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一出光口,在出光口的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽,該圓形凹槽與中心軸線成一預(yù)定角度,該準(zhǔn)直鏡座用螺絲固定在鏡筒的一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整準(zhǔn)直鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一準(zhǔn)直鏡,該準(zhǔn)直鏡位于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽內(nèi);一聚焦鏡座,該聚焦鏡座為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一進(jìn)光口,在進(jìn)光口的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽,該圓形凹槽與中心軸線成一預(yù)定角度,該聚焦鏡座用螺絲固定在鏡筒的另一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整聚焦鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一聚焦鏡,該聚焦鏡位于聚焦鏡座上的圓形凹槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡為球面鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡為拋物面鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒上的圓柱形孔左側(cè)端面的上沿不低于聚焦鏡座上的進(jìn)光口的上沿;同時(shí),圓柱形孔左側(cè)端面的下沿不高于聚焦鏡座上的圓形凹槽的下沿。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒上的圓柱形孔右側(cè)端面的下沿不高于準(zhǔn)直鏡座上的出光口的下沿;同時(shí),圓柱形孔右側(cè)端面的上沿不低于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽的上沿。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒的長度大于準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡的焦距,準(zhǔn)直鏡的焦點(diǎn)落在聚焦鏡座左側(cè)邊緣的左側(cè)以及聚焦鏡的焦點(diǎn)落在準(zhǔn)直鏡座右側(cè)邊緣的右側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中準(zhǔn)直鏡座的圓形凹槽的軸線與中心軸線的夾角為0-90度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,其中聚焦鏡座的圓形凹槽與的軸線與中心軸線的夾角為0-90度。
9.一種條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,包括一鏡筒,在該鏡筒的中心開有一圓柱形孔;一準(zhǔn)直鏡座,該準(zhǔn)直鏡座為一圓柱體,在其中心開有一圓形凹槽,在圓形凹槽的中心開有一出光口,該準(zhǔn)直鏡座用螺絲固定在鏡筒的一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整準(zhǔn)直鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一準(zhǔn)直鏡,該準(zhǔn)直鏡的中心開有一出光口,該準(zhǔn)直鏡位于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽內(nèi);一聚焦鏡座,該聚焦鏡座為一圓柱體,在其中心開有一圓形凹槽,在圓形凹槽的中心開有一進(jìn)光口,該聚焦鏡座用螺絲固定在鏡筒的另一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整聚焦鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一聚焦鏡,該聚焦鏡的中心開有一進(jìn)光口,該聚焦鏡位于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽內(nèi);一遮光板,該遮光板用4個(gè)連桿均勻固定在鏡筒的圓柱形孔中心,該遮光板位于鏡筒內(nèi)的中間部位。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,其中準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡為球面鏡。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,其中準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡為拋物面鏡。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒的長度大于準(zhǔn)直鏡和聚焦鏡的焦距,準(zhǔn)直鏡的焦點(diǎn)落在聚焦鏡座左側(cè)邊緣的左側(cè)以及聚焦鏡的焦點(diǎn)落在準(zhǔn)直鏡座右側(cè)邊緣的右側(cè)。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的條紋相機(jī)反射式共軸光學(xué)耦合裝置,其中鏡筒上的圓柱形孔的直徑不小于準(zhǔn)直鏡座上圓形凹槽的直徑,也不小于聚焦鏡座上圓形凹槽的直徑。
全文摘要
一種條紋相機(jī)反射式離軸光學(xué)耦合裝置,包括一鏡筒,在該鏡筒的中心開有一圓柱形孔;一準(zhǔn)直鏡座,該準(zhǔn)直鏡座為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一出光口,在出光口的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽,該圓形凹槽與中心軸線成一預(yù)定角度,該準(zhǔn)直鏡座用螺絲固定在鏡筒的一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整準(zhǔn)直鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一準(zhǔn)直鏡,該準(zhǔn)直鏡位于準(zhǔn)直鏡座上的圓形凹槽內(nèi);一聚焦鏡座,該聚焦鏡座為一圓柱體,在其中心一側(cè)開有一進(jìn)光口,在進(jìn)光口的另一側(cè)面積較大的部位開有一圓形凹槽,該圓形凹槽與中心軸線成一預(yù)定角度,該聚焦鏡座用螺絲固定在鏡筒的另一端,通過調(diào)節(jié)螺絲可調(diào)整聚焦鏡座與鏡筒的相對(duì)位置;一聚焦鏡,該聚焦鏡位于聚焦鏡座上的圓形凹槽內(nèi)。
文檔編號(hào)G01J3/02GK102252754SQ20111013335
公開日2011年11月23日 申請日期2011年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月23日
發(fā)明者王占國, 金鵬 申請人:中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所