專利名稱：測量透鏡的偏心的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種測量透鏡的偏心的方法，該方法適合于測量曲面的偏心量，例如球面或非球面的偏心量。
背景技術：
近年來，在用于數(shù)字照相機、攝像機等的各種光學系統(tǒng)中，經(jīng)常采用非球面透鏡用于改善光學性能和使光學系統(tǒng)小型化。
與之相伴地，需要一種精確測量非球面透鏡的光軸(非球面軸)的偏心量的方法。
作為測量非球面透鏡的非球面軸的偏心量的方法，已知一種通過使用三維位置測量設備測量非球面透鏡的形狀數(shù)據(jù)的方法(日本專利公開No.H07-229811)。
根據(jù)日本專利申請公開No.H07-229811中公開的方法，可以高度精確地測量非球面軸的以透鏡保持部件的位置作為基準的偏心，而不旋轉透鏡保持部件。也可能通過三維地測量透鏡的外徑部分來測量非球面軸相對于透鏡外徑的偏心。然而，此方法需要復雜的三維位置測量設備。并且，與二維形狀測量相比，該方法包括以下缺點因為使用龐大的數(shù)據(jù)，所以測量和處理數(shù)據(jù)需要很多時間。
如今，作為典型的非球面形狀測量設備，已知TAYLOR-HOBSON公司生產(chǎn)的Form Talysurf。1984年發(fā)布的FormTalysurf是將表面形狀測量功能賦予接觸型表面粗糙度測量設備的二維形狀測量設備。
該二維非球面形狀測量設備計算并評價待測對象透鏡的設計基準非球面的截面形狀和實際測量的非球面的截面形狀之間的誤差量。
如果設計基準非球面形狀的光軸的坐標軸和實際測量的非球面形狀的光軸的坐標軸彼此一致，則簡單的差異就是非球面形狀誤差。
然而在一般情況下，由于對象透鏡的偏心分量、當對象透鏡被保持在測量設備上時的位置誤差、傾斜誤差等的存在，實際測量的非球面形狀的光軸的坐標軸與設計基準非球面形狀的光軸的坐標軸并不一致。
因此，一般來說，非球面形狀測量設備基于從實際測量的非球面數(shù)據(jù)中搜索(計算)的非球面軸數(shù)據(jù)來轉換坐標，使得實際測量的非球面的光軸可以與設計基準非球面的光軸一致，并且計算非球面的誤差量。
至此，已經(jīng)從對象透鏡的實際測量的形狀計算出在測量掃描方向上非球面軸的位置和傾斜的搜索數(shù)據(jù)。然而，無法檢測非球面軸相對于對象透鏡的外徑的偏心量。
為了測量非球面軸相對于透鏡外徑的偏心量，應該同時測量透鏡的外徑部分和非球面透鏡的形狀。然而，在常規(guī)二維形狀測量方法中，很難在測量非球面形狀的同時測量透鏡的外徑位置。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是提供一種測量透鏡偏心的方法，該方法能夠根據(jù)二維曲面形狀的測量而測量出曲面軸的偏心。
根據(jù)本發(fā)明的示例性測量透鏡偏心的方法包括第一步驟，通過由探針從第一基準位置掃描被檢查表面來測量被檢查表面的形狀，該第一基準位置是從對象透鏡的被檢查表面上的預定位置分開預定量的位置；第二步驟，通過由探針從第二基準位置掃描被檢查表面來測量被檢查表面的形狀，該第二基準位置是對象透鏡旋轉之后，在與第一步驟的掃描方向相反的路線中從該預定位置分開預定量的位置；以及通過使用在第一和第二步驟獲得的測量結果，獲得被檢查表面的偏心量的步驟。


圖1是示出了實施例1中的第一測量狀態(tài)的剖視圖。
圖2是示出了實施例1中的第二測量狀態(tài)的剖視圖。
圖3示出了實施例1中第一非球面形狀測量的結果。
圖4示出了實施例1中第二非球面形狀測量的結果。
圖5示出了根據(jù)實施例1的透鏡保持部件的透視圖。
圖6是當在實施例1中對象透鏡表面是凹面時透鏡保持部件的剖視圖。
圖7是當在實施例1中對象透鏡表面是凹面時透鏡保持部件的透視圖。
圖8是示出了實施例2中第一測量中的透鏡對中保持狀態(tài)的剖視圖。
圖9是實施例2的第一測量中在透鏡對中之后的測量狀態(tài)的圖解。
圖10是示出了實施例2的第二測量中的透鏡對中保持狀態(tài)的剖視圖。
圖11是實施例2的第二測量中在透鏡對中之后的測量狀態(tài)的圖解。
圖12是實施例2中的透鏡保持部件的透視圖。
圖13是實施例1中非球面透鏡的掃描測量方向的圖解。
圖14示出了實施例1中來自方向1和5的掃描測量數(shù)據(jù)。
圖15示出了實施例1中來自方向3和7的掃描測量數(shù)據(jù)。
圖16示出了實施例1中來自方向2和6的掃描測量數(shù)據(jù)。
圖17示出了實施例1中來自方向4和8的掃描測量數(shù)據(jù)。
圖18A是實施例1中的非球面軸的位移量的測量結果的圖解。
圖18B是實施例1中的非球面軸的傾斜量的測量結果的圖解。
圖19A、19B和19C是實施例1中求得透鏡表面的偏心量的方法的圖解。
圖20是測量非球面軸的偏心的方法的流程圖。
具體實施例方式
實施例1圖1是本發(fā)明的偏心測量設備的實施例1的示意性剖視圖。圖5是圖1的要點部分的透視圖。
在圖1中，附圖標記1表示包含球面透鏡或非球面透鏡的對象透鏡。附圖標記2表示用于在對象透鏡1的光軸方向上定位對象透鏡1的接收夾具(透鏡保持部件)。附圖標記3表示用于在垂直于對象透鏡1的光軸的方向(圖1中的方向X和Y)上定位對象透鏡1的定位夾具。附圖標記4表示用于在對象透鏡1的表面上掃描并且測量其表面形狀的探針(掃描部件)。
在圖1中，作為坐標系，X軸定義為該圖紙平面中從左到右的方向，Y軸定義為該圖紙平面中從這一側到內部部分的方向(垂直于圖紙平面的方向)，Z軸定義為該圖紙平面中的垂直方向。
在圖5中，在對象透鏡1被放置于柱形接收夾具2上并靠在定位夾具3上的狀態(tài)下，通過接收夾具2中的通孔2a抽出空氣，從而降低內部壓力，并且對象透鏡1被吸附并固定到接收夾具2上。
定位夾具3是如圖5所示的L型部件。定位夾具3被設置成使得對象透鏡1的外圍部分上的兩個位置可以與之相靠，并且在方向X和Y上定位對象透鏡1。
雖然在實施例1中，描述了其外徑是圓的對象透鏡1的實施例，但是在其外徑是其他形狀，例如矩形的對象透鏡的情況下，測量也是同樣可能的。
接收夾具2和定位夾具3固定在載置臺5上。
載置臺5具有四軸調整機構(未示出)。
在本實施例中，載置臺5具有沿X軸和Y軸進行線性移動的雙軸水平移動機構，和圍繞X軸和Y軸進行旋轉移動的雙軸角度調整機構。
現(xiàn)在將描述實施例1中的偏心測量程序。雖然在實施例1中，將非球面透鏡作為對象透鏡的例子進行描述，但對象透鏡也可以是球面透鏡。
首先，在測量前設置測量夾具。
接收夾具2和定位夾具3被固定在載置臺5上之前，載置臺5相對于偏心測量設備水平地定位。具體地，使探針4與載置臺5接觸，并且在X軸方向上執(zhí)行掃描測量，從而調整角度狀態(tài)(angle stage)，以使得表面形狀可以變?yōu)樗降?。接著，載置臺5在Y軸方向上水平地移動，從而調整角度以使得探針4的高度不會改變。
接著，透鏡接收夾具2和定位夾具3被安裝到載置臺5上。
首先，固定透鏡接收夾具2，然后對象透鏡1被放置到接收夾具2上。
定位夾具3靠著對象透鏡1的外圍部分(邊緣面)，并且在對象透鏡l的中心和接收夾具2的中心彼此一致的狀態(tài)下固定定位夾具3。
接著，通過通孔2a抽出空氣，并且對象透鏡1固定到接收夾具2上。
調整載置臺5的位置，使得掃描并測量對象透鏡1的非球面形狀的探針4可以通過對象透鏡1的外徑的中心。
現(xiàn)在將參考圖20所示的流程圖描述用于測量非球面軸相對于透鏡外徑的偏心的方法。
在圖1所示的狀態(tài)下執(zhí)行非球面形狀的第一測量(步驟S101)。該測量是如下進行的探針4在X方向上掃描和測量被檢查表面的非球面形狀保證范圍內(有效直徑范圍內)的測量開始點S到測量結束點E。
接著，僅對象透鏡1旋轉180度，而透鏡接收夾具2和定位夾具3保持固定，從而將對象透鏡1保持并固定在圖2所示的狀態(tài)(步驟S102)。接著，執(zhí)行第二測量(步驟S103)。如第一測量中那樣，探針4在X方向上掃描測量開始點S到測量結束點E，從而掃描并測量非球面形狀。在第二測量中，測量是在對象透鏡1相對于第一測量旋轉180度的情況下執(zhí)行的，因而在與第一測量中的掃描方向相反的路線中測量被檢查表面。
接著，從第一和第二測量的數(shù)據(jù)中計算非球面軸La相對于透鏡的外徑的偏心的信息(步驟S104)。
可以通過步驟S101到步驟S104獲得某個截面中非球面軸La的偏心信息。當有必要獲得其他截面中的偏心信息時(步驟105)，對象透鏡1進一步旋轉(S106)，從而在其他截面中重復形狀測量和偏心信息的計算。
一般來說，非球面軸La的偏心方向不總與第一測量截面一致，因此，優(yōu)選地應該至少在兩個截面中執(zhí)行形狀測量。例如，如果執(zhí)行某個截面中的形狀測量以及與該截面正交的截面中的形狀測量，則可以精確地掌握非球面軸La的偏心量。
雖然在圖20中，在已經(jīng)計算了一個截面的偏心信息之后(步驟S104)，判斷在不同截面中測量的必要性(步驟S105)，但是步驟S105可先于步驟S104執(zhí)行。即，在已經(jīng)測量多個截面之后，可以集中地計算偏心信息(步驟S104)。
以下將描述在步驟104執(zhí)行的用于計算偏心信息的方法。
圖19A示出了通過探針4以被檢查表面上的預定點作為測量坐標的原點的基準而掃描并測量的透鏡表面形狀。
橫坐標軸代表掃描方向(方向X)，縱坐標軸代表表示形狀的方向Z。
圖19B示出了設計基準坐標系中的理想透鏡形狀(被檢透鏡表面的設計值的形狀)。
在本實施例中，通過圖19A的實際測量透鏡形狀的原始數(shù)據(jù)，不可能找到實際測量透鏡表面形狀的軸和形狀誤差。
因此，如圖19C所示，進行坐標轉換(擬合)，以使得圖19A的實際測量透鏡形狀的原始數(shù)據(jù)和圖19B的理想設定標準透鏡形狀之間的誤差最小化。
圖3和4示出了在圖19C的狀態(tài)下，設計基準透鏡表面的形狀和實際測量透鏡表面的形狀之間的差的計算結果。
圖3示出了非球面形狀誤差的第一測量結果，圖4示出了非球面形狀誤差的第二測量結果。
測量坐標系中實際測量透鏡表面形狀的透鏡表面軸La的傾斜量ε是在使得實際測量透鏡表面形狀和設計基準透鏡表面形狀彼此一致的步驟中所搜索的值。圖3和圖4示出了在其中已經(jīng)修正了傾斜量ε和ε′的新X′Z′坐標系中的形狀誤差量。
通過使用實際測量的非球面形狀(測量數(shù)據(jù))和設計基準非球面形狀(設計數(shù)據(jù))進行的計算來獲得位置C和C′以及傾斜量ε和ε′。即，搜索實際測量的非球面形狀的這種如前所述使得測量數(shù)據(jù)和設計數(shù)據(jù)之間的誤差變得最小的最優(yōu)非球面軸La的位置和傾斜(即，當測量數(shù)據(jù)和設計數(shù)據(jù)已經(jīng)經(jīng)過擬合時的傾斜量)，并且獲得它們的值作為位置C和C′以及傾斜量ε和ε′。
在第一和第二非球面形狀測量中，測量作為對象透鏡1的非球面形狀保證范圍內的同一測量范圍的從測量開始點S到測量結束點E的截面形狀。接著，通過計算從每個區(qū)域的非球面軸計算出第一測量中的最優(yōu)非球面軸La的位置C和第二測量中的其第二位置C′。
通過計算，求得從第一測量開始點A到最優(yōu)非球面軸的位置C的距離AC，以及從第二測量開始點A′到最優(yōu)非球面軸的位置C′的距離A′C′。
如果從透鏡的外徑部分(預定位置)T到點C和點C′的距離是未知的，則不能獲得最優(yōu)非球面軸以透鏡的最外徑為基準的偏心量。
然而，由于第一和第二測量是從一個且同樣的測量開始點S執(zhí)行的，從第一測量的點T(預定位置)到點A(基準位置)的距離(預定量)TA，以及從第二測量的點T到點A′(基準位置)的距離(預定量)TA′是相同的。
在圖1中，距離TC＝距離TA+距離AC，在圖2中，距離TC′＝距離TA′+距離A′C′。
最優(yōu)非球面軸La的位置相對于透鏡的外徑的中心的偏心量Δ＝(距離TC-距離TC′)/2，然而根據(jù)距離TA＝距離TA′的關系，可以通過最優(yōu)非球面軸La的位置相對于透鏡的外徑的偏心量Δ＝(距離AC-距離A′C′)/2而獲得。
當?shù)谝淮螠y量的傾斜量被定義為ε，且第二次測量的傾斜量被定義為ε′時，可以通過相對于透鏡保持部件2所接收的透鏡表面的傾斜偏心量Δε＝(ε-ε′)/2而求得最優(yōu)非球面軸La的傾斜偏心量Δε。
將在下面示出基于實施例1通過使用Form Talysurf進行實際測量的實際測量例子。這里示出了一個例子，如圖13所示，其中旋轉對象透鏡1，對于從方向1到方向8的八個方向進行測量。
最優(yōu)非球面軸的位置的偏心量被定義為位移量ΔS，并且最優(yōu)非球面軸的傾斜偏心量被定義為傾斜量ΔT。
圖14示出了從方向1和從自方向1反轉180度的方向5測量的數(shù)據(jù)。計算從用于非球面形狀的測量開始點到最優(yōu)非球面軸的距離作為Xt。
而且，計算最優(yōu)非球面軸的傾斜量作為傾斜。當在來自方向1和方向5的測量數(shù)據(jù)中位移量是1Xt和5Xt，且傾斜量為1傾斜量和5傾斜量時，最優(yōu)非球面軸的位移量是ΔS15＝(1Xt-5Xt)/2＝(2.6896-2.6955)/2＝-0.003mm，并且最優(yōu)非球面軸的傾斜量是ΔT15＝(1傾斜量-5傾斜量)/2＝(0.0999-0.0026)/2＝0.049度。
圖15示出了與圖14的掃描測量方向正交的方向3和7上的測量數(shù)據(jù)。
當在來自方向3和方向7的測量數(shù)據(jù)中位移量是3Xt和7Xt，且傾斜量是3傾斜量和7傾斜量時，非球面軸的位移量是
ΔS37＝(3Xt-7Xt)/2＝(2.6658-2.7217)/2＝-0.028mm，以及非球面軸的傾斜量是ΔT37＝(3傾斜量-7傾斜量)/2＝(0.4154-(-0.3706))/2＝0.393度。
可以從方向1和5以及方向3和7的位移量ΔS15和ΔS37以及傾斜量ΔT15和ΔT37分別計算對象透鏡1偏心的方向和量。
從兩個正交的方向1-5和3-7所計算的位移量ΔS1537為ΔS1537=((-0.003)2+(0.028)2)---(1)]]>=0.028mm]]>方向1和5以及方向3和7上的傾斜量ΔT1537為ΔT1537=Tan-1(((Tan0.049)2+(Tan0.393)2))]]> 方向1和5以及方向3和7中的位移量ΔS1537和傾斜量ΔT1537的測量結果分別由圖18A和18B中的記號“+”表示。
圖16和17示出了其中為了確定此測量方法的可靠性，同樣地對于兩個正交的方向2和6以及方向4和8進行測量的例子。
當在來自方向2和方向6的測量數(shù)據(jù)中位移量是2Xt和6Xt，且傾斜量是2傾斜量和6傾斜量時，非球面軸的位移量是ΔS26＝(2Xt-6Xt)/2＝(2.6713-2.7178)/2＝-0.023mm，以及非球面軸的傾斜量是ΔT26＝(2傾斜量-6傾斜量)/2＝(0.3451-(-0.2924))/2＝0.319度。
當在來自方向4和方向8的測量數(shù)據(jù)中位移量是4Xt和8Xt，且傾斜量是4傾斜量和8傾斜量時，非球面軸的位移量是ΔS48＝(4Xt-8Xt)/2＝(2.6772-2.7137)/2＝-0.018mm，以及非球面軸的傾斜量是ΔT48＝(4傾斜量-8傾斜量)/2＝(0.3050-(-0.2589))/2＝0.282度。
從兩個正交的方向2和6以及4和8所計算的位移量ΔS2648為ΔS2648=((-0.023)2+(-0.018)2)---(3)]]>=0.029mm]]>方向2和6以及方向4和8上的傾斜量ΔT2648為ΔT2648=Tan-1(((Tan0.319)2+(Tan0.282)2))]]> 方向2-6以及方向4-8中的位移量ΔS2468和傾斜量ΔT2468的測量結果由圖18A和18B中的記號“×”表示。
從方向1和5以及方向3和7推導出的結果與從方向2和6以及方向4和8推導出的結果之間的差可以被認為是測量誤差。
在圖18A和18B中，由記號“+”和記號“×”表示的兩種測量結果表示基本上相同的偏心量和方向，并且示出了非球面軸的偏心量可以僅通過兩個正交方向上的測量而測量出。
雖然此實施例是在其中通過使用Form Talysurf執(zhí)行形狀測量的例子，但是該二維形狀測量設備并不限于接觸測量類型的FormTalysurf。只要測量設備可以掃描并測量非球面形狀，并且具有通過計算來搜索和計算最優(yōu)非球面軸的位置和傾斜度的功能就足夠了。并且，通過使用具有三維測量功能的測量設備而重復測量二維非球面形狀將獲得類似效果。
當對象透鏡的兩個表面是非球面形狀時，可首先通過上述方法測量作為正面的第一表面，此后翻轉透鏡，并同樣地測量作為背面的第二表面。可從正面?zhèn)鹊姆乔蛎孑S的偏心量和背面?zhèn)鹊姆乔蛎孑S的偏心量來計算非球面軸的相對偏心量。
并且，在用于于光軸方向上定位的對象透鏡的接收表面?zhèn)仁前济娴那闆r下，光軸方向上的透鏡接收夾具2可以被制成扁平形狀，如圖6所示。也可以將用于在垂直于光軸的方向上定位的定位夾具3制成如圖7所示的那種雙定位銷。
實施例2現(xiàn)在將描述本發(fā)明的實施例2。
存在希望測量其外徑部分沒有經(jīng)受對中處理的對象透鏡的非球面軸的偏心狀態(tài)的情況。對中處理之前的對象透鏡在透鏡的外徑部分的尺寸上是不穩(wěn)定的，因此不能接受如實施例1中的這種以透鏡的外徑作為基準的測量。實施例2是用于在對中處理之前獲得對象透鏡的偏心信息的實施例。
在實施例2中，如圖8和10所示，對象透鏡11被固定并保持，其中通過bell clamp方法確定對象透鏡11在光軸方向和與光軸垂直的方向上的位置。圖9示出了第一測量的狀態(tài)。圖11示出了第二測量的狀態(tài)。
圖12是實施例2的透視圖。
下面將描述根據(jù)本實施例定位對象透鏡11的方法。
首先，對象透鏡11被放置在固定的第一柱面透鏡保持部件12上。接著，把被加工成與透鏡保持部件12同軸的可移動的第二柱面透鏡保持部件安裝到透鏡保持部件12上。此時，對象透鏡11由透鏡保持部件12和透鏡保持部件13夾在中間，并且通過鐘形夾持(bell clamp)方法進行對象透鏡11的對中。鐘形夾持方法是這樣一種方法，其中由具有相同中心軸的兩個圓柱體(鐘)將透鏡夾在中間，從而使圓柱體的中心軸和透鏡的光軸一致，并且進行透鏡對中。在透鏡的兩個表面與兩個圓柱體緊密接觸的狀態(tài)下，圓柱體接觸的透鏡的部分的透鏡厚度在透鏡表面的整個外圍變得相等，結果，透鏡的光軸與圓柱體的旋轉軸一致。
如果此時，將空氣分別饋入到透鏡保持部件12和13的通孔12a和13a中，則降低了對象透鏡11和透鏡保持部件12之間的接觸部分的摩擦阻力，并且更精確的對中將變得可能。
在如圖8所示已經(jīng)完成了對中的狀態(tài)下，抽取透鏡保持部件12中的通孔12a中的空氣，對象透鏡11被吸附并且固定在透鏡保持部件2上。接著，如圖9所示，透鏡保持部件13縮回。
在圖8和9中，PK指示鐘形夾持的中心軸(預定位置)。從中心軸PK到點A或點A′的距離(預定量)TA或T′A′對應于圖1或圖2中的預定量TA或TA′。
此后，如在實施例1中那樣，在非球面形狀保證范圍中的同一測量范圍內，用探針4測量非球面形狀。
當?shù)谝粶y量完成時，對象透鏡11相對于光軸被翻轉180度，并且如圖10所示，再次進行對象透鏡11的對中。此后，進行非球面形狀的第二測量，如圖11所示。
從第一和第二非球面形狀測量數(shù)據(jù)，如實施例1中那樣獲得非球面透鏡的偏心量。
在實施例2的情況下，即使對象透鏡的外徑部分處于對中處理之前的狀態(tài)下，也可能獲得非球面軸相對于透鏡的外徑部分的基準的偏心量，如同經(jīng)受了鐘形夾持方法的對中處理一樣。
在實際進行非球面透鏡的加工的工作場所中，在對中處理之前可以測量非球面透鏡的偏心量是很重要的優(yōu)點。
并且，在對中處理之后的非球面透鏡中，如果使用本實施例的方法，有可能分析非球面透鏡的兩個表面的非球面軸是否相對于彼此偏心，或者透鏡是否由于對中處理誤差而相對于透鏡的外徑偏心。
根據(jù)每一個實施例，可以通過使用用于在對象透鏡的光軸方向上和垂直于光軸的方向上進行對象透鏡定位的簡單夾具，以及用于測量非球面截面形狀的二維形狀測量設備，高度精確地測量對象透鏡的非球面軸相對于其外徑的偏心量。
并且，根據(jù)實施例2，又是在對中處理之前的該對象透鏡中，可以通過鐘形夾持方法高度精確地測量非球面軸相對于將被進行額外的對中處理的所估計的外徑的偏心量。
本申請要求2005年3月18日申請的日本專利申請No.2005-079725的優(yōu)先權，在此引入該申請作為參考。
權利要求
1.一種測量透鏡的偏心的方法，包含以下步驟第一步驟，用于通過由探針從第一基準位置掃描被檢查表面而測量該被檢查表面的形狀，其中該第一基準位置是從對象透鏡的被檢查表面上的預定位置分開預定量的位置；第二步驟，用于通過由探針從第二基準位置掃描被檢查表面而測量該被檢查表面的形狀，其中該第二基準位置是對象透鏡旋轉之后，在與所述第一步驟的掃描方向相反的路線中從所述預定位置分開預定量的位置；以及通過使用在第一和第二步驟中獲得的測量結果來獲得被檢查表面的偏心量的步驟。
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中在所述第一和第二步驟中測量的所述被檢查表面的形狀是同一截面中的形狀。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中在多個不同截面的每一個中執(zhí)行所述第一和第二步驟，并且通過使用所述多個截面中的測量結果來獲得所述被檢查表面的偏心量。
4.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中所述第一和第二步驟是在彼此正交的兩個截面的每一個中執(zhí)行的，并且通過使用所述彼此正交的兩個截面中的測量結果來獲得所述被檢查表面的偏心量。
5.根據(jù)權利要求1所述的方法，進一步包括通過夾具確定所述對象透鏡的外圍部分的位置的步驟；以及其中所述第一和第二步驟是在已經(jīng)由夾具確定了所述對象透鏡的外圍部分的位置的狀態(tài)下執(zhí)行的，并且所述預定位置是對應于由所述夾具確定的外圍部分的位置。
6.根據(jù)權利要求1所述的方法，進一步包括把所述對象透鏡夾在兩個具有柱形截面的保持部件中間，并且使所述對象透鏡的軸和所述兩個保持部件的中心軸彼此一致的步驟，以及其中所述第一和第二步驟是在所述對象透鏡的軸與所述保持部件的中心軸一致的狀態(tài)下執(zhí)行的，并且所述預定位置是對應于所述保持部件的中心軸的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種能夠通過測量二維曲面形狀來測量軸的偏心的測量方法。此方法包括第一步驟，由探針從第一基準位置測量被檢查表面的形狀，其中該第一基準位置是從對象透鏡的被檢查表面上的預定位置分開預定量的位置；第二步驟，通過由探針從第二基準位置掃描被檢查表面而測量被檢查表面的形狀，該第二基準位置是對象透鏡旋轉之后，在與第一步驟的掃描方向相反的路線中從所述預定位置分開預定量的位置；以及，通過使用在第一和第二步驟中獲得的測量結果獲得被檢查表面的偏心量的步驟。
文檔編號G01M11/02GK1834606SQ200610059699
公開日2006年9月20日 申請日期2006年3月17日 優(yōu)先權日2005年3月18日
發(fā)明者村田安規(guī) 申請人:佳能株式會社