專(zhuān)利名稱(chēng)：X射線(xiàn)晶體定向儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種x射線(xiàn)檢測(cè)裝置，具體說(shuō)涉及一種測(cè)量晶體晶向偏差或晶棒要加工晶面的晶向位置的x射線(xiàn)定向儀。
背景技術(shù)：
各種人工晶體需要在一定的晶向角加工成薄片，眾所周知，其硬度高，造成加工費(fèi)時(shí)費(fèi)力，相對(duì)說(shuō)原材料價(jià)格也高。目前，基本都采用定向儀來(lái)測(cè)量晶體晶向偏差或待加工晶棒要加工晶面的晶向位置，如果確定其位置就做標(biāo)記，送相應(yīng)機(jī)床上試加工。試加工后的第一刀晶片需做相對(duì)位置標(biāo)記，返回定向儀檢測(cè)，如果超差，則計(jì)算其偏差角，再計(jì)算機(jī)床上的相對(duì)調(diào)整方向。 一般晶棒是用膠粘在一個(gè)托上的，因?yàn)闄C(jī)床加工方式的不同粘接的晶面有所不同，但是在加工機(jī)床上的調(diào)整只有一個(gè)平面可以調(diào)整，如果碰上調(diào)整需要在垂直于可調(diào)整平面的平面進(jìn)行，則需要放棄這次的粘接，重新粘料。而偏差角很小，不能用肉眼看出來(lái)，所以，下一次的粘接也并不一定能保證不需要調(diào)整。有時(shí)能在可調(diào)平面內(nèi)調(diào)整，調(diào)整后加工，一刀下來(lái)的晶片還要送檢，由于調(diào)整只能憑經(jīng)驗(yàn)，又是微小的角度，所以有時(shí)調(diào)整一次并不能令人滿(mǎn)意，還需再加工，再送檢，直至送檢的晶片為合格品。頻繁送檢，一方面造成原材料的浪費(fèi)，另一方面，其硬度高，加工下來(lái)一片晶片用時(shí)長(zhǎng)，勢(shì)必造成送檢周期長(zhǎng)。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有晶體或晶棒加工檢測(cè)方面存在的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種檢測(cè)效果好，投
入小，縮短送檢周期，一次定向即可加工的X射線(xiàn)晶體定向儀。 解決上述問(wèn)題采取的具體技術(shù)措施是 —種X射線(xiàn)晶體定向儀，包括臺(tái)體(1)和設(shè)置在臺(tái)體(1)上的X光管套(5)、兩個(gè)光欄(4)、測(cè)角儀(2)和測(cè)角儀(7)，設(shè)置在測(cè)角儀(2)和測(cè)角儀(7)上的手輪(9)以及與測(cè)角儀同軸安裝的左樣品臺(tái)(3)和右樣品臺(tái)(6)及計(jì)數(shù)管(8)，其特征在于右樣品臺(tái)(6)的底座(25)上裝有樣品板(23)，托板(16)的一端與樣品板(23)連接，托板(16)另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，導(dǎo)軌(15)內(nèi)裝有可前后移動(dòng)的T型鑲條(14)并固定在托板(16)上，T型鑲條(14)上面連接下層板(28)，上層板(27)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸(20)與下層板(28)連接，上層板(27)上設(shè)有滾輪組(12)，三角形頂針(19)與樣品板(23)連接，可移護(hù)套(10)套接在三角形頂針(19)上，彈簧(11)連接到可移護(hù)套(10)上；左樣品臺(tái)(3)的底座(25)上裝有左樣品板(34)，左托板(33)的一端與左樣品板(34)連接，左托板(33)另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，左導(dǎo)軌(29)內(nèi)裝有可前后移動(dòng)的左T型鑲條(30)并固定在左托板(33)上，左T型鑲條(30)上連接底板(31)，兩個(gè)圓柱(32)固定在底板(31)上。 本發(fā)明的有益效果由于將左、右樣品臺(tái)做了較大的改進(jìn)，可使晶體原材料——晶棒旋轉(zhuǎn)，通過(guò)調(diào)整，能夠最終得到晶面的最小偏差角的定向，使檢測(cè)效果好，投入小，縮短送檢周期，一次定向即可加工。


圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明中右樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為圖2的俯視圖； 圖4為本發(fā)明中左樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5為圖4的俯視圖； 圖6為本發(fā)明附屬設(shè)備夾緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7為圖6的右視圖； 圖8為本發(fā)明附屬設(shè)備粘接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖9為圖8的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。 —種X射線(xiàn)晶體定向儀，如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5所示，包括臺(tái)體1和設(shè)置在臺(tái)體1上的X光管套5、兩個(gè)光欄4、測(cè)角儀2和測(cè)角儀7，設(shè)置在測(cè)角儀2和測(cè)角儀7上的手輪9以及與測(cè)角儀同軸安裝的左樣品臺(tái)3和右樣品臺(tái)6及計(jì)數(shù)管8，測(cè)角儀采用渦輪蝸桿結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)手輪9可使測(cè)角儀上的左樣品臺(tái)3和右樣品臺(tái)6旋轉(zhuǎn)，計(jì)數(shù)管8可以手動(dòng)地與測(cè)角儀同軸旋轉(zhuǎn)。X光從管套5發(fā)射，經(jīng)光欄4打在樣品臺(tái)中心被檢晶體上，晶體的不同的晶面會(huì)在不同的角度發(fā)生衍射，由與測(cè)角儀主軸同軸連接的計(jì)數(shù)管8接收。本實(shí)用新型的發(fā)明點(diǎn)是對(duì)右樣品臺(tái)6和左樣品臺(tái)3進(jìn)行了改進(jìn)設(shè)計(jì)，其結(jié)構(gòu)如下右樣品臺(tái)6的底座25上裝有樣品板23，托板16的一端與樣品板23連接，托板16另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪26，導(dǎo)軌15內(nèi)裝有可前后移動(dòng)的T型鑲條14并固定在托板16上，T型鑲條14連接下層板28，上層板27通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸20與下層板28連接，上層板27上設(shè)有T型槽，旋轉(zhuǎn)軸20的一端銑銷(xiāo)成扁狀，正好沉入T型槽內(nèi)，限制旋轉(zhuǎn)軸與上層板27的旋轉(zhuǎn)，下層板28左端部設(shè)置的孔21穿過(guò)旋轉(zhuǎn)軸20，旋轉(zhuǎn)軸20末端有螺紋，利用螺母固定下層板28，上層板27連同旋轉(zhuǎn)軸20相對(duì)下層板28可以旋轉(zhuǎn)。上層板27上設(shè)有滾輪組12，晶棒自身可在滾輪組12上旋轉(zhuǎn)，上層板27和下層板28可通過(guò)螺母17鎖死。檢測(cè)時(shí)，先鎖死上下層，旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)上的晶棒到達(dá)已知檢測(cè)晶面的預(yù)定角度，此時(shí)發(fā)生衍射，可旋轉(zhuǎn)晶棒本身，待計(jì)數(shù)管8強(qiáng)度最大時(shí)，則晶棒水平面上偏差最小。接著晶棒旋轉(zhuǎn)90。，這時(shí)晶棒的被測(cè)晶面偏差最大，此時(shí)，松開(kāi)螺母17，稍微旋轉(zhuǎn)右樣品臺(tái)6的上層板27，待計(jì)數(shù)管8接收強(qiáng)度最大時(shí)，則晶棒此時(shí)的水平面上偏差最小，現(xiàn)在晶棒被檢晶面相對(duì)整個(gè)右樣品臺(tái)6偏差最小，旋緊螺母17鎖死上下兩層，此時(shí)晶棒的物理軸線(xiàn)相對(duì)T型鑲條14有一定的角度，而晶棒的晶向卻調(diào)整到了最佳。另外，T型鑲條14與托板16的相對(duì)平移，通過(guò)螺釘18鎖死，這樣，在做其他操作時(shí)晶棒會(huì)保持不動(dòng)。三角形頂針19與樣品板23連接，可移護(hù)套IO通過(guò)其中間開(kāi)有的三角形槽24套在三角形頂針19上，與三角形頂針19緊密配合。彈簧11是調(diào)校機(jī)器或者檢測(cè)片狀樣品時(shí)使用的，通過(guò)螺釘13連接到可移護(hù)套10上。當(dāng)檢測(cè)棒狀樣品時(shí)，可移護(hù)套10連同彈簧11 一起從三角形頂針19上被取下來(lái)，利用三角形頂針19與晶棒點(diǎn)接觸，方便晶棒的旋轉(zhuǎn)，不會(huì)因?yàn)榭梢谱o(hù)套10而限定被檢晶棒的晶面。
為了保證本發(fā)明能夠達(dá)到一次定向即可加工的目的，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)了夾緊裝置和粘接 裝置做為本發(fā)明的配套設(shè)備，夾緊裝置的結(jié)構(gòu)如圖6、圖7所示。夾緊裝置的兩側(cè)各設(shè)有一 個(gè)連接板43，兩連接板43上設(shè)有成對(duì)高度不同的平行孔42，當(dāng)穿軸41插入連接板43的不 同的平行孔42后，再與螺母40連接時(shí)，可使螺母40的高度不同，以適合夾緊不同直徑的晶 棒，圖6中間的虛線(xiàn)表示被夾緊的不同直徑的晶棒形態(tài)。連接板43下部設(shè)有兩個(gè)孔44，可 以將夾緊裝置通過(guò)螺釘安裝到右樣品臺(tái)6的下層板28上。螺釘39旋入螺母40上，旋轉(zhuǎn)螺 釘39，螺釘39下面的橡膠墊45會(huì)夾緊晶棒。此時(shí)滾輪組12上已調(diào)整好晶向后的晶棒與右 樣品臺(tái)上的T型鑲條14以及與T鑲條14連接的下層板28、旋轉(zhuǎn)軸20、上層板27、滾輪組12 及安裝在下層板28上的夾緊裝置連成一體。這時(shí)，旋松螺釘18，將上述連成一體的合件從 導(dǎo)軌15上取下來(lái)，拿到粘接裝置上。粘接裝置結(jié)構(gòu)如圖8、圖9所示，將上述合件中的T型 鑲條14垂直向下插入粘接裝置的導(dǎo)軌47里，在粘接裝置的底座51上裝有石墨塊導(dǎo)軌50， 導(dǎo)軌50里插入T型塊53，T型塊53的上面裝有石墨塊55，安裝在T型塊53正面中間位置 上的螺釘52旋入連接在底座51上的螺母板54上，這樣，調(diào)整螺釘52，可以使T型塊53上 的石墨塊55相對(duì)底座51平移，連接在底座51上的立板48上面裝有粘接導(dǎo)軌47，這樣保證 立板48與底座51垂直，也就保證了粘接導(dǎo)軌47與石墨塊55垂直，從而保證晶棒垂直于石 墨塊55下表面，為下一步檢測(cè)晶棒第一個(gè)加工面做基準(zhǔn)，調(diào)整石墨塊55位置以承接晶棒， 石墨塊55與晶棒之間涂膠，待膠干了，取下晶棒連同石墨塊55待測(cè)。將T型鑲條14以及 與T鑲條14連接的下層板28、旋轉(zhuǎn)軸20、上層板27、滾輪組12仍安裝到右樣品臺(tái)6的原 處；將夾緊裝置從右樣品臺(tái)6的下層板28上取下，待下次夾緊晶棒時(shí)再用。
將晶棒連同石墨塊55拿到定向儀的另一端測(cè)角儀2上的左樣品臺(tái)3上，左樣品臺(tái) 3的底座25上裝有左樣品板34，左托板33的一端與左樣品板34連接，左托板33另一端的 底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪26，左導(dǎo)軌29內(nèi)裝有可前后移動(dòng)的左T型鑲條30并固 定在左托板33上，左T型鑲條30上連接底板31，底板31上通過(guò)螺釘固定兩個(gè)圓柱32，兩 個(gè)圓柱32和左樣品板34形成三點(diǎn)夾持晶棒，由于在這一端檢測(cè)時(shí)使用的已檢測(cè)晶棒的端 面最為基準(zhǔn)，為了使晶棒不會(huì)受其直徑因素影響，不失基準(zhǔn)，因此使用三點(diǎn)夾持。將晶棒推 向左樣品板34中心檢測(cè)位置，將承接晶棒的石墨塊55底面做為基準(zhǔn)面，靠緊左托板33，這 時(shí)旋轉(zhuǎn)晶棒，找要加工的晶面柱面上的加工參考面，待強(qiáng)度最大時(shí)，通過(guò)螺釘35鎖死左T型 鑲條30與左托板33的相對(duì)平移，劃線(xiàn)，送去加工，整個(gè)定向檢測(cè)工作結(jié)束。
權(quán)利要求
一種X射線(xiàn)晶體定向儀，包括臺(tái)體(1)和設(shè)置在臺(tái)體(1)上的X光管套(5)、兩個(gè)光欄(4)、測(cè)角儀(2)和測(cè)角儀(7)，設(shè)置在測(cè)角儀(2)和測(cè)角儀(7)上的手輪(9)以及與測(cè)角儀同軸安裝的左樣品臺(tái)(3)和右樣品臺(tái)(6)及計(jì)數(shù)管(8)，其特征在于右樣品臺(tái)(6)的底座(25)上裝有樣品板(23)，托板(16)的一端與樣品板(23)連接，托板(16)另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，導(dǎo)軌(15)內(nèi)裝有可前后移動(dòng)的T型鑲條(14)并固定在托板(16)上，T型鑲條(14)上面連接下層板(28)，上層板(27)通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸(20)與下層板(28)連接，上層板(27)上設(shè)有滾輪組(12)，三角形頂針(19)與樣品板(23)連接，可移護(hù)套(10)套接在三角形頂針(19)上，彈簧(11)連接到可移護(hù)套(10)上；左樣品臺(tái)(3)的底座(25)上裝有左樣品板(34)，左托板(33)的一端與左樣品板(34)連接，左托板(33)另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，左導(dǎo)軌(29)內(nèi)裝有可前后移動(dòng)的左T型鑲條(30)并固定在左托板(33)上，左T型鑲條(30)上連接底板(31)，兩個(gè)圓柱(32)固定在底板(31)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種測(cè)量晶體晶向偏差或晶棒加工晶面的晶向位置的X射線(xiàn)定向儀，其結(jié)構(gòu)是在定向儀的兩個(gè)樣品臺(tái)的底座上分別設(shè)有樣品板，托板的一端與樣品板連接，另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪，導(dǎo)軌內(nèi)裝有可前后移動(dòng)的T型鑲條并固定在托板上，T型鑲條上面各自分別連接兩個(gè)樣品臺(tái)的下層板和底板，右樣品臺(tái)的上層板通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸與下層板連接，上層板上設(shè)有滾輪組，三角形頂針與樣品板連接，可移護(hù)套與三角形頂針連接，彈簧連接到可移護(hù)套上，左樣品臺(tái)上的兩個(gè)圓柱固定在底板上。為了使晶棒能夠達(dá)到一次定向即可加工的目的，另外設(shè)計(jì)了夾緊裝置和粘接裝置配套使用，使晶面最小偏差角的定向簡(jiǎn)單，檢測(cè)效果好，縮短送檢周期。
文檔編號(hào)G01N23/207GK101776619SQ20091022077
公開(kāi)日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者宋偉, 李國(guó)興, 許秋華, 隋鳳麗 申請(qǐng)人:丹東奧龍射線(xiàn)儀器有限公司