專利名稱：偏振光膜檢查裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及偏振光膜檢查裝置，特別涉及可以自動檢查適用于LCD的偏振光膜有沒有次品的偏振光膜檢查裝置及方法。
背景技術(shù)：
LCD(Liquid Crystal Display液晶顯示器)由于采用液晶的雙折射特性，所以為了調(diào)節(jié)入射到液晶分子上的光的振動方向而使用偏振光膜。偏振光膜具有以下功能使沿多個方向振動并入射的自然光變成只沿一個方向振動的偏振光，其種類有碘類、染料類、相位差、半透射以及反射型等偏振光膜。其中碘類偏振光膜作為具有高透射以及高偏光特性的高精細(xì)LCD用偏振光膜，將碘用在透明的PVA(PolyVinyl Alcohol聚乙烯醇)薄膜中，從而可以吸收可見光區(qū)域的光。
偏振光膜的結(jié)構(gòu)大致由TAC(Tri-Acetyl-Cellulose三乙酰纖維素)薄膜、粘結(jié)劑、偏振光元件、粘結(jié)劑以及TAC薄膜依次層疊而成。為制造具有上述結(jié)構(gòu)的偏振光膜，由于需要使用輥(roller)等，從而在偏振光膜的制造過程中，輥的摩擦力可能產(chǎn)生細(xì)微的刮痕(scratch)。此外，在偏振光膜的制造過程中，PVA膜層上的細(xì)微變形或者損傷等可能產(chǎn)生漏光(クニツク)。在這種偏振光膜中產(chǎn)生漏光或者刮痕等的情況下，在對LCD畫面進(jìn)行驅(qū)動時可能發(fā)生畫面中產(chǎn)生斑點的致命的缺陷。
在現(xiàn)有技術(shù)中，為了檢查可能在LCD畫面中產(chǎn)生致命缺陷的偏振光膜有沒有缺陷并將其消除，作業(yè)者以眼睛直接觀察的方式確認(rèn)并進(jìn)行檢查。也就是說，作業(yè)者以眼睛觀察的方式對用在32英寸至46英寸大畫面LCD中的偏振光膜進(jìn)行確認(rèn)，從而檢查偏振光膜中是否因漏光、刮痕、氣泡或者異物而產(chǎn)生次品。
然而，現(xiàn)有技術(shù)中，在作業(yè)者直接檢查偏振光膜的情況下，根據(jù)作業(yè)者的熟練程度，檢查的精度以及生產(chǎn)率可能降低。例如，作業(yè)者的熟練程度低的情況下，可能發(fā)生檢查作業(yè)的疏漏，此外即使是熟練人員由于作業(yè)者的疲勞程度也有可能使檢查作業(yè)的生產(chǎn)率降低。

發(fā)明內(nèi)容
因此，為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種可以檢查偏振光膜有沒有次品的偏振光膜檢查裝置及方法。
本發(fā)明的其它目的在于，可以使用偏振光膜檢查裝置及方法對偏振光膜進(jìn)行有沒有次品的檢查，從而改進(jìn)偏振光膜的檢查作業(yè)的生產(chǎn)率。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的偏振光膜檢查裝置包括裝載部，其包括使偏振光膜升降的膜升降機以及具有為排列偏振光膜而與偏振光膜的四邊間隔設(shè)置的多個排列部件的排列機；檢查部，設(shè)置在裝載部的一側(cè)，分別設(shè)有行掃描攝影機以及場掃描攝影機；載體移送器，其將通過夾子保持偏振光膜的載體從裝載部移送到檢查部；卸載部，輸出在上述檢查部檢查結(jié)束的偏振光膜。
本發(fā)明的偏振光膜檢查方法包括通過裝載部的排列機對偏振光膜進(jìn)行排列，然后將上述偏振光膜放置在真空板上的步驟；在放置了偏振光膜后，通過載體將偏振光膜夾緊，然后對偏振光膜的張力進(jìn)行調(diào)整的步驟；在偏振光膜通過載體調(diào)整了張力后，將放置偏振光膜的真空板下降到移送位置的步驟；在載體移送到移送位置后，通過載體移送器將載體移送到檢查部的步驟；在載體移送到檢查部后，對偏振光膜進(jìn)行行掃描/場掃描檢查的步驟；在偏振光膜行掃描/場掃描檢查結(jié)束后，輸出偏振光膜的步驟。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的偏振光膜檢查裝置的俯視圖；圖2是圖1所示的偏振光膜檢查裝置的主視圖；圖3是圖2所示的檢查部的放大主視圖；圖4是圖1所示的裝載部的主視圖；
圖5a以及圖5b是根據(jù)本發(fā)明的偏振光膜檢查方法的流程圖。
符號說明1機體2偏振光膜3載體4載體移送器10 裝載部11 膜升降機12 排列機20 檢查部21 行掃描攝影機21a 行掃描移送器22 場掃描攝影機22a 載體移送器30 卸載部31 卸載移送器具體實施方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的實施例進(jìn)行說明。
圖1是根據(jù)本發(fā)明偏振光膜檢查裝置的俯視圖，圖2是圖1所示的偏振光膜檢查裝置的主視圖。如圖所示，本發(fā)明偏振光膜檢查裝置包括裝載部10，其設(shè)置在機體1的一側(cè)，其中設(shè)有用于排列偏振光膜的排列機12；和檢查部20，其設(shè)置在裝載部10的一側(cè)，其中分別設(shè)有對偏振光膜2進(jìn)行檢查的行掃描以及場掃描攝影機21，22。
此外，在本發(fā)明的檢查裝置中，在機體1上設(shè)有用于將保持偏振光膜2的載體3從裝載部10移送到檢查部20的載體移送器4，在排列機12和載體移送器4之間設(shè)有膜升降機11。
接下來將對本發(fā)明偏振光膜檢查裝置的結(jié)構(gòu)以及作用進(jìn)行詳細(xì)說明。
本發(fā)明偏振光膜檢查裝置在機體1的一側(cè)設(shè)有裝載部10，在裝載部10的一側(cè)設(shè)有對偏振光膜2進(jìn)行檢查的檢查部20，并且在機體1的一側(cè)設(shè)有載體移送器4，用以將在裝載部10和檢查部20之間保持偏振光膜2的載體3從裝載部10移送到檢查部20。
如圖1所示，載體移送器4沿機體1的長度方向設(shè)置，如果在裝載部10偏振光膜2保持在載體3上，則將其各自依次移送到檢查部20的行掃描攝影機21和場掃描攝影機22。
如果載體移送器4移送保持偏振光膜2的載體3，則上述檢查部20的行掃描攝影機21通過第一照相機21b和第一照明裝置21c對偏振光膜2進(jìn)行透射檢查。如圖2以及圖3所示，對偏振光膜2進(jìn)行透射檢查的第一照相機21b以保持在載體3上的偏振光膜2為基準(zhǔn)在其上側(cè)至少設(shè)置一個；第一照明裝置21c按照與第一照相機21b相對的方式以偏振光膜2為基準(zhǔn)設(shè)置在其下側(cè)，圖1中所示的是設(shè)有三臺第一照相機21b的實施例。
由第一照相機21b以及第一照明裝置21c進(jìn)行的偏振光膜2的透射檢查，由設(shè)置在偏振光膜2下側(cè)的第一照明裝置21c發(fā)出的光對偏振光膜2進(jìn)行透射，由此，第一照相機21b拍攝圖像從而檢查偏振光膜2的內(nèi)側(cè)較大的異物，為此，通過載體移送器4線性地移送載體3。在此，第一照明裝置21c適用條狀照明裝置。
如果由第一照相機21b以及第一照明裝置21c進(jìn)行的偏振光膜2的透射檢查結(jié)束，則通過第二以及第三照明裝置21e、21g、第二以及第三照相機21d、21f對偏振光膜2的上/下部表面分別進(jìn)行反射檢查，從而檢查偏振光膜2上是否包含異物或者氣泡。在此，第二以及第三照明裝置21e、21g適用條狀照明裝置。
為了對偏振光膜2的上/下部表面進(jìn)行反射檢查，第二以及第三照明裝置21e、21g按照隔離預(yù)定的間隔m且分別傾斜預(yù)定角度k的方式設(shè)置在保持在載體3上的偏振光膜2的上/下側(cè)。在此，傾斜的預(yù)定角度k為30°至60°，優(yōu)選為以45°的傾斜角度分別設(shè)置第二以及第三照明裝置21e、21g。
第二以及第三照相機21d、21f分別以預(yù)定的間隔n在偏振光膜2的上/下側(cè)設(shè)置至少一個，以便拍攝通過按照預(yù)定角度傾斜設(shè)置的第二以及第三照明裝置21e、21g反射的圖像，由此拍攝通過分別從第二以及第三照明裝置21e、21g發(fā)出的光反射的偏振光膜2的圖像，從而對偏振光膜2是否存在異物或者氣泡進(jìn)行掃描拍攝。為此，保持偏振光膜2的載體3通過載體移送器4線性地移送，并且第二以及第三照明裝置21e、21g分別適用條狀照明裝置。
如果通過第二以及第三照相機21d、21f結(jié)束偏振光膜2的反射檢查，則由載體移送器4將保持偏振光膜2的載體3移送到場掃描攝影機22。場掃描攝影機22由第四照相機22b、第四照明裝置22c、檢查偏振光膜22d以及場掃描旋轉(zhuǎn)部件22e構(gòu)成，用以檢查偏振光膜2可能發(fā)生的漏光。在此，第四照明裝置22c適用LCD背光照明裝置。
場掃描攝影機22的第四照相機22b以保持在由載體移送器4移送的載體3上的偏振光膜2為基準(zhǔn)設(shè)置在其上側(cè)，并且在場掃描攝影機22上設(shè)置至少一個，用以對偏振光膜2步進(jìn)掃描；第四照明裝置22c按照與第四照相機22b相對的方式設(shè)置在偏振光膜2的下側(cè)。此外，在第四照明裝置22c的下部設(shè)有場掃描旋轉(zhuǎn)部件22e，以使檢查偏振光膜22d以預(yù)定的角度旋轉(zhuǎn)。在此，場掃描旋轉(zhuǎn)部件22e按照由旋轉(zhuǎn)電動機22f驅(qū)動其旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置，為了與作為檢查對象的偏振光膜2相區(qū)別，使用所謂的檢查偏振光膜22d的名稱。
具有上述結(jié)構(gòu)的場掃描攝影機22對通過載體移送器22a步進(jìn)移送的載體3所保持的偏振光膜2進(jìn)行漏光檢查。為此，在第四照相機22b的下側(cè)設(shè)置第四照明裝置22c，在第四照明裝置22c的上部設(shè)置檢查偏振光膜22d。設(shè)置檢查偏振光膜22d用于偏振光膜2的交叉檢查，并且按照可以使檢查偏振光膜22d旋轉(zhuǎn)預(yù)定的角度，即至少旋轉(zhuǎn)360°的方式設(shè)置場掃描旋轉(zhuǎn)部件22e。
檢查偏振光膜22d與作為檢查對象的偏振光膜2的軸角偏離時，使用場掃描旋轉(zhuǎn)部件22e對其進(jìn)行補正，在此場掃描旋轉(zhuǎn)部件22e的下側(cè)設(shè)有旋轉(zhuǎn)電動機22f，通過該旋轉(zhuǎn)電動機22f使其旋轉(zhuǎn)。
為了通過上述過程可以對偏振光膜2中包含的污染源進(jìn)行拍攝并檢查，用于將保持在載體3上的偏振光膜2分別移送到檢查部20的行掃描攝影機21和場掃描攝影機22的多個支撐輥23設(shè)置在機體1上。多個支撐輥23分別設(shè)在檢查部20，用以支撐保持在載體3上的偏振光膜2。
為了在檢查部20對由支撐輥23支撐并移送的偏振光膜2進(jìn)行掃描而判斷有沒有次品，偏振光膜2的平坦度將是重要的因素。尤其是在適用于32英寸至46英寸大畫面LCD的偏振光膜2保持在載體3上時，偏振光膜2的平坦度必須正確地維持。
為此，裝載部10上分別設(shè)有膜升降機11和排列機12。如圖1以及圖4所示，排列機12沿偏振光膜2的四邊分別設(shè)有多個排列部件12a，各個排列部件12a由滾珠絲杠等直線移送機構(gòu)(圖中未示出)或者LM導(dǎo)向器(Linear Motion Guide線性運動導(dǎo)向器)構(gòu)成。
排列機12在對偏振光膜2進(jìn)行排列時，為支撐偏振光膜2在裝載部10的中央設(shè)有膜升降機11。如圖1以及圖4所示，膜升降機11由真空板11c和升降部件11b構(gòu)成。
真空板11c形成有可以提供空氣的多個氣孔11a，升降部件11b設(shè)置在真空板11c的預(yù)定位置上，用以分別將真空板11c移送到排列機12、載體3和載體移送器4。
如圖4所示，作業(yè)者在裝載部10的排列機12上放置偏振光膜2的情況下，為了對其進(jìn)行保持，具有上述結(jié)構(gòu)的膜升降機11使真空板11c上升至排列機12設(shè)置的高度A。如果真空板11c通過升降部件11b上升，則作業(yè)者將偏振光膜2放置在真空板11c上以后，就可以由排列機12進(jìn)行排列。
在排列機12對偏振光膜2進(jìn)行排列時，先將偏振光膜2的一邊排列到排列部件12a上，然后排列其余的邊。如果偏振光膜2被排列機12排列，則通過真空板11c上形成的多個氣孔11a部分地或者全部地提供空氣，從而對偏振光膜2的平坦度進(jìn)行細(xì)微調(diào)整。此作業(yè)可以使用偏振光膜檢查裝置的控制裝置(圖中未示出)和電磁閥(圖中未示出)自動地將空氣提供給多個氣孔11a。
如果通過真空板11c上形成的多個氣孔11a提供的空氣對偏振光膜2的平坦度進(jìn)行調(diào)整，則在此狀態(tài)下，偏振光膜2通過沿箭頭“c”所示的垂直方向上升/下降的升降部件11b下降至載體3所處位置的高度B。如果偏振光膜2沿箭頭“a”方向移送并且下降至載體3所處位置的高度B，則載體3的夾子3a將偏振光膜2夾緊。
如果載體3的夾子3a將偏振光膜2的四邊全部夾緊，則在載體3上使夾子3a移動并對偏振光膜2的張力進(jìn)行操作。通過此操作，偏振光膜2以維持某種程度的張力的狀態(tài)平坦地保持在載體3上。如果偏振光膜2保持在載體3上，則再次沿箭頭“b”方向移送真空板11c并且使保持偏振光膜2的載體3下降至載體移送器4設(shè)置的高度c。
如果載體3下降至載體移送器4設(shè)置的位置，則載體3通過載體移送器4移送到檢查部20，從而就可以對載體3上保持的偏振光膜2有沒有次品進(jìn)行檢查。
如果上述保持在載體3上的狀態(tài)下的檢查結(jié)束，則在偏振光膜檢查裝置以直列式設(shè)置的情況下，可以通過載體移送器4輸出到圖1以及圖2所示的卸載部30；在非直列式的情況下，可以按照與為檢查保持在載體3上的偏振光膜2而移送的過程相反的順序移送并輸出。如此移送載體3的載體移送器4適用線性伺服電動機(linear servo motor)等直線移送機構(gòu)。
接下來使用附圖1、圖4、圖5a以及圖5b，對使用上述偏振光膜檢查裝置檢查偏振光膜2的方法進(jìn)行說明。
為了檢查偏振光膜2包含的異物、氣泡或者漏光，首先實施步驟S10通過裝載部10的排列機12對偏振光膜2進(jìn)行排列，然后將其放置在真空板11c上。
為了將偏振光膜2放置在真空板11c上，首先實施步驟S11通過作業(yè)者將偏振光膜2投入到裝載部10上。在此，作業(yè)者將偏振光膜2投入到圖4所示的排列機12設(shè)置的高度。如果裝載部10上投入有偏振光膜2，則實施步驟S12通過排列機12排列偏振光膜2。如果偏振光膜2被排列，則實施步驟S13通過真空板11c對排列的偏振光膜2進(jìn)行吸附。
如果偏振光膜2吸附在真空板11c上，則解除吸附狀態(tài)，然后實施步驟S14將偏振光膜2放置在真空板11c。如果偏振光膜2放置在真空板11c上，則實施步驟S15從真空板11c噴出空氣以調(diào)整偏振光膜2的平坦度。在步驟S15中，通過真空板11c上形成的氣孔11a噴出空氣，對偏振光膜2的平坦度進(jìn)行調(diào)整。
如果調(diào)整了偏振光膜2的平坦度并且偏振光膜2放置在真空板11c上，則實施步驟S20由載體3夾緊偏振光膜2，然后調(diào)整偏振光膜2的張力。
為了調(diào)整偏振光膜2的張力，首先如果偏振光膜2放置在真空板11c上，則實施第一夾緊步驟S21使真空板11c下降至夾緊/張力調(diào)整位置，即圖4所示的載體3所處的位置的高度B并且載體3夾緊偏振光膜2。如果第一夾緊步驟S21結(jié)束，則實施第一張力步驟S22對夾在載體3上的偏振光膜2的張力進(jìn)行調(diào)整。如果第一張力步驟結(jié)束，則實施第二夾緊步驟S23通過載體3再次對偏振光膜2進(jìn)行再夾緊，如果第二夾緊步驟結(jié)束，則實施第二張力步驟S24通過載體3再次對偏振光膜2的張力進(jìn)行再調(diào)整。
如果偏振光膜2由載體3調(diào)整了張力，則實施步驟S30將放置有偏振光膜2的真空板11c下降至移送位置。
為了將保持有偏振光膜2的載體3移送至移送位置，即圖4所示的載體移送器4設(shè)置的高度C，首先實施步驟S31如果偏振光膜2由載體3調(diào)整了張力，則使真空板11c下降以將載體3移送至移送位置。如果真空板11c下降并且載體3移送至移送位置，則實施第三張力步驟S32通過載體3對偏振光膜2的張力進(jìn)行再調(diào)整，最后將張力維持在通過載體3偏振光膜2的平坦度被調(diào)整的狀態(tài)。
在偏振光膜2維持平坦度的狀態(tài)下，如果載體3移送至移送位置，則實施步驟S40通過載體移送器4將載體3移送至檢查部20。如果載體3移送至檢查部20，則實施步驟S50對偏振光膜2進(jìn)行行掃描/場掃描檢查，對偏振光膜2有沒有次品進(jìn)行檢查；如果對偏振光膜2進(jìn)行行掃描/場掃描檢查結(jié)束，則實施步驟S60通過載體移送器4輸出偏振光膜2，從而結(jié)束偏振光膜2的檢查作業(yè)。
如此，通過使用由裝載部和檢查部組成的偏振光膜檢查裝置以及方法對適用于大畫面LCD的偏振光膜進(jìn)行檢查，可以在維持偏振光膜的平坦度的狀態(tài)下，正確判斷偏振光膜有沒有次品。
由以上說明可知，通過使用本發(fā)明偏振光膜檢查裝置對偏振光膜有沒有次品進(jìn)行檢查，可以更精密地進(jìn)行檢查，同時可以提高偏振光膜檢查作業(yè)的生產(chǎn)率。
權(quán)利要求
1.一種偏振光膜檢查裝置，其特征在于，所述裝置包括裝載部，其包括使偏振光膜升降的膜升降機，以及具有為排列偏振光膜而與偏振光膜的四邊間隔設(shè)置的多個排列部件的排列機；檢查部，其設(shè)置在所述裝載部的一側(cè)，并且分別設(shè)有行掃描攝影機以及場掃描攝影機；載體移送器，其將通過夾子保持偏振光膜的載體從裝載部移送到檢查部；卸載部，輸出在所述檢查部檢查結(jié)束的偏振光膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振光膜檢查裝置，其特征在于，所述裝載部的膜升降機包括形成有多個氣孔的真空板；以及設(shè)置在所述真空板的一側(cè)并且使真空板上、下移動的升降部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振光膜檢查裝置，其特征在于，所述檢查部的行掃描攝影機包括至少一個第一照相機，垂直設(shè)置在偏振光膜上部；第一照明裝置，在偏振光膜下部與所述第一照相機相對而設(shè)置；第二以及第三照明裝置，在偏振光膜的上/下側(cè)按照隔離預(yù)定的間隔同時傾斜預(yù)定角度的方式設(shè)置；至少一個第二以及第三照相機，在偏振光膜的上/下側(cè)按照隔離預(yù)定的間隔而彼此相對且按照預(yù)定的角度設(shè)置，用以對由所述第二以及第三照明裝置反射的圖像進(jìn)行拍攝。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的偏振光膜檢查裝置，其特征在于，所述第一至第三照明裝置為條狀結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振光膜檢查裝置，其特征在于，所述場掃描攝影機包括至少一個第四照相機，設(shè)置在偏振光膜的上側(cè)并且對偏振光膜進(jìn)行步進(jìn)掃描；第四照明裝置，在所述偏振光膜的下側(cè)與所述第四照相機相對而設(shè)置；檢查偏振光膜，設(shè)置在所述第四照明裝置的上部；場掃描旋轉(zhuǎn)部件，使所述檢查偏振光膜以預(yù)定的角度旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的偏振光膜檢查裝置，其特征在于，所述第四照明裝置為LCD背光。
7.一種偏振光膜檢查方法，包括通過裝載部的排列機對偏振光膜進(jìn)行排列，然后將所述偏振光膜放置在真空板上的步驟；在所述偏振光膜被放置后，通過載體夾緊偏振光膜，然后對偏振光膜的張力進(jìn)行調(diào)整的步驟；在所述偏振光膜由載體調(diào)整了張力后，使放置偏振光膜的真空板下降至移送位置的步驟；在所述真空板移送至移送位置后，通過載體移送器將載體移送至檢查部的步驟；在所述載體移送至檢查部后，對偏振光膜進(jìn)行行掃描/場掃描檢查的步驟；在所述偏振光膜行掃描/場掃描檢查結(jié)束后，輸出偏振光膜的步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的偏振光膜檢查方法，其特征在于，通過裝載部的排列機對偏振光膜進(jìn)行排列，然后將所述偏振光膜放置在真空板上的步驟包括將偏振光膜投入到裝載部的步驟；在偏振光膜投入到所述裝載部后，通過排列機對偏振光膜進(jìn)行排列的步驟；在排列了所述偏振光膜后，通過真空板對排列的偏振光膜進(jìn)行吸附的步驟；在所述偏振光膜吸附在所述真空板上后，解除真空吸附狀態(tài)，然后將偏振光膜放置在真空板上的步驟；在所述偏振光膜放置在真空板上后，從真空板噴出空氣用以對偏振光膜的平坦度進(jìn)行調(diào)整的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的偏振光膜檢查方法，其特征在于，在所述偏振光膜被放置后，通過載體夾緊偏振光膜，然后對偏振光膜的張力進(jìn)行調(diào)整的步驟包括第一夾緊步驟，在所述偏振光膜放置在真空板上后，使真空板下降至夾緊/張力調(diào)整位置，載體夾緊偏振光膜；第一張力調(diào)整步驟，在所述第一夾緊步驟結(jié)束后，對夾在載體上的偏振光膜的張力進(jìn)行調(diào)整；第二夾緊步驟，在所述第一張力調(diào)整步驟結(jié)束后，通過載體再次對偏振光膜進(jìn)行再夾緊；第二張力調(diào)整步驟，在所述第二夾緊步驟結(jié)束后，通過載體再次對偏振光膜的張力進(jìn)行再調(diào)整。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的偏振光膜檢查方法，其特征在于，在所述偏振光膜由載體調(diào)整了張力后，使放置偏振光膜的真空板下降至移送位置的步驟包括在所述偏振光膜由載體調(diào)整了張力后，使真空板下降以將載體移送至移送位置的步驟；第三張力調(diào)整步驟在所述真空板下降并且所述載體移送至移送位置后，通過所述載體對所述偏振光膜的張力進(jìn)行再調(diào)整。
全文摘要
本發(fā)明涉及可以自動檢查適用于LCD的偏振光膜有沒有次品的偏振光膜檢查裝置及方法。本發(fā)明的偏振光膜檢查裝置包括裝載部(10)，其包括使偏振光膜(2)升降的膜升降機(11)以及具有為排列偏振光膜(2)而與偏振光膜(2)的四邊間隔設(shè)置的多個排列部件(12a)的排列機(12)；檢查部(20)，設(shè)置在裝載部(10)的一側(cè)并且分別設(shè)有行掃描以及場掃描攝影機(21，22)；載體移送器(4)，其將通過夾子(3a)保持偏振光膜(2)的載體(3)從裝載部(10)移送到檢查部(20)；卸載部(30)，輸出在上述檢查部(20)檢查結(jié)束的偏振光膜(2)。
文檔編號G01N21/958GK1841052SQ20061000336
公開日2006年10月4日 申請日期2006年1月26日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月31日
發(fā)明者張珉碩, 金鎮(zhèn)雨, 金亨珍 申請人:恩富技術(shù)株式會社