專利名稱：聚焦光束橢偏儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及聚焦光束橢偏儀，更具體地說(shuō)，涉及一種對(duì)具有特定偏 振的光在該光入射到試樣表面然后在該試樣表面上反射之前的偏振進(jìn)行 分析以便得到該試樣光學(xué)特性的橢偏儀。
背景技術(shù)：
在大多數(shù)物理、化學(xué)和材料領(lǐng)域的研究中，測(cè)量材料的光學(xué)特性和 薄膜厚度非常重要。尤其是在近來(lái)的半導(dǎo)體和顯示器工業(yè)中，在制作工
藝之間在產(chǎn)品成器率與性能改善方面限定并且控制PR、工TO和柵極氧化 膜的厚度及光學(xué)特性非常重要。
當(dāng)前已知各種原理可以用來(lái)測(cè)量材料光學(xué)特性和薄膜厚度。在這些 原理當(dāng)中，隨著光源、光檢測(cè)器和計(jì)算機(jī)的發(fā)展，橢偏儀在性能方面改 進(jìn)很多，并且隨著使用薄膜和表面的工藝的增加，橢偏儀的應(yīng)用得到了 顯著增加。
橢偏儀被劃分為反射型和透射型，并且利用入射角分析從試樣表而
反射的光的偏振的反射型的橢偏儀得到廣泛使用。反射型的憤j偏儀可小:
要用于通過(guò)測(cè)量試樣反射的光的偏振的變化獲得試樣的光學(xué)特性比如折 射率和消光系數(shù)，并且也可以用于獲得諸如試樣的表而狀態(tài)的特性。 將垂直于試樣表面并且在光路徑上的平面定義為入射面。將光的電
場(chǎng)矢量方向垂直于入射面的情況稱為s-波，而將光的電場(chǎng)矢量方向在入
射面上的情況稱為p-波。
如果給定試樣結(jié)構(gòu)、薄膜的光學(xué)特性和厚度以及試樣的元件材料的
入射角，則通過(guò)下式分別計(jì)算出特定波長(zhǎng)的s-波和P-波的反射系數(shù)rs 和rp:
<formula>formula see original document page 3</formula>其中，卜P""是反射波的電場(chǎng)￡ "(》與入射波的電場(chǎng)￡ ^的比率。此外， "W是反射所導(dǎo)致的相位差。在橢偏儀中，將復(fù)反射系數(shù)比P(P-波與s-波的反射系數(shù)之比)定義如下
丄一
據(jù)此將橢偏角V和A定義如下:
Y = tan
位入射的p-
其中tanv為反射系數(shù)的幅度之比，而A為 波和s-波在反射之后p-波與s-波之間的相位差。
現(xiàn)有的專利和論文中公開(kāi)了具有各種功能和結(jié)構(gòu)的橢偏儀。作為典 型的橢偏儀，存在通過(guò)控制線偏振器和補(bǔ)償器發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)(null point) 的零點(diǎn)式橢偏儀、光源部模塊的線偏振器以恒定速度轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)偏振器 橢偏儀、光接收部模塊的線偏振器以恒定速度轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)檢偏器橢偏儀 或者光接收部模塊的補(bǔ)償器以恒定速度轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)補(bǔ)償器橢偏儀。
圖1示出了廣泛使用的橢偏儀中的其中一種轉(zhuǎn)動(dòng)偏振器橢偏儀。轉(zhuǎn) 動(dòng)偏振器橢偏儀300設(shè)置有光源部模塊330，在光源部模塊330內(nèi)，線偏 振器通過(guò)步進(jìn)電機(jī)或者直流電極以恒定速度轉(zhuǎn)動(dòng)，以便使從光源310發(fā) 出的光320偏振。光源部模塊330可以包括準(zhǔn)直透鏡、線偏振器等。通 過(guò)光源部模塊330的光被線偏振，并且偏振軸以與驅(qū)動(dòng)電機(jī)相同的速度 轉(zhuǎn)動(dòng)。試樣表面反射的光在由于試樣光學(xué)特性而改變了其偏振之后山光 接收部模塊350接收。光接收部模塊350可以包括線偏振器、補(bǔ)償器等， 并且使得過(guò)濾后的特定偏振分量能夠透過(guò)。光檢測(cè)器360將通過(guò)了光接 收部模塊350并且入射到光接收部模塊350上的光強(qiáng)度檢測(cè)為電信號(hào)(例 如電壓或者電流)。結(jié)合光源部模塊330中的偏振器的偏振軸的方位角信 息和光接收部模塊350中的偏振器的偏振軸的方位角信息，在處理裝置 370中處理檢測(cè)到的光的強(qiáng)度信號(hào)。
在上述橢偏儀中，作為光源，可以使用白光源(例如鹵鎢燈、氙燈等)和單色光源(例如激光等)。當(dāng)使用白光源時(shí)，可以在光源部模塊330 或者光接收部模塊350上添加分光鏡。除了上述橢偏儀之外，已經(jīng)開(kāi)發(fā) 了各種橢偏儀，并且可以通過(guò)添加、去除或者驅(qū)動(dòng)補(bǔ)償器、相位調(diào)制裝 置等從基本結(jié)構(gòu)獲得各種結(jié)構(gòu)。
在圖1的轉(zhuǎn)動(dòng)偏振器橢偏儀的情況下，光源部模塊320和光接收部
350分別僅僅包括線偏振器，并且光源部模塊330的偏振器的偏振軸方位
角以均勻角速度①轉(zhuǎn)動(dòng)，光檢測(cè)器檢測(cè)到的電壓信號(hào)V(t)為時(shí)間t的函
數(shù)，并且可以通過(guò)下式表示
j/(y) = Fav + acos(2atf) + 6sin(2&^)
其中，^y是電壓的時(shí)間平均值，a和b是角頻率為2co的傅立葉系
數(shù)。通過(guò)將上式的兩項(xiàng)除以^y而標(biāo)準(zhǔn)化的傅里葉系數(shù)為
Q== tan 2(w)— tan 2G4) 一 7幼_ tan 2(w)+ tan 2(A)
(3 = _^_ = 2 tan (少)cos (厶)tan M) V幼— tan 2(w)+ tan 2(/l)
其中，A是光接收部模塊350中的偏振器的偏振軸的方位角。再次整
理該式，利用以下關(guān)系式獲得了橢偏角^_
W —— tan -1(、/ I"+a tanA)
可以將從上面獲得的作為結(jié)果的橢偏角V和A用p偏振光和s偏 振光的菲涅耳反射系數(shù)rp和r,來(lái)表達(dá)，并且因此可以在將它們與利用適 于試樣340的光學(xué)特性的模型方程計(jì)算出的V和A的值進(jìn)行比較的過(guò) 程中獲得試樣的物理量。
在測(cè)量材料的光學(xué)特性和薄膜的厚度的方法中，橢偏儀法是-種誠(chéng) 于光學(xué)計(jì)量學(xué)的技術(shù)，并且與類似技術(shù)(例如反射測(cè)量法、千涉測(cè)設(shè)法 等)相比，橢偏儀法具有對(duì)超薄膜靈敏感的優(yōu)勢(shì)。
因?yàn)橥ǔ２⑶覐V泛使用的轉(zhuǎn)動(dòng)檢偏器橢偏儀、轉(zhuǎn)動(dòng)偏振器橢偏儀和 轉(zhuǎn)動(dòng)補(bǔ)償器橢偏儀由于其結(jié)構(gòu)而具有通過(guò)步進(jìn)電機(jī)或者直流電機(jī)機(jī)械轉(zhuǎn) 動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件，因此測(cè)量時(shí)間受到電機(jī)速度的限制，并且總是存在由于機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)而導(dǎo)致的信號(hào)噪聲。
在相位調(diào)制型(另一種類型的橢偏儀)中，測(cè)量時(shí)間受到光彈調(diào)制器 的相位調(diào)制頻率的限制。偏振器在轉(zhuǎn)動(dòng)偏振器橢偏儀中的轉(zhuǎn)動(dòng)速度為大
約10-100Hz，而在相位調(diào)制型的橢偏儀中的相位調(diào)制頻率大約為5()kl卜z， 因此相位調(diào)制型的橢偏儀相對(duì)而言適合于高速測(cè)量，但是耑耍溫控器， 因?yàn)楣鈴椪{(diào)制器具有溫度依賴性和光波長(zhǎng)依賴性，并且難以針對(duì)所使用 的光的波長(zhǎng)校正光彈調(diào)制器的光學(xué)特性。
美國(guó)專利4， 999， 014、 5， 042， 951和5， 181， 080中公開(kāi)了與根據(jù)本發(fā)
明的聚焦光束橢偏儀的結(jié)構(gòu)類似的結(jié)構(gòu)。這些現(xiàn)有的專利旨在針對(duì)納米 薄膜提高測(cè)量結(jié)果精確度。然而，在現(xiàn)有專利的聚焦光束橢偏儀中，必 然限制了對(duì)V和A的測(cè)量精確度的提高，因?yàn)関和A是通過(guò)取用一
部分由聚焦光束橢偏儀的結(jié)構(gòu)所形成的反射光而計(jì)算出的
發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題
本發(fā)明的目的是提供一種采用新穎原理的橢偏儀，根據(jù)需要通過(guò)i乜 機(jī)實(shí)現(xiàn)的恒定速度轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的傳統(tǒng)轉(zhuǎn)動(dòng)檢偏器橢偏儀和轉(zhuǎn)動(dòng)偏報(bào)器橢 偏儀改善了該橢偏儀，以便在不需要恒定速度轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的情況下能夠 進(jìn)行測(cè)量，并且因此能夠通過(guò)采用處于靜態(tài)的多個(gè)360度入射面的偏振 分量更加精確并高速地測(cè)量橢偏角。
技術(shù)方案
根據(jù)本發(fā)明的橢偏儀包括
光源；設(shè)置有使從所述光源發(fā)出的光偏振的線偏振器的光源部模塊; 對(duì)由所述光源部模塊偏振的光進(jìn)行分束的分束器；允許由所述分束器分 束后的光的一部分通過(guò)并且會(huì)聚照射到試樣上的物鏡；設(shè)置有檢偏器的 光接收部模塊，所述檢偏器是用于過(guò)濾在所述試樣上反射的光的特定偏 振并且接收在所述試樣上反射且通過(guò)所述物鏡和所述分束器的光的偏振 器；利用單元裝置來(lái)檢測(cè)由所述光接收部模塊接收到的光的光檢測(cè)器 以及處理裝置，其用于將所述光檢測(cè)器檢測(cè)到的光的強(qiáng)度校正為對(duì)應(yīng)于所述光檢測(cè)器的沿著多個(gè)360度入射面的通路的單元裝置的值，并且對(duì)
該值進(jìn)行處理。
此外，所述光檢測(cè)器可以為電荷耦合裝置，該電荷耦合裝置具有多 個(gè)單元裝置，并因此能夠測(cè)量二維圖像。
此外，所述光源部模塊和所述光接收部模塊中的每一個(gè)還可包括允 許特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光通過(guò)的濾波器。
此外，所述光源部模塊和所述光接收部模塊中的每- 個(gè)還可包括準(zhǔn) 直透鏡和補(bǔ)償器。


根據(jù)結(jié)合附圖給出的優(yōu)選實(shí)施方式的以下描述，本發(fā)明的以上和其
他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得明顯，在圖中
圖1為例示了傳統(tǒng)轉(zhuǎn)動(dòng)補(bǔ)償器橢偏儀的框圖2為例示了根據(jù)本發(fā)明的聚焦光束橢偏儀的框圖3為例示了根據(jù)光檢測(cè)器檢測(cè)到的圖像位置通過(guò)物鏡入射到試樣 上的光的視圖4為例示了根據(jù)通過(guò)物鏡入射到試樣上的光的位置的偏振狀態(tài)的 視圖5為例示了光入射到試樣表面并且在試樣表而上反射的狀態(tài)的視 圖；以及
圖6為例示了在試樣表面反射的光入射到光檢測(cè)器的單元裝置的狀 態(tài)的視圖。
主要元件詳述
110:光源
120:光源部模塊
130:分束器
140:物鏡
150:試樣
160:光接收部模塊170:光檢測(cè)器 171:單元裝置 180:處理裝置
具體實(shí)施例方式
此后，將參考附圖詳細(xì)地描述本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖2為例示了根據(jù)本發(fā)明的聚焦光束橢偏儀的框圖；圖3為例示了 根據(jù)光檢測(cè)器檢測(cè)到的圖像位置通過(guò)物鏡入射到試樣的光的視圖；圖4 為例示了根據(jù)入射到試樣的光的位置通過(guò)物鏡后的偏振狀態(tài)的視圖；圖5 為例示了光入射到試樣表面并且在試樣表面上反射的狀態(tài)的視閣；而閣6 為例示了在試樣表面反射的光入射到光檢測(cè)器的單元裝覽的狀態(tài)的視 圖。
如圖所示，根據(jù)本發(fā)明用于測(cè)量薄膜厚度和試樣光學(xué)特性的橢偏儀 包括光源110;設(shè)置有使從光源110發(fā)出的光偏振的線偏振器的光源部
模塊120;對(duì)通過(guò)光源部模塊120偏振的光進(jìn)行分束的分束器130;使得
由分束器130分束后的光的一部分能夠會(huì)聚照射到試樣上的物鏡140;用
于接收在試樣上反射的光的光接收部模塊160;利用單元裝置來(lái)接收由光
接收部模塊160接收到的光的光檢測(cè)器170;以及處理裝置180，其用于 校正并且處理光檢測(cè)器170檢測(cè)到的光的強(qiáng)度。
光源110可以包括白光源(例如鹵鎢燈、氙放電燈等)和單色光源 (例如激光等)，并且特定的激光器本身可以發(fā)射偏振光。然而在木發(fā)明 中，為了明顯地限定從光源110發(fā)出的光的偏振方向，光源部校塊120 將光的偏振方向設(shè)定為預(yù)定方向。從光源110發(fā)出的光入射到光源部校 塊120。
光源部模塊120上設(shè)置有線偏振器，用于使從光源110發(fā)出的光線 偏振。從光源110發(fā)出的光通過(guò)由線偏振器和補(bǔ)償器等組成的光源部模 塊120。根據(jù)構(gòu)成光源部模塊120的光學(xué)裝置的設(shè)置位置，通過(guò)光源部模 塊120的光具有預(yù)定偏振方向。
分束器130用于對(duì)在光源部模塊120處被偏振的光進(jìn)行分束。分束后的光的一部分通過(guò)設(shè)置在分束器130下部的物鏡140，而該光的其它部
分則入射到設(shè)置在分束器130上部的光接收部模塊160。由分束器130分 離后的其他光入射到光接收部模塊160，并且用于在測(cè)量過(guò)程中確認(rèn)光源 的穩(wěn)定性。
通過(guò)分束器130的光以垂直于試樣的方向入射到試樣并且由具有大 數(shù)值孔徑的物鏡140進(jìn)行調(diào)整，如圖2所示，以便聚焦在試樣表面。物 鏡140設(shè)置在分束器130的下部，并且用于使分束器130分束后的光的 一部分會(huì)聚照射并經(jīng)過(guò)分束器130到達(dá)試樣。
在試樣150的表面上反射的光通過(guò)物鏡和分束器130，以便傳輸 到光接收部模塊160。
在附圖中，物鏡140和試樣150可以線性設(shè)置在分束器130的后而。
設(shè)置在分束器130上部的光接收部模塊160設(shè)置有線偏振器，用于 過(guò)濾在試樣150上反射的光的特定偏振，并且光接收部模塊160接收通 過(guò)物鏡140和分束器130的光。在此，光接收部模塊160用于對(duì)光進(jìn)行 校準(zhǔn)，使得通過(guò)的光的方向垂直于光檢測(cè)器170，并且用于過(guò)濾特定的偏 振分量。與光源部模塊120類似，光接收部模塊160可以包括準(zhǔn)直透鏡、 小孔等，并且根據(jù)情況可以由與光源部模塊120相同的線偏振器、補(bǔ)償 器等組成。通過(guò)光接收部模塊160的光傳輸?shù)焦鈾z測(cè)器170。
光檢測(cè)器170檢測(cè)具有單元裝置的光接收部模塊160接收到的光， 并且將在光檢測(cè)器170的各個(gè)位置獲得的信息傳輸?shù)教幚硌b置180以便 進(jìn)行處理。
處理裝置180將光檢測(cè)器170檢測(cè)到的光的強(qiáng)度校正為對(duì)應(yīng)于光檢 測(cè)器170的沿著多個(gè)360度入射面的通路的各個(gè)單元裝置(例如，在光檢 測(cè)器為電荷耦合裝置的情況下，單元裝置為像素)的值，并且對(duì)該值進(jìn)行 處理。光檢測(cè)器170可以包括電荷耦合裝置，該電荷耦合裝置具有多個(gè) 單元裝置，并且能夠測(cè)量二維圖像。
此后，將詳細(xì)地描述本發(fā)明用于實(shí)現(xiàn)上述聚焦光束橢偏儀的原理的 機(jī)制。
圖3為示出了根據(jù)光檢測(cè)器檢測(cè)到的圖像位置通過(guò)物鏡入射到試樣的光的視圖。入射到142A處的光在試樣150的表面反射，并且通過(guò)關(guān)于 物鏡140的中心141對(duì)稱的位置142C。同樣地，入射到142C處的光在試 樣150的表面上反射之后通過(guò)142A。參考圖5，入射到物鏡140的每個(gè) 位置的光通過(guò)關(guān)于物鏡140的中心141對(duì)稱的位置，同時(shí)，入射到透鏡 140上的半徑為r的圓周上的位置處的光具有相同的入射角e 。
因?yàn)閺膱D2中的光源發(fā)出的光在通過(guò)光源部模塊120的同時(shí)，具有 了預(yù)定的偏振方向，因此將根據(jù)入射到物鏡的光的位置的偏振方向表示 在圖4中。
圖4為例示了根據(jù)入射到物鏡140的光的位置的偏振方向的視圖。 因?yàn)樵谠摴庵校穹较蚴腔诠饨?jīng)過(guò)的入射面定義的，因此在物鏡140 上同一軸上的位置中的偏振方向都相同，而在同一圓周上的偏振方向都 不相同。入射到142A和142C處的光被p偏振，并且在t式樣上反射，然 后分別通過(guò)142C和142A，以便向前進(jìn)入光檢測(cè)器。入射到M2B和1421) 處的光被s偏振，并且在試樣上反射，然后分別通過(guò)142D和142B，以便 向前進(jìn)入光檢測(cè)器。因此，入射到物鏡140上處于從142A延伸到142C 的線和從142B延伸到142D的線上的光具有包括S波和P波分量的偏振 方向。當(dāng)從p偏振位置轉(zhuǎn)動(dòng)^時(shí)，偏振方向與軸所在的方向相同。同時(shí)， 物鏡140上的偏振分量是由入射到物鏡140的光的偏振分量所確定的值。
圖5例示了物鏡140和通過(guò)了物鏡140的光聚焦于試樣150的表面 上的步驟。入射到物鏡140的光束通過(guò)物鏡140的數(shù)值孔徑折射，以便 入射到試樣150的表面，并且通過(guò)物鏡140的數(shù)值孔徑確定入射到試樣 150的表面的光束的入射角9。如果通過(guò)物鏡140中心的光束與通過(guò)物鏡 140的最外邊緣的光束之間的角度為e MM，則利用物鏡140的數(shù)位孔徑通
過(guò)下式表示0 mm:
L=sin-'(A^.)
更具體地，入射到最外邊緣的光142A在試樣150的表面上反射，并 且通過(guò)關(guān)于物鏡140的中心141對(duì)稱的位置142C，然后入射到光檢測(cè)器 170。類似地，入射到下一個(gè)位置的光144A和146A在試樣150的表面反 射，并且通過(guò)關(guān)于物鏡140的中心對(duì)稱的位置144C和146C，然后入射到光檢測(cè)器170。相反，入射到物鏡140的中心的光束在試樣150的表而上 反射，并且再次通過(guò)物鏡140的中心，以便入射到光檢測(cè)器170。換句話 說(shuō)，物鏡140的中心與最外端邊緣之間的光在試樣150的表而上反射， 并且通過(guò)關(guān)于物鏡140的中心對(duì)稱的位置，然后入射到光檢測(cè)器170。
此時(shí)，當(dāng)在試樣150表面上反射時(shí)，將入射角定義為物鏡140的中 心141與入射光通過(guò)的通路之間的內(nèi)角。通過(guò)根據(jù)光檢測(cè)器170的單元 裝置的位置獲得入射到光檢測(cè)器170的光信號(hào)，獲得了以各種入射角在 試樣150的表面上反射的光的差異。圖3和圖5僅僅例示了幾個(gè)光束， 但是因?yàn)閷?shí)際上存在無(wú)窮多的光束，入射角的分辨率是由光檢測(cè)器170 的單元裝置大小和距離確定的。
圖6例示了在試樣150的表面上反射、通過(guò)物鏡140并且入射到光 檢測(cè)器170的光。此時(shí)，因?yàn)楣鈾z測(cè)器170的表面由許多單元裝置171 組成，因此如圖5所示，能夠通過(guò)使單元裝置171設(shè)置的方向與入射到 試樣150上的光的偏振分量匹配，來(lái)對(duì)光檢測(cè)器170到光檢測(cè)器170的 單元裝置171上形成的圖像進(jìn)行分析。參考圖4，入射到142A并且在試 樣150表面上反射然后通過(guò)142C出來(lái)的光在圖6的172C處形成了圖像。 同樣參考圖4和圖5，入射到142C并且通過(guò)142A出來(lái)然后傳輸?shù)焦鈾z測(cè) 器170的光在172A處形成圖像；入射到142B并且通過(guò)142D出來(lái)的光在 光檢測(cè)器170的172D處形成圖像；而入射到142D并且通過(guò)142B出來(lái)的 光在光檢測(cè)器170的172B處形成圖像。
因此，與在物鏡中類似，P波分量和S波分量共同存在于P波方向和 S波方向之間，并且能夠通過(guò)獲得在同一圓周上的單元裝置測(cè)量到的值根 據(jù)入射到試樣表面的光的偏振方向差異獲得測(cè)量值，其中，該同一圓周 離軸的半徑為r，該軸與入射到試樣表面的光的偏振方向匹配。通過(guò)這種 方式，能夠通過(guò)獲得基于物鏡140的中心軸1"具有同一入射角的分貨 而獲得與轉(zhuǎn)動(dòng)檢偏器橢偏儀或者轉(zhuǎn)動(dòng)偏振器橢偏儀類似的結(jié)果。
工業(yè)應(yīng)用性
與當(dāng)前廣泛使用的傳統(tǒng)轉(zhuǎn)動(dòng)檢偏器、轉(zhuǎn)動(dòng)偏振器和轉(zhuǎn)動(dòng)補(bǔ)償器橢偏 儀相比，因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的聚焦光束橢偏儀能夠在沒(méi)有由步進(jìn)電機(jī)或者直流電機(jī)實(shí)現(xiàn)的恒定速度驅(qū)動(dòng)部的情況下測(cè)量橢偏系數(shù)，根據(jù)本發(fā)明的 聚焦光束橢偏儀的優(yōu)點(diǎn)在于測(cè)量精度相對(duì)提高，并且測(cè)量速度被提高 到光檢測(cè)器的驅(qū)動(dòng)速度，從而能夠消除電機(jī)振動(dòng)導(dǎo)致的信號(hào)噪聲和光學(xué) 部件轉(zhuǎn)動(dòng)導(dǎo)致的誤差。此外，與采用單個(gè)入射面的偏振分貴的傳統(tǒng)聚焦 光束橢偏儀相比，能夠通過(guò)在靜止?fàn)顟B(tài)下采用多個(gè)360度入射而的偏振 分量而更加精確地測(cè)量橢偏系數(shù)。
權(quán)利要求
1、一種橢偏儀，包括光源；設(shè)置有使從所述光源發(fā)出的光偏振的偏振器的光源部模塊；對(duì)由所述光源部模塊偏振的光進(jìn)行分束的分束器；允許由所述分束器分束后的光的一部分通過(guò)并且會(huì)聚照射到試樣上的物鏡；設(shè)置有偏振器的光接收部模塊，該光接收部模塊用于使在所述試樣上反射的光橢圓偏振并且接收在所述試樣上反射并且通過(guò)所述物鏡和所述分束器的光；利用單元裝置檢測(cè)由所述光接收部模塊接收到的光的光檢測(cè)器；以及處理裝置，其用于將所述光檢測(cè)器檢測(cè)到的光的強(qiáng)度校正為對(duì)應(yīng)于所述光檢測(cè)器的沿著多個(gè)入射面的通路的單元裝置的值，并且對(duì)該值進(jìn)行處理。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的橢偏儀，其中所述光檢測(cè)器為具有多個(gè)像素的二維圖像測(cè)量裝置。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的橢偏儀，其中所述光源部模塊和所述光接收部模塊各還包括允許特定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光通過(guò)的濾波器。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的橢偏儀，其中所述光源部模塊和所述光接收部模塊各還包括準(zhǔn)直透鏡和補(bǔ)償器。
全文摘要
本發(fā)明涉及橢偏儀，尤其涉及一種對(duì)具有特定偏振的光在該光入射到試樣表面上然后在該試樣表面上反射之后的偏振差異進(jìn)行分析以便得到該試樣的光學(xué)特性的橢偏儀。
文檔編號(hào)G01N21/21GK101473212SQ200780023307
公開(kāi)日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月22日
發(fā)明者樸允鐘, 樸永善, 李仲煥, 芮相憲, 諸葛園, 趙賢模, 趙龍?jiān)? 鄭致云, 高永俊 申請(qǐng)人:韓國(guó)標(biāo)準(zhǔn)科學(xué)研究院;科美儀器株式會(huì)社