專利名稱：老化測試箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導體制造及機械加工領(lǐng)域，特別涉及一種老化測試箱。
背景技術(shù)：
集成電路(IC)芯片在制造之后必須進行測試，該測試通常是在提高的溫度下進 行的老化測試。老化測試可以加速芯片的老化，能夠在制造工藝中，早識別和放棄有缺陷的
-H-· I I心片。國家老化標準中規(guī)定，老化測試的目的是驗證承受規(guī)定條件的器件在整個工作時 間內(nèi)的質(zhì)量或可靠性。其是在額定工作條件下進行的壽命試驗，試驗時間應(yīng)足夠長，以保證 其結(jié)果不具有早期失效或“初期失效”的特征，在整個壽命試驗期間還應(yīng)進行定期觀察，以 監(jiān)視失效率是否隨時間有顯著變化。為了在短時間內(nèi)或以較小的應(yīng)力來獲得正確結(jié)果，以 確保器件以后能用于高可靠場合，必須用加速試驗條件或足夠大的樣本來提供相應(yīng)的失效 概率。該試驗條件包括電輸入、負載和偏置以及相應(yīng)的最高工作溫度或試驗溫度等。另外，在老化標準中還規(guī)定，器件無論功率大小，應(yīng)都能以最高額定工作溫度進行 老化或壽命試驗。且對于集成電路，規(guī)定的試驗溫度應(yīng)是使試驗箱中的所有器件都穩(wěn)定達 到的實際最低環(huán)境溫度或外殼溫度。這對試驗箱的結(jié)構(gòu)、負載、控制儀或監(jiān)視儀的位置和氣 流等的設(shè)置和調(diào)整均提出了嚴格的要求。早期的老化測試通常有兩種方案，一種是分開進行，即在加溫老化一定時間后，取 出老化的器件進行測試，然后再放回老化試驗箱內(nèi)繼續(xù)老化；另一種則是間斷進行，即通常 是在不加電狀態(tài)下的器件老化，僅每隔一段時間對器件進行一次加電測試。這兩種老化測 試方案下，器件在加電測試狀態(tài)下產(chǎn)生熱的多少對老化測試結(jié)果并無太大影響。以前的集成電路芯片集成度較小、功率較低，集成電路中不同器件的外殼溫度或 結(jié)溫相差不大，只需對老化測試箱進行統(tǒng)一的溫度控制，就基本能滿足老化的溫度要求。然而，隨著集成電路芯片的高速發(fā)展，集成電路芯片的復雜度進一步提高，出現(xiàn)了 各種高集成度、高速或大功率集成電路。對器件的老化測試也提出了更高的要求，提出了在 加溫老化的同時不間斷地監(jiān)測集成電路芯片(或器件)電特性的老化測試方案。圖1為現(xiàn)有的老化測試系統(tǒng)示意圖，如圖1所示，其主要由老化測試箱100、測試和 控制電路101組成。老化測試箱100內(nèi)設(shè)置有老化測試區(qū)、加熱器和溫度傳感器，其中，老化 測試區(qū)設(shè)置有多個將待老化測試器件與外部的測試電路相連的測試底座，利用溫度傳感器 檢測老化測試箱內(nèi)的溫度送至老化測試箱外的控制電路，由控制電路比較該檢測溫度與設(shè) 置溫度的大小，如果檢測溫度小于設(shè)置溫度，則控制加熱器啟動以對老化測試箱進行加熱， 反之，則關(guān)閉加熱器。該老化測試過程中對各器件進行了長時間加電測試，這會令各器件，尤其是大功 率器件產(chǎn)生大量的熱，使得各器件不可能在試驗箱內(nèi)長時間保持在規(guī)定的工作溫度之下 (或設(shè)定的老化測試箱溫度之下)，老化測試結(jié)果將出現(xiàn)偏差。此外，因不同功率的器件在測試期間產(chǎn)生的熱量相差較多，在老化測試過程中，在
3同一老化測試系統(tǒng)中進行老化測試的各器件(及其周邊部分)的溫度值將與統(tǒng)一設(shè)定的老 化試驗箱溫度值之間出現(xiàn)不同的差異。無法對同一老化測試系統(tǒng)內(nèi)各器件老化的溫度實現(xiàn) 統(tǒng)一調(diào)節(jié)，也就難以在同一老化測試系統(tǒng)中對多個器件進行同時老化。為此，有必要對現(xiàn)有的統(tǒng)一進行溫度控制的老化測試箱進行改進。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種老化測試箱，解決了現(xiàn)有老化測試箱中，老化測試結(jié)果易出 現(xiàn)偏差，且無法同時對不同器件進行老化測試的問題。為達到上述目的，本實用新型提供的一種老化測試箱，包括設(shè)置于所述老化測試 箱的測試板上的多個老化測試插座，第一溫度傳感器以及加熱器，所述第一溫度傳感器檢 測所述老化測試箱內(nèi)的溫度，得到第一溫度值，所述加熱器根據(jù)所述第一溫度值與老化測 試箱的溫度設(shè)定值啟動或關(guān)閉，其中，所述老化測試箱內(nèi)至少設(shè)置有一個具有交換器的蓋 板，所述蓋板與待老化測試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器檢測待 老化測試器件的溫度，得到待老化測試器件的實際溫度值，根據(jù)待老化測試器件的實際溫 度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值對待老化測試器件進行單獨的熱交換處理。其中，根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值對待老 化測試器件進行單獨的熱交換處理，包括步驟所述交換器根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值 啟動或關(guān)閉。其中，根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值對待老 化測試器件進行單獨的熱交換處理，還包括所述蓋板還包括位于所述交換器與所述第二溫度傳感器之間的半導體制冷片，所 述半導體制冷片根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值確定 通電狀態(tài)。其中，所述交換器一直處于工作狀態(tài)，或僅在所述半導體制冷片進入通電狀態(tài)時工作。其中，所述蓋板與待老化測試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器，包括每個待老化測試器件對應(yīng)有一個單獨的蓋板，且二者之間設(shè)置有第二溫度傳感
ο其中，所述蓋板與待老化測試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器，包括每個蓋板與單個待老化測試器件相對應(yīng)，且二者之間設(shè)置有第二溫度傳感器；或每個蓋板與同一類待老化測試器件的多個相對應(yīng)，且所述蓋板與所述同一類待老 化測試器件中的一個之間設(shè)置有第二溫度傳感器。其中，所述蓋板具有凹槽以容納所述第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器與所 述蓋板之間由隔熱材料隔開，當所述蓋板閉合于所述老化測試插座上時，所述第二溫度傳 感器與待老化測試器件相接觸。其中，所述蓋板的邊緣至少設(shè)置有一個第一鎖勾，所述老化箱測試板在對應(yīng)所述 第一鎖勾的位置處設(shè)置有與所述第一鎖勾相配的第二鎖勾。其是所述老化測試插座附近的老化測試箱測試板上設(shè)置有固定臂架與固定臂，用于與所述第一鎖勾和第二鎖勾一起將所述蓋板固定于所述老化測試插座上。其中，所述交換器設(shè)置有各種形狀的管道。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點本實用新型的老化測試箱，可針對各待老化測試器件提供單獨的熱交換器及溫度 傳感器，根據(jù)各待老化測試器件的實際溫度對其老化測試溫度進行單獨的調(diào)節(jié)，提高了老 化測試結(jié)果的準確性，實現(xiàn)了多種不同器件的同時老化測試。本實用新型的老化測試箱，還可以根據(jù)用戶需要提供靈活的安裝方式，既充分滿 足了用戶需要，又最大限度地節(jié)約了成本。

圖1為現(xiàn)有的老化測試系統(tǒng)示意圖；圖2為說明本實用新型第一實施例中的老化測試箱的整體示意圖；圖3為圖2中的老化測試箱中的測試板之一的布局示意圖；圖4為圖3中的帶蓋板的老化測試插座的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖3中的帶蓋板的老化測試插座的安裝分解示意圖；圖6為說明本實用新型第一實施例中交換器冷卻原理的示意圖；圖7為說明本實用新型第一實施例的老化測試系統(tǒng)的溫度控制的示意圖；圖8為本實用新型另一實施例所示的老化測試箱中的測試板之一的布局示意圖；圖9為本實用新型又另一實施例所示的老化測試箱中的測試板之一的布局示意 圖；圖10為說明本實用新型第二實施例中的帶蓋板的老化測試插座的整體結(jié)構(gòu)示意 圖；圖11為圖10中的帶蓋板的老化測試插座的安裝分解示意圖。附圖標記200 老化測試箱；300測試板；310老化測試插座；[0044]312 待老化測試器件；320蓋板；321 交換器；[0045]322 冷卻管；324凹槽;325A-Ap — 弟—二溫度傳感器[0046]326 凹槽蓋；327螺釘；[0047]330 固定裝置；331第一鎖勾；332A-Ap — 弟—二鎖勾；[0048]335 固定臂架；336固定臂；[0049]401 散熱器；402循環(huán)泵電機；501掘官機；[0050]701 測試和控制電路；702第一溫度傳感器；703 加熱器；[0051]1010ι 老化測試插座；1012 待老化測試器件；1020蓋板；1021:交換器；1025 第二溫度傳感器；1100 半導體制冷片。
具體實施方式
為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本 實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。本實用新型的處理方法可以被廣泛地應(yīng)用于各個領(lǐng)域中，并且可利用許多適當?shù)牟牧现谱?，下面是通過較佳的實施例來加以說明，當然本實用新型并不局限于該具體實 施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本實用新型的保護范圍 內(nèi)。其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為了 便于說明，表示器件結(jié)構(gòu)的示意圖會不依一般比例作局部放大，不應(yīng)以此作為對本實用新 型的限定。傳統(tǒng)的老化測試系統(tǒng)僅對老化測試箱進行統(tǒng)一的溫度感應(yīng)及溫度加熱控制，這種 粗糙的控制方式已不能滿足現(xiàn)有的集成電路器件的測試要求。為了應(yīng)對集成電路器件的高速發(fā)展，本實用新型提出了一種新的老化測試系統(tǒng)， 可根據(jù)需要對單個老化測試器件的實際溫度值進行單獨檢測，并在部分或全部老化測試插 座上安裝具有熱交換器的蓋板，不僅可以實現(xiàn)對各種功率大小不同的器件的同時老化，還 可以實現(xiàn)對每個老化測試器件的測試溫度的精確控制，提高傳統(tǒng)的老化測試系統(tǒng)測試結(jié)果 的準確性。第一實施例圖2為說明本實用新型第一實施例中的老化測試箱的整體示意圖；圖3為圖2中 的老化測試箱中的測試板之一的布局示意圖；圖4為圖3中的帶蓋板的老化測試插座的整 體結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖3中的帶蓋板的老化測試插座的安裝分解示意圖；圖6為說明本實 用新型第一實施例中交換器冷卻原理的示意圖；圖7為說明本實用新型第一實施例的老化 測試系統(tǒng)的溫度控制的示意圖；下面結(jié)合圖2至圖7對本實用新型的第一實施例進行詳細 說明。如圖2、圖3和圖7所示，本實用新型的老化測試箱，包括設(shè)置于所述老化測試箱 200的測試板300上的多個老化測試插座310，第一溫度傳感器702以及加熱器703，所述第 一溫度傳感器702檢測所述老化測試箱200內(nèi)的溫度，得到第一溫度值，所述加熱器703根 據(jù)所述第一溫度值與老化測試箱200的溫度設(shè)定值啟動或關(guān)閉。本實施例中，在老化測試箱200內(nèi)設(shè)置有至少一個測試板300，各測試板300可以 以縱向排列(如圖2所示，測試板平行于老化測試箱底部)或橫向排列(測試板垂直于老 化測試箱底部)的方式安置于老化測試箱200內(nèi)，每個測試板300上可安裝多個老化測試 插座310，如16個、32個等。本實施例中，在老化測試箱200的兩側(cè)設(shè)計有循環(huán)熱風風道，熱風由老化測試箱 200底部(即加熱器位于老化測試箱底部的情況)和/或兩側(cè)部位(即加熱器位于老化測試 箱兩側(cè)的情況)產(chǎn)生，經(jīng)過兩側(cè)風道平行吹過各測試板300上的老化測試插座310為老化 測試器件加熱，各加熱器703的設(shè)定溫度可以為老化測試箱的溫度設(shè)定值，其通常是根據(jù) 老化測試器件的老化溫度要求而設(shè)定，可以在20°C -250°C之間，如為20°C、10(TC、15(rC、 200 °C 或 250 °C ο可以在測試板300之間或風道處設(shè)置一個第一溫度傳感器702。第一溫度傳感器 702檢測所述老化測試箱200內(nèi)的溫度，得到第一溫度值，該第一溫度值傳送至老化測試系 統(tǒng)的測試及控制電路701，與老化測試箱200的溫度設(shè)定值或設(shè)定相比較，若第一溫度值大 于該設(shè)定值或設(shè)定的高端值，則關(guān)閉老化測試箱200的加熱器703 ；若第一溫度值小于該設(shè) 定值或設(shè)定的低端值，則啟動(或不關(guān)閉)老化測試箱200的加熱器703。[0064]本實施例中設(shè)置的第一溫度傳感器702和加熱器703可以對老化測試箱200進行 整體的溫度控制。對于老化測試時自身溫度變化不大的器件，即使在長時間的加電狀態(tài)下 進行高溫老化，其的發(fā)熱量仍大體相當，用上述方式即可基本滿足器件的老化測試要求。但 對于老化測試時自身溫度變化較大的器件，在長時間的加電狀態(tài)下進行高溫老化，其的發(fā) 熱量相差較遠，各器件及其周邊的實際溫度值有較大不同，若仍利用上述整體溫控的方式， 將導致器件的老化測試結(jié)果不準確。為此，本實用新型對其中測試較大功率的老化測試插 座增加設(shè)置了具有交換器的蓋板，對其進行單獨的溫控，實現(xiàn)各老化測試器件及其周邊的 實際溫度值均基本維持在設(shè)定值附近。如圖2和圖3所示，為了對處于長時間加電狀態(tài)下的大功率器件進行單獨的溫度 控制，在老化測試箱200內(nèi)部分或全部測試板300上至少設(shè)置一個具有交換器321的蓋板 320，該蓋板320與待老化測試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器325，第二溫度傳感器325檢 測待老化測試器件312的溫度，得到待老化測試器件312的實際溫度值，根據(jù)待老化測試器 件312的實際溫度值與待老化測試器件312的溫度設(shè)定值對待老化測試器件312進行單獨 的熱交換處理。如圖3、圖4和圖5所示，在老化測試插座310上設(shè)置有蓋板320，該蓋板320具有 用于對待老化測試器件312進行單獨熱處理的交換器321，以及用于單獨檢測該待老化測 試器件的第二溫度傳感器325。其中，交換器321可以設(shè)置有各種形狀的管道，在該管道內(nèi)可以通入高溫或低溫 的液體或氣體，以實現(xiàn)對待老化測試器件312的加熱或冷卻處理。所述液體可以為不同溫 度的水，液氮等，所述氣體可以為不同溫度的氮氣、氦氣、空氣等。具體地，本實施例中具有交換器321的蓋板320是用于對加電狀態(tài)下的大功率器 件進行冷卻，以令其維持在設(shè)定溫度值下。其所用的交換器321內(nèi)設(shè)置的為冷卻管322，該 冷卻管322內(nèi)通入的可以是液態(tài)氮、水或常溫下的各種氣體。其中，交換器321的具體冷卻 原理可以如圖6所示，圖6中示出了兩種制冷結(jié)構(gòu)，一種是利用循環(huán)泵電機402通過散熱器 401，利用風冷散熱；另一種則是利用壓縮機501進行制冷。前者所需成本較低，后者制冷效 率更高。為安裝第二溫度傳感器325，可以在蓋板320下部(本實施例中具體是在交換器 321的下部)開設(shè)容納所述第二溫度傳感器325的凹槽324，當蓋板320閉合于老化測試插 座310上時，位于凹槽324內(nèi)的第二溫度傳感器325與待老化測試器件312相接觸。本實施例中，為固定第二溫度傳感器325，在蓋板底部對應(yīng)凹槽324處加裝了利用 螺釘327固定的凹槽蓋326，其可以為導熱良好的材料，如金屬材料。工作時，第二溫度傳 感器325與導熱良好的凹槽蓋324直接接觸，凹槽蓋326與待老化測試器件312直接接觸， 而第二溫度傳感器325與交換器321之間至少有導熱性差的空氣相隔，故第二溫度傳感器 325檢測得到仍是待老化測試器件312的實際溫度值。本實用新型中，將上述第二溫度傳感器325與待老化測試器件312之間存在導熱 良好的凹槽蓋326的情況也歸于第二溫度傳感器325與待老化測試器件312相接觸的一 種。本實用新型的其它實施例中，為了進一步提高測試的準確度，還可以利用隔熱材 料將所述第二溫度傳感器325與交換器321隔開，如，可以在凹槽324內(nèi)填充隔熱材料，令第二溫度傳感器325與待老化測試器件312直接接觸，而與交換器321間具有隔熱材料。若 在填充隔熱材料時，已令第二溫度傳感器325鑲嵌固定于隔熱材料中，則無需再加裝凹槽 蓋326，否則，仍需加裝導熱良好的凹槽蓋326以固定第二溫度傳感器325。本實施例中，蓋板320與老化測試插座312之間的固定方式可以有多種，如，可以 在蓋板320的上方加設(shè)一個固定裝置330，該固定裝置330的具體安裝方式可以有多種， 如A、如圖3、圖4和圖5所示，固定裝置330包括固定臂架335和固定臂336。其中， 固定臂架335的底端固定于老化測試插座310的一側(cè)，上端與固定臂336的一端相連接。固 定臂335不與固定臂336相連的另一端裝有一個第一鎖勾331。在測試板300上，對應(yīng)第一 鎖勾331的閉合位置安裝有相配的第二鎖勾332 (其位于老化測試插座310相對一側(cè))。當不需對該老化測試插座310上的老化測試器件進行單獨溫度控制時，可以不加 裝蓋板320，此時，可以在不加裝蓋板320的情況下仍將固定臂336放下，令第一鎖勾331與 第二鎖勾332相鎖，也可以直接令固定臂336懸空。B、也可以在蓋板320的邊緣設(shè)置多個第一鎖勾331，在老化箱測試板300上對應(yīng)所 述第一鎖勾331的位置處裝有多個與所述第一鎖勾331相配的第二鎖勾332。如，對應(yīng)每個老化測試插座310可設(shè)置多個固定臂架335，且每兩個固定臂架335 與一個固定臂336對應(yīng)。具體可以為，在老化測試插座310的相對側(cè)分別設(shè)置一個固定臂 架335，每個固定臂架335頂端設(shè)置有第二鎖勾332，且對應(yīng)的固定臂336兩端分別設(shè)置有 第一鎖勾331。當需要對某個老化測試插座310上的老化測試器件進行單獨溫度控制時，可以將 固定臂336兩端的第一鎖勾331，和位于老化測試插座310兩側(cè)的固定臂架335頂端的第二 鎖勾332相鎖，以將蓋板320固定于對應(yīng)的老化測試插座310上。當不需要對某個老化測 試插座310上的老化測試器件進行單獨溫度控制時，可以直接將固定臂336與蓋板320摘 下。更方便靈活地實現(xiàn)了對各老化測試器件的單獨溫控。另外，在其它實施例中，也可以不設(shè)置固定臂架335，而直接設(shè)置較高的第二鎖勾 332 (也可以認為是將固定臂架335與第二鎖勾332合在一起)。圖7為說明本實用新型第一實施例的老化測試系統(tǒng)的溫度控制的示意圖。如圖7 所示，本實用新型的老化測試箱可以設(shè)置有第一溫度傳感器702以及加熱器703，其中，第 一溫度傳感器702用于檢測老化測試箱內(nèi)的第一溫度值(或說老化測試箱的整體溫度值)， 并送至老化測試箱外的測試和控制電路701，由測試和控制電路701將該第一溫度值與老 化測試箱的設(shè)定值進行比較，當?shù)谝粶囟戎当壤匣瘻y試箱的溫度設(shè)定值低時，開啟加熱器 702或維持加熱器702處于啟動狀態(tài)；反之，關(guān)閉加熱器702。此外，本實用新型第一實施例還設(shè)置了至少一對第二溫度傳感器325和交換器 321，用于對某個或某類待老化測試器件的實際溫度值進行檢測。在本實用新型的其它實施 例中，該第二溫度傳感器325與交換器321的設(shè)置可根據(jù)實際應(yīng)用而靈活調(diào)整。如，在老化測試過程中，往往需要針對某一類待老化測試器件的具體加電要求而 設(shè)置特定的老化測試插座。此時，可以在設(shè)計測試板時根據(jù)該類老化測試器件的性能，推測 其在長時間加電老化后是否存在發(fā)熱量不同于普通老化測試器件的情況，并可由此事先確 定是否需在對應(yīng)的老化測試插座上加設(shè)具有熱交換器的蓋板。[0083]這種情況下，因蓋板的安裝與否已由設(shè)置的老化測試插座類型而確定，且該類型 老化測試插座所測試的器件的發(fā)熱量基本一致，蓋板及第二溫度傳感器的設(shè)置可以至少有 兩種情況A、圖8為本實用新型另一實施例所示的老化測試箱中的測試板之一的布局示意 圖，如圖8所示，對每一測試板800，可根據(jù)每一個具體老化測試插座810要檢測的器件的特 性，設(shè)計其是否需加裝具有交換器的蓋板820。此時，每個蓋板820均只與單個待老化測試 器件相對應(yīng)，且二者之間均設(shè)置有第二溫度傳感器。(也可以將本實用新型第一實施例歸于 此類，其可視為每個老化測試插座均需安裝蓋板的特殊情況)。B、圖9為本實用新型又另一實施例所示的老化測試箱中的測試板之一的布局示 意圖，如圖9所示，每一測試板900上，一個蓋板920可與同一類待老化測試器件的多個相 對應(yīng)，且該蓋板920可以只與其中一個待老化測試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器(可節(jié) 約成本)。第二實施例圖10為說明本實用新型第二實施例中的帶蓋板的老化測試插座的整體結(jié)構(gòu)示意 圖；圖11為圖10中的帶蓋板的老化測試插座的安裝分解示意圖。本實用新型的第二實施例與本實用新型的第一實施例有很多類似的地方，附圖中 對相似的部件采用了類似的標號。在第二實施例的說明中重點在于其與第一實施例的區(qū)別 點，對其中相似的描述不再一一重復。本實用新型的第二實施例在交換器與第二溫度傳感器之間加裝了半導體制冷片。 如圖10和圖11所示，在老化測試插座1010上設(shè)置有蓋板1020，該蓋板1020具有用于對待 老化測試器件1012進行單獨熱處理的交換器1021。以及用于單獨檢測該待老化測試器件 的第二溫度傳感器1025。另外，本實施例中，在交換器1021與第二溫度傳感器1025之間設(shè)置了半導體制冷 片1100，所述半導體制冷片1100可以根據(jù)待老化測試器件1012的實際溫度值與待老化測 試器件1012的溫度設(shè)定值確定通電狀態(tài)。具體工作過程如下第二溫度傳感器1025檢測待老化測試器件1012的實際溫度值，并將其傳送至老 化測試系統(tǒng)的測試與控制電路，測試與控制電路將該實際溫度值與該待老化測試器件1012 的設(shè)定溫度值相比較當待老化測試器件1012的實際溫度值比待老化測試器件1012的溫度設(shè)定值高 時，測試與控制電路令半導體制冷片1100進入通電狀態(tài)，此時，半導體制冷片1100呈現(xiàn)良 好的熱傳導性能，令交換器1021與待老化測試器件1012進行熱交換。當待老化測試器件1012的實際溫度值比待老化測試器件1012的溫度設(shè)定值低 時，測試與控制電路令半導體制冷片1100進入斷電狀態(tài)，半導體制冷片1100呈現(xiàn)良好的熱 阻性能，阻止交換器1021與待老化測試器件1012進行熱交換。本實施例中，交換器1021可一直處于工作狀態(tài)，也可以僅在半導體制冷片1100進 入通電狀態(tài)的同時工作。此外，本實施例中的第二溫度傳感器1025可以與本實用新型的第一實施例設(shè)置 的位置相同，也可以如圖10和11所示設(shè)置于半導體制冷片內(nèi)。本實用新型的上述實施例均以高溫老化為例，應(yīng)理解的是，本實用新型的老化測試系統(tǒng)也同樣適用于低溫老化的情況(如低于室溫的情況)，本實用新型的技術(shù)方案在低 溫老化情況下的實現(xiàn)方法與上述高溫老化情況類似，只需進行一些簡單的替換，如將老化 測試箱中的加熱裝置變更為冷卻裝置，各蓋板的結(jié)構(gòu)與上述實施例相同，其同樣可以解決 因老化過程中的持續(xù)測試引起大功率器件發(fā)熱嚴重，從而導致的老化測試不準確的問題， 在本實用新型上述高溫老化實施例的啟示下，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員對低溫老化測試情況 也應(yīng)當可以實現(xiàn)，在此不再贅述。 本實用新型雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本實用新型，任何 本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改，因 此本實用新型的保護范圍應(yīng)當以本實用新型權(quán)利要求所界定的范圍為準。
權(quán)利要求一種老化測試箱，包括設(shè)置于所述老化測試箱的測試板上的多個老化測試插座，第一溫度傳感器以及加熱器，所述第一溫度傳感器檢測所述老化測試箱內(nèi)的溫度，得到第一溫度值，所述加熱器根據(jù)所述第一溫度值與老化測試箱的溫度設(shè)定值啟動或關(guān)閉，其特征在于所述老化測試箱內(nèi)至少設(shè)置有一個具有交換器的蓋板，所述蓋板與待老化測試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器檢測待老化測試器件的溫度，得到待老化測試器件的實際溫度值，根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值對待老化測試器件進行單獨的熱交換處理。
2.如權(quán)利要求1所述的老化測試箱，其特征在于根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值 與待老化測試器件的溫度設(shè)定值對待老化測試器件進行單獨的熱交換處理，還包括所述交換器根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值啟動 或關(guān)閉。
3.如權(quán)利要求1所述的老化測試箱，其特征在于根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值 與待老化測試器件的溫度設(shè)定值對待老化測試器件進行單獨的熱交換處理，還包括所述蓋板還包括位于所述交換器與所述第二溫度傳感器之間的半導體制冷片，所述半 導體制冷片根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值確定通電 狀態(tài)。
4.如權(quán)利要求3所述的老化測試箱，其特征在于所述交換器一直處于工作狀態(tài)，或僅 在所述半導體制冷片進入通電狀態(tài)時工作。
5.如權(quán)利要求1或2或3或4所述的老化測試箱，其特征在于所述蓋板與待老化測 試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器，包括每個待老化測試器件對應(yīng)有一個單獨的蓋板，且二者之間設(shè)置有第二溫度傳感器。
6.如權(quán)利要求1或2或3或4所述的老化測試箱，其特征在于所述蓋板與待老化測 試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器，包括每個蓋板與單個待老化測試器件相對應(yīng)，且二者之間設(shè)置有第二溫度傳感器；或每個蓋板與同一類待老化測試器件的多個相對應(yīng)，且所述蓋板與所述同一類待老化測 試器件中的一個之間設(shè)置有第二溫度傳感器。
7.如權(quán)利要求1或2或3或4所述的老化測試箱，其特征在于所述蓋板具有凹槽以 容納所述第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器與所述蓋板之間由隔熱材料隔開，當所述 蓋板閉合于所述老化測試插座上時，所述第二溫度傳感器與待老化測試器件相接觸。
8.如權(quán)利要求7所述的老化測試箱，其特征在于所述蓋板的邊緣至少設(shè)置有一個第 一鎖勾，所述老化箱測試板在對應(yīng)所述第一鎖勾的位置處設(shè)置有與所述第一鎖勾相配的第 二鎖勾。
9.如權(quán)利要求8所述的老化測試箱，其特征在于所述老化測試插座附近的老化測試 箱測試板上設(shè)置有固定臂架與固定臂，用于與所述第一鎖勾和第二鎖勾一起將所述蓋板固 定于所述老化測試插座上。
10.如權(quán)利要求1所述的老化測試箱，其特征在于所述交換器設(shè)置有各種形狀的管道。
專利摘要本實用新型公開了一種老化測試箱，包括設(shè)置于所述老化測試箱的測試板上的多個老化測試插座，第一溫度傳感器以及加熱器，所述第一溫度傳感器檢測所述老化測試箱內(nèi)的溫度，得到第一溫度值，所述加熱器根據(jù)所述第一溫度值與老化測試箱的溫度設(shè)定值啟動或關(guān)閉，其中，所述老化測試箱內(nèi)至少設(shè)置有一個具有交換器的蓋板，所述蓋板與待老化測試器件之間設(shè)置有第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器檢測待老化測試器件的溫度，得到待老化測試器件的實際溫度值，根據(jù)待老化測試器件的實際溫度值與待老化測試器件的溫度設(shè)定值對待老化測試器件進行單獨的熱交換處理。本實用新型的老化測試箱提高了老化測試結(jié)果的準確性，實現(xiàn)了多種不同器件的同時老化測試。
文檔編號G01R31/28GK201716330SQ20102020750
公開日2011年1月19日 申請日期2010年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月27日
發(fā)明者沈沖, 王斌, 羨迪新, 陳劍晟, 陳馳, 高建輝 申請人:北京新潤泰思特測控技術(shù)有限公司