專利名稱：用于質(zhì)量流量計(jì)的開槽式流量限制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明 一般涉及各種流量限制器和包括流量限制器的裝置，而更 具體地說，涉及具有若干槽的各種流量限制器和具有那些流量限制器 的裝置及形成和使用流量限制器和裝置的方法。
技術(shù)背景根據(jù)熱傳遞原理工作的質(zhì)量流量控制器已經(jīng)廣泛采用。質(zhì)量流量 控制器通常具有一個(gè)小直徑的管道(供檢測用)，所述小直徑管道通過 控制器與一第一流路平行。通常，利用沿著第一流路將一部分流體流 動(dòng)堵塞，以便將其中一部分流體流轉(zhuǎn)移到第二流路，檢測可以在上述 第二流路處進(jìn)行。致力于流量轉(zhuǎn)移的 一種努力是在一第 一流路內(nèi)使用 一種流量限制 器。流量限制器一般可以是具有一稍帶錐形的圓筒形，上述稍帶錐形 的圓筒形可以存在于一個(gè)具有一相同錐形的管道內(nèi)。流量限制器可以 通過一種彈簧狀的安裝機(jī)構(gòu)固定在合適位置中。 一種實(shí)心的限流器可 以不讓足夠的流體流過第一流路，或者可以引起剛好在流量限制器的 上游、下游、或二者太多的端流。這可能干擾流過具有傳感器的第二 流路的流體。致力于解決上述問題的另一種努力是采用如上所述的流量限制 器，所述流量限制器具有若干沿著流量限制器長度所鉆的孔。圖l包 括一種流量限制器10的剖視圖，所述流量限制器10具有若干一般是 貫穿它的圓的圓筒形孔12。這些圓的圓筒形孔可能產(chǎn)生湍流。用于得到一種可接受的流量限制器的還有另一種努力用圖2中的 剖視圖示出。流量限制器20包括若干槽22,上述若干槽22沿著流量限制器20的長度延伸。各槽中沒有一個(gè)槽接觸流量限制器20的外表 面24，如圖2中所示。注意，各內(nèi)部槽22組有效地形成一種"中心 管道，，，如虛線26所示。另外，各槽22的形狀在一插入操作期間可能 是隨壓力而變，并且可能是不希望有的。 發(fā)明內(nèi)容一種流量限制器，在一個(gè)校正可測量的壓降的實(shí)際位移范圍內(nèi)， 對各種流體的傳導(dǎo)可以實(shí)施幾乎無限的可調(diào)節(jié)性。流量限制器可以用 一種實(shí)心材料制成，在上述實(shí)心材料中，各槽從材料的外表面開始并 向內(nèi)進(jìn)展。流量限制器可以制造和結(jié)合到裝置中，而不需要顯著改變 裝置的其它部件。在一組實(shí)施例中， 一種流量限制器可以包括一種材料和一個(gè)槽。 槽可以包括一個(gè)深度，所述深度從材料的一個(gè)外表面延伸到一個(gè)位置， 所述位置更靠近實(shí)心材料內(nèi)的一個(gè)中心點(diǎn)。在另 一組實(shí)施例中， 一種裝置可以包括一個(gè)流路和一個(gè)流量限制 器，所述流量限制器位于第一流路之內(nèi)。流量限制器可以包括一種材 料和一個(gè)槽。槽可以包括一個(gè)深度，所述深度從材料的一個(gè)外表面延 伸到一個(gè)位置，所述位置更靠近上述材料內(nèi)的一個(gè)中心點(diǎn)。在還有另一組實(shí)施例中， 一種質(zhì)量流量裝置可以包括一個(gè)第一流 路， 一個(gè)第二流路，和一種流量限制器，所述流量限制器位于第一流 路的一個(gè)第一部分內(nèi)。流量限制器可以包括一種實(shí)心材料，所述實(shí)心 材料具有一種基本上是圓形的橫截面積。流量限制器還可以包括多個(gè) 槽。每個(gè)槽都可以具有一個(gè)深度，所述深度從外表面朝橫截面積的一 個(gè)中心點(diǎn)延伸。第二流路可以包括一個(gè)第二部分，所述第二部分在質(zhì) 量流量控制器內(nèi)提供用于與第一流路的第一部分平行的流路。第二流 路可用于測量流量。上述一般說明和下面的詳細(xì)說明僅是示例性和說明性的，而不是 限制本發(fā)明，如所附權(quán)利要求書中所述。


本發(fā)明在各附圖中當(dāng)作例子而不是限制說明本發(fā)明。圖1是一種具有若干一般是圓的圓筒形孔的流量限制器剖視圖。圖2是一種具有若干內(nèi)槽和一個(gè)沿著流量限制器中心軸線的中心管道的流量限制器剖視圖。圖3是一種流量限制器，具有若干槽從一個(gè)外表面朝流量限制器中心軸線延伸的透視圖。圖4是一種圖3中所示流量限制器的剖視圖。圖5是一種圖3中所示流量限制器其中一部分切出的示圖。圖6是一種從一外表面延伸到圖3中所示的流量限制器中的槽放大剖視圖。圖7是圖3中所示的流量限制器具有若干悍接到流量限制器外表 面上的導(dǎo)線的側(cè)視圖。圖8是一種包括按照本發(fā)明所述的流量限制器的質(zhì)量流量控制器 示意圖。圖9是一種圖8的質(zhì)量流量控制器在質(zhì)量流量控制器在錐形部分 內(nèi)的剖視圖。圖10是一種可供選擇的流量限制器具有若干槽的剖視圖，所述若 干槽從流量限制器的外表面延伸并與流量限制器的外表面垂直。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，圖中各元件都是供簡單而清楚地示 出，并且不一定是按比例繪出。例如，圖中某些元件的尺寸可能比其 它元件夸張，以便協(xié)助改善理解本發(fā)明的一些實(shí)施例。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在詳細(xì)參照本發(fā)明的一些示例性實(shí)施例，其中一些例子在附圖 中示出。在一切可能的地方，在整個(gè)附圖中，相同的標(biāo)號都用來表示 相同或相似的部件(元件)。一種流量限制器可以包括一種實(shí)心的材料和若干槽，上述若干槽 從材料的外表面起始并向內(nèi)前進(jìn)。各槽可以具有深度，所述深度朝向 材料內(nèi)一個(gè)中心軸線或其它點(diǎn)定向。流量限制器可以制造并結(jié)合到裝 置中，而不需要顯著改變裝置的其它部件。與基本上是圓形孔相比，當(dāng)各槽和孔具有相同的體積時(shí)，各槽具有比較大的表面積。當(dāng)一種流體流經(jīng)各槽時(shí)，由于流經(jīng)各槽而產(chǎn)生的 壓降可能比由于進(jìn)出各槽所產(chǎn)生的壓降高。此外，在流量限制器和一 種裝置的一個(gè)內(nèi)壁之間的環(huán)形體積可以近似一個(gè)槽，上述流量限制器 和裝置的內(nèi)壁二者都在裝置中。因此，可以用一系列槽建立模型代替 具有一種若干槽和圓孔組合的更復(fù)雜模型。更進(jìn)一步，各種設(shè)計(jì)選擇 和制造方法的組合可以在一 實(shí)際位移范圍內(nèi)允許幾乎無限的可調(diào)性。圖3包括一種流量限制器30的透視圖。流量限制器30可以用一 種實(shí)心的材料制造，各槽32可以在上述實(shí)心材料中機(jī)加工形成，并且 從外表面34延伸到更靠近一連串的中心點(diǎn)36 (圖3中只示出一個(gè))， 上述各中心點(diǎn)36沿著中心軸線布置。流量限制器30可以用一種對繞 其流動(dòng)的流體基本上不起化學(xué)反應(yīng)的材料制造。例如，該材料可以是 不銹鋼316。其它的材料也可以用。盡管并不要求，但流量限制器30 可以是一種剛性材料，以便當(dāng)用壓力將流量限制器30擠壓成一種質(zhì)量 流量控制器或其它裝置時(shí)，減少各槽32改變形狀的可能性。圖4包括流量限制器30其中一部分的剖視圖。如圖4中更清楚示 出的，各槽32從外表面34朝中心點(diǎn)36方向延伸。各槽32基本上垂 直于中心線。圖5包括流量限制器30—種部分切去的視圖，圖5示出 各槽32沿著流量限制器30的整個(gè)長度延伸。圖6包括一種流量限制器30其中一部分的放大剖視圖，以便示出 槽32其中某些詳細(xì)情況。槽32包括若干側(cè)表面或壁322和一個(gè)基本 上是圓形的底表面324。槽32可以沿著虛線62形成。虛線62在中心 點(diǎn)36處開始，并延伸到外表面34外部。虛線64代表一個(gè)在對應(yīng)于槽 32中部一個(gè)位置處基本上與流量限制器30相切的線段。虛線62和64 基本上相互垂直。在這個(gè)特定實(shí)施例中。各壁322基本上相互平行和 平行于虛線62。 a和P基本上分別是90。，并因此，槽32的深度328 在從其延伸的一個(gè)點(diǎn)處基本上與外表面104垂直。槽32可以具有一個(gè) 縱橫比(深度328:寬度326 )為至少大約5:1，而通常，是在大約 10:1-100:1范圍內(nèi)。在一種非限制性例子中，槽32可以具有一寬度是在大約50-5000微米范圍內(nèi)，和具有一深度328是在大約150-25000微米范圍內(nèi)。在 看了本說明書之后，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，寬度326和深度328 可以具有在規(guī)定范圍之外的值。無論寬度326和深度328所用的尺寸 如何，縱橫比都還仍是至少大約5:1。流量限制器30可以沿著它的長度成錐形。參見圖6。長度基本上 垂直于虛線62和64 (亦即進(jìn)出圖6所示圖的方向)。各槽32的深度 沿著流量限制器30的長度可以基本上相同。在另一個(gè)實(shí)施例中，各槽 32的底表面可以保持在距流量限制器30的中心軸線大約一恒定的距 離處。在這個(gè)實(shí)施例中，在錐形外表面34的情況下，各槽32的深度 可以是在流量限制器30的較寬端附近比流量限制器30的較窄端更深。 在還有另一個(gè)實(shí)施例中，各槽的深度或?qū)挾瓤梢杂闷渌绞礁淖儭４?外，各槽32可以具有若干壁322,上述若干壁322不相互平行，但形 成一種帶輕微錐形的槽32。在這個(gè)特定實(shí)施例中，oc， (3或它們二者都 可以大于90。。此外，各槽在外表面34附近的頂角可以是圓形。各槽可以用一種電火花機(jī)("EDM")加工形成。在EDM情況下， 各槽橫跨流量限制器30長度的深度可以基本上是均勻的。在另 一個(gè)實(shí) 施例中，可以用一種金剛石鋸或其它刀片切開各槽。在這個(gè)實(shí)施例中， 各槽的底部表面可以基本上是平的。對形成具有底表面距一中心軸線 基本上恒定距離的槽，機(jī)械裝置可能是良好的。在看了本說明書之后， 本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解(l)EDM可以用來形成若干沿著槽的長 度具有基本上均勻深度的槽，(2)機(jī)械裝置可以用來形成具有基本上 距中心軸線恒定距離的槽，及(3)可以用蝕劑法或其它方法來形成若 干槽。圖7包括一種流量限制器30在分別用點(diǎn)焊722和724固定導(dǎo)線 72和74之后的側(cè)視圖。流量限制器30在一端處可以具有一個(gè)直徑(寬 度)762,所述直徑(寬度)762比流量限制器30另一端處的直徑(寬 度)764大，如圖7中所示。寬度的錐形可以是在大約0.1。-10°范圍內(nèi)。導(dǎo)線72和74沿著流量限制器30的長度延伸，在流量限制器30 的較窄端處相互交叉，并沿著流量限制器30的相對側(cè)邊延伸(未示出)。盡管未示出，但導(dǎo)線72和74的另一端也延伸到流量限制器30 較寬端的外面。導(dǎo)線72和74可以具有一直徑是在大約50-1300微米 范圍內(nèi)，而通常是在大約150-400微米范圍內(nèi)。導(dǎo)線可以幫助限制器 30在一個(gè)管道內(nèi)對準(zhǔn)，并可以使流量限制器30偏離它放入其中的管 道內(nèi)壁。圖8包括一種質(zhì)量流量控制器80的示意圖，所述質(zhì)量流量控制器 80包括一個(gè)入口 822， 一個(gè)主體824，和一個(gè)出口 826。主體824可以 包括一個(gè)第一流路844和一個(gè)第二流路846。流量限制器30位于第一 流路844的一個(gè)錐形部分845內(nèi)。錐形部分845的內(nèi)壁限定錐形，而 流量限制器30的外表面34具有一種與錐形部分845的錐形相對應(yīng)的 形狀(亦即實(shí)際上相互平行)。第二流路846通常具有比第一流路844 小的直徑。第二流路846提供一種與第一流路平行的流路，并可以用 來測量氣體穿過質(zhì)量流量控制器80的流量?？刂破?6連接到一個(gè)閥 842和一個(gè)傳感器848上。根據(jù)穿過質(zhì)量流量控制器80的流速，流量限制器30和錐形部分 845之間的環(huán)形區(qū)可以調(diào)節(jié)用于那種流速。參見圖9，錐形部分845 具有一個(gè)外壁92和一個(gè)內(nèi)壁94。在流量限制器30的外表面34和錐 形部分845的內(nèi)壁94之間的環(huán)形區(qū)中的流動(dòng)特性隨距離96而變。起 初，距離96與導(dǎo)線72和74的直徑大約相同。在一個(gè)插入操作期間， 隨著用來將流量限制器30插入錐形部分435的壓力增加，導(dǎo)線72和 74可以變平并減小距離96。因此，導(dǎo)線72和74可以包括一種比用于 流量限制器30和錐形部分435的材料軟的材料。示例性的材料可以包 括塑料、可延展的金屬(比如鎳、不銹鋼等)、及類似物。在某些情況 下，在插入期間所用的力可以是大約500牛頓或數(shù)百磅。照這樣，質(zhì) 量流量控制器80可以轉(zhuǎn)變成質(zhì)量流速，對上述質(zhì)量流速可以通過改變 在插入實(shí)踐期間所用的壓力設(shè)計(jì)。流體通過流量限制器的流動(dòng)也可能受改變流量限制器30的設(shè)計(jì) 及導(dǎo)線72和74的寬度影響。導(dǎo)線72和74可以在流量限制器30和錐 形部分845的錐形內(nèi)壁之間提供一種環(huán)形。如果穿過第一流路844的流速與穿過第二流路846的流速比例增加則導(dǎo)線72和74可以具有一 個(gè)較大的直徑，流量限制器30中的各槽32可以更寬或更深，或者流 量限制器30中的槽32的數(shù)量可以增加。如果穿過第一流路844的流 量與穿過第二流路846的流量比減少，則可以用一種較小直徑的導(dǎo)線 72和74，各槽32可以更窄或更淺，或者流量限制器30中的槽32數(shù) 量可以減少。在一個(gè)特定的實(shí)施例中，可以用一種各種方法的組合來調(diào)節(jié)一個(gè) 流量限制器周圍的流量。例如，可以用槽的數(shù)量作為一種粗調(diào)，和可 以用插入壓力作為一種細(xì)調(diào)。 實(shí)例給出 一 個(gè)特殊的非限制性例子來舉例說明某些尺寸和設(shè)計(jì)考慮。 一種質(zhì)量流量控制器對于氮(N2)氣具有一標(biāo)準(zhǔn)流量額定值為每分鐘 30標(biāo)準(zhǔn)立升。流量限制器30可以具有一大約19亳米的總長度和一大 約9.8毫米的較大寬度。錐形為總共大約2。。流量限制器可以具有24 個(gè)槽，同時(shí)每個(gè)槽都具有一深度為大約3200微米和一寬度為大約250 微米。各槽的縱橫比為大約13:1。各導(dǎo)線都可以固定到流量限制器上， 并且每個(gè)導(dǎo)線都可以具有一直徑為大約200微米。在制備限制器導(dǎo)線 后，可以將組合體插入質(zhì)量流量控制器。質(zhì)量流量控制器的其余部分 的制造和校準(zhǔn)可以用一種常規(guī)方法進(jìn)行。流量限制器30可以在幾乎任何流量裝置中使用，上述流量裝置包 括一種質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)、或任何其它控制、測量、或調(diào) 節(jié)各種流體流量的裝置，上述各種流體無論是氣體還是液體。流量限制器30具有超過常規(guī)流量限制器的優(yōu)點(diǎn)如圖1和2中所 示。流量限制器30沒有如圖1中所見到的圓形圓筒孔12和圖2中的 中心管孔26。流量限制器30可以設(shè)計(jì)成由于第一流路中的各種損失 而增加壓力損失和由于進(jìn)出各槽32的作用而減少壓力損失。設(shè)計(jì)增加 限制器流體潤濕的表面積和邊界層的厚度。不象圓形開口 12或中心管 道10，帶有若干外部槽的流量限制器30可以設(shè)計(jì)成通過使局部(在 各槽32內(nèi)的)Reynold值低于產(chǎn)生湍流的那些值來得到層流。另外，延伸到外表面34的各槽32不象圖2中的流量限制器那樣， 它們很少有可能具有它們隨壓力改變而改變的形狀，上述圖2中的流 量限制器可能具有它的各槽隨著壓力改變而顯著改變。由于當(dāng)把流量 限制器30壓入一種機(jī)加工的管道入口中時(shí)，各槽32具有垂直于外表 面34定向的深度328，所以各槽32將保持不變形，并且限制器的傳 導(dǎo)性僅通過改變插入壓力和導(dǎo)線形狀進(jìn)行調(diào)節(jié)。盡管對一規(guī)定的橫貫 一流量限制器的壓差，使用圖1中內(nèi)孔增加了流量，但內(nèi)孔可以減少 限制器轉(zhuǎn)移到各內(nèi)孔中的流量與外部各環(huán)比例的可調(diào)節(jié)性。本發(fā)明保 持相同的可調(diào)節(jié)性比例。流量限制器30可以用來改變第 一和第二流路844和845之間的流 量比?？梢圆捎萌缟纤龅牟煌兞縼磉_(dá)到所希望的流量比用于所設(shè) 計(jì)的流動(dòng)條件(比如，氣體，壓力，總流速等)。圖10包括一種可供選擇的實(shí)施例，其中若干槽102從一個(gè)外表面 104延伸到一個(gè)位置，上述各位置更靠近中心點(diǎn)106,但不直接對準(zhǔn)中 心點(diǎn)106。換句話說，各槽102的深度不垂直于它們由其延伸的外表 面104。另外，各槽102基本上不垂直于中心線。各槽的底表面可以 是距一中心軸線基本上相同的距離。與流量限制器30相同，流量限制 器IOO沒有若干內(nèi)部孔12或中心管道26。當(dāng)流量限制器IOO壓入一機(jī)加工的管道入口中時(shí)，各槽102可能 隨著施加更多的力而變形，并減少各槽102在外表面104附近的寬度。 這種尺寸上的改變這樣改變流量限制器的流體傳導(dǎo)性，以便流量限制 器IOO可通過固定導(dǎo)線的變形以及通過各槽102的變形，在流量限制 器100的外部調(diào)節(jié)。在還有另一個(gè)實(shí)施例中，流量限制器可用于其它的流體流動(dòng)應(yīng)用。 例如，流量限制器可以用來將一種液體流的其中 一部分從一個(gè)第 一流 路轉(zhuǎn)移到 一個(gè)第二流路。本文所述的思想可以用來合適地設(shè)計(jì)具有各 槽從流量限制器的 一 個(gè)外表面延伸的流量限制器。在另一個(gè)可供選擇的實(shí)施例中，可以采用不同數(shù)量的導(dǎo)線(與導(dǎo) 線72和74相同)。例如，可以只用3個(gè)導(dǎo)線段代替沿著流量限制器的4個(gè)導(dǎo)線段。另外，可以采用更多的導(dǎo)線段，而且它們所占的面積量 可以變得大于所希望的面積量。在還有另一種可供選擇的實(shí)施例中， 不需要導(dǎo)線。在上述說明書中，本發(fā)明已參照 一 些特殊的實(shí)施例進(jìn)行了說明。 然而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離如下面權(quán)利要求書所述 的本發(fā)明范圍的情況下，可以進(jìn)行各種修改和改變。因此，說明書和 各附圖可認(rèn)為是一種舉例說明而不是一種限制的意義，并且所有這些 修改都打算包括在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。上面關(guān)于一些特殊的實(shí)施例已經(jīng)說明了一些好處、其它優(yōu)點(diǎn)、及 時(shí)一些問題的解決方案。然而，可以使任何好處、優(yōu)點(diǎn)、或解決方案 發(fā)生或變得顯著的那些好處、優(yōu)點(diǎn)、對各種問題的解決方案、及任何 一個(gè)或多個(gè)要素，都不說成是任何或全部權(quán)利要求的一種關(guān)鍵的、所 要求的、或重要的特點(diǎn)或要素。如本文中所用的術(shù)語"包括"、"其中包括"、"包含"、"其中包含"、 "具有"、"其中具有"或任何它們的其它變相說法，都用來包含一種非唯一的內(nèi)容物。例如，包括一種元件清單的一種方法、過程、制品、 或裝置不一定僅限于那些元件，而是可以包括未清楚列出或這種方法、 過程、制品或裝置所固有的那些元件。另外，除非清楚地說出相反， 否則"或"涉及一種或是包括在內(nèi)或是不包括在內(nèi)。例如， 一種條件 A或B滿足下列情況的其中之一A是真的(或存在)而B是假的(或 不存在)，A是假的(或不存在)和B是真的(或存在)，及A和B 二 者都是真的(或存在)。
權(quán)利要求
1.一種質(zhì)量流量裝置，包括第一流路；流量限制器，其位于第一流路的第一部分內(nèi)，其中流量限制器包括一種材料，所述材料具有光滑的外表面、在所述第一流路中定位在上游的第一端、第二端以及圓形的橫截面，其中所述材料沿其長度從第一端至第二端成錐形；及多個(gè)槽，其中該多個(gè)槽中的每一個(gè)都具有一深度和一長度，所述深度從所述材料的所述外表面朝向上述橫截面的中心點(diǎn)延伸，所述長度從所述材料的第一端延伸到第二端；以及第二流路，所述第二流路包括第二流路的第一部分，所述第一部分用于在質(zhì)量流量控制器內(nèi)給第一流路的第一部分提供一平行的流路，其中第二流路小于第一流路，并連接到一傳感器上；其中導(dǎo)線段位于第一流路的內(nèi)壁與流量限制器之間。
2. 如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，第一流路的 第一部分具有與材料的錐形對應(yīng)的錐形。
3. 如權(quán)利要求l所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè)槽 彼此相同。
4. 如權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè)槽 具有離材料內(nèi)的中心點(diǎn)相同距離的底表面。
5. 如權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè)槽 均具有與所述外表面垂直的深度。
6. 如權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè)槽 均具有與所述外表面不垂直的深度。
7. 如權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè)槽 具有彼此平行的壁。
8. 如權(quán)利要求l所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè)槽具有范圍在10:1到100:1內(nèi)的縱橫比。
9. 如權(quán)利要求l所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè)槽 的寬度在50-500微米的范圍內(nèi)。
10. 如權(quán)利要求9所述的質(zhì)量流量裝置，其特征在于，所述多個(gè) 槽的寬度在150-25000微米的范圍內(nèi)。
全文摘要
一種質(zhì)量流量裝置，包括第一流路；流量限制器，其位于第一流路的第一部分內(nèi)，其中流量限制器包括一材料，所述材料具有光滑的外表面、在第一流路中定位在上游的第一端、第二端以及圓形的橫截面，其中所述材料沿其長度從第一端至第二端成錐形；及多個(gè)槽，其中該多個(gè)槽中的每一個(gè)都具有一深度和一長度，所述深度從所述材料的所述外表面朝向上述橫截面的中心點(diǎn)延伸，所述長度從所述材料的第一端延伸到第二端；以及第二流路，第二流路包括第二流路的第一部分，所述第一部分用于在質(zhì)量流量控制器內(nèi)給第一流路的第一部分提供一平行的流路，其中第二流路小于第一流路，并連接到一傳感器上；其中導(dǎo)線段位于第一流路的內(nèi)壁與流量限制器之間。
文檔編號G01F1/22GK101231184SQ20081000135
公開日2008年7月30日 申請日期2003年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月24日
發(fā)明者吳光華, 文森特·洛佩斯, 斯圖爾特·A·蒂森, 特蕾西·吉爾 申請人:迅捷公司