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自動(dòng)帶檢設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):5898703閱讀:320來源:國知局
專利名稱:自動(dòng)帶檢設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型是有關(guān)于一種用以檢視芯片的自動(dòng)帶檢設(shè)備。
背景技術(shù)
芯片除了可排列為晶圓的圓片狀形式之外,亦可設(shè)置于一長條撓性帶上而為帶狀 形式(如圖1所示),且該長條撓性帶可卷收為卷帶以利運(yùn)送及儲(chǔ)存。另外,芯片上由封帶 貼封,封帶上可印制有關(guān)芯片的數(shù)據(jù)等。芯片的檢視一般包含芯片本身的質(zhì)量檢視及封裝 于芯片上的封帶的質(zhì)量的檢視。為了清楚檢視,通常是利用光源照射的,然后通過具有放大 倍率的鏡頭檢視之。且由于芯片被封帶所覆蓋,因此若欲檢視芯片時(shí),所須的放大倍率較檢 視封帶的放大倍率為高。而目前市面上的芯片帶檢設(shè)備為單一站式,由人工方式交替不同 倍率的鏡頭從而檢視芯片上的封帶及芯片本身。另外,取決于不同寬度的長條撓性帶及不 同尺寸的芯片,也必須以人工方式調(diào)整光源、鏡頭的適當(dāng)位置。人工調(diào)整的速度顯然有所限 制,無法提升至令人滿意的檢視產(chǎn)出速度。又,于該卷帶的大多數(shù)芯片已經(jīng)依序被檢視的情況中,在較后端的長條撓性帶有 可能因?yàn)榫韼е亓坷?,而造成在檢視位置的長條撓性帶不能保持平坦的情況。如此則無 法確實(shí)檢視芯片及/或封帶的質(zhì)量,造成良率下降。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)需要手動(dòng)更換不同倍率的鏡頭的一站式檢視設(shè)備的缺點(diǎn),本實(shí)用新型提出一 種自動(dòng)帶檢設(shè)備,其為二站式檢視設(shè)備。根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的自動(dòng)帶檢設(shè)備包含一芯片傳送機(jī)構(gòu),具有二個(gè)對(duì)稱 設(shè)置的傳動(dòng)構(gòu)件,該二個(gè)傳動(dòng)構(gòu)件經(jīng)建構(gòu)而傳動(dòng)該長條撓性帶通過一傳送路徑;一檢視機(jī) 構(gòu),設(shè)置于該傳送路徑之中,而檢視通過該傳送路徑的該長條撓性帶上的該多個(gè)芯片以及 該封帶,其中該檢視機(jī)構(gòu)包含二鏡頭及一光源,該二鏡頭分別具有不同光學(xué)倍率以分別檢 視通過該傳送路徑中的該長條撓性帶上的該多個(gè)芯片以及該封帶;一定位機(jī)構(gòu),設(shè)置于該 檢視機(jī)構(gòu)的下方,將位在該傳送路徑中的該長條撓性帶導(dǎo)引定位至適當(dāng)位置,以使該檢視 機(jī)構(gòu)檢視該長條撓性帶上的該多個(gè)芯片以及該封帶。本實(shí)用新型的有益效果是其可根據(jù)芯片及長條撓性帶的尺寸可自動(dòng)將待檢測(cè)的 芯片準(zhǔn)確定位于鏡頭之下。另外,該自動(dòng)帶檢設(shè)備具有張力控制機(jī)構(gòu),可將待檢測(cè)的位置的 長條撓性帶保持平坦,提升檢視質(zhì)量,減少誤判率。

為進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)內(nèi)容及其特征,配合附圖及實(shí)施例詳細(xì)說明如 后,其中圖1為多個(gè)芯片排列于一長條撓性帶上的示意圖。圖2為根據(jù)本實(shí)用新型的自動(dòng)帶檢設(shè)備的一實(shí)施例的立體圖。[0010]圖3為根據(jù)本實(shí)用新型的自動(dòng)帶檢設(shè)備的一實(shí)施例的方塊圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參照?qǐng)D2及圖3,其分別為根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的自動(dòng)帶檢設(shè)備的立體 圖及方塊圖。自動(dòng)帶檢設(shè)備包含一芯片傳送機(jī)構(gòu)201,為二對(duì)稱設(shè)置的芯片傳動(dòng)構(gòu)件201, 連接設(shè)置于一工作機(jī)臺(tái)202,使該長條撓性帶通過該芯片傳動(dòng)構(gòu)件201之間的傳送路徑以 供檢視;一檢視機(jī)構(gòu)203,設(shè)置于該傳送路徑之中,并連接設(shè)置于該工作機(jī)臺(tái)202,用以依序 檢視通過該傳送路徑中的該長條撓性帶上的該多個(gè)芯片以及該封帶,其中該檢視機(jī)構(gòu)203 包含二鏡頭203a、203b及一光源,其中該二鏡頭203a、203b分別具有不同光學(xué)倍率以分別 檢視通過該傳送路徑中的該長條撓性帶上的該多個(gè)芯片以及該封帶;一定位機(jī)構(gòu)204,設(shè) 置于該檢視機(jī)構(gòu)的下方,導(dǎo)引該長條撓性帶至該傳送路徑中的適當(dāng)位置,以由該檢視機(jī)構(gòu) 檢視該長條撓性帶上的該多個(gè)芯片以及該封帶。卷帶狀的芯片掛置于該芯片傳動(dòng)構(gòu)件201之前,該自動(dòng)帶檢設(shè)備可先讀取該卷帶 的條形碼,從而得知該卷帶中的芯片尺寸等基本信息,并自動(dòng)將芯片傳動(dòng)構(gòu)件201及檢視 機(jī)構(gòu)203等機(jī)構(gòu)調(diào)整為相應(yīng)于尺寸的適當(dāng)位置,亦調(diào)整所使用的光源位置、照射角度、亮度 等,以能確實(shí)檢視芯片。詳細(xì)而言,于本實(shí)用新型的應(yīng)用中,該光源為多個(gè)白光發(fā)光二極管 組成的復(fù)合式光源,使該光源具有低角度環(huán)形光及擴(kuò)散無影光的特性,以消除照明死角及 消除白光發(fā)光二極管產(chǎn)生的眩光、光影。如此則能消除封帶上的反光與皺折,使檢測(cè)結(jié)果不 受影響。光源的照射角度可于士 15度的范圍內(nèi)作相應(yīng)調(diào)整。此外,該光源的亮度是根據(jù)該 自動(dòng)帶檢設(shè)備的輸入電流而調(diào)整強(qiáng)弱,輸入電流越大則發(fā)光二極管的亮度越強(qiáng),且對(duì)應(yīng)的 輸入電流范圍在0安培至0. 85安培之間。另外,該定位機(jī)構(gòu)204亦可被使用者快速調(diào)整為 相應(yīng)于該長條撓性帶帶寬的位置,以將該長條撓性帶導(dǎo)引至該傳送路徑中的適當(dāng)位置。卷 帶狀的長條撓性帶藉由兩邊對(duì)稱設(shè)置的芯片傳動(dòng)構(gòu)件201而在檢視機(jī)構(gòu)203下方的檢視位 置被拉成平坦?fàn)?。若無法以平坦?fàn)顟B(tài)檢視該芯片及該封帶,則有誤判的可能。在此實(shí)施例 中,二芯片傳動(dòng)構(gòu)件201為二對(duì)稱設(shè)置的傳動(dòng)輪,且該二傳動(dòng)輪是以相同方向旋轉(zhuǎn),以推進(jìn) 該長條撓性帶。鏡頭203a、203b其中具有較低光學(xué)倍率者是用以檢視封帶的質(zhì)量,例如檢 視封帶是否有破損、皺折、移位、長條撓性帶中是否有多料或是少料現(xiàn)象等。鏡頭203a、203b 其中具有較大光學(xué)倍率者是用以檢視芯片的質(zhì)量,例如檢視芯片的排列方向、是否有裂痕、 印字方向是否正確、是否有污損等。檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)不同的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定而有所不同。此外,可將一電荷耦合裝置(Charge Coupled Device, CCD)相機(jī)205及一數(shù)據(jù)庫 2051 (顯示于圖3)設(shè)置連接于該檢視機(jī)構(gòu)203,對(duì)每一個(gè)待檢測(cè)物拍照。當(dāng)檢視出不符標(biāo) 準(zhǔn)的的各種異常品(無論是芯片的異常或是封帶的異常)時(shí),可將該異常品的影像儲(chǔ)存于 該數(shù)據(jù)庫中,而可供存取分析。更進(jìn)一步,可將一異常處理機(jī)構(gòu)連接設(shè)置于該自動(dòng)帶檢設(shè)備,當(dāng)出現(xiàn)異常品時(shí),用 以修復(fù)該異常品。當(dāng)出現(xiàn)芯片異常品時(shí),需要將該芯片異常品的位置的長條撓性帶彎曲成 為U字型,以使芯片異常品位置的封帶與長條撓性帶可輕易分離,從而能以正常芯片替換 芯片異常品,然后重新貼合該封帶。為了使位于檢視位置的該芯片保持平坦或是使異常品 的位置成U字型,必須適當(dāng)控制長條撓性帶的兩端張力,因此將一張力控制機(jī)構(gòu)2011 (顯示 于圖3)設(shè)置于該芯片傳送機(jī)構(gòu)201以達(dá)上述目的。[0015]根據(jù)本實(shí)用新型的自動(dòng)帶檢設(shè)備可另包含一主機(jī)206,連接于該自動(dòng)帶檢設(shè)備的 工作機(jī)臺(tái)202,于該主機(jī)206中儲(chǔ)存一程序。該程序根據(jù)各種參數(shù)(例如芯片的尺寸以及 長條撓性帶的寬度)而控制該芯片傳送機(jī)構(gòu)201、該檢視機(jī)構(gòu)203及該定位機(jī)構(gòu)204的位 置及操作,使各種硬設(shè)備自動(dòng)調(diào)校至最合適的位置,提升檢測(cè)芯片的前置準(zhǔn)備速度。該主機(jī) 206中可包含一聯(lián)機(jī)機(jī)構(gòu)2061 (顯示于圖3),使該自動(dòng)帶檢設(shè)備聯(lián)機(jī)至因特網(wǎng)或是內(nèi)部網(wǎng) 絡(luò),供在線查詢檢測(cè)結(jié)果、將在線分析檢測(cè)結(jié)果或是儲(chǔ)存檢測(cè)結(jié)果等。根據(jù)本實(shí)用新型的自動(dòng)帶檢設(shè)備可還包含一顯示機(jī)構(gòu)207,其連接設(shè)置于該自動(dòng) 帶檢設(shè)備的工作機(jī)臺(tái)202,用以顯示每一芯片及該封帶的影像。為了減少檢視錯(cuò)誤機(jī)率及清潔該芯片,可再設(shè)置一噴嘴,連接設(shè)置于該自動(dòng)帶檢 設(shè)備,于開始檢視該芯片之前清除該長條撓性帶及該封帶上的雜質(zhì)。上述的實(shí)施例可相互組合使用,例如,該數(shù)據(jù)庫中可儲(chǔ)存異常品影像、異常品的異 常分析、異常品的統(tǒng)計(jì)結(jié)果、良率分析等。亦可通過該聯(lián)機(jī)機(jī)構(gòu)將各數(shù)據(jù)寄出。又,該顯示 機(jī)構(gòu)207可顯示數(shù)據(jù)庫中的各數(shù)據(jù)及分析結(jié)果。根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的自動(dòng)帶檢設(shè)備所能檢視的芯片的例示性尺寸范圍在 0. 5mmX0. 5mm至IOmmX IOmm之間,而該長條撓性帶的寬度范圍在8mm至32mm之間,上述檢 測(cè)范圍可完成市面上大部分的芯片檢測(cè)。當(dāng)然,上述范圍并不限于此。因此,不需要對(duì)不同 尺寸的芯片或是長條撓性帶準(zhǔn)備不同尺寸的設(shè)備,只要一臺(tái)自動(dòng)帶檢設(shè)備即可完成合乎上 述范圍的芯片及封帶的檢視。
權(quán)利要求1.一種自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,該自動(dòng)帶檢設(shè)備包含一芯片傳送機(jī)構(gòu),具有二個(gè)對(duì)稱設(shè)置的傳動(dòng)構(gòu)件,該二傳動(dòng)構(gòu)件之間形成一傳送路徑;一檢視機(jī)構(gòu),設(shè)置于該傳送路徑之中,其中該檢視機(jī)構(gòu)包含二鏡頭及一光源,該二鏡頭 分別具有不同光學(xué)倍率;及一定位機(jī)構(gòu),設(shè)置于該檢視機(jī)構(gòu)的下方。
2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,還包含一異常處理機(jī)構(gòu),連接設(shè) 置于該自動(dòng)帶檢設(shè)備。
3.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,其中該傳動(dòng)構(gòu)件為傳動(dòng)輪,該傳送 機(jī)構(gòu)包含一張力控制機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,還包含一噴嘴,連接設(shè)置于該自 動(dòng)帶檢設(shè)備。
5.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,其中該檢視機(jī)構(gòu)包含一電荷耦合 裝置相機(jī),電連接于該檢視機(jī)構(gòu),及該電荷耦合裝置相機(jī)包含一數(shù)據(jù)庫。
6.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,其中該芯片的尺寸范圍在 0. 5mmX0. 5mm至IOmmX IOmm之間,其上設(shè)置該芯片的一長條撓性帶的寬度范圍在8mm至 32mm之間。
7.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,還包含一主機(jī),連接于該自動(dòng)帶 檢設(shè)備的一工作機(jī)臺(tái);及一聯(lián)機(jī)機(jī)構(gòu),設(shè)于該主機(jī)中。
8.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,還包含一顯示機(jī)構(gòu),連接設(shè)置于 該自動(dòng)帶檢設(shè)備的一工作機(jī)臺(tái)。
9.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)帶檢設(shè)備,其特征在于,其中該光源為多個(gè)白光發(fā)光二極 管組成的復(fù)合式光源,且對(duì)應(yīng)的輸入電流范圍在O安培至0. 85安培之間,且該光源的照射 角度范圍介于士 15度之間。
專利摘要一種自動(dòng)帶檢設(shè)備,包含一芯片傳送機(jī)構(gòu),具有二個(gè)對(duì)稱設(shè)置的傳動(dòng)構(gòu)件,形成一傳送路徑;一檢視機(jī)構(gòu),設(shè)置于該傳送路徑之中,其中該檢視機(jī)構(gòu)包含二鏡頭及一光源,該二鏡頭分別具有不同光學(xué)倍率;及一定位機(jī)構(gòu),設(shè)置于該檢視機(jī)構(gòu)的下方。該自動(dòng)帶檢設(shè)備用以檢視多個(gè)芯片,該多個(gè)芯片設(shè)置于一長條撓性帶,且每個(gè)芯片由一封帶所貼封該自動(dòng)帶檢設(shè)備使用具有不同光學(xué)倍率的鏡頭分別檢視芯片及封帶的質(zhì)量。且可根據(jù)芯片及長條撓性帶的尺寸可自動(dòng)將待檢測(cè)的芯片準(zhǔn)確定位于鏡頭之下。另外,該自動(dòng)帶檢設(shè)備具有張力控制機(jī)構(gòu),可將待檢測(cè)的位置的長條撓性帶保持平坦,提升檢視質(zhì)量,減少誤判率。
文檔編號(hào)G01N21/89GK201788158SQ20102053463
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月16日
發(fā)明者徐立橙, 李啓銘, 江雋杰 申請(qǐng)人:帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司
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