專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在液晶顯示面板等平板且透明的面板基板的周緣部隔著各向異性導(dǎo)電膜安裝有電子部件、組件等的電路板的檢查裝置。
背景技術(shù)：
近年來，在制造液晶顯示(IXD)面板、等離子體顯示面板(PDP)、有機(jī)EL顯示器等平板顯示器面板(FDP)的過程中，在將驅(qū)動(dòng)用IC等搭載在形成于該面板基板的周緣部的電極上的情況下等，在透明(玻璃)基板上的電極焊盤上安裝芯片狀的電子部件(IC、LSI 等)、組件等時(shí)，采用隔著各向異性導(dǎo)電膜(ACF)粘貼該電子部件等并將它們之間電連接的方法。在上述采用了 ACF的芯片安裝工序中，TAB方式和COG方式通常都按照向面板(元件)基板粘貼ACF-安裝IC芯片-壓接-檢查壓接狀態(tài)的順序進(jìn)行，該工序(生產(chǎn)線)也由配置成一列的基板裝載機(jī)、基板清洗裝置、ACF粘貼裝置、芯片安裝壓接裝置、基板檢查裝置構(gòu)成。另外，在采用了該芯片安裝方法的情況下，作為判斷上述驅(qū)動(dòng)用IC等的安裝狀態(tài)好壞的方法，公知有采用微分干涉觀察的方法。具體地講，利用微分干涉顯微鏡等從IC芯片等的安裝方向的背面?zhèn)?透光側(cè))觀察安裝有該IC芯片等的透明面板基板的電極部位， 計(jì)數(shù)因被各向異性導(dǎo)電膜中的導(dǎo)電性粒子推壓而形成在電極上的“壓痕”數(shù)量，在壓痕數(shù)量較多的情況下，判斷為安裝狀態(tài)良好。而且，作為自動(dòng)地判斷上述IC芯片等的安裝狀態(tài)好壞的方法，提出有通過使用 CCD攝像機(jī)等的攝像部件觀察(對(duì)比)壓接部位而將導(dǎo)電性粒子的鼓起狀態(tài)的形狀、個(gè)數(shù)作為條件來判斷的方法(專利文獻(xiàn)1)、通過與預(yù)先測(cè)量、存儲(chǔ)的壓接部位的標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較(圖案匹配)而判斷壓痕的強(qiáng)弱、數(shù)量、錯(cuò)位、異物混入等的方法(專利文獻(xiàn)幻等。另外，本申請(qǐng)人也在日本特愿2008-53642中提出了電子部件檢查方法及其所采用的裝置，即，通過預(yù)先存儲(chǔ)檢查時(shí)的最佳焦距，利用該存儲(chǔ)的最佳焦距的數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)下一次之后檢查時(shí)的最佳焦距，能夠縮短攝像部件的對(duì)焦所需要的時(shí)間。自動(dòng)地判斷這些IC芯片等的安裝狀態(tài)的裝置(基板檢查裝置)均組裝在上述那種芯片安裝工序的最終過程部分，包括臺(tái)(移動(dòng)臺(tái))，其用于載置由輸送臂等從工序的上游側(cè)移送(供給)來的芯片安裝完畢的面板基板；以及帶有微分干涉顯微鏡功能的攝像部件，其用于從該面板基板的背面?zhèn)扰臄z上述芯片安裝部分。另外，上述移動(dòng)臺(tái)構(gòu)成為能夠在 X、Y、Z三個(gè)軸上獨(dú)立地控制，并且繞沿著該Z軸的θ軸旋轉(zhuǎn)自由，上述移動(dòng)臺(tái)能夠使上述面板基板迅速地移動(dòng)到上述攝像部件能夠正確地拍攝到芯片的安裝位置的位置(position)。在此，上述移動(dòng)臺(tái)的上表面形成為平坦的圓形或者方形等，在其表面設(shè)有用于固定所載置的面板基板的吸附部件。另外，上述帶有微分干涉顯微鏡功能的攝像部件為了從芯片安裝面的背面?zhèn)?透光側(cè))觀察安裝有該芯片的透明面板基板的電極部位，在上述面板基板以其安裝面朝上的方式載置在移動(dòng)臺(tái)上的情況下，上述攝像部件配置在比該移動(dòng)臺(tái)靠下側(cè)。相反，在上述面板基板以其安裝面朝下的方式載置在移動(dòng)臺(tái)上的情況下，上述攝像部件配置在比該移動(dòng)臺(tái)靠上側(cè)。另外，為了迅速地拍攝(檢查)多個(gè)部位，包括多組上述帶有微分干涉顯微鏡功能的攝像部件的檢查裝置也很多，這些攝像部件構(gòu)成為能夠在沿X方向或者Y方向設(shè)置的導(dǎo)軌上滑動(dòng)。但是，在上述那種自動(dòng)地判斷IC芯片等的安裝狀態(tài)的基板檢查裝置中，以面板基板的安裝面朝上的方式載置在移動(dòng)臺(tái)上并用于從裝置下側(cè)拍攝安裝部位(通常是顯示面板的周緣部，在本申請(qǐng)中是檢查對(duì)象部位)的類型的基板檢查裝置在該移動(dòng)臺(tái)中使用比檢查對(duì)象基板面積較小的移動(dòng)臺(tái)，使得用于載置面板基板的移動(dòng)臺(tái)不會(huì)遮蓋檢查對(duì)象部位。另外，在移動(dòng)臺(tái)為方形等并相對(duì)較大的情況下，為了防止該移動(dòng)臺(tái)與攝像部件接觸，并更加易于從芯片安裝部位的裝置下側(cè)進(jìn)行拍攝操作，有時(shí)也采取這樣的方法，即，在將檢查對(duì)象基板載置在移動(dòng)臺(tái)上時(shí)，將該檢查對(duì)象基板自移動(dòng)臺(tái)的上表面中心向攝像部件側(cè)偏移地載置，使包含上述檢查對(duì)象部位的檢查對(duì)象端部自移動(dòng)臺(tái)的緣部突出。專利文獻(xiàn)1 日本特開2003-269934號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2005-227217號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，如上所述，在以其檢查對(duì)象部位(端部)從移動(dòng)臺(tái)向側(cè)方突出(橫向延伸) 的狀態(tài)載置面板基板的基板檢查裝置中，在檢查時(shí)攝像部件進(jìn)行對(duì)焦(焦點(diǎn))時(shí)，產(chǎn)生以下的問題。1)面板基板產(chǎn)生翹曲、應(yīng)變的問題S卩，為了獲得檢查對(duì)象部位的微分干涉圖像而采用的攝像部件((XD攝像機(jī)、微分干涉顯微鏡等)的焦深(景深)為士幾十μ m左右，相對(duì)于此，作為檢查對(duì)象的液晶顯示 (IXD)面板、等離子體顯示面板(PDP)、有機(jī)EL顯示器等平板顯示器面板通常使用大尺寸的玻璃基材形成，因此，由制造時(shí)的加熱、壓迫、張力導(dǎo)致分別沿面板的寬度(長(zhǎng)邊)方向產(chǎn)生相對(duì)較大的(幾百Pm以上)翹曲、應(yīng)變。上述面板基板的中央部利用之前說明的吸附部件等吸附、固定在平坦的上述移動(dòng)臺(tái)的上表面，但作為檢查對(duì)象部位的端部(緣部)自該移動(dòng)臺(tái)向空中(側(cè)方)像凸緣那樣地延伸，因此，無法矯正每個(gè)面板各不相同的翹曲、應(yīng)變，會(huì)導(dǎo)致拖延上述攝像部件的對(duì)焦作業(yè)。2)面板基板的振動(dòng)的收斂要花費(fèi)時(shí)間的問題S卩，近年來特別是鑒于對(duì)基板檢查迅速化的要求，載置有上述面板基板的移動(dòng)臺(tái)大多以相對(duì)較高的速度驅(qū)動(dòng)，存在當(dāng)定位結(jié)束且上述移動(dòng)臺(tái)停止之后該面板的微細(xì)振動(dòng)仍然不會(huì)收斂這樣的現(xiàn)象。特別是在僅將中央部固定在移動(dòng)臺(tái)上的面板基板中，作為檢查對(duì)象部位的端部(緣部)的振動(dòng)的收斂要花費(fèi)時(shí)間。該微細(xì)的振動(dòng)不僅與上述翹曲、應(yīng)變同樣地導(dǎo)致拖延上述攝像部件的對(duì)焦作業(yè)，也會(huì)導(dǎo)致降低該檢查對(duì)象部位的安裝狀態(tài)好壞判斷的精度。這些問題存在隨著面板基板的尺寸越大越為顯著的傾向，鑒于今后平板顯示器面板的越發(fā)大型化，有可能成為更深刻的問題。另外，在面板基板的大型化下，也需要與此相結(jié)合，將載置側(cè)的移動(dòng)臺(tái)更換為大型的移動(dòng)臺(tái)，若仍然繼續(xù)使用小面積的移動(dòng)臺(tái)，則無法以較好的平衡支承該大型的面板基板，會(huì)導(dǎo)致增大該緣部的翹曲、應(yīng)變。本發(fā)明即是鑒于該情況而做成的，其目的在于提供一種能夠迅速且正確地判斷安裝在面板基板周緣部的電子部件的安裝狀態(tài)好壞、從而能夠容易地適應(yīng)面板的大型化的基板檢查裝置。用于解決問題的方案為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的第1技術(shù)方案提供一種基板檢查裝置，其包括移動(dòng)臺(tái)，其用于將透明的面板基板載置在該移動(dòng)臺(tái)的上表面而移動(dòng)至預(yù)定的檢查位置，并對(duì)該基板進(jìn)行定位，該面板基板在端部附近的多個(gè)位置隔著各向異性導(dǎo)電膜安裝有電子部件； 攝像部件，其用于從檢查對(duì)象部位的安裝有電子部件的一面的背面?zhèn)韧高^上述基板拍攝安裝有該電子部件的該檢查對(duì)象部位，并獲取該部位的微分干涉圖像；線性驅(qū)動(dòng)部件，其用于使該攝像部件沿著定位在上述檢查位置的基板的各檢查對(duì)象部位滑移；以及信息處理部件，其用于根據(jù)由上述攝像部件得到的圖像數(shù)據(jù)來判斷拍攝到的檢查對(duì)象部位的安裝狀態(tài)的好壞；以包含上述檢查對(duì)象部位的至少一個(gè)基板端部向上述移動(dòng)臺(tái)的側(cè)方突出的狀態(tài)， 將上述基板載置在上述移動(dòng)臺(tái)的上表面，在上述攝像部件的附近配設(shè)有固定臺(tái)，該固定臺(tái)用于從下側(cè)支承自上述移動(dòng)臺(tái)突出的基板端部。另外，本發(fā)明的第2技術(shù)方案根據(jù)上述基板檢查裝置，特別是，上述固定臺(tái)形成為沿著上述攝像部件的滑動(dòng)方向延伸的棒狀。另外，本發(fā)明的第3技術(shù)方案是根據(jù)上述基板檢查裝置，特別是，上述固定臺(tái)包括用于吸附固定上述面板基板的吸附部件。發(fā)明的效果本發(fā)明的基板檢查裝置對(duì)在基板的周緣部安裝有電子部件等的面板基板以其安裝部位自移動(dòng)臺(tái)向側(cè)方突出的狀態(tài)進(jìn)行處理，其中，通過在面板基板的下側(cè)且攝像部件附近的位置設(shè)置用于以從下表面?zhèn)鹊纸佑谏鲜雒姘寤宓耐怀霾课坏姆绞街С性撁姘寤宓墓潭ㄅ_(tái)，來謀求包含上述面板基板的檢查對(duì)象部位在內(nèi)的端部位置的穩(wěn)定化，從而提高基板檢查的再現(xiàn)性和精度。即，關(guān)于本發(fā)明的基板檢查裝置，不是將自以移動(dòng)臺(tái)向側(cè)方突出的方式配置的面板基板的端部(檢查對(duì)象部位)保持原樣，而是利用作為穩(wěn)定的基臺(tái)的固定臺(tái)從下側(cè)支承該面板基板的端部，因此，即使使移動(dòng)臺(tái)移動(dòng)而更換基板，也能夠每次都將這些面板基板的檢查對(duì)象部位安放在相同的位置(高度)。另外，由于上述面板基板的端部是以在靠近其緣部的位置從下側(cè)抬起的方式被支承，因此，能矯正每個(gè)面板各不相同(帶有差異)的端部的翹曲、應(yīng)變，并吸收由于上述移動(dòng)臺(tái)的移動(dòng)而產(chǎn)生的振動(dòng)，從而能夠迅速地收斂該振動(dòng)。因而，本發(fā)明的基板檢查裝置能夠?qū)⑦@些翹曲、振動(dòng)等對(duì)檢查帶來的不良影響抑制到最小限度，從而能夠提高安裝狀態(tài)檢查的再現(xiàn)性和精度。另外，由于面板基板的檢查對(duì)象部位每次都安放在相同的位置，因移動(dòng)臺(tái)的移動(dòng)而產(chǎn)生的振動(dòng)也迅速地收斂，因此，該基板檢查裝置的從安放面板到進(jìn)入攝像作業(yè)的待機(jī)時(shí)間較短，并且，拍攝時(shí)對(duì)焦所花費(fèi)的時(shí)間也較短。因而，本發(fā)明的基板檢查裝置能夠使這些一連串的檢查作業(yè)(工序)比以往更加高速化。
并且，關(guān)于該基板檢查裝置，由于面板基板被上述移動(dòng)臺(tái)和固定臺(tái)這兩點(diǎn)支承，因此，即使是大型(大面積)的基板也能夠穩(wěn)定地進(jìn)行支承。因而，本發(fā)明的基板檢查裝置也能夠容易地應(yīng)對(duì)面板的大型化。另外，在本發(fā)明的基板檢查裝置中，其中，上述固定臺(tái)形成為沿著上述攝像部件的滑動(dòng)方向延伸的棒狀，由此能夠在整個(gè)寬度中一并支承面板基板的檢查對(duì)象端部，較為理想。并且，通過使該棒狀的固定臺(tái)的長(zhǎng)度大于作為檢查對(duì)象可設(shè)想到的最大尺寸的面板基板的長(zhǎng)度，而無需更換上述移動(dòng)臺(tái)等就能夠容易地應(yīng)對(duì)各種尺寸的面板基板。而且，在本發(fā)明的基板檢查裝置中，其中，特別是上述固定臺(tái)包括用于吸附固定上述面板基板的吸附部件，由此能夠牢固且可靠地固定上述面板基板的檢查對(duì)象端部。另外， 由于吸附固定面板基板的檢查對(duì)象端部，因此，具有如下優(yōu)點(diǎn)能夠以一定程度矯正每個(gè)面板的各不相同的翹曲、應(yīng)變，并且也能夠迅速地收斂上述移動(dòng)臺(tái)停止之后的面板的振動(dòng)。


圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板檢查裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是表示在第1實(shí)施方式的基板檢查裝置上安放有作為檢查對(duì)象的面板基板的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖3是示意地表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板檢查裝置的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的圖。
具體實(shí)施例方式接著，根據(jù)附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。但是，本發(fā)明并不限定于該實(shí)施方式。圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板檢查裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)圖，圖2是表示在該基板檢查裝置上安放有作為檢查對(duì)象的面板基板的狀態(tài)的圖。另外，將粘貼裝置內(nèi) (及工序內(nèi))的基板的流動(dòng)方向設(shè)為X方向、將與該X方向正交的裝置內(nèi)的深入方向設(shè)為Y 方向、將裝置的上下(天頭地腳)方向設(shè)為Z方向地進(jìn)行說明。另外，配設(shè)在移動(dòng)臺(tái)1和固定臺(tái)4的上表面的吸附部件(面板固定部件)省略圖示抽吸泵、成為空氣流路的配管等。本實(shí)施方式的基板檢查裝置加入配置在將芯片狀電子部件、組件等隔著各向異性導(dǎo)電膜安裝在工件W(液晶顯示面板、電路基板等)上的工序(生產(chǎn)線)的一部分中，作為整個(gè)工序，按照裝載機(jī)一基板清洗裝置一各向異性導(dǎo)電膜粘貼裝置(ACF轉(zhuǎn)印)一芯片壓接裝置(COG或FPC的臨時(shí)壓接、正式壓接)一基板檢查裝置(AOI)—卸載機(jī)的順序構(gòu)成。第1實(shí)施方式的基板檢查裝置使用后述的輸送臂等，將利用位于工序的上游側(cè) (圖1中的左側(cè))的各向異性導(dǎo)電膜粘貼裝置及芯片壓接裝置(省略圖示)在面板基板10 的一個(gè)端部附近的預(yù)定位置安裝有多個(gè)IC芯片(驅(qū)動(dòng)器IC) 11而成的IXD面板(工件W) 導(dǎo)入到裝置主體內(nèi)，并將該LCD面板移載并吸附、固定在帶有吸盤的移動(dòng)臺(tái)1上，之后，使該移動(dòng)臺(tái)1移動(dòng)到預(yù)定的檢查位置，利用帶有微分干涉顯微鏡功能的攝像部件2拍攝載置于移動(dòng)臺(tái)1的上表面Ia的面板基板10上的上述芯片安裝部位。另外，在該基板檢查裝置上設(shè)有位于面板基板10的下側(cè)、用于支承該基板10的檢查對(duì)象部位的固定臺(tái)4。移動(dòng)臺(tái)1能夠在X、Y、Z三個(gè)軸上獨(dú)立地控制，且繞沿著該Z軸的θ軸旋轉(zhuǎn)自由地構(gòu)成。在XY兩方向上分別設(shè)有用于引導(dǎo)搭載有上述移動(dòng)臺(tái)1的基臺(tái)的導(dǎo)軌，該驅(qū)動(dòng)采用伺服電動(dòng)機(jī)(省略圖示)。另外，移動(dòng)臺(tái)1包括能夠調(diào)節(jié)Z軸方向高度的伺服電動(dòng)機(jī)、及用于控制繞沿著該Z軸的θ軸的旋轉(zhuǎn)的伺服電動(dòng)機(jī)。另外，移動(dòng)臺(tái)1的面板載置面(上表面la)形成為比作為檢查對(duì)象的面板基板10 小的面積，為了容易地自后述的芯片安裝部位的背面?zhèn)冗M(jìn)行攝像作業(yè)，設(shè)置成能夠以面板基板10的檢查對(duì)象部位(端部IOa)自移動(dòng)臺(tái)1向側(cè)方突出(橫向延伸)的狀態(tài)載置。另夕卜，該上表面Ia形成為大致平坦，在其表面配置有具有用于與上述吸附部件連通的狹縫、 吸氣孔等的吸盤。如圖2所示，攝像部件2是將物鏡部加、包括微分干涉棱鏡和帶有同軸落射照明的鏡體的微分干涉顯微鏡部2b、以及具有圖像數(shù)據(jù)輸出功能的CCD攝像機(jī)部2c組合而成，針對(duì)面板基板10，能夠從安裝有IC芯片11的面的背面?zhèn)葘?duì)每個(gè)預(yù)定的點(diǎn)拍攝其放大圖像。 另外，微分干涉顯微鏡部2b具有這樣的特征，即，能夠利用上述微分干涉棱鏡將被攝體的折射率、厚度的變化轉(zhuǎn)換為干涉色的變化、明暗的對(duì)比來進(jìn)行觀察。而且，上述照明的光源適合采用熱量放射較少的藍(lán)色發(fā)光二極管。另外，攝像部件2配置在線性驅(qū)動(dòng)部件3上，該線性驅(qū)動(dòng)部件3能夠沿著定位于上述檢查位置的基板的各檢查對(duì)象部位在導(dǎo)軌上沿X方向滑動(dòng)，通過反復(fù)移動(dòng)和拍攝，從安裝在上述面板基板10的一個(gè)端部IOa附近的預(yù)定位置的IC芯片11的端子(電極)部的背面?zhèn)纫来螜z查安裝在上述面板基板10的一個(gè)端部IOa附近的預(yù)定位置的IC芯片11的端子(電極)部。而且，上述線性驅(qū)動(dòng)部件3采用能夠高速移動(dòng)的線性伺服驅(qū)動(dòng)器(省略圖示)。并且，線性驅(qū)動(dòng)部件3包括用于沿Z方向(上下方向)調(diào)節(jié)攝像部件2的高度來進(jìn)行對(duì)焦的 Z方向調(diào)整部件3a。該Z方向調(diào)整部件3a采用能夠以微米(μ m)單位調(diào)整攝像部件2的高度的線性步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器。本實(shí)施方式的基板檢查裝置的特征在于，如上所述，在面板基板10的下側(cè)且攝像部件2附近的位置配設(shè)有用于支承上述面板基板10的檢查對(duì)象部位(端部IOa)的固定臺(tái) 4。該固定臺(tái)4配置在上述移動(dòng)臺(tái)1和攝像部件2之間，從下表面?zhèn)鹊纸硬⒅С猩鲜雒姘寤?0中的自移動(dòng)臺(tái)1向側(cè)方突出的部位且為除檢查對(duì)象部位之外的位置。另外，在該固定臺(tái)4的上表面如上也與上述移動(dòng)臺(tái)1同樣地配置有之前說明的具有用于與吸附部件連通的狹縫、吸氣孔等的吸盤。接著，對(duì)使用上述結(jié)構(gòu)的基板檢查裝置來檢查L(zhǎng)CD面板等面板基板10 (工件W)的過程進(jìn)行說明。在上述結(jié)構(gòu)的基板檢查裝置中，首先，利用輸送臂等將作為檢查對(duì)象的芯片安裝完畢的面板基板10從工序的上游側(cè)導(dǎo)入到裝置內(nèi)，以其上表面Ia位于面板基板10的大致中央部的方式載置在移動(dòng)臺(tái)1上。然后，利用移動(dòng)臺(tái)上表面Ia的吸盤吸附、固定面板的中央部，并成為作為該檢查對(duì)象部位的端部IOa自移動(dòng)臺(tái)1向側(cè)方(Y方向)突出的狀態(tài)。之后，利用移動(dòng)臺(tái)1支承著面板中央部，同時(shí)將該面板基板10在Z方向上抬起一些，利用上述移動(dòng)臺(tái)1的XY移動(dòng)，如圖2中的雙點(diǎn)劃線所示地使其移動(dòng)至面板基板10的IC 芯片11安裝部面對(duì)攝像部件2的物鏡部加上方的檢查位置。然后，利用另外設(shè)置的CXD 攝像機(jī)等面板位置確認(rèn)部件識(shí)別面板基板10上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記等，微調(diào)至移動(dòng)臺(tái)1的XY方向位置及θ軸的旋轉(zhuǎn)角正確的位置，之后，使移動(dòng)臺(tái)1下降，將面板基板10定位在正確的檢查位置(圖2中的實(shí)線狀態(tài))。此時(shí)，面板基板10的檢查對(duì)象部位即端部10a(芯片安裝部位)在靠近上述攝像部件2的位置被固定臺(tái)4從面板下側(cè)支承，并被設(shè)置在其上表面如的上述吸盤吸附、固定， 使面板基板10可靠地定位。接著，使攝像部件2與其基臺(tái)一同在線性驅(qū)動(dòng)部件3上沿X方向滑動(dòng)，對(duì)每個(gè)預(yù)定的點(diǎn)進(jìn)行對(duì)焦(焦點(diǎn))，拍攝其放大圖像。另外，將拍攝到的圖像數(shù)據(jù)(微分干涉圖像)傳送到未圖示的信息處理部件，判斷拍攝到的檢查對(duì)象部位的安裝狀態(tài)的好壞。另外，在上述信息處理部件中，利用預(yù)先設(shè)定的與檢查項(xiàng)目相對(duì)應(yīng)的預(yù)定的運(yùn)算程序轉(zhuǎn)換從攝像部件2輸入的圖像數(shù)據(jù)(例如轉(zhuǎn)換為基于256等級(jí)的亮度標(biāo)度的亮度分布數(shù)據(jù))，將其與針對(duì)每個(gè)檢查項(xiàng)目設(shè)定的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)相比較，將不符合該基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)檢測(cè)為不良ο另外，在上述信息處理部件中，作為以下說明的、用于對(duì)焦(焦點(diǎn))的校準(zhǔn)系統(tǒng)的一個(gè)環(huán)節(jié)，設(shè)有最佳焦距計(jì)算部及其最佳焦距存儲(chǔ)部。即，采用該系統(tǒng)，在依次檢查上述LCD 面板等面板基板10時(shí)，在檢查之前，在相同的檢查點(diǎn)對(duì)該最初的面板基板10反復(fù)進(jìn)行多次用于對(duì)焦的拍攝，根據(jù)得到的圖像數(shù)據(jù)計(jì)算最佳焦距，并依照該值沿Z方向調(diào)節(jié)攝像部件 2(的物鏡2a)來進(jìn)行對(duì)焦，在該狀態(tài)下進(jìn)行用于檢查的拍攝，并且，在上述信息處理部件中存儲(chǔ)該對(duì)焦時(shí)計(jì)算的最佳焦距。而且，搭載有這樣的系統(tǒng)，S卩，在下一次之后的檢查過程中，不是根據(jù)另外設(shè)定的基準(zhǔn)值、隨機(jī)的值鎖定焦距，而是依照預(yù)定的運(yùn)算法則由該存儲(chǔ)的最佳焦距導(dǎo)出預(yù)測(cè)最佳焦距，依照該距離確定攝像部件2在Z方向上的初始位置，自該位置自動(dòng)地進(jìn)行對(duì)焦。另外，在逐一地反復(fù)檢查的過程中，能夠每次存儲(chǔ)對(duì)焦時(shí)的最佳焦距，由該存儲(chǔ)的最佳焦距掌握作為檢查對(duì)象的面板基板10的形狀的差異傾向，因此，只要自上一次之前存儲(chǔ)的最佳焦距的差異提取恒定的傾向，加上與該差異相對(duì)應(yīng)的校正而導(dǎo)出預(yù)測(cè)最佳焦距， 就能夠更迅速地依照反復(fù)檢查來與作為對(duì)象的芯片安裝部位的差異傾向相應(yīng)地進(jìn)行對(duì)焦。利用上述結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施方式的基板檢查裝置中，由于是以在靠近面板基板10的端部IOa的緣部的位置從下側(cè)抬起的方式支承面板基板10的端部10a，因此，能夠抑制每個(gè)面板各不相同(帶有差異)的端部IOa的翹曲、應(yīng)變，并且，能夠每次都可靠地將作為檢查對(duì)象部位的面板基板10的端部IOa安裝在相同的位置(高度)。另外，因上述移動(dòng)臺(tái)1的移動(dòng)而產(chǎn)生的振動(dòng)被固定臺(tái)4迅速地吸收，傳遞到面板基板端部IOa的振動(dòng)也較少，因此，本實(shí)施方式的基板檢查裝置能夠?qū)⑦@些翹曲、振動(dòng)等對(duì)檢查帶來的不良影響抑制到最小限度，提高安裝狀態(tài)檢查的再現(xiàn)性和精度。而且，面板基板10的檢查對(duì)象部位每次都安放在相同的位置，由移動(dòng)臺(tái)1的移動(dòng)所產(chǎn)生的振動(dòng)也迅速地收斂，因此，該基板檢查裝置從安裝面板到進(jìn)入攝像作業(yè)的待機(jī)時(shí)間較短，并且，利用用于進(jìn)行上述對(duì)焦(焦點(diǎn))的校準(zhǔn)系統(tǒng)，拍攝時(shí)對(duì)焦所花費(fèi)的時(shí)間也較短。因而，本實(shí)施方式的基板檢查裝置能夠使這些一連串的檢查作業(yè)(工序)比以往更加高速化。另外，關(guān)于該基板檢查裝置，由于上述固定臺(tái)4能夠吸附固定面板基板10的端部 10a，因此，具有能夠以某種程度矯正每個(gè)面板各不相同的翹曲、應(yīng)變這樣的優(yōu)點(diǎn)。另外，由于上述固定臺(tái)4形成為沿著攝像部件2的滑動(dòng)方向延伸的棒狀，因此，能夠在整個(gè)寬度中一并支承面板基板10的檢查對(duì)象端部，較為理想。并且，通過使該棒狀的固定臺(tái)4的長(zhǎng)度大于作為檢查對(duì)象可設(shè)想到的最大尺寸的面板基板10的長(zhǎng)度，而無需更換上述移動(dòng)臺(tái)1等就能夠容易地應(yīng)對(duì)各種尺寸的面板基板10。接著，作為第2實(shí)施方式，說明本發(fā)明的基板檢查裝置作為實(shí)際的芯片安裝工序 (生產(chǎn)線)的一部分而加入的例子。圖3是示意地表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的基板檢查裝置的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的圖。本實(shí)施方式的基板檢查裝置也加入配置在將芯片狀電子部件、組件等隔著各向異性導(dǎo)電膜安裝在工件W上的工序(生產(chǎn)線)的一部分中，該基板檢查裝置(AOI)在工序的上游側(cè)(圖3中的左側(cè))使用輸送臂12將在工件W的預(yù)定位置安裝有多個(gè)芯片狀電子部件、 組件等的平板顯示器面板(FDP)導(dǎo)入到裝置主體內(nèi)，在將該平板顯示器面板移載并吸附、 固定在帶有吸盤的移動(dòng)臺(tái)1、1'上之后，使該移動(dòng)臺(tái)1、1'移動(dòng)到預(yù)定的檢查位置，利用帶有微分干涉顯微鏡功能的攝像部件2、2'拍攝載置于移動(dòng)臺(tái)1、Γ的上表面的FDP上的上述芯片安裝部位。另外，在該基板檢查裝置中并列設(shè)有兩行檢查線，能夠同時(shí)平行地檢查兩個(gè)工件 W。因此，該移動(dòng)臺(tái)(1、1')和攝像部件0、2')裝備有兩組(兩套)。另外，雖然與第1 實(shí)施方式同樣地也設(shè)有用于從下側(cè)支承工件W的檢查對(duì)象端部的固定臺(tái)G)，但是并非按照這些檢查線而分別形成，而是作為共用的棒狀固定臺(tái)5形成于兩個(gè)檢查線。接著，說明該基板檢查裝置(AOI)的動(dòng)作(工件流程)?；鍣z查裝置使用輸送臂12，將利用位于工序上游側(cè)(圖3中的左側(cè))的各向異性導(dǎo)電膜粘貼裝置和芯片壓接裝置(省略圖示)在平板顯示器面板(FDP)的預(yù)定位置安裝有多個(gè)芯片狀電子部件、組件等而成的工件W導(dǎo)入到裝置主體內(nèi)(Α — B位置或者A — B' 位置)，將該工件W移載到能夠沿XY兩個(gè)方向移動(dòng)且能夠調(diào)節(jié)Z方向的高度并能夠繞θ軸旋轉(zhuǎn)的、帶有吸盤的移動(dòng)臺(tái)1、1'上，之后，利用移動(dòng)臺(tái)1上表面的吸盤吸附、固定各面板的中央部(B、B'位置)。然后，由中央部支承著各面板，同時(shí)將這些面板沿Z方向抬起一些，使上述移動(dòng)臺(tái) 1、1'沿XY方向滑動(dòng)，移動(dòng)至工件W的芯片安裝部面對(duì)各攝像部件2、2'的滑動(dòng)位置上方的位置。利用未圖示的CXD攝像機(jī)等面板位置確認(rèn)部件識(shí)別工件W上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記等，微調(diào)至各移動(dòng)臺(tái)1、1'的XY方向位置及θ軸的旋轉(zhuǎn)角正確的位置，之后，使移動(dòng)臺(tái)1、1'下降，將各工件W定位在正確的檢查位置(圖3中的C、C'位置)。此時(shí)，與上述第1實(shí)施方式同樣，工件W的檢查對(duì)象部位即其端部(芯片安裝部位)在靠近上述攝像部件2、2'的位置被棒狀固定臺(tái)5從面板下側(cè)支承，并被設(shè)置在其上表面的吸盤吸附、固定，使各工件W可靠地定位。接著，使各攝像部件2、2'與其基臺(tái)一同在線性驅(qū)動(dòng)部件(省略圖示)上沿X方向滑移，并由各攝像部件2、2'獨(dú)自地對(duì)預(yù)定的點(diǎn)進(jìn)行對(duì)焦(焦點(diǎn))，拍攝各檢查對(duì)象部位的放大圖像。另外，將拍攝到的圖像數(shù)據(jù)(微分干涉圖像)傳送到未圖示的信息處理部件，判斷拍攝到的檢查對(duì)象部位的芯片安裝狀態(tài)的好壞。另外，檢查對(duì)象部位并不僅限定為工件W的一邊。在檢查形成于工件W的另一個(gè)邊的安裝部位的情況下，解除上述棒狀固定臺(tái)5的吸附，將面板沿Z方向抬起一些，之后，利用移動(dòng)臺(tái)1的移動(dòng)和θ軸旋轉(zhuǎn)來安放新的檢查對(duì)象端部。另外，利用上述面板位置確認(rèn)部件識(shí)別工件W上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記等，微調(diào)至各移動(dòng)臺(tái)1、1'的XY方向位置和θ角度正確的位置， 之后，使移動(dòng)臺(tái)1、1'再次下降，將各工件W定位在新的檢查位置。然后，重復(fù)該操作，直到對(duì)檢查對(duì)象的各邊檢查完為止。若完成對(duì)工件W的全部檢查對(duì)象部位的判斷，則確定與該工件W相關(guān)的芯片安裝狀態(tài)的綜合判斷，并存儲(chǔ)在上述信息處理部件中。然后，各工件解除被棒狀固定臺(tái)5的吸附，返回到移動(dòng)臺(tái)1、1'的初始待機(jī)位置即Β、Β'位置，再次移載到輸送臂12上，并移送至作為工序的下游側(cè)(圖3中的右側(cè))的判斷待機(jī)位置(D位置)。之后，將被上述信息處理部件判斷為“良品(Good) ”的工件W保持原樣地交接到工序下游側(cè)的卸載機(jī)，進(jìn)而進(jìn)行后處理等加工。另外，將被上述信息處理部件判斷為“不良品 (NG) ”的工件W收納集中在設(shè)置于該基板檢查裝置的下游側(cè)的多段式不良品架(NG支架)13 上，進(jìn)行廢棄或再利用(圖3中的F位置)。利用上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)施方式的基板檢查裝置能夠抑制每個(gè)工件W各不相同的翹曲、應(yīng)變，并且，能夠每次都可靠地將工件的檢查對(duì)象端部安放在相同的位置(高度)。另夕卜，能夠防止上述各移動(dòng)臺(tái)1、1'的振動(dòng)傳遞到工件W，從而能夠提高安裝狀態(tài)檢查的再現(xiàn)性和精度。而且，在本實(shí)施方式的基板檢查裝置中，由于移動(dòng)臺(tái)1、Γ的移動(dòng)而產(chǎn)生的振動(dòng)被迅速地收斂，從安放工件W到進(jìn)入攝像作業(yè)的待機(jī)時(shí)間較短，而且，用上述檢查線的雙重化，能夠更高效地檢查基板。另外，在本實(shí)施方式的基板檢查裝置中，由于上述固定臺(tái)5形成為沿著攝像部件 2,2'的滑動(dòng)方向延伸的棒狀，因此能夠在整個(gè)寬度中一并支承工件W的檢查對(duì)象端部。并且，該棒狀的固定臺(tái)5無需更換上述移動(dòng)臺(tái)1、1'等就能夠容易地應(yīng)對(duì)各種尺寸的面板。另外，采用上述第2實(shí)施方式的基板檢查裝置，能夠利用棒狀固定臺(tái)5的吸附將以往在IC芯片的壓接下可看到200 μ m 400 μ m左右的IXD組件端部的翹曲降低至100 μ m 以下。在上述2個(gè)實(shí)施方式中，表示了在各檢查線中各設(shè)置1個(gè)攝像部件2(2')的例子，但該攝像部件2也可以在各檢查線中配設(shè)多個(gè)。在每個(gè)檢查線中(沿X方向)設(shè)置多個(gè)攝像部件2的情況下，優(yōu)選的是，使它們的配置間隔與安裝在上述工件W或面板基板10 上的芯片等的安裝間隔匹配。若使間隔同步，則能夠使這些攝像部件同時(shí)并行并同時(shí)拍攝多個(gè)部位，因此，能夠在更短時(shí)間內(nèi)完成檢查。另外，上述攝像部件2不僅可以沿X方向設(shè)置，也可以沿Y方向單獨(dú)設(shè)置或者沿Y 方向設(shè)置多個(gè)。利用該結(jié)構(gòu)，作為整體能夠在非常短的時(shí)間內(nèi)完成檢查。另外，理所當(dāng)然在上述沿Y方向設(shè)置的攝像部件2的附近也設(shè)有用于支承該工件W或面板基板10的檢查對(duì)象(Y方向)端部的固定臺(tái)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的基板檢查裝置適合對(duì)在液晶顯示(LCD)面板、等離子體顯示面板(PDP)、 有機(jī)EL顯示器等大型的透明玻璃基板上隔著各向異性導(dǎo)電膜(ACF)壓接有芯片狀的電子部件(IC、LSI等)、組件等的面板進(jìn)行檢查。附圖標(biāo)記說明1移動(dòng)臺(tái)；Ia上表面；2攝像部件；3線性驅(qū)動(dòng)部件；4固定臺(tái)；10面板基板。
10
權(quán)利要求
1.一種基板檢查裝置，其特征在于，包括移動(dòng)臺(tái)，其用于將透明的面板基板載置在該移動(dòng)臺(tái)的上表面而移動(dòng)至預(yù)定的檢查位置，并對(duì)該基板進(jìn)行定位，該面板基板在端部附近的多個(gè)位置隔著各向異性導(dǎo)電膜安裝有電子部件；攝像部件，其用于從檢查對(duì)象部位的安裝有電子部件的一面的背面?zhèn)韧高^上述基板拍攝安裝有該電子部件的該檢查對(duì)象部位，并獲取該部位的微分干涉圖像；線性驅(qū)動(dòng)部件，其用于使該攝像部件沿著定位在上述檢查位置的基板的各檢查對(duì)象部位滑移；以及信息處理部件，其用于根據(jù)由上述攝像部件得到的圖像數(shù)據(jù)來判斷拍攝到的檢查對(duì)象部位的安裝狀態(tài)的好壞；以包含上述檢查對(duì)象部位的至少一個(gè)基板端部向上述移動(dòng)臺(tái)的側(cè)方突出的狀態(tài)，將上述基板載置在上述移動(dòng)臺(tái)的上表面，在上述攝像部件的附近配設(shè)有固定臺(tái)，該固定臺(tái)用于從下側(cè)支承自上述移動(dòng)臺(tái)突出的基板端部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述固定臺(tái)形成為沿著上述攝像部件的滑動(dòng)方向延伸的棒狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板檢查裝置，其特征在于，上述固定臺(tái)包括用于吸附固定上述面板基板的吸附部件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查裝置。該基板檢查裝置能夠迅速且正確地判斷安裝在面板基板周緣部的電子部件的安裝狀態(tài)的好壞，也能夠容易地應(yīng)對(duì)面板的大型化。該基板檢查裝置包括移動(dòng)臺(tái)(1)，其使隔著各向異性導(dǎo)電膜安裝有電子部件的透明的面板基板(10)(工件W)移動(dòng)至預(yù)定的檢查位置并定位；攝像部件(2)，其從安裝有電子部件的面的背面?zhèn)韧高^上述基板(10)拍攝檢查對(duì)象部位；線性驅(qū)動(dòng)部件(3)，其用于使該攝像部件(2)沿著各檢查對(duì)象部位滑動(dòng)；信息處理部件，其用于判斷上述拍攝到的檢查對(duì)象部位的安裝狀態(tài)的好壞；以至少一個(gè)基板端部向側(cè)方突出的狀態(tài)，將基板(10)載置在上述移動(dòng)臺(tái)(1)的上表面(1a)，在上述攝像部件(2)的附近配設(shè)從下側(cè)支承自上述移動(dòng)臺(tái)(1)突出的基板(10)的端部的固定臺(tái)(4)。
文檔編號(hào)G01N21/84GK102472711SQ20108002658
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月15日
發(fā)明者張春生, 津田仁彥, 郭衛(wèi)紅 申請(qǐng)人:有限會(huì)社共同設(shè)計(jì)企畫