專利名稱：測試裝置及測試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測試裝置及測試方法。
背景技術(shù)：
作為測試半導體電路等被測試器件的測試裝置，已知有配置了多個測試模塊、測試總線以及測試控制器的裝置(例如參照專利文獻1)。測試控制器通過測試總線控制多個測試模塊，測試被測試器件。專利文獻1特開平9-89999號公報由于多個測試模塊測試的是同一個被測試器件，因而最好同步動作。在現(xiàn)用的測試裝置中，測試控制器控制著多個測試模塊的同步動作。這樣就產(chǎn)生了測試控制器中的處理時間，因而并不理想。

發(fā)明內(nèi)容
因此本說明書中包含的技術(shù)革新(新發(fā)明)的(一)側(cè)面以提供能夠解決上述課題的測試裝置及測試方法為目的。該目的可通過權(quán)利要求書中的獨立項中所述的特征的組合實現(xiàn)。此外，從屬項規(guī)定本發(fā)明更加有利的具體用例。也就是說，依照本說明書中包含的新發(fā)明涉及的裝置及方法的一個用例提供一種測試裝置以及該測試裝置涉及的測試方法，該測試裝置是測試被測試器件的測試裝置，配置有多個測試模塊，其在被測試器件間傳輸信號；總線，其可連接多個測試模塊；測試控制部，其經(jīng)總線控制多個測試模塊；測試模塊具有在被測試器件間傳輸信號的測試部和控制測試部的模塊控制部；各個測試模塊中的模塊控制部經(jīng)總線與其它測試模塊的模塊控制部傳輸信號。而上述發(fā)明概要并未全部列舉本發(fā)明的必要特征，這些特征群的次級組合也可構(gòu)成發(fā)明。


圖1是測試裝置100的功能構(gòu)成圖，一并示出多個被測試器件(DUT) 10。圖2是測試控制部132的動作例示圖。圖3是控制接口部134的局部構(gòu)成例示圖。圖4是控制接口部134的局部構(gòu)成的另一例示圖。圖5是測試部210及被測試器件10的連接例示圖。圖6是測試控制部132的另一動作例的說明圖。圖7是測試模塊120的構(gòu)成例示圖。圖8是在測試模塊120間傳輸同步信息包的傳輸路徑例示圖。圖9是測試部210的構(gòu)成例示。
具體實施例方式下面通過發(fā)明的實施方式說明本發(fā)明的(一)側(cè)面，但下面的實施方式并不既定權(quán)利要求涉及的發(fā)明，另外，并非實施方式中說明的全部特征組合都是發(fā)明的解決手段中必須具備的。圖1是測試裝置100的功能構(gòu)成，一并示出多個被測試器件(DUT) 10。測試裝置 100至少測試1個被測試器件10。也就是說測試裝置100既可測試1個被測試器件10，也可并行測試多個被測試器件10。測試裝置100配置有系統(tǒng)控制部110、多個測試模塊120、多個測點控制部130、總線140。系統(tǒng)控制部110與多個測點控制部130連接，控制整個該測試裝置100。系統(tǒng)控制部110和多個測點控制部130之間例如可用通用或?qū)Ｓ玫母咚俅锌偩€連接。各個測點控制部130可對應(yīng)1個或多個被測試器件10。各個測點控制部130通過控制與對應(yīng)的被測試器件10連接的1個或多個測試模塊120，控制對應(yīng)的被測試器件10 的測試。各個測點控制部130按照系統(tǒng)控制部110提供的控制命令以及測試程序等，控制對應(yīng)的測試模塊120。也就是說，各個測點控制部130把1個或多個測試部210作為資源使用，控制對應(yīng)的被測試器件10的測試?？偩€140連接測點控制部130以及1個或多個測試模塊120之間。而測點控制部130也可在測試模塊120中包含的各個測試部210上控制測試模塊 120。例如，當1個測試模塊120中包含的測試部210的一部分與第1被測試器件10連接， 另一測試部210與第2被測試器件10連接的情況下，也可第1測點控制部130控制與第1 被測試器件10對應(yīng)的測試部210，第2測點控制部130控制與第2被測試器件10對應(yīng)的測試部210。即，1個測試模塊120中包含的多個測試部210可被各組群內(nèi)的不同測點控制部 130控制。測試模塊120在對應(yīng)的被測試器件之間傳輸信號。各個測試模塊120具有多個測試部210。各個測試部210可與作為該測試裝置100的測試對象的所有被測試器件10中的任意一個被測試器件10的端子連接。多個測試部210中的每一個通過在連接的被測試器件10之間傳輸信號測試該被測試器件10。例如，測試模塊120給被測試器件10提供具有規(guī)定的邏輯圖形的測試信號，接收與該測試信號對應(yīng)的表示被測試器件10的動作結(jié)果的信號。而各個測試模塊120可分別設(shè)置在不同的基板上。設(shè)置在同一測試模塊120中的多個測試部210可經(jīng)共用的接口與總線140連接。此處，該接口可在每個測試部210上獨立設(shè)定對應(yīng)的各個測試部210是否接受某個測點控制部130的控制。例如，該接口可將從總線140接收的命令僅通知給多個測試部 210中該命令中指定的測試部210。這樣一來，測試裝置100可將一個測試模塊120具有的多個測試部210接受控制的測點控制部130各自獨立地任意設(shè)定。因此，若采用測試裝置100，可高效利用測試模塊 120內(nèi)的資源進行測試。各個測點控制部130具有測試控制部132以及控制接口部134。測試控制部132 執(zhí)行用于控制被測試器件10的測試的程序，發(fā)布實施結(jié)果對應(yīng)的命令。測試控制部132發(fā)布含指定應(yīng)通知該命令的測試模塊120的信息的命令。例如，測試控制部132可發(fā)布含指定被測試器件10的信息的命令。各個測試模塊 120的接口，在屬于自己的測試部210與該命令中指定的被測試器件10連接的情況下，可判定為該命令指定了自己。此外，測試控制部132也可發(fā)布含指定應(yīng)通知該命令的測試部210的信息的命令。 各個測試模塊120的接口當屬于自己的測試部210在該命令中被指定的情況下，可判定為該命令指定了自己。各個測試模塊120把該命令通知被指定的測試部210。測試部132可發(fā)布讀出數(shù)據(jù)的讀出命令，寫入數(shù)據(jù)的寫入命令，以及其它命令。測試控制部132可具有信息處理器、存儲器等?？刂平涌诓?34按照測試控制部132的控制，處理測點控制部130以及總線140 間的通信。例如，控制接口部134可把從測試控制部132接收到的命令發(fā)送給與該命令對應(yīng)的測試模塊120，也可發(fā)送給所有測試模塊120。此外，控制接口部134把從各個測試模塊120接收到的數(shù)據(jù)發(fā)送給測試控制部132。此外，測試控制部132給2個以上的測試模塊120成批發(fā)布群組讀出命令，讓其讀出測試模塊120存儲的數(shù)據(jù)。測試控制部132既可在該群組讀出命令中指定測試模塊120， 也可指定測試部210或被測試器件10?？刂平涌诓?34從該群組讀出命令對應(yīng)的測試模塊120讀出數(shù)據(jù)。例如，控制接口部134可將該群組讀出命令通知連接在總線140上的所有測試模塊120。各個測試模塊 120在接收到的群組讀出命令中指定了自己的情況下，把該群組讀出命令通知對應(yīng)的測試部 120。在群組讀出命令中被指定的測試模塊120向總線140輸出群組命令中指定的地址、緩沖寄存器等處存儲的數(shù)據(jù)。此時，測試模塊120把表示該群組讀出命令對應(yīng)的應(yīng)答數(shù)據(jù)的內(nèi)容的信息添加到該應(yīng)答數(shù)據(jù)中。例如，測試模塊120可把從其它命令中識別該群組讀出命令的識別信息添加到該應(yīng)答數(shù)據(jù)中。該應(yīng)答數(shù)據(jù)可以是表示測試模塊120狀態(tài)的數(shù)據(jù)，例如各個測試模塊120是否處于待機狀態(tài)等。此外，該應(yīng)答數(shù)據(jù)也可以是表示測試結(jié)果的數(shù)據(jù)，例如被測試器件10是否良好的判定結(jié)果等。各個控制接口部134經(jīng)總線140接收測試模塊120的應(yīng)答數(shù)據(jù)。并且廢棄自己發(fā)送的群組讀出命令對應(yīng)的應(yīng)答數(shù)據(jù)以外的應(yīng)答數(shù)據(jù)?？刂平涌诓?34從該群組讀出命令中指定的所有測試模塊120接收應(yīng)答數(shù)據(jù)情況下，把這些應(yīng)答數(shù)據(jù)成批通知測試控制部132。 控制接口部134可把這些數(shù)據(jù)的邏輯和或邏輯積通知測試控制部132。通過此種構(gòu)成，測試控制部132可成批指定2個以上的測試模塊120，成批讀出數(shù)據(jù)。因此能高效取得測試模塊120的狀態(tài)、測試結(jié)果等。測試控制部132可根據(jù)成批讀出的應(yīng)答數(shù)據(jù)，控制多個測試模塊120。例如測試控制部，當指定的測試模塊120全部處于待機狀態(tài)情況下，可給這些測試模塊120提供使之開始下一測試的觸發(fā)信號。此外，測試控制部132可使各測試模塊120實施與指定的測試模塊120中的測試結(jié)果對應(yīng)的測試項目。圖2是測試控制部132的動作例示圖。在本例中說明測試控制部132發(fā)布一個一個地指定測試模塊120讀出數(shù)據(jù)的單一讀出命令的情況，以及發(fā)布上述群組讀出命令的情況。圖2中的標號C表示測試控制部132發(fā)布讀出命令的期間，標號D表示測試控制部132 接收應(yīng)答數(shù)據(jù)的期間，標號P表示測試控制部132處理數(shù)據(jù)的期間。利用單一讀出命令從多個測試模塊120讀出數(shù)據(jù)情況下，測試控制部132從1個測試模塊120接收應(yīng)答數(shù)據(jù)之后，再向下一個測試模塊120發(fā)布單一讀出命令。因此，與測試模塊120的個數(shù)成比例，單一讀出命令的實施時間相應(yīng)延長。與之相對應(yīng)，利用群組讀出命令從多個測試模塊120讀出數(shù)據(jù)情況下，測試控制部132發(fā)布成批指定多個測試模塊120的群組讀出命令。并且成批接收控制接口部134中存儲的應(yīng)答數(shù)據(jù)。因此可用比單一讀出命令更短的時間從多個測試模塊120讀出數(shù)據(jù)。圖3是控制接口部134的局部構(gòu)成例示圖。在本例中說明在控制接口部134的構(gòu)成中處理按照群組讀出命令讀出的應(yīng)答數(shù)據(jù)的構(gòu)成，省略其它構(gòu)成的說明。本例的控制接口部134具有計數(shù)器135以及數(shù)據(jù)存儲部136。計數(shù)器135及數(shù)據(jù)存儲部136從總線140接收與群組讀出命令對應(yīng)的應(yīng)答數(shù)據(jù)。 計數(shù)器135計數(shù)接收的應(yīng)答數(shù)據(jù)的個數(shù)。此外，可在計數(shù)器135內(nèi)預(yù)先設(shè)定根據(jù)對應(yīng)的測試控制部132發(fā)布的群組讀出命令應(yīng)讀出的數(shù)據(jù)個數(shù)的期待值。例如，在針對各測試模塊120單獨接收應(yīng)答數(shù)據(jù)情況下，計數(shù)器135內(nèi)可把群組讀出命令指定的測試模塊120的數(shù)量作為該期待值設(shè)定。此外，在針對各測試部210中每一個接收應(yīng)答數(shù)據(jù)情況下，計數(shù)器135內(nèi)可將群組讀出命令指定的測試部210的數(shù)量作為該期待值設(shè)定。計數(shù)器135在計數(shù)值與期待值一致情況下，把計數(shù)值復位的同時，將其內(nèi)容通知數(shù)據(jù)存儲部136。數(shù)據(jù)存儲部136存儲接收到的應(yīng)答數(shù)據(jù)。此外，數(shù)據(jù)存儲部136在接收到計數(shù)器 135的計數(shù)值和期待值一致的內(nèi)容的通知情況下，把存儲的應(yīng)答數(shù)據(jù)成批發(fā)送給測試控制部132。此時，數(shù)據(jù)存儲部136把已發(fā)送的應(yīng)答數(shù)據(jù)從存儲區(qū)域中刪除。通過采用此種構(gòu)成，測試控制部132可成批讀出多個測試模塊120或多個測試部 210的應(yīng)答數(shù)據(jù)。此外，通過計數(shù)對應(yīng)的群組讀出命令對應(yīng)接收的應(yīng)答數(shù)據(jù)的個數(shù)，控制接口部134不必識別應(yīng)答數(shù)據(jù)是哪個測試模塊120的數(shù)據(jù)，就可檢出指定的多個測試模塊120 的數(shù)據(jù)讀出已完畢。圖4是控制接口部134另一種局部構(gòu)成的例示圖。本例的控制接口部134除具有圖3所示的控制接口部134的構(gòu)成之外，還具有邏輯運算部137。本例的控制接口部134把從各個測試模塊120接收的應(yīng)答數(shù)據(jù)的邏輯和或邏輯積通知測試控制部132。計數(shù)器135 具有與圖3關(guān)連說明過的計數(shù)器135同樣的功能。邏輯運算部137每次從各個測試模塊120接收應(yīng)答數(shù)據(jù)，即運算與接收到的數(shù)據(jù)的邏輯和或邏輯積。例如，測試控制部132在各個測試模塊120處于待機狀態(tài)時，可發(fā)布讀出表示邏輯值1的應(yīng)答數(shù)據(jù)的命令。測試控制部132僅需判定指定的所有測試模塊120是否處于待機狀態(tài)即可。在此情況下，邏輯運算部137運算各個應(yīng)答數(shù)據(jù)的邏輯積。此外，測試控制部132可發(fā)布被測試器件10的測試結(jié)果為損壞時讀出表示邏輯值 1的應(yīng)答數(shù)據(jù)的命令。測試控制部132可判定指定的測試模塊120中的至少一個上是否檢出了被測定器件10的損壞。在此情況下，邏輯運算部137運算各個應(yīng)答數(shù)據(jù)的邏輯和。數(shù)據(jù)存儲部136存儲邏輯運算部137的運算結(jié)果。并且，每當接收到新的應(yīng)答數(shù)據(jù)，即從數(shù)據(jù)存儲部136中讀出數(shù)據(jù)，與該應(yīng)答數(shù)據(jù)邏輯運算，把運算結(jié)果存儲到存儲部136 中。計數(shù)器135在計數(shù)值與期待值一致的情況下，使數(shù)據(jù)存儲部136把存儲的數(shù)據(jù)值發(fā)送給測試控制部132。發(fā)送了數(shù)據(jù)后，數(shù)據(jù)存儲部136可把存儲數(shù)據(jù)設(shè)為初值。通過采用此種構(gòu)成，可將多個測試模塊120的應(yīng)答數(shù)據(jù)以少的傳輸量發(fā)送給測試控制部132。此外，由于是把本應(yīng)在測試控制部132中實施的邏輯運算放到控制接口部134 中實施的，因而可減少測試控制部132的處理負荷。圖5是測試部210及被測試器件10的連接例示圖。在本例中，第1測試模塊120_1 具有與第ι被測試器件10-1之間傳輸信號的1個以上的第1測試部210-1、和與第2被測試器件10-2之間傳輸信號的1個以上的第2測試部210-2。當測試控制部132輸出指定某個被測試器件10的群組讀出命令情況下，各個測試模塊120成批發(fā)送與該群組讀出命令中指定的被測試器件10對應(yīng)的1個以上的測試部210 存儲的數(shù)據(jù)。例如，當接收到指定第2被測試器件10-2的群組讀出命令情況下，第1測試模塊120-1成批發(fā)送多個測試部210中，第2測試部210-2存儲的數(shù)據(jù)。此處所說的成批發(fā)送，是指發(fā)送各測試部210存儲的數(shù)據(jù)的邏輯和或邏輯積的處理。各個測試模塊120可具有邏輯運算部122，其把從群組讀出命令中指定的測試部210讀出的數(shù)據(jù)的邏輯和或邏輯積發(fā)送給總線140。這樣一來，通過在測試模塊120的內(nèi)部運算多個測試部210的應(yīng)答數(shù)據(jù)的邏輯和或邏輯積，可減少測點控制部130中的處理負荷。圖6說明測試控制部132的其它動作例。在本例中，說明發(fā)布快速讀出(# ν r ^ ” K 'J 一 K )命令時的測試控制部132的動作。快速讀出命令是指把指定某個測試模塊 120讀出應(yīng)答數(shù)據(jù)的個別讀出命令不等從各個測試模塊120發(fā)來的應(yīng)答數(shù)據(jù)讀出完畢，即對多個測試模塊120連續(xù)輸出的命令。正如圖6所示，在實施單一讀出命令的情況下，等待從各個測試模塊120而來的應(yīng)答數(shù)據(jù)D讀出完畢之后，再發(fā)布指定下一個測試模塊120的個別讀出命令C。與之相對應(yīng)， 在快速讀出命令中，測試控制部132向總線140連續(xù)輸出指定各個測試模塊120的個別讀出命令。控制接口部134把與各個個別讀出命令對應(yīng)的應(yīng)答數(shù)據(jù)排序。此時，控制接口部 134也可在接收快速讀出命令中依次指定的多個測試模塊120的全部應(yīng)答數(shù)據(jù)之前不向測試控制部132發(fā)送應(yīng)答數(shù)據(jù)。在控制接口部134接收到指定的全部測試模塊120發(fā)來的應(yīng)答數(shù)據(jù)情況下，可將這些應(yīng)答數(shù)據(jù)成批發(fā)送給測試控制部132?？刂平涌诓?34可使用圖3或圖4關(guān)連說明過的某種構(gòu)成處理應(yīng)答數(shù)據(jù)。例如， 可在計數(shù)器135中把快速讀出命令指定的測試模塊120的個數(shù)作為期待值設(shè)定。計數(shù)器135在與快速讀出命令相對應(yīng)，從測試模塊120接收的數(shù)據(jù)個數(shù)與設(shè)定的期待值一致的情況下，把從測試模塊120接收到的數(shù)據(jù)成批發(fā)送給測試控制部132。通過此種控制，測試控制部132不必等待接收個別的應(yīng)答數(shù)據(jù)即可執(zhí)行測試程序。圖7是測試模塊120的構(gòu)成例示圖。測試模塊120具有多個測試部210、模塊控制部220、以及模塊接口部230。模塊控制部220存儲是否把多個測試部210中的每一個與多個測點控制部130中某個被測試器件10 (或者測點控制部130)對應(yīng)的設(shè)定。在本例中，模塊控制部220針對多個測試部210的每一個，存儲識別對應(yīng)的被測試器件10的識別碼。
此外，模塊控制部220存儲控制各個測試部210的控制數(shù)據(jù)。此種數(shù)據(jù)以及設(shè)定可在測試之前例如由測試控制部132寫入。模塊接口部230與多個測試部210連接。還有，模塊接口部230經(jīng)總線140在多個測點控制部130之間收發(fā)讀出命令、應(yīng)答數(shù)據(jù)等。模塊接口部230在接收到指定某個被測試器件10的群組讀出命令的情況下，向模塊控制部220查詢各個測試部210是否與該被測試器件10對應(yīng)。當存在與該被測試器件 10對應(yīng)的測試部210的情況下，模塊接口部230向該測試部210發(fā)送群組讀出命令。此外，各個測試模塊120可不經(jīng)由測試控制部132，在其它測試模塊120之間傳輸信號。在此情況下，模塊控制部220在其它測試模塊120的模塊控制部220之間傳輸信號。更具體而言，模塊控制部220把指定其它測試模塊120的信號發(fā)送給總線140。其它測試模塊120的模塊控制部220可經(jīng)由總線140接收該信號。此外，各個模塊控制部220為使對應(yīng)的測試部210和其它測試模塊120中的測試部210同步動作，可給總線140發(fā)送同步信息包。更具體而言，各個模塊控制部220在對應(yīng)的測試部210處于規(guī)定的待機狀態(tài)情況下，生成同步信息包?？刂平涌诓?34可經(jīng)由總線140向所有測試模塊120發(fā)送接收到的同步信息包。 而控制接口部134可將從模塊控制部220接收到的同步信息包，發(fā)送給同一測點控制部130 對應(yīng)的所有測試模塊120。圖8是在測試模塊120間傳輸同步信息包情況下的，信息包傳輸路徑的例示圖。一個測試模塊120發(fā)送的同步信息包可經(jīng)由總線140被對應(yīng)的控制接口部134接收。S卩，模塊控制部220向?qū)?yīng)的測點控制部130發(fā)送同步信息包?？刂平涌诓?34在接收到的信號是同步信息包的情況下，指定所有對應(yīng)的測試模塊120后，把該同步信息包發(fā)送給總線140。各個模塊控制部220從總線140接收到系統(tǒng)控制部110等預(yù)先設(shè)定的規(guī)定個數(shù)的同步信息包情況下，判定為應(yīng)同步動作的所有測試模塊 120均處于待機狀態(tài)。而各模塊控制部220也接收自己發(fā)送的同步信息包。因此，作為應(yīng)接收的同步信息包的個數(shù)，包括自己在內(nèi)的測試模塊120的個數(shù)可在各個模塊控制部220中設(shè)定。并且，模塊控制部220使對應(yīng)的測試部210實施下述測試項目。更具體而言，各個模塊控制部220接收到規(guī)定個數(shù)的同步信息包的情況下，使測試部210生成下一個應(yīng)生成的測試信號，提供給被測試器件10。通過此種控制，各個測試項目的實施時間即使在各個測試模塊120中各不相同的情況下，仍可使多個測試模塊120在每個測試項目中同步動作。此外，由于在同步動作中不經(jīng)由測試控制部132，因而可減少測試控制部132的處理負荷。圖9是測試部210的構(gòu)成例示圖。而測試部210并不局限于此種構(gòu)成，也可以是其它構(gòu)成。測試部210例如可具有發(fā)信方單元12、收信方單元14。測試部210也可以是僅具有發(fā)信方單元12或收信方單元14中的一方的構(gòu)成。發(fā)信方單元12按照信息包目錄指定的順序把信息包發(fā)送給被測試器件10。收信方單元14從被測試器件10接收信息包后，比較信息包目錄中指定的信息包和接收到的信息包，判定被測試器件10是否良好。首先，說明發(fā)信方單元12。發(fā)信方單元12包括信息包目錄存儲部20、信息包目錄處理部22、信息包命令列存儲部24、信息包數(shù)據(jù)列存儲部26、下位順序控制器28、數(shù)據(jù)處理部32、數(shù)據(jù)變換部34、發(fā)信部36。信息包目錄存儲部20存儲提供來的多個信息包目錄。信息包目錄處理部22執(zhí)行信息包目錄存儲部20中存儲的多個信息包目錄中被外部指定的信息包目錄，依次指定與被測試器件10通信的各信息包。信息包目錄處理部22 例如根據(jù)從外部接收的地址執(zhí)行信息包目錄，依次指定發(fā)送給被測試器件10的信息包。信息包目錄處理部22例如，指定用來產(chǎn)生指定的信息包的命令列存儲的信息包命令列存儲部24上的地址。還有，信息包目錄處理部22例如針對與被測試器件10之間的通信的信息包，指定包含在信息包數(shù)據(jù)列存儲部26中的該信息包中的數(shù)據(jù)列的地址(例如數(shù)據(jù)列的開頭地址)。這樣一來，信息包目錄處理部22單獨指定用于產(chǎn)生信息包的命令列的地址和包含在該信息包中的數(shù)據(jù)列的地址。而在此情況下，在信息包目錄中對兩個以上的信息包指定了共同的命令列或數(shù)據(jù)列的情況下，信息包目錄處理部22也可對該兩個以上的信息包指定同一命令列的地址或同一數(shù)據(jù)列的地址。信息包命令列存儲部24按照信息包的種類分別存儲用于產(chǎn)生各種信息包的命令列。信息包命令列存儲部24存儲例如用于產(chǎn)生寫入信息包的命令列、用于產(chǎn)生讀出信息包的命令列、以及用于產(chǎn)生閑置信息包的命令列等。信息包數(shù)據(jù)列存儲部26按照信息包的種類分別存儲多種信息包各自所包含的數(shù)據(jù)列。信息包數(shù)據(jù)列存儲部26例如可包含寫入信息包中包含的數(shù)據(jù)列、讀出信息包中包含的數(shù)據(jù)列、以及閑置信息包中包含的數(shù)據(jù)列等。此外，信息包數(shù)據(jù)列存儲部26也可把例如各信息包中被變更的個別數(shù)據(jù)、以及各種信息包共同的數(shù)據(jù)區(qū)別開來存儲在不同的存儲區(qū)域內(nèi)。還有，發(fā)信方的信息包數(shù)據(jù)列存儲部26從收信方單元14內(nèi)的數(shù)據(jù)變換部34接收收信方單元14內(nèi)的收信部82接收的信息包中包含的收信數(shù)據(jù)。并且，發(fā)信方的信息包數(shù)據(jù)列存儲部26存儲收信方單元14內(nèi)的收信部82接收的信息包中包含的收信數(shù)據(jù)。下位順序控制器28從信息包命令列存儲部24中讀出信息包目錄處理部22指定的信息包的命令列，即由信息包目錄處理部22指定了地址的命令列，然后依次執(zhí)行讀出的命令列中包含的各種命令。還有，下位順序控制器28通過使信息包目錄處理部22指定的信息包的數(shù)據(jù)列、即由信息包目錄處理部22指定了地址數(shù)據(jù)列，隨著命令列的執(zhí)行依次從信息包數(shù)據(jù)列存儲部26中輸出，生成與被測試器件10之間的測試中使用的測試數(shù)據(jù)列。下位順序控制器28每次執(zhí)行命令時均給數(shù)據(jù)處理部32以及數(shù)據(jù)變換部34提供控制數(shù)據(jù)，指示其對讀出的個別數(shù)據(jù)以及共同數(shù)據(jù)實施指定的處理(運算或者數(shù)據(jù)變換)。 因此，下位順序控制器28可將信息包目錄處理部22指定的信息包中的，被指定的數(shù)據(jù)部分改造為對讀出的數(shù)據(jù)實施了指定處理的數(shù)據(jù)。此外，下位順序控制器28在信息包目錄處理部22指定的信息包的命令列執(zhí)行完畢情況下，可給信息包目錄處理部22提供結(jié)束通知。因此，信息包目錄處理部22可根據(jù)下位順序控制器28的命令列的執(zhí)行進展情況，依次指定信息包。此外，發(fā)信方單元12具有的發(fā)信方的下位順序控制器28向發(fā)信部36指定給被測試器件10發(fā)信的信號的定時界限。下位順序控制器28例如通過給發(fā)信部36提供定時信號控制各信息包的定時界限。
此外，發(fā)信方的下位順序控制器28與收信方單元14具有的收信方的下位順序控制器28進行通信。因此，發(fā)信方的下位順序控制器28可通過與收信方的下位順序控制器 28進行信息交換，與收信方的下位順序控制器28同步執(zhí)行命令列。發(fā)信方的下位順序控制器28例如把已將預(yù)先指定的信息包的測試數(shù)據(jù)列發(fā)送給被測試器件10 —事通知收信方的下位順序控制器28。因此，發(fā)信方的下位順序控制器28 可禁止收信方的下位順序控制器28在收到收信方的下位順序控制器28的通知之前判定接收到的數(shù)據(jù)列是否良好。此外，發(fā)信方的下位順序控制器28例如在收到收信方的下位順序控制器28已收到與生成的測試數(shù)據(jù)列一致的數(shù)據(jù)列的通知之后，生成預(yù)先指定的信息包的測試數(shù)據(jù)列。 因此，發(fā)信方的下位順序控制器28可在從被測試器件10接收到規(guī)定的信息包之后，給被測試器件10發(fā)送預(yù)先規(guī)定的信息包。數(shù)據(jù)處理部32從信息包數(shù)據(jù)存儲部26讀出由信息包目錄處理部22指定的信息包的數(shù)據(jù)列后，生成被測試器件10的測試中使用的測試數(shù)據(jù)列。在此情況下，發(fā)信方的數(shù)據(jù)處理部32可在與發(fā)送給被測試器件10的信息包對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)列中包含與收信方單元 14內(nèi)的收信部82接收的信息包中含有的收信數(shù)據(jù)對應(yīng)的值。例如，發(fā)信方的數(shù)據(jù)處理部32從發(fā)信方的信息包數(shù)據(jù)列存儲部26讀出數(shù)據(jù)后生成測試數(shù)據(jù)列，其把發(fā)送給被測試器件10的信息包的數(shù)據(jù)列中的預(yù)先指定的部分作為與收信數(shù)據(jù)中對應(yīng)的值(例如收信數(shù)據(jù)不加任何改變的值或?qū)κ招艛?shù)據(jù)實施了某種處理的值)。此種發(fā)信方的數(shù)據(jù)處理部32可將從被測試器件10接收到的信息包中含有收信數(shù)據(jù)對應(yīng)的值，包含在信息包中發(fā)送。數(shù)據(jù)變換部34在下位順序控制器28指定的定時內(nèi)把數(shù)據(jù)處理部32輸出的測試數(shù)據(jù)列數(shù)據(jù)變換。數(shù)據(jù)變換部34例如可對測試數(shù)據(jù)列，通過預(yù)先設(shè)定的圖表等進行Sb-IOb 變換等。還有，數(shù)據(jù)變換部34例如也可對測試數(shù)據(jù)列進行擾碼處理。并且，數(shù)據(jù)變換部34 輸出變換后的數(shù)據(jù)列。發(fā)信部3b把數(shù)據(jù)變換部34生成的測試數(shù)據(jù)列發(fā)送給被測試器件 10。下面說明收信方單元14。由于收信方單元14具有與發(fā)信方單元12大致相同的構(gòu)成及功能，因而對于收信方單元14僅就其與發(fā)信方單元12的不同點加以說明。收信方單元14包括信息包目錄存儲部20、信息包目錄處理部22、信息包命令列存儲部24、信息包數(shù)據(jù)列存儲部26、下位順序控制部28、數(shù)據(jù)處理部32、數(shù)據(jù)變換部34、收信部82、判定部84。收信部82接收被測試器件10發(fā)來的信息包的數(shù)據(jù)列。收信方的數(shù)據(jù)變換部34在收信方的下位順序控制器28指定的定時內(nèi)把收信部82 接收到的數(shù)據(jù)列數(shù)據(jù)變換。收信方的數(shù)據(jù)變換部34例如對接收到的數(shù)據(jù)列利用預(yù)先設(shè)定的圖表等進行Sb-IOb變換。此外，收信方的數(shù)據(jù)變換部34例如也可對接收到的數(shù)據(jù)列進行解擾碼處理。并且，收信方的數(shù)據(jù)變換部34把變換后的數(shù)據(jù)列提供給判定部84。此外，收信方的數(shù)據(jù)變換部34也可把變換后的數(shù)據(jù)列至少提供給收信方的信息包數(shù)據(jù)列存儲部26或發(fā)信方的信息包數(shù)據(jù)列存儲部26中的一方。收信方的信息包目錄處理部22通過執(zhí)行外部指定的信息包目錄，依次指定從被測試器件10接收的和期待的信息包。此外，收信方的數(shù)據(jù)處理部32把生成的測試數(shù)據(jù)列提供給判定部84。收信方的下位順序控制器28把期待被測試器件10輸出的信息包的數(shù)據(jù)列作為測試數(shù)據(jù)列使之從收信方的信息包數(shù)據(jù)列存儲部26輸出。此外，收信方的下位順序控制部28 對收信部82指定納入被測試器件10輸出的信號數(shù)據(jù)值的讀取脈沖定時。判定部84在從收信方的數(shù)據(jù)處理部32收取測試數(shù)據(jù)列的同時，收取從收信方的數(shù)據(jù)變換部34接收到的數(shù)據(jù)列。判定部84根據(jù)把接收到的數(shù)據(jù)列與測試數(shù)據(jù)列比較的結(jié)果，判定與被測試器件10之間的通信是否良好。判定部84包含例如比較收信部82接收到的數(shù)據(jù)列和測試數(shù)據(jù)列是否一致的邏輯比較部、和存儲比較結(jié)果的損壞存儲器。此外，判定部84例如也可把收信部82接收到的數(shù)據(jù)列與指定的數(shù)據(jù)列一致的情況通知收信方的下位順序控制器28。此外，收信方的下位順序控制器28與發(fā)信方的下位順序控制器28進行通信。因此，收信方的下位順序控制器28可通過與發(fā)信方的下位順序控制器28進行信息交換，與發(fā)信方的下位順序控制器28同步執(zhí)行命令列。收信方的下位順序控制器28把已收到與該收信方的下位順序控制器28先成的測試數(shù)據(jù)列一致的數(shù)據(jù)列的情況通知發(fā)信方的下位順序控制器28。因此，收信方的下位順序控制器28從收信方的下位順序控制器28接收到已收到與生成的測試數(shù)據(jù)列一致的數(shù)據(jù)列的通知之后，即可先成預(yù)先指定的信息包的測試數(shù)據(jù)列。此外，收信方的下位順序控制器28例如在從發(fā)信方的下位順序控制器28接收到已將預(yù)先指定的信息包的測試數(shù)據(jù)列發(fā)送給被測試器件10的通知之前，禁止判定部84判定收信部82接收到的數(shù)據(jù)列是否良好。因此，收信方的下位順序控制器28在把規(guī)定的信息包發(fā)送給被測試器件10之后，即可判定是否從被測試器件10輸出了與該規(guī)定的信息包對應(yīng)的應(yīng)答。收信方的信息包數(shù)據(jù)列存儲部26從收信方單元14的數(shù)據(jù)變換部34收取收信部 82接收到的信息包中含有的收信數(shù)據(jù)。并且，收信方的信息包數(shù)據(jù)存儲部26存儲收信部 82接收到的信息包中含有的收信數(shù)據(jù)。還有，收信方的數(shù)據(jù)處理部32在期待被測試器件10輸出的信息包中含有的測試列中，含有與收信部82已接收到的信息包中含有的收信數(shù)據(jù)對應(yīng)的值。例如，收信方的數(shù)據(jù)處理部32從收信方的信息包數(shù)據(jù)存儲部26中讀出數(shù)據(jù)后，生成測試數(shù)據(jù)列，其將期待從被測試器件10接收的信息包的數(shù)據(jù)列中的預(yù)先指定的部分作為與收信數(shù)據(jù)對應(yīng)的值(例如，收信數(shù)據(jù)不加任何改變的值或?qū)嵤┝四撤N處理的值)。例如，收信方的數(shù)據(jù)處理部32可在與應(yīng)從被測試器件10接收的第2信息包對應(yīng)的測試數(shù)據(jù)列中，含有與收信部82已接收的第1信息包中含有的收信數(shù)據(jù)對應(yīng)的值。因此，若采用收信方的數(shù)據(jù)處理部32，例如可通過參照從被測試器件10接收到的信息包中含有ID等，判定應(yīng)在其后的信息中含有的ID是否正確。如上所述，若采用本實施方式涉及的測試裝置100，就可在距被測試裝置10較近的位置上進行把與接收到的信息包中含有的收信數(shù)據(jù)對應(yīng)的值包含在其后的信息包中的處理。因此，若采用測試裝置100，就可高速地進行與被測試器件10彼此間的應(yīng)答。此外，測試裝置100最好配置可通過工作頻率較高的運算處理部件等實現(xiàn)的數(shù)據(jù)處理部32。這樣，測試裝置100就可從接收到的信息包中含有的數(shù)據(jù)，高速地進行生成其后的信息包中含有的數(shù)據(jù)的處理。以上，用實施方式說明了本發(fā)明的(一)的側(cè)面，但本發(fā)明的技術(shù)并不局限于上述實施方式中所述的范圍?？蓪ι鲜鰧嵤┓绞绞┘佣喾N變更或改良。從權(quán)利要求書中顯然可知，施加了此種變更或改良的方式仍可包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。請注意，權(quán)利要求書、說明書、以及附圖中所示的裝置、系統(tǒng)、程序、以及方法中動作、順序、步驟、以及階段等的各種處理的實施順序只要沒有明確表示出“在此之前”、“先行”等，此外，只要不是后面的處理中使用前面處理的輸出，則能夠以任意順序?qū)崿F(xiàn)。關(guān)于權(quán)利要求書、說明書、以及附圖中的動作流程，雖然為了方便起見使用了“首先”、“接著”等加以說明，但并不意味著必須按此順序?qū)嵤?br> 權(quán)利要求
1.一種測試被測試器件的測試裝置，其特征在于，配置有 多個測試模塊，其在前述被測試器件之間傳輸信號； 總線，其轉(zhuǎn)接前述多個測試模塊；測試控制部，其經(jīng)由前述總線控制前述多個測試模塊； 前述多個測試模塊中的各個模塊具有 測試部，其在前述被測試器件之間傳輸信號； 模塊控制部，其控制前述測試部；各個前述測試模塊中的前述模塊控制部經(jīng)前述總線，與其它前述測試模塊的前述模塊控制部傳輸信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其特征在于各個前述模塊控制部向前述總線發(fā)送同步信息包，使對應(yīng)的前述測試部和前述測試模塊中的前述測試部同步動作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試裝置，其特征在于各個前述模塊控制部在對應(yīng)的前述測試部處于規(guī)定的待機狀態(tài)情況下，發(fā)送前述同步信息包，并在從總線接收到規(guī)定個數(shù)的前述同步信息包的情況下，使前述測試部實施下一個測試項目。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試裝置，其特征在于各個前述模塊控制部不經(jīng)由前述測試控制部發(fā)送前述同步信息包。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測試裝置，其特征在于前述測試控制部在各自的前述模塊控制部中預(yù)先存儲控制各自的前述測試部的控制數(shù)據(jù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測試裝置，其特征在于還配置有設(shè)置在前述測試控制部以及前述總線之間的控制接口部；各個前述模塊控制部經(jīng)前述總線給前述控制接口部發(fā)送前述同步信息包；前述控制接口部把收取的前述同步信息包經(jīng)由前述總線，發(fā)送給所有前述模塊控制部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測試裝置，其特征在于 配置有多組前述測試控制部以及前述控制接口部； 各個前述測試模塊受控于某個前述測試控制部；各個前述模塊控制部給對應(yīng)的前述控制接口部發(fā)送前述同步信息包； 前述控制接口部給對應(yīng)的前述模塊控制部發(fā)送收取的前述同步信息包。
8.一種用測試裝置測試被測試器件的測試方法，其特征在于， 前述測試裝置配置有多個測試模塊，其在前述被測試器件之間傳輸信號；總線，其連接前述多個測試模塊；測試控制部，其經(jīng)由前述總線控制前述多個測試模塊；前述多個測試模塊的各個測試模塊具有測試部，其在前述被測試器件之間傳輸信號；模塊控制部，其控制前述測試部；使各個前述測試模塊中的前述模塊控制部經(jīng)由前述總線和其它前述測試模塊的前述模塊控制部傳輸信號。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測試被測試器件的測試裝置，其配置有在被測試器件之間傳輸信號的多個測試模塊、連接多個測試模塊的總線、經(jīng)由總線控制多個測試模塊的測試控制部；測試模塊具有在被測試器件之間傳輸信號的測試部、控制測試部的模塊控制部；各個測試模塊中的模塊控制部經(jīng)由總線與其它測試模塊的模塊控制部傳輸信號。
文檔編號G01R31/28GK102193057SQ20111002592
公開日2011年9月21日 申請日期2011年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月26日
發(fā)明者平出守, 矢口剛史 申請人:愛德萬測試株式會社