專利名稱：振動(dòng)傳感器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及振動(dòng)傳感器，尤其涉及具有音叉振動(dòng)器的振動(dòng)傳感器。 此外，本發(fā)明還涉及用于制造這種振動(dòng)傳感器的方法。
背景技術(shù)：
諸如加速度傳感器和角速度傳感器之類的振動(dòng)傳感器帶有振動(dòng) 體。對(duì)振動(dòng)體的振動(dòng)進(jìn)行感測(cè)，由此探測(cè)加速度和角速度。例如，角速 度傳感器用于汽車(chē)導(dǎo)航系統(tǒng)和數(shù)字相機(jī)中的圖像穩(wěn)定。日本專利申請(qǐng)公報(bào)No.2005-49306公開(kāi)了一種振動(dòng)傳感器，其中由結(jié)晶石英制成的音叉 振動(dòng)器通過(guò)單個(gè)安裝件(可以為凸塊、焊料或?qū)щ娔z)安裝至基板或封 裝上。用于將音叉振動(dòng)器安裝在安裝部上的方法是改善振動(dòng)傳感器的靈敏 度所涉及的重要因素。上述申請(qǐng)利用凸塊、焊料或?qū)щ娔z在單點(diǎn)上支撐 音叉振動(dòng)器。然而，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)上述方法在改善振動(dòng)傳感器的溫度特 性方面存在相當(dāng)大的困難。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，因此提供了一種靈敏度提高的振 動(dòng)傳感器。本發(fā)明的一個(gè)方面提供了一種振動(dòng)傳感器，該振動(dòng)傳感器包括音叉振動(dòng)器，其具有基座和從所述基座延伸出的多個(gè)臂；安裝部，其用于 安裝所述音叉振動(dòng)器；以及支撐構(gòu)件，其將所述音叉振動(dòng)器安裝在所述 安裝部上，并且具有窄部。本發(fā)明的另一方面提供了一種制造振動(dòng)傳感器的方法，該方法包括 以下步驟在音叉振動(dòng)器的基座和安裝部中的至少一個(gè)上形成凸塊，所 述音叉振動(dòng)器具有從所述基座延伸出的多個(gè)臂；以及通過(guò)多個(gè)凸塊將所 述音叉振動(dòng)器安裝至所述安裝部，所述多個(gè)凸塊堆疊在一起并包括形成 在所述基座和安裝部中的至少一個(gè)上的所述凸塊。


下面將參照附圖來(lái)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，圖中圖1為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的角速度傳感器的立體圖；圖2為音叉振動(dòng)器的立體圖；圖3A和圖3B分別示出了形成在音叉振動(dòng)器的前側(cè)和后側(cè)上的電極 圖案；圖4A和圖4B示出了音叉振動(dòng)器的振動(dòng)模式； 圖5示出了音叉振動(dòng)器的節(jié)點(diǎn)線； 圖6A為安裝部的平面圖；圖6B為其上安裝有音叉振動(dòng)器的安裝部的平面圖；圖6C為沿圖6B中示出的線A-A截取的截面圖；圖7示出了音叉振動(dòng)器的后側(cè)；圖8A至圖8D示出了一種安裝音叉振動(dòng)器的方法； 圖9A和圖9B示出了另一種安裝音叉振動(dòng)器的方法；圖10示出了第一比較例；圖ll示出了第一實(shí)施方式和第一比較例的作為溫度的函數(shù)的音叉振動(dòng)器的阻抗；圖12A至圖12C示出了音叉振動(dòng)器的示范性后側(cè)； 圖13A和圖13B示出了一種安裝音叉振動(dòng)器的方法； 圖14A和圖14B示出了另一種安裝音叉振動(dòng)器的方法； 圖15A和圖15B示出了又一種安裝音叉振動(dòng)器的方法； 圖16A和圖16B示出了又一種安裝音叉振動(dòng)器的方法；而 圖17A至圖17B示出了又一種安裝音叉振動(dòng)器的方法。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖給出本發(fā)明的實(shí)施方式的說(shuō)明。 第一實(shí)施方式本發(fā)明的第一實(shí)施方式為示范性的角速度傳感器，其中在封裝上安 裝有兩個(gè)音叉振動(dòng)器。圖1為該角速度傳感器的立體圖；圖2為音叉振動(dòng)器的立體圖。參照?qǐng)D1，兩個(gè)音叉振動(dòng)器10a和10b分別安裝并固定在 空腔型封裝30的安裝部20a和20b上。音叉振動(dòng)器10a和10b各有兩個(gè) 臂。安裝部20a和20b分別設(shè)置有焊盤(pán)22a和22b。在圖1中，為了簡(jiǎn)化 的目的而省略了音叉振動(dòng)器10a和10b的電極和連接振動(dòng)器10a和10b 與焊盤(pán)22a和22b的鍵合線。振動(dòng)器10a和10b沿相互垂直的方向取向， 并且沿各自的縱向具有感測(cè)軸1和感測(cè)軸2。振動(dòng)器10a和10b分別能夠 感測(cè)相對(duì)于感測(cè)軸1和感測(cè)軸2的角速度。封裝30上安裝有控制電路52， 控制電路52具有其上安裝了電子元件的板?？刂齐娐?2控制振動(dòng)器10a 和10b。更具體地講，控制電路52向音叉振動(dòng)器10a和10b提供驅(qū)動(dòng)信 號(hào)，并從音叉振動(dòng)器10a和10b中接收感測(cè)信號(hào)。封裝30以蓋子(未示 出)密封。參照?qǐng)D2，音叉振動(dòng)器10 (可以是振動(dòng)器10a和10b中的任意一個(gè)) 具有基座13和從基座13延伸出的兩個(gè)(多個(gè))臂11和12。音叉振動(dòng)器 10由諸如鈮酸鋰(LiNb03)或鉭酸鋰(UTa03)之類的壓電材料制成。 當(dāng)使用LiNb03或LiTa03時(shí)，可以利用130°至140°的Y向切割板，以獲 得高的K23機(jī)電耦合系數(shù)。音叉振動(dòng)器10的表面上形成有由以金(Au)、 鋁(Al)或銅(Cu)制成的金屬膜形成的電極圖案(為了簡(jiǎn)化的目的而 未示出)。圖3A示出了音叉振動(dòng)器10的前側(cè)上的電極圖案，圖3B示出了音 叉振動(dòng)器10的后側(cè)上的電極圖案。臂11設(shè)置有感測(cè)電極11a、llb和llc。 感測(cè)電極lla和llb通過(guò)電極11d相連。引出電極llf連接至感測(cè)電極lla。 電極llc連接至引出電極lle。類似地，臂12設(shè)置有感測(cè)電極12a、 12b 和12c。感測(cè)電極12a和12b通過(guò)電極12d相連。引出電極12f連接至感 測(cè)電極12a。感測(cè)電極12c連接至引出電極12e。驅(qū)動(dòng)電極14a設(shè)置在音 叉振動(dòng)器10的前表面上，并連接至引出電極14b。類似地，驅(qū)動(dòng)電極15a 設(shè)置在音叉振動(dòng)器10的后表面上，并連接至引出電極15b。圖4A和圖4B分別示出了驅(qū)動(dòng)模式和傳感模式。參照?qǐng)D4A，在驅(qū) 動(dòng)電極14a和15a之間施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以生成臂11和12依次彼此靠近和 遠(yuǎn)離的振動(dòng)模式。圖4A中示出的振動(dòng)平行于包含臂11和12的平面。這 被稱為面內(nèi)振動(dòng)模式。施加至感測(cè)軸的角速度產(chǎn)生了科里奧利(Coriolis) 力，并生成圖4B中示出的臂11和12前后移動(dòng)的另一種振動(dòng)模式。這種 振動(dòng)是垂直于臂所振動(dòng)的平面的扭曲振動(dòng)。這被稱為平面一垂直振動(dòng)模 式。感測(cè)電極lla、 llb和llc以及12a、 12b和12c感測(cè)這種平面一垂直 振動(dòng)模式，從而可以檢測(cè)相對(duì)于感測(cè)軸1和感測(cè)軸2的角速度。驅(qū)動(dòng)模 式是用于驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)模式，而感測(cè)模式是用于感測(cè)的振動(dòng)模式。節(jié)點(diǎn)被 定義為在驅(qū)動(dòng)模式和感測(cè)模式中均不振動(dòng)的部分。在圖4A中，音叉振動(dòng) 器10的對(duì)稱平面為節(jié)點(diǎn)A，而音叉振動(dòng)器10的中軸線為節(jié)點(diǎn)B。圖5示出了音叉振動(dòng)器的后側(cè)?；?3的節(jié)點(diǎn)線Rl是通過(guò)將節(jié)點(diǎn) A和節(jié)點(diǎn)B的共同節(jié)點(diǎn)(即，節(jié)點(diǎn)B)投影在表面S1 (其上形成有支撐 部，將在下文中描述)上來(lái)定義的。圖6A為安裝部20的平面圖；圖6B為其上安裝有音叉振動(dòng)器10的 安裝部20的平面圖；而圖6C為沿線A-A截取的截面圖。參照?qǐng)D6A， 安裝部20可以由例如陶瓷制成，并且由焊盤(pán)部28、振動(dòng)器支撐部27和 主體部26構(gòu)成。從音叉振動(dòng)器10延伸出的鍵合線34連接至焊盤(pán)22。焊 盤(pán)25設(shè)置在振動(dòng)器支撐部27中，用于利用充當(dāng)支撐構(gòu)件40的金屬凸塊 與音叉振動(dòng)器10進(jìn)行連接。焊盤(pán)25從音叉振動(dòng)器10的正下方的位置處 延伸至其外部。焊盤(pán)25具有由焊盤(pán)25的相鄰縱向部限定的縱向凹進(jìn)部 24。凹進(jìn)部24中沒(méi)有焊盤(pán)。焊盤(pán)22和25可以通過(guò)鍍金而形成。參照?qǐng)D6B,鍵合線34使引出電極lle、 llf、 12e、 12f、 14b和15b 與焊盤(pán)22之間形成連接?？刂齐娐?2連接至焊盤(pán)22。為了方便起見(jiàn)， 引出電極14b和15b的圖案與圖3A和圖3B中示出的圖案略有不同。參 照?qǐng)D6C，線焊盤(pán)部28的上表面被設(shè)計(jì)成大約與音叉振動(dòng)器10的高度平 齊，以易于鍵合來(lái)自音叉振動(dòng)器10的線。主體部26的上表面低于振動(dòng) 器支撐部27的上表面。音叉振動(dòng)器10通過(guò)由例如金凸塊形成的支撐構(gòu) 件40倒裝在焊盤(pán)25上。提供樹(shù)脂部36來(lái)覆蓋支撐構(gòu)件40，以增強(qiáng)安裝。 樹(shù)脂部36可以是由硅樹(shù)脂或環(huán)氧樹(shù)脂制成的膠。圖7示出了具有采用三 個(gè)支撐構(gòu)件40的示例性設(shè)置的音叉振動(dòng)器10的后側(cè)。下面將參照?qǐng)D8A至圖9B給出根據(jù)第一實(shí)施方式的用于將角速度傳 感器的音叉振動(dòng)器10安裝在安裝部20上的示范性方法的說(shuō)明。參照?qǐng)D 8A，金釘頭凸塊41形成在由LiNb03制成的音叉振動(dòng)器10的基座的電 極焊盤(pán)14上。釘頭凸塊41的直徑約為lOO)im，高度約為60)im。參照?qǐng)D 8B，金釘頭凸塊42形成在凸塊41上。凸塊42的直徑小于凸塊41的直 徑，其直徑可以約為80)im。按照以上方式堆疊多個(gè)凸塊，由此形成具有 窄部或收縮部48的支撐構(gòu)件40。參照?qǐng)D8C，裝備有通過(guò)電鍍形成的金 焊盤(pán)25且由陶瓷制成的安裝部20安裝在倒裝鍵合器(未示出)的臺(tái)階 上。參照?qǐng)D8D，樹(shù)脂構(gòu)件37被涂覆在安裝部20上。樹(shù)脂構(gòu)件37由包 含主要成分為鋁(Al)的填料的熱固環(huán)氧樹(shù)脂制成。參照?qǐng)D9A，通過(guò)倒裝鍵合器(未示出)的工具吸住音叉振動(dòng)器10， 并相對(duì)于安裝部20的焊盤(pán)25來(lái)放置支撐構(gòu)件40。參照?qǐng)D9B，將支撐構(gòu) 件40倒裝鍵合至焊盤(pán)25。接著，使熱固環(huán)氧樹(shù)脂固化，由此形成樹(shù)脂部 36。參照?qǐng)DIO，在此示出了第一比較例，其為具有由金釘頭凸塊的單個(gè) 臺(tái)階形成的支撐構(gòu)件40a的角速度傳感器，其中支撐構(gòu)件40a的直徑約 為lOO!im且高度約為60pm。第一比較例的其他結(jié)構(gòu)類似于圖9B中示出 的第一實(shí)施方式。圖11為第一實(shí)施方式和第一比較例的音叉振動(dòng)器10的作為溫度 (°C)的函數(shù)的檢測(cè)電極的阻抗Zy (kQ)的圖。在溫度小于等于45'C的 情況下，第一比較例的阻抗Zy與第一實(shí)施方式的阻抗Zy具有幾乎相等 的值。在溫度大于等于65'C的情況下，第一比較例的阻抗Zy急劇上升， 而第一實(shí)施方式的阻抗Zy近似恒定。在90'C時(shí)，第一實(shí)施方式的阻抗 Zy約為3.3kQ，而第一比較例的阻抗Zy高達(dá)約5kH。振動(dòng)傳感器的靈敏度隨著諧振銳度Q的增大而增大，其中Q被如下 定義
<formula>formula see original document page 9</formula>其中，Z為諧振頻率下的阻抗，C為串聯(lián)電容，fe為反諧振頻率， 而fr為諧振頻率。從上述表達(dá)式中可以看出，Q隨著Z的減小而增大， 從而可以提高靈敏度。因此，第一t^較例的感測(cè)電極的靈敏度在高溫下 顯著地下降。再轉(zhuǎn)到圖4A，臂11和12主要以面內(nèi)振動(dòng)模式(第一實(shí)施方式中的 驅(qū)動(dòng)模式)進(jìn)行振動(dòng)，而基座13的振動(dòng)不如平面-垂直振動(dòng)模式(第一實(shí) 施方式中的感測(cè)模式)中的幅度大。因此，對(duì)于不同的安裝基座13的方 法而言，阻抗的變化不大。相反，在臂11和12中引起扭曲振動(dòng)，并且 由此，基座13以扭曲振動(dòng)模式進(jìn)行振動(dòng)。這樣，對(duì)于不同的安裝基座13 的方法而言，阻抗的變化很大。音叉振動(dòng)器10由壓電材料和介電構(gòu)件制成，具有很大的阻抗值。相 反，在諧振頻率下，音叉振動(dòng)器10產(chǎn)生振動(dòng)且阻抗下降。然而，如果阻 止了音叉振動(dòng)器10的振動(dòng)，則阻抗將增大。在第一比較例中，阻抗因音 叉振動(dòng)器10與安裝部20之間的熱膨脹系數(shù)的差而增大。相反，第一實(shí) 施方式中采用的各支撐構(gòu)件40的凸塊41與42之間的窄部48用于減小 由音叉振動(dòng)器10與安裝部20之間的熱膨脹系數(shù)的差而引起的應(yīng)力。由 此可以抑制阻抗的增大。優(yōu)選的是，支撐構(gòu)件40可以由堆疊的多個(gè)凸塊形成。因此可以容易 地形成在堆疊的凸塊41與42之間均具有窄部48的支撐構(gòu)件40。此外， 與由第一比較例的單個(gè)臺(tái)階凸塊構(gòu)成的支撐構(gòu)件相比，由堆疊的凸塊41 和42構(gòu)成的支撐構(gòu)件40加寬了音叉振動(dòng)器10與安裝部20之間的距離。 因此，即使樹(shù)脂部36是由具有高黏度的樹(shù)脂或具有大填料尺寸的樹(shù)脂形 成的，也可以抑制諸如氣泡之類的空腔的出現(xiàn)，從而可以均勻地涂覆樹(shù) 脂。優(yōu)選的是，多個(gè)凸塊41和42具有不同的尺寸或直徑。例如，凸塊 41上可以堆疊直徑小于凸塊41的凸塊42，從而凸塊可以平穩(wěn)且可靠地 堆疊。支撐構(gòu)件40用于電連接音叉振動(dòng)器10和安裝部20。由此可以減少
鍵合線34的數(shù)量。支撐構(gòu)件40可以改動(dòng)成僅旨在進(jìn)行機(jī)械連接。優(yōu)選的是，樹(shù)脂部36設(shè)置在音叉振動(dòng)器10與安裝部20之間。由此 可以增強(qiáng)音叉振動(dòng)器10至安裝部20的安裝。在這種情況下，優(yōu)選的是， 支撐構(gòu)件40的高度大于樹(shù)脂部36的填料38的直徑。如果支撐構(gòu)件38 的高度小于填料38的直徑，則填料38會(huì)使音叉振動(dòng)器10和安裝部20 彼此固定，并且會(huì)阻止音叉振動(dòng)器10的振動(dòng)。對(duì)金屬填料而言，可能會(huì) 在音叉振動(dòng)器10和安裝部20之間產(chǎn)生電連接，由此形成短路。這些問(wèn) 題可以通過(guò)將支撐構(gòu)件40的高度調(diào)整為大于填料38的平均直徑得以解 決。更優(yōu)選的是，支撐構(gòu)件40的高度大于填料38的最大直徑。優(yōu)選的是，樹(shù)脂部36的垂直于音叉振動(dòng)器10的節(jié)點(diǎn)B的截面的形 狀相對(duì)于包括節(jié)點(diǎn)B且垂直于音叉振動(dòng)器10的面內(nèi)振動(dòng)平面的平面近似 對(duì)稱。由此可以抑制從音叉振動(dòng)器10至安裝部20的振動(dòng)泄漏的增加， 從而改善對(duì)外部沖擊的抵抗性。除了金以外，凸塊41和42也可以由銅(Cu)或鋁(Al)的焊料制 成。釘頭凸塊可以由電鍍的凸塊替代。第二實(shí)施方式本發(fā)明的第二實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的區(qū)別在于音叉振動(dòng)器10 上的支撐構(gòu)件40被設(shè)置在不同的位置。如圖12A中所示，當(dāng)音叉振動(dòng)器 10僅由設(shè)置在節(jié)點(diǎn)線Rl上的一個(gè)支撐構(gòu)件40支撐時(shí)，節(jié)點(diǎn)B可以很容 易地以支撐構(gòu)件40為支撐點(diǎn)在上下方向振動(dòng)。這可以認(rèn)為是阻抗的增大。 當(dāng)節(jié)點(diǎn)線R上的多個(gè)支撐構(gòu)件40支撐音叉振動(dòng)器10時(shí)，如圖12B所示， 節(jié)點(diǎn)B可能難以在上下方向振動(dòng)。這可以認(rèn)為是阻抗的減小。優(yōu)選的是，如圖7和圖12A中所示，支撐構(gòu)件40設(shè)置在節(jié)點(diǎn)線R1 上。可以抑制節(jié)點(diǎn)B的上下運(yùn)動(dòng)，而不影響平面一垂直振動(dòng)模式中的扭 曲振動(dòng)。當(dāng)使用多個(gè)支撐構(gòu)件40時(shí)，支撐構(gòu)件40的距離可以縮短。然 而，優(yōu)選的是，支撐構(gòu)件40以比較長(zhǎng)的間隔來(lái)設(shè)置，如圖8B中所示。圖12B和圖12C分別示出了示范性設(shè)置，其中， 一些支撐構(gòu)件40 設(shè)置在不在節(jié)點(diǎn)線R上的位置處，以改善抗沖擊性。為了確保音叉振動(dòng) 器10的振動(dòng)對(duì)稱性，支撐構(gòu)件40相對(duì)于節(jié)點(diǎn)線Rl對(duì)稱地設(shè)置，如圖12B和圖12C中所示。為了抑制節(jié)點(diǎn)B的上下移動(dòng)，優(yōu)選的是沿節(jié)點(diǎn)線 Rl的方向?qū)⒁恍┲螛?gòu)件40設(shè)置在不同位置處。 第三實(shí)施方式第三實(shí)施方式的示范性設(shè)置為采用不同的方法來(lái)形成凸塊，并采用 不同數(shù)量的凸塊。參照?qǐng)D13A，在音叉振動(dòng)器10上設(shè)置凸塊41，并且在 安裝部20上設(shè)置凸塊42和凸塊43。然后，如圖13B中所示，將凸塊41 和43連結(jié)在一起，以形成支撐構(gòu)件40b。參照?qǐng)D14A，在凸塊41上形成尺寸相同的凸塊42a。如圖14B中所 示，將凸塊41和凸塊42a連結(jié)在一起，以形成支撐構(gòu)件40c。參照?qǐng)D15A，在音叉振動(dòng)器10上堆疊設(shè)置凸塊41和42a。在安裝部 20上堆疊設(shè)置凸塊43和44a。然后，如圖15B所示，將凸塊42a和44a 連結(jié)在一起以形成支撐構(gòu)件40d。參照?qǐng)D16A，在音叉振動(dòng)器10上堆疊設(shè)置凸塊41和凸塊42a。在安 裝部20上設(shè)置凸塊43。然后，如圖16B中所示，將凸塊42a和43連結(jié) 在一起，以形成支撐構(gòu)件40e。參照?qǐng)D17A，在音叉振動(dòng)器10上堆疊設(shè)置凸塊41和直徑小于凸塊 41的凸塊42。在安裝部20上堆疊設(shè)置凸塊43和凸塊44。然后，如圖 17B中所示，將凸塊42和凸塊44連結(jié)在一起，以形成支撐構(gòu)件40f。如圖8B、圖13A、 14A、 15A、 16A和17A中所示，在音叉振動(dòng)器 10的基座和安裝部20中的至少一個(gè)上設(shè)置一個(gè)或更多個(gè)凸塊。然后，如 圖9B、 13B、 14B、 15B、 16B和17B所示，通過(guò)多個(gè)凸塊的堆疊將音叉 振動(dòng)器10安裝在安裝部20上。由此可以容易地形成具有窄部48的支撐 構(gòu)件40。優(yōu)選的是，凸塊可以堆疊為使得當(dāng)前形成的凸塊的直徑比先前形成 的凸塊的直徑小，如圖9A和17A中所示。因此可以容易地堆疊凸塊。待堆疊的凸塊的數(shù)量大于等于三個(gè)(如在圖15B、 16B和17B中的 情況下)。換言之，可以在支撐構(gòu)件40上設(shè)置多個(gè)窄部48。第一至第三實(shí)施方式釆用了具有兩個(gè)臂11和12的音叉振動(dòng)器10。 本發(fā)明不限于兩個(gè)臂，而是可以采用具有多個(gè)臂的任何音叉振動(dòng)器。前
述說(shuō)明涉及了對(duì)于面內(nèi)振動(dòng)模式和平面一垂直振動(dòng)模式共同的節(jié)點(diǎn)B。 然而，共同節(jié)點(diǎn)B并不是必需的，獲得多個(gè)振動(dòng)模式的至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)就 足夠了。使用公共節(jié)點(diǎn)B是更優(yōu)選的。在第一至第三實(shí)施方式中，安裝部20是其中應(yīng)當(dāng)安裝音叉振動(dòng)器10的封裝30的一部分。然而，安裝部 20不限于上述結(jié)構(gòu)，重要的是具有安裝音叉振動(dòng)器10的功能。安裝部 20可以是其上應(yīng)當(dāng)安裝音叉振動(dòng)器10的安裝板的一部分，或者可以是封 裝30和安裝板以外的構(gòu)件。支撐構(gòu)件40具有保持音叉振動(dòng)器10的功能， 樹(shù)脂部36具有確保沖擊抵抗性的功能。因此，優(yōu)選的是，樹(shù)脂部36比 支撐構(gòu)件40要軟。第一至第三實(shí)施方式均為具有兩個(gè)音叉振動(dòng)器的振動(dòng) 傳感器。本發(fā)明可以包括任意數(shù)量的音叉振動(dòng)器10。本發(fā)明不僅包括角 速度傳感器，而且包括加速度傳感器。本發(fā)明不限于具體公開(kāi)的實(shí)施方式，而是可以在不脫離由權(quán)利要求 書(shū)限定的本發(fā)明的范圍內(nèi)作出其他實(shí)施方式和變型。本申請(qǐng)基于2006年10月13日遞交的日本專利申請(qǐng)No.2006-279354， 在此通過(guò)引用并入其公開(kāi)內(nèi)容。
權(quán)利要求
1、一種振動(dòng)傳感器，該振動(dòng)傳感器包括音叉振動(dòng)器，其具有基座和從所述基座延伸出的多個(gè)臂；安裝部，其用于安裝所述音叉振動(dòng)器；以及支撐構(gòu)件，其將所述音叉振動(dòng)器安裝在所述安裝部上，并且具有窄部。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其中，所述支撐構(gòu)件包括堆 疊的多個(gè)凸塊。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其中，所述支撐構(gòu)件包括堆 疊的且包括不同直徑的多個(gè)凸塊。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，該振動(dòng)傳感器還包括多個(gè)支 撐構(gòu)件，每個(gè)支撐構(gòu)件均被構(gòu)造為所述支撐構(gòu)件。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其中，所述支撐構(gòu)件使所述 音叉振動(dòng)器和所述安裝部電連接。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其中所述支撐構(gòu)件被設(shè)置在 節(jié)點(diǎn)線上，所述節(jié)點(diǎn)線是通過(guò)將節(jié)點(diǎn)投影在設(shè)置有所述支撐構(gòu)件的平面 上來(lái)定義的。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其中，所述支撐構(gòu)件相對(duì)于 節(jié)點(diǎn)線對(duì)稱地設(shè)置，所述節(jié)點(diǎn)線是通過(guò)將節(jié)點(diǎn)投影在設(shè)置有所述支撐構(gòu) 件的平面上來(lái)定義的。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，該振動(dòng)傳感器還包括設(shè)置在 所述音叉振動(dòng)器與所述安裝部之間的樹(shù)脂部。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的振動(dòng)傳感器，其中，所述支撐構(gòu)件的高度 大于容納在所述樹(shù)脂部中的填料的尺寸。
10、 一種制造振動(dòng)傳感器的方法，該方法包括以下步驟 在音叉振動(dòng)器的基座和安裝部中的至少一個(gè)上形成凸塊，所述音叉振動(dòng)器具有從所述基座延伸出的多個(gè)臂；以及通過(guò)多個(gè)凸塊將所述音叉振動(dòng)器安裝至所述安裝部，所述多個(gè)凸塊堆疊在一起并包括形成在所述基座和所述安裝部中的至少一個(gè)上的所述 凸塊。
11、根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述形成凸塊的步驟包括 在第一凸塊上堆疊第二凸塊的步驟，其中，所述第二凸塊的直徑小于所 述第一凸塊的直徑。
全文摘要
本發(fā)明提供了振動(dòng)傳感器及其制造方法。該振動(dòng)傳感器包括音叉振動(dòng)器，其具有基座和從所述基座延伸出的多個(gè)臂；安裝部，其用于安裝所述音叉振動(dòng)器；以及支撐構(gòu)件，其將所述音叉振動(dòng)器安裝在所述安裝部上，并且具有窄部。
文檔編號(hào)G01C19/56GK101162144SQ200710152449
公開(kāi)日2008年4月16日 申請(qǐng)日期2007年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月13日
發(fā)明者中澤文彥, 井上廣章, 山地隆行, 石川寬, 勝木隆史, 高橋勇治 申請(qǐng)人:富士通媒體部品株式會(huì)社;富士通株式會(huì)社