專利名稱：一種基板玻璃厚度在線測量儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測量儀，尤其是一種基板玻璃厚度在線測量儀。
背景技術(shù)：
目前，TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃是新一代各種液晶平板顯示器件(面板)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，此關(guān)鍵基礎(chǔ)材料過去一直由國外幾家大型玻璃廠商壟斷技術(shù)和市場，并對中國施行技術(shù)封鎖。近一兩年，國內(nèi)相關(guān)廠家通過自主研發(fā)創(chuàng)新，打破國外的技術(shù)封鎖，在基板玻璃的生產(chǎn)工藝、設(shè)備配套等方面開始形成自主的產(chǎn)業(yè)鏈條，使TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃有了自主的民族產(chǎn)業(yè)。由于基板玻璃是國內(nèi)的新興產(chǎn)業(yè)，所有配套的設(shè)備多數(shù)是按照此行業(yè)的國內(nèi)自主工藝技術(shù)的特殊性而有針對性研制開發(fā)的。TFT-LCD基板玻璃生產(chǎn)線厚度在線測量儀就是這樣一類新研制開發(fā)的設(shè)備。是根據(jù)國內(nèi)自主工藝技術(shù)特點(diǎn)，適應(yīng)國內(nèi)自主生產(chǎn)工藝，在設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成、工作方式均有自己的原創(chuàng)性。據(jù)資料查證，TFT-IXD基板玻璃生產(chǎn)線厚度在線測量，在國外只有美國康寧和日本的西山不銹株式會(huì)社有相關(guān)設(shè)備的資料記錄，但這兩家公司設(shè)備的工作方式和檢測原理均與本設(shè)備產(chǎn)品有所不同。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了克服一般激光測量探頭的使用受到其檢測原理的限制， 在使用方式、安裝方式、被測目標(biāo)的位置都受到局限，提供一種基板玻璃厚度在線測量儀， 確保激光三角測量方式在基板玻璃在線測量的實(shí)現(xiàn)、并能達(dá)到μ m級的檢測精度，從而滿足對產(chǎn)品的表面質(zhì)量、光學(xué)特性、厚度公差、平整度、應(yīng)力指標(biāo)的要求；同時(shí)對MCV連續(xù)輸送線上的每一片基板玻璃進(jìn)行在線厚度測量，并將測量數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)實(shí)時(shí)發(fā)送至前工程成型控制工段，以幫助成型工段的成型質(zhì)量控制，及時(shí)調(diào)整各相關(guān)控制參數(shù)穩(wěn)定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下的技術(shù)方案一種基板玻璃厚度在線測量儀，是由測厚儀框架，測厚儀主控制柜，顯示器，工控機(jī)主機(jī)，鍵盤鼠標(biāo)，狀態(tài)指示燈，操作按鈕，MCV運(yùn)載小車，被測基板玻璃，基板穩(wěn)定夾持裝置，激光測量裝置，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置，測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳，BOD工段MCV輸送線構(gòu)成；測厚儀框架一側(cè)設(shè)置測厚儀主控制柜，測厚儀主控制柜上部設(shè)置顯示器，顯示器上方設(shè)置狀態(tài)指示燈，顯示器兩側(cè)設(shè)置操作按鈕，顯示器下方設(shè)置工控機(jī)主機(jī)，工控機(jī)主機(jī)下方設(shè)置鍵盤鼠標(biāo)；測厚儀框架后上方設(shè)置BOD工段MCV輸送線，BOD工段MCV輸送線頂部的一側(cè)設(shè)置MCV 運(yùn)載小車，MCV運(yùn)載小車下端豎向設(shè)置被測基板玻璃，被測基板玻璃下端的一側(cè)設(shè)置基板穩(wěn)定夾持裝置在測厚儀框架的后部，基板穩(wěn)定夾持裝置內(nèi)側(cè)設(shè)置激光測量裝置，激光測量裝置內(nèi)側(cè)設(shè)置激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置下端設(shè)置激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置；測厚儀框架底部設(shè)置測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳。[0007]本實(shí)用新型的工作原理是一種基板玻璃厚度在線測量儀安裝在TFT-LCD基板玻璃生產(chǎn)線的BOD工段，具體位于MCV輸送線的基板玻璃重量檢測工位與VGC縱切機(jī)之間。厚度檢測工位與MCV輸送線平行，測厚儀基價(jià)機(jī)家架、主控制機(jī)柜與被測玻璃基板平行放置。當(dāng)玻璃基板重量檢測完成輸送至厚度檢測工位，測厚儀與MCV輸送控制系統(tǒng)連鎖控制，使玻璃基板準(zhǔn)確停車定位在厚度測量工位并發(fā)出定位完成信號至測厚儀控制柜，測厚儀在接到測量準(zhǔn)備就緒信號后啟動(dòng)玻璃穩(wěn)定夾持機(jī)構(gòu)對玻璃基板的非品質(zhì)區(qū)進(jìn)行夾持穩(wěn)定。根據(jù)玻璃基板的成型質(zhì)量好壞(翹曲平整度)可選擇點(diǎn)接觸夾持機(jī)構(gòu)和面接觸夾持機(jī)構(gòu)，即最大限度的減少與玻璃基板的接觸面積，又可滿足激光探頭要求的檢測范圍指標(biāo)， 提高檢測的可靠性和檢測精度。當(dāng)玻璃基板在測厚工位被夾持機(jī)構(gòu)穩(wěn)定定位后，測厚儀控制系統(tǒng)控制激光探頭的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)激光探頭沿被測玻璃基板的品質(zhì)區(qū)一水平方向掃描運(yùn)動(dòng)，同時(shí)計(jì)算機(jī)控制激光探頭打開檢測激光并以設(shè)定的間距采集厚度測量信號送至計(jì)算機(jī)分析處理，激光探頭沿設(shè)定距離掃描檢測結(jié)束后，夾持機(jī)構(gòu)打開被測玻璃基板同時(shí)向MCV控制系統(tǒng)發(fā)出信號將玻璃基板送出厚度檢測工位結(jié)束厚度檢測。采集的厚度測量信號送至計(jì)算機(jī)后，計(jì)算機(jī)程序以設(shè)定的采集間距采集測量信號號，并對采集數(shù)據(jù)分析排序，確定正常數(shù)據(jù)和非正常數(shù)據(jù)形成一組被測玻璃厚度數(shù)值，并將此組數(shù)據(jù)按檢測時(shí)間、檢測位置、實(shí)際測量數(shù)據(jù)的等分項(xiàng)存入本地?cái)?shù)據(jù)庫。每次測量的一組實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)還以不同的形式顯示在計(jì)算機(jī)界面上，可以數(shù)據(jù)表格、數(shù)據(jù)柱狀圖、數(shù)據(jù)變化趨勢曲線圖、二維顏色數(shù)據(jù)變化趨勢圖等方式表示。并對異常檢測數(shù)據(jù)以不同的顏色報(bào)警顯示。 同時(shí)通過工廠MIS系統(tǒng)將每組被測玻璃厚度數(shù)值實(shí)時(shí)送至前工程的成型控制工藝段，以供工藝數(shù)據(jù)的調(diào)整。在本地?cái)?shù)據(jù)庫中的所有檢測數(shù)據(jù)都可以以歷史數(shù)據(jù)的形式進(jìn)行查詢調(diào)閱，并可以實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)相同的形式在計(jì)算機(jī)界面上進(jìn)行歷史數(shù)據(jù)的顯示，以供生產(chǎn)部門查詢生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù)。本實(shí)用新型的有益效果是“TFT_LCD基板玻璃厚度在線測量儀”由測厚儀機(jī)架和控制柜兩部分組成，測厚儀機(jī)架和控制柜均沿BOD工段MCV輸送線放置安裝，測厚儀與MCV 小車聯(lián)鎖控制，實(shí)現(xiàn)每一片基板玻璃的定位測量功能。針對TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)特點(diǎn)和品質(zhì)要求首次采用激光測量傳感器進(jìn)行基板玻璃在線厚度測量并達(dá)到μm級檢測精度。針對TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)特點(diǎn)，開發(fā)設(shè)計(jì)了基板玻璃夾持穩(wěn)定機(jī)構(gòu)，以保證激光測量傳感器在測量時(shí)的檢測穩(wěn)定性和檢測精度。針對TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)特點(diǎn)，開發(fā)設(shè)計(jì)了測量傳感器的安裝調(diào)整機(jī)構(gòu)、掃描運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，使激光測量傳感器能夠在線穩(wěn)定可靠運(yùn)行并達(dá)到可靠的檢測精度。根據(jù)TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)工藝需求，開發(fā)設(shè)計(jì)了全套控制程序軟件，快速準(zhǔn)確的為生產(chǎn)工藝提供可靠的檢測數(shù)據(jù)。本實(shí)用新型應(yīng)用于FPD顯示器中TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃生產(chǎn)線在線厚度測量。是目前占據(jù)技術(shù)、市場主導(dǎo)地位的FPD平板電視、平板電腦顯示器、各種液晶顯示器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料領(lǐng)域。
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明[0017]

圖1是本實(shí)用新型的正視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖1、2中測厚儀框架1，測厚儀主控制柜2，顯示器3，工控機(jī)主機(jī)4，鍵盤鼠標(biāo)5， 狀態(tài)指示燈6，操作按鈕7，MCV運(yùn)載小車8，被測基板玻璃9，基板穩(wěn)定夾持裝置10，激光測量裝置11，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置12，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置13，測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳14， BOD工段MCV輸送線15。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明如圖所示，測厚儀框架1 一側(cè)設(shè)置測厚儀主控制柜2，測厚儀主控制柜2上部設(shè)置顯示器3，顯示器3上方設(shè)置狀態(tài)指示燈6，顯示器3兩側(cè)設(shè)置操作按鈕7，顯示器3下方設(shè)置工控機(jī)主機(jī)4，工控機(jī)主機(jī)4下方設(shè)置鍵盤鼠標(biāo)5 ；測厚儀框架1后上方設(shè)置BOD工段MCV 輸送線15，B0D工段MCV輸送線15頂部的一側(cè)設(shè)置MCV運(yùn)載小車8，MCV運(yùn)載小車8下端豎向設(shè)置被測基板玻璃9，被測基板玻璃9下端的一側(cè)設(shè)置基板穩(wěn)定夾持裝置10在測厚儀框架1的后部，基板穩(wěn)定夾持裝置10內(nèi)側(cè)設(shè)置激光測量裝置11，激光測量裝置11內(nèi)側(cè)設(shè)置激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置12，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置12下端設(shè)置激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置13 ；測厚儀框架1底部設(shè)置測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳14。
權(quán)利要求1.一種基板玻璃厚度在線測量儀，是由測厚儀框架(1)，測厚儀主控制柜O)，顯示器(3)，工控機(jī)主機(jī)(4)，鍵盤鼠標(biāo)(5)，狀態(tài)指示燈(6)，操作按鈕(7)，MCV運(yùn)載小車(8)， 被測基板玻璃(9)，基板穩(wěn)定夾持裝置(10)，激光測量裝置(11)，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置 (12)，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置(13)，測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳(14) ,BODIgMCV輸送線(15)構(gòu)成，其特征在于測厚儀框架(1) 一側(cè)設(shè)置測厚儀主控制柜O)，測厚儀主控制柜( 上部設(shè)置顯示器(3)，顯示器C3)上方設(shè)置狀態(tài)指示燈(6)，顯示器C3)兩側(cè)設(shè)置操作按鈕(7)， 顯示器C3)下方設(shè)置工控機(jī)主機(jī)G)，工控機(jī)主機(jī)(4)下方設(shè)置鍵盤鼠標(biāo)(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板玻璃厚度在線測量儀，其特征在于測厚儀框架(1) 后上方設(shè)置BOD工段MCV輸送線(12)，BOD工段MCV輸送線(1 頂部的一側(cè)設(shè)置MCV運(yùn)載小車(8)，MCV運(yùn)載小車(8)下端豎向設(shè)置被測基板玻璃(9)，被測基板玻璃(9)下端的一側(cè)設(shè)置基板穩(wěn)定夾持裝置(10)在測厚儀框架(1)的后部，基板穩(wěn)定夾持裝置(10)內(nèi)側(cè)設(shè)置激光測量裝置(11)，激光測量裝置(11)內(nèi)側(cè)設(shè)置激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置(12)，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置(1 下端設(shè)置激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置(12) ；測厚儀框架(1)底部設(shè)置測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳(14)。
專利摘要一種基板玻璃厚度在線測量儀，確保激光測量方式在基板玻璃在線測量的實(shí)現(xiàn)、并能達(dá)到μm級的檢測精度，從而滿足對產(chǎn)品的表面質(zhì)量、光學(xué)特性、厚度公差、平整度、應(yīng)力指標(biāo)的要求；同時(shí)對MCV連續(xù)輸送線上的每一片基板玻璃進(jìn)行在線厚度測量，并將測量數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)實(shí)時(shí)發(fā)送至前工程成型控制工段，及時(shí)調(diào)整各相關(guān)控制參數(shù)穩(wěn)定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。它是由測厚儀框架，測厚儀主控制柜，顯示器，工控機(jī)主機(jī)，鍵盤鼠標(biāo)，狀態(tài)指示燈，操作按鈕，MCV運(yùn)載小車，被測基板玻璃，基板穩(wěn)定夾持裝置，激光測量裝置，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置，測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳，BOD工段MCV輸送線構(gòu)成。
文檔編號G01B11/06GK201955067SQ20102067343
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月22日
發(fā)明者李健鵬, 談軍, 趙小力 申請人:洛陽同邦自動(dòng)化設(shè)備有限公司