專利名稱：膜式氣體測(cè)量?jī)x的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)量氣體流量的膜式氣體測(cè)量?jī)x，特別是防止產(chǎn)生壓力損失，同時(shí)可以小型化的膜式氣體測(cè)量?jī)x。
背景技術(shù)：
圖7A或圖7B為概略地表示一般的膜式氣體測(cè)量?jī)x100的正視圖。膜式氣體測(cè)量?jī)x100具有氣體測(cè)量?jī)x殼體101，氣體測(cè)量?jī)x的殼體101由上部殼體102和下部殼體103組合構(gòu)成。在上部殼體102中設(shè)置氣體流入口104和氣體流出口105。在下部殼體103中設(shè)有測(cè)量室106，在該測(cè)量室106中設(shè)在測(cè)量膜107。
該測(cè)量膜107具有利用從氣體測(cè)量?jī)x本體101的氣體流入口104流入的氣體的氣體壓力，進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)的功能。該測(cè)量膜107的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)翼軸(圖中沒(méi)有示出)，傳遞至收納在上部殼體102中的、由曲柄機(jī)構(gòu)和閥機(jī)構(gòu)構(gòu)成的連動(dòng)機(jī)構(gòu)108。累計(jì)顯示部109與連動(dòng)機(jī)構(gòu)108連動(dòng)，顯示從測(cè)量膜107的運(yùn)動(dòng)算出的流入氣體量的累計(jì)值。
上述曲柄機(jī)構(gòu)具有大肘節(jié)和小肘節(jié)。測(cè)量膜107的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)翼軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為曲柄機(jī)構(gòu)的曲柄運(yùn)動(dòng)。該曲柄機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)通過(guò)連動(dòng)機(jī)構(gòu)108，與累計(jì)顯示部109連動(dòng)。這種氣體測(cè)量?jī)x在日本國(guó)特開(kāi)平5-164589號(hào)公報(bào)中公開(kāi)。
測(cè)量膜107由橡膠等具有可撓性的材料制成。測(cè)量膜107的正面形狀，可為圖7A所示的圓形，或如圖7B所示，為方形或者四個(gè)角上有R的方形(以下稱為方圓形)。在該測(cè)量膜107的中央部安裝膜板(圖中沒(méi)有示出)。測(cè)量膜107的外周邊緣與形成測(cè)量室106的下部箱體103氣密地固定。膜板通過(guò)旋轉(zhuǎn)臂(圖中沒(méi)有示出)，與翼軸連接。測(cè)量膜107利用交互地流入測(cè)量室106的測(cè)量膜107的表面和背面的氣體的氣體壓力而往復(fù)運(yùn)動(dòng)。該往復(fù)運(yùn)動(dòng)從膜板借助旋轉(zhuǎn)臂，作為旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞至翼軸。
然而，在現(xiàn)有的膜式氣體測(cè)量?jī)x100的測(cè)量膜107上，如圖7B所示，其形狀為方形或方圓形，往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，四個(gè)角處會(huì)產(chǎn)生皺紋。這種皺紋伸縮成為阻力，使往復(fù)運(yùn)動(dòng)不能平穩(wěn)地進(jìn)行，因此成為壓力變動(dòng)大的原因。當(dāng)產(chǎn)生皺紋時(shí)，測(cè)量膜本來(lái)一定的膜一個(gè)往復(fù)的氣體體積(1個(gè)周期體積)未必一定，因此，作為氣體測(cè)量?jī)x性能不穩(wěn)定。
為了消除測(cè)量膜皺紋的問(wèn)題，如圖7A所示，開(kāi)發(fā)了圓形的測(cè)量膜107。由于圓形測(cè)量膜107往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)難以產(chǎn)生皺紋，因此往復(fù)運(yùn)動(dòng)可以平穩(wěn)地進(jìn)行。但是，圓形測(cè)量膜107在氣體測(cè)量?jī)x的有限的空間中，膜正面的面積比方形或方圓形小，因此，1個(gè)周期的體積也減小。
因此，在相同的時(shí)間間隔間通過(guò)氣體的體積相同，即流量相同時(shí)，與使用方形或方圓形的情況比較，使用圓形膜時(shí)膜的運(yùn)動(dòng)快。換句話說(shuō)，不得不增多膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)的數(shù)。這對(duì)氣體的壓力損失和氣體測(cè)量?jī)x的耐久性有影響。另外，如果使氣體的排出體積與方形或方圓形相同，則需要增大氣體測(cè)量?jī)x的高度和寬度，難以使形狀緊湊。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是要提供一種在測(cè)量膜上難以產(chǎn)生皺紋，可以減少壓力損失的膜式氣體測(cè)量?jī)x。
本發(fā)明的膜式氣體測(cè)量?jī)x包括具有氣體流入口和氣體流出口的氣體測(cè)量?jī)x殼體；設(shè)在該氣體殼體內(nèi)同時(shí)具有兩個(gè)氣體室的測(cè)量室；將從上述流入口導(dǎo)入的氣體交互地供給上述兩個(gè)氣體室的閥機(jī)構(gòu)；設(shè)在上述兩個(gè)氣體室之間，氣密地將上述氣體室之間隔開(kāi)的橢圓形的測(cè)量膜和使上述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與測(cè)量上述閥機(jī)構(gòu)和氣體流量的累計(jì)機(jī)構(gòu)連動(dòng)的連動(dòng)機(jī)構(gòu)。
另外，本發(fā)明的膜式氣體測(cè)量?jī)x，包括具有氣體流入口和氣體流出口的氣體測(cè)量?jī)x殼體；設(shè)在該氣體殼體內(nèi)同時(shí)具有兩個(gè)氣體室的測(cè)量室；將從上述流入口導(dǎo)入的氣體交互地供給上述兩個(gè)氣體室的閥機(jī)構(gòu)；設(shè)在上述兩個(gè)氣體室之間，氣密地隔開(kāi)上述氣體室之間的測(cè)量膜，將兩個(gè)橢圓形的長(zhǎng)軸交叉，以由其重疊構(gòu)成的共通部分作為測(cè)量膜的形狀；和使上述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與測(cè)量上述閥機(jī)構(gòu)和氣體流量的累計(jì)機(jī)構(gòu)連動(dòng)的連機(jī)構(gòu)。
另外，本發(fā)明的膜式氣體測(cè)量?jī)x，它包括具有氣體流入口和氣體流出口的氣體測(cè)量?jī)x殼體；設(shè)在該氣體殼體內(nèi)，同時(shí)具有兩個(gè)氣體室的測(cè)量室；將從上述流入口導(dǎo)入的氣體交互地供給上述兩個(gè)氣體室的閥機(jī)構(gòu)；設(shè)在上述兩個(gè)氣體室之間，氣密地隔開(kāi)上述氣體室的測(cè)量膜，將橢圓形和具有比該橢圓形的短軸長(zhǎng)且比長(zhǎng)軸直徑短的圓交叉，以由其重疊構(gòu)成的共通部分作為測(cè)量膜的形狀；和使上述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與測(cè)量上述閥機(jī)構(gòu)和氣體流量的累計(jì)機(jī)構(gòu)連動(dòng)的連動(dòng)機(jī)構(gòu)。
采用本發(fā)明，通過(guò)防止在測(cè)量膜中產(chǎn)生皺紋，可以減少壓力損失，同時(shí)可降低氣體測(cè)量?jī)x自身的高度尺寸。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在以下的說(shuō)明中給出，并且部分地可從該說(shuō)明中了解，或從本發(fā)明的實(shí)踐中學(xué)習(xí)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)可從以下指出的結(jié)構(gòu)獲得。


圖1A為概略地表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x的正視圖；圖1B為概略地表示安裝在同一個(gè)膜式氣體測(cè)量?jī)x中的測(cè)量膜的正視圖；圖2A為概略地表示本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x的正視圖；圖2B為概略地表示安裝在同一個(gè)膜式氣體測(cè)量?jī)x中的測(cè)量膜的正視圖；圖3A為概略地表示本發(fā)明的第三個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x的正視圖；圖3B為概略地表示安裝在同一個(gè)膜式氣體測(cè)量?jī)x中的測(cè)量膜的正視圖；
圖4A為概略地表示本發(fā)明的第四個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x的正視圖；圖4B為概略地表示安裝在同一個(gè)膜式氣體測(cè)量?jī)x中的測(cè)量膜的正視圖；圖5為概略地表示本發(fā)明的第五個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x的正視圖；圖6為概略地表示本發(fā)明的第六個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x的正視圖；圖7A為概略地表示使用圓形測(cè)量膜的模式氣體測(cè)量?jī)x的一個(gè)例子的正視圖；圖7B為概略地表示使用方形、方圓形的測(cè)量膜的膜式氣體測(cè)量?jī)x的一個(gè)例子的正視圖。
具體實(shí)施例方式
圖1A為概略地表示本發(fā)明的第一個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x的正視圖。圖1B為概略地表示安裝在同一個(gè)膜式氣體測(cè)量?jī)x中的測(cè)量膜的正視圖。
膜式氣體測(cè)量?jī)x10具有作為殼體的氣體測(cè)量?jī)x本體11，該氣體測(cè)量?jī)x本體11由上部箱體12和下部箱體13組合構(gòu)成。在上部箱體12的箱體表面上設(shè)置兩個(gè)孔，分別形成氣體流入口14和氣體流出口15。在上部箱體12內(nèi)放置閥機(jī)構(gòu)20。在閥機(jī)構(gòu)20中有兩個(gè)閥21，22。
在下部箱體13中形成與閥21連接的測(cè)量室23，和與閥22連接的測(cè)量室24。通過(guò)關(guān)閉閥21，22。測(cè)量室23，24分別被氣密地封閉。通過(guò)開(kāi)閉閥21，22，氣體可在測(cè)量室23，24中出入。
測(cè)量室23，24在下部箱體13的前后方向(圖1中紙面面前深度方面)并列地形成。兩個(gè)側(cè)量室23，24的內(nèi)部容積結(jié)構(gòu)大致相同。在以下的說(shuō)明中省略測(cè)量室24的說(shuō)明，只說(shuō)明測(cè)量室23。
在測(cè)量室23中設(shè)有測(cè)量膜30，將測(cè)量室23在前后方向(圖1中的紙面面前深度方向)隔斷。即利用測(cè)量膜30將測(cè)量室23隔開(kāi)，在測(cè)量膜30的前側(cè)(圖1中紙面的面前側(cè))形成第一氣體室31，在測(cè)量膜30的后側(cè)(圖中紙面深度一側(cè))形成第二氣體室32。第一氣體室31和第二氣體室32由測(cè)量膜30氣密地隔開(kāi)。
當(dāng)利用閥21使第一氣體室31與氣體流入口連接時(shí)，第二氣體室32與氣體流出口連接。另外，當(dāng)利用閥門21使第二氣體室32與氣體流入口連接時(shí)，第一氣體室31與氣體流出口連接。
測(cè)量膜30的外周邊緣與形成測(cè)量室23的下部箱體13氣密地固定。固定使測(cè)量膜30松馳，可在前后方向輕微運(yùn)動(dòng)。測(cè)量膜30由橡膠等具有可撓性的材料制成。因此，測(cè)量膜30可地前后方向運(yùn)動(dòng)一定距離。具體的是，當(dāng)氣體被送入第一氣體室31中時(shí)，利用送入的氣體的氣體壓力，測(cè)量膜30被向第二氣體室32的內(nèi)部壓出。相反，當(dāng)氣體被送入第二氣體室32中時(shí)，利用送入氣體的氣體壓力，測(cè)量膜30被向第一氣體室31內(nèi)部壓出。即通過(guò)交互地將氣體送入氣體室31，32中，測(cè)量膜30可在氣體室31和32之間反復(fù)地進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
另外，在測(cè)量膜30的中央部安裝膜板30a，連動(dòng)機(jī)構(gòu)40通過(guò)該膜板30a與測(cè)量膜30連接。連動(dòng)機(jī)構(gòu)40具有旋轉(zhuǎn)臂41、翼軸42和曲柄機(jī)構(gòu)43。曲柄機(jī)構(gòu)43還具有大肘節(jié)和小肘節(jié)。
旋轉(zhuǎn)臂41的一端安裝在膜板30a上。旋轉(zhuǎn)臂41的另一端安裝在翼軸42的外周面上。翼軸42在軸心方向垂直地(圖1中的上下方向)立起，由軸承42a可自由轉(zhuǎn)動(dòng)地支承。這樣，當(dāng)測(cè)量膜30往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，安裝在測(cè)量體30上的旋轉(zhuǎn)臂41的端部前后振動(dòng)。同時(shí)旋轉(zhuǎn)臂41的相反的端部使翼軸42旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
與安裝著旋轉(zhuǎn)臂41的翼軸42的端部相反一側(cè)的端部，與曲柄機(jī)構(gòu)43連接。因此，翼軸42的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過(guò)曲柄機(jī)構(gòu)43作曲柄運(yùn)動(dòng)，變換為構(gòu)成曲柄機(jī)構(gòu)43的曲軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。該旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使與曲軸連接的蝸輪44轉(zhuǎn)動(dòng)。
另一方面，在上部箱體12中具有累計(jì)顯示部45，該累計(jì)顯示部45作為用于顯示通過(guò)氣體測(cè)量?jī)x的氣體流量的累計(jì)值的累計(jì)機(jī)構(gòu)而發(fā)揮作用，蝸輪44的轉(zhuǎn)動(dòng)通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(沒(méi)有示出)傳遞至累計(jì)顯示部45，累計(jì)顯示部45顯示累計(jì)值。
曲柄機(jī)構(gòu)43還與閥機(jī)構(gòu)20連接。當(dāng)曲柄機(jī)構(gòu)43作曲柄運(yùn)動(dòng)時(shí)，與其動(dòng)作連動(dòng)的閥機(jī)構(gòu)20運(yùn)動(dòng)，開(kāi)閉閥21，22。
曲柄機(jī)構(gòu)43時(shí)間安排為當(dāng)閥21位于關(guān)閉位置、閥22位于打開(kāi)位置時(shí)，成為氣體被送入測(cè)量室24中的狀態(tài)；當(dāng)閥22位于關(guān)閉位置、閥21位于打開(kāi)位置時(shí)，成為氣體被送入測(cè)量室23中的狀態(tài)。
另外，曲柄機(jī)構(gòu)43在閥21打開(kāi)氣體被送入測(cè)量23中時(shí)，測(cè)量室23內(nèi)的測(cè)量膜30的往復(fù)運(yùn)動(dòng)傳遞，使閥22向開(kāi)的方向運(yùn)動(dòng)。相反，曲柄機(jī)構(gòu)43在閥22打開(kāi)氣體被送入測(cè)量室24中時(shí)，測(cè)量室24內(nèi)的測(cè)量膜30的往復(fù)運(yùn)動(dòng)傳遞，使閥21向開(kāi)的方向運(yùn)動(dòng)。即測(cè)量室23或24經(jīng)常有一個(gè)測(cè)量膜30作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。這樣，將旋轉(zhuǎn)動(dòng)力不斷地給與曲柄機(jī)構(gòu)43。換句話說(shuō)，只要?dú)怏w流入膜式氣體測(cè)量?jī)x10中，曲柄機(jī)構(gòu)43不施加氣體以外的外力，也可繼續(xù)運(yùn)動(dòng)。
安裝在測(cè)量室23中的測(cè)量膜30，由橡膠等可撓性的材料制成，在膜式氣體測(cè)量?jī)x10的水平方向(圖1A中的左右方向)上，成為橫向長(zhǎng)的長(zhǎng)橢圓形。當(dāng)測(cè)量膜30的長(zhǎng)徑為2a，短徑為2b時(shí)，1＞2b/2a。橢圓形狀的面積S＝πab，假設(shè)a＝2b，則S＝2πb2。由于直徑2b的圓形膜(虛線所示)的面積為πb2，在一個(gè)行程下，橫向長(zhǎng)的橢圓形的測(cè)量膜30的排出體積為圓形膜(虛線所示)的二倍。
采用第一個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x10，測(cè)量膜30與現(xiàn)有的方形或方圓形比較難以產(chǎn)生皺紋，因此壓力損失減少，可將膜式氣體測(cè)量?jī)x10的高度尺寸降低。另外，由于與現(xiàn)有的圓形膜比較橫向長(zhǎng)，因此如圖1A所示可將取出測(cè)量膜30的往復(fù)運(yùn)動(dòng)的翼軸42配置在離開(kāi)測(cè)量室23的中心的位置。由于這樣，旋轉(zhuǎn)臂41長(zhǎng)，利用翼軸42的旋轉(zhuǎn)扭距，可以增大驅(qū)動(dòng)閥機(jī)構(gòu)20的驅(qū)動(dòng)力。
圖2A，圖2B為表示第二個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x60的圖。與第一個(gè)實(shí)施例的膜式氣體側(cè)量?jī)x10具有相同功能的結(jié)構(gòu)，用相同的符號(hào)表示，省略其說(shuō)明。在圖2A中，曲柄機(jī)構(gòu)43是將蝸輪44歸納作為連動(dòng)機(jī)構(gòu)40示意性地表示的。
測(cè)量膜50的形狀是將在膜式氣體測(cè)量?jī)x60的水平方向(圖2A中的左右方向)上橫向長(zhǎng)的長(zhǎng)橢圓形50a和在膜式氣體測(cè)量?jī)x60的垂直方向(圖2A中的上下方向)縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)橢圓形50b在垂直狀態(tài)下交叉，在重疊的共通部分50c的四個(gè)角的拐角50d上設(shè)置R。與圓形膜(虛線所示)比較，測(cè)定膜50的形狀增加了在共通部分50c的四個(gè)角的拐角50d部分的面積。即增加了這部分的排出體積。
不同大小的兩個(gè)橢圓相交部分的面積S為S＝2a1b1[Sin-1x1/a1+x1(1-x12/a1/2/a1]+2a2b2[cos-1x1/b2-x1(1-x12/b22)1/2/b2]式中x1=a1b2[(a22-b12)/(a12a22-b12b22)]1/2]]>在相同的兩個(gè)橢圓的情況下，由于a1＝a2，b1＝b2，因此S＝4abtan-1b/a假設(shè)a＝2b，則S＝3.71b2。由于半徑為b的圓形膜(虛線所示)的面積為πb2，如果行程相同，則排出體積為圓形膜(虛線所示)的1.18倍。(嚴(yán)格地說(shuō)，必須考慮因R而減少部分的面積，但這里省略了)?；蛘撸绻c圓形的體積相同，則可以減少專有面積。
采用第二個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x60，與現(xiàn)有的方形或方圓形比較，難以產(chǎn)生皺紋，因此可以減少損失壓力，不增大氣體測(cè)量?jī)x的高度尺寸，可以增大測(cè)量體積。
另外，在膜式氣體測(cè)量?jī)x60中，使小的橫向長(zhǎng)的橢圓形50a和大的縱向長(zhǎng)的橢圓形50b垂直構(gòu)成，但使相同的橢圓形交叉也可以，一般以離心率相同或不同的橢圓垂直構(gòu)成也可以。
圖3A，圖3B為表示第三個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x61的圖。與第一個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x10功能相同的結(jié)構(gòu)，用相同的符號(hào)表示，省略其說(shuō)明，另外，在圖3A中，將曲柄機(jī)構(gòu)43、蝸輪44歸納作為連動(dòng)機(jī)構(gòu)40示意性地表示的。
測(cè)量膜51的形狀為使圓形51a和在膜式氣體測(cè)量?jī)x61的水平方向(圖3A的左右方向)橫向長(zhǎng)的橢圓形51b交叉，在重疊的共通部分51c的四個(gè)角上的拐角51d處設(shè)置R。
與圓形膜(虛線所示)比較，測(cè)量膜51的形狀增加了在共通部分51c的左右的51a和虛線間的部分的面積，由此可增大排出體積。
直徑為2r的圓和橢圓相交部分的面積S為S=2ab[Sin-1x1/a+x1(1-x12/a2)1/2/a]+2r2[cos-1x1/r-x1(1-x12/r2)1/2/r]]]>式中a≥r≥b，x1＝a[(r2-b2)/(a2-b2)]1/2假設(shè)a＝2b，r＝2b/1.5，則S＝4.63b2。由于半徑為b的圓形膜(虛線所示)的面積為πb2，在相同的行程下，排出體積為圓形膜(虛線所示)的1.47倍，(嚴(yán)格地說(shuō)，必須考慮因R而減少的部分的面積，這里省略了)?；蛘?，如果與圓形的體積相同，則可以減少專有面積。
采用第三個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x61，與現(xiàn)有的方形或方圓形比較，難以產(chǎn)生皺紋，因此可減少壓力損失，不使氣體測(cè)量?jī)x的高度尺寸增高，可以增大測(cè)量體積。
圖4A，圖4B為表示第4個(gè)實(shí)施例的氣體測(cè)量?jī)x62的圖。圖4A為膜式氣體測(cè)量?jī)x62的大致的正視圖，圖4B為測(cè)量膜的大致的正視圖。與第一個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x10功能相同的結(jié)構(gòu)用相同的符號(hào)表示，省略其說(shuō)明。另外，在圖4A中，是將曲柄機(jī)構(gòu)43、蝸輪44歸納作為連動(dòng)機(jī)構(gòu)40示意性地表示的。
安裝在測(cè)量室23中的測(cè)量膜30，由橡膠等有撓性的材料制成，也在膜式氣體測(cè)量?jī)x垂直方向(圖4A中的上下方向)上成為縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)橢圓形。當(dāng)測(cè)量膜30的長(zhǎng)徑為2a，短徑為2b時(shí)，1＞2b/2a。橢圓形狀的面積S＝πab，假設(shè)a＝2b，則S＝2πb2。由于直徑2b的圓形膜(虛線所示)的面積為πb2，在同一個(gè)行程下，橫向長(zhǎng)的橢圓形的測(cè)量膜30的排出體積為圓形膜(虛線所示)的二倍。
采用第4個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x62，測(cè)量膜30與現(xiàn)有的方形或方圓形比較，難以形成皺紋，因此可以減少壓力損失。另外，膜式氣體測(cè)量?jī)x62水平方向(圖4A中的左右方向)的尺寸狹窄，可以減少設(shè)置空間。由于與現(xiàn)有的圓形膜比較，本實(shí)施例的測(cè)量膜30為縱向長(zhǎng)的，因此如圖4A所示，取出測(cè)量膜30的往復(fù)運(yùn)動(dòng)的翼軸42離測(cè)量室23的中心近，旋轉(zhuǎn)臂41短。但是，在閥機(jī)構(gòu)20為轉(zhuǎn)動(dòng)閥等的情況下，不需要利用翼軸42的旋轉(zhuǎn)扭矩，也可以增大驅(qū)動(dòng)閥的驅(qū)動(dòng)力，是有效的。
作為第3和第4個(gè)實(shí)施例的變形例子，圖中沒(méi)有示出，可將設(shè)在測(cè)量室中的測(cè)量膜的形狀作成在氣體測(cè)量?jī)x的高度方向上使縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)橢圓形和圓形交叉，在由該重疊構(gòu)成的共通部分的四個(gè)角上的拐角帶有R。
圖5為概略地表示第5個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x63的正視圖。與第一個(gè)實(shí)施例的膜式測(cè)量?jī)x10功能相同的結(jié)構(gòu)用相同的符號(hào)表示，省略其說(shuō)明，在圖5中，是將曲柄機(jī)構(gòu)43、蝸輪44歸納作為連動(dòng)機(jī)構(gòu)40示意性地表示的。
安裝在測(cè)量室23中的測(cè)量膜30為與第一和第四個(gè)實(shí)施例相同的橢圓形的測(cè)量膜30。使該測(cè)量膜30的長(zhǎng)軸(長(zhǎng)度方向)傾斜，配置在測(cè)量室23中。即，如測(cè)量室23在正視圖中為矩形，則在其對(duì)角線方向配置測(cè)量膜30。在本實(shí)施例中，測(cè)量膜30的傾斜角為30°，該角度可以任意，沒(méi)有限制。采用本實(shí)施例可得到與第1個(gè)實(shí)施例相同的效果。
圖6為第6個(gè)實(shí)施例的膜式氣體測(cè)量?jī)x64的概略的正視圖。與第一個(gè)實(shí)施例的膜片氣體測(cè)量?jī)x10功能相同的結(jié)構(gòu)用相同的符號(hào)表示，省略其說(shuō)明。在圖2A中，是將曲柄機(jī)構(gòu)43、蝸輪44歸納作為連動(dòng)機(jī)構(gòu)40示意性地表示的。
安裝在測(cè)量室23中的測(cè)量膜51為與第三個(gè)實(shí)施例相同的測(cè)量膜51。使該測(cè)量膜51的長(zhǎng)軸(長(zhǎng)徑)傾斜，配置在測(cè)量室23中。即如果在正視圖中測(cè)量室23為矩形，則測(cè)量膜51配置在其對(duì)角線方向上。在本實(shí)施例中，測(cè)量膜51的傾斜角為45°，該角度為任意的，沒(méi)有限制，采用本實(shí)施例，可得到與第3個(gè)實(shí)施例相同的效果。
在本實(shí)施例中，說(shuō)明了使第三個(gè)實(shí)施例的測(cè)量膜51的長(zhǎng)軸(長(zhǎng)徑)傾斜，配置在測(cè)量室23中的情況，使第二個(gè)實(shí)施例的測(cè)量膜50的長(zhǎng)軸(長(zhǎng)徑)傾斜配置在測(cè)量室23中也可以。
另外，在第2、3、6實(shí)施例中，測(cè)量膜的全部角都有R，但沒(méi)有R也可以。
本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，在實(shí)施階段，在不偏離本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)，可使結(jié)構(gòu)元件變形，而具體地實(shí)現(xiàn)。另外，將上述實(shí)施例所示的多個(gè)結(jié)構(gòu)元件適當(dāng)?shù)亟M合，可以形成各種方案。例如，可從實(shí)施例所示的全部結(jié)構(gòu)元件中去除幾個(gè)結(jié)構(gòu)元件。將不同實(shí)施例的結(jié)構(gòu)元件適當(dāng)?shù)亟M合也可以。
本領(lǐng)域的技術(shù)人員很容易了解其他的優(yōu)點(diǎn)，并作改進(jìn)。因此，廣義來(lái)說(shuō)，本發(fā)明不限于所示相應(yīng)實(shí)施例的詳細(xì)情況。在不偏離由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等價(jià)文件所確定的本發(fā)明的精神或范圍的條件下，可作各種改變。
權(quán)利要求
1.一種膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，包括具有氣體流入口和氣體流出口的氣體測(cè)量?jī)x殼體；設(shè)在該氣體殼體內(nèi)且具有兩個(gè)氣體室的測(cè)量室；將從所述流入口導(dǎo)入的氣體交互地供給所述兩個(gè)氣體室的閥機(jī)構(gòu)；設(shè)在所述兩個(gè)氣體室之間，氣密地將所述氣體室之間隔開(kāi)的橢圓形的測(cè)量膜；以及使所述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與測(cè)量所述閥機(jī)構(gòu)和氣體流量的累計(jì)機(jī)構(gòu)連動(dòng)的連動(dòng)機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，所述連動(dòng)機(jī)構(gòu)具有安裝在所述測(cè)量膜上的膜板；可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在該中心軸周圍，驅(qū)動(dòng)所述閥機(jī)構(gòu)和所述累計(jì)機(jī)構(gòu)的翼軸；一端安裝在所述膜板上，另一端安裝在所述翼軸上，將所述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)作為所述翼軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而傳遞的旋轉(zhuǎn)臂，將所述測(cè)量膜的長(zhǎng)軸方向和所述旋轉(zhuǎn)臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置為平行或形成銳角。
3.一種膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，包括具有氣體流入口和氣體流出口的氣體測(cè)量?jī)x殼體；設(shè)在該氣體殼體內(nèi)且具有兩個(gè)氣體室的測(cè)量室；將從所述流入口導(dǎo)入的氣體交互地供給所述兩個(gè)氣體室的閥機(jī)構(gòu)；測(cè)量膜，該測(cè)量膜設(shè)在所述兩個(gè)氣體室之間，氣密地隔開(kāi)所述氣體室之間，將兩個(gè)橢圓形的長(zhǎng)軸交叉而重疊構(gòu)成的共通部分作為該測(cè)量膜的形狀；以及使所述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與測(cè)量所述閥機(jī)構(gòu)和氣體流量的累計(jì)機(jī)構(gòu)連動(dòng)的連動(dòng)機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，所述連動(dòng)機(jī)構(gòu)具有安裝在所述測(cè)量膜上的膜板；可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在中心軸周圍，驅(qū)動(dòng)所述閥機(jī)構(gòu)和所述累計(jì)機(jī)構(gòu)的翼軸；一端安裝在所述膜板上，另一端安裝在所述翼軸上，將所述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)作為所述翼軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而傳遞的旋轉(zhuǎn)臂，將所述測(cè)量膜的長(zhǎng)軸方向和所述旋轉(zhuǎn)臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置為平行或形成銳角。
5.一種膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，包括具有氣體流入口和氣體流出口的氣體測(cè)量?jī)x殼體；設(shè)在該氣體殼體內(nèi)且具有兩個(gè)氣體室的測(cè)量室；將從所述流入口導(dǎo)入的氣體交互地供給所述兩個(gè)氣體室的閥機(jī)構(gòu)；測(cè)量膜，該測(cè)量膜將設(shè)在所述兩個(gè)氣體室之間，氣密地隔開(kāi)所述氣體室，將比該橢圓形的短軸長(zhǎng)且比長(zhǎng)軸直徑短的圓交叉而重疊構(gòu)成的共通部分作為該測(cè)量膜的形狀；以及使所述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與測(cè)量所述閥機(jī)構(gòu)和氣體流量的累計(jì)機(jī)構(gòu)連動(dòng)的連動(dòng)機(jī)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求5所述的膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，所述連動(dòng)機(jī)構(gòu)具有安裝在所述測(cè)量膜上的膜板；可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在該中心軸周圍，驅(qū)動(dòng)所述閥機(jī)構(gòu)和所述累計(jì)機(jī)構(gòu)的翼軸；一端安裝在所述膜板上，另一端安裝在所述翼軸上，將所述測(cè)量膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)作為所述翼軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而傳遞的旋轉(zhuǎn)臂，將所述測(cè)量膜的長(zhǎng)徑方向和所述旋轉(zhuǎn)臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置為平行或形成銳角。
7.如權(quán)利要求3所述的膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，所述共通部分的四角上具有R。
8.如權(quán)利要求4所述的膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，所述共通部分的四角上具有R。
9.如權(quán)利要求5所述的膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，所述共通部分的四角上具有R。
10.如權(quán)利要求6所述的膜式氣體測(cè)量?jī)x，其特征為，所述共通部分的四角上具有R。
全文摘要
氣體測(cè)量?jī)x在測(cè)量室(23)中設(shè)有測(cè)量膜(30)，利用從氣體流入口(14)流入氣體的氣體壓力，使測(cè)量膜(30)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)翼軸(42)和曲柄機(jī)構(gòu)(43)，使該測(cè)量膜(30)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與閥機(jī)構(gòu)(20)和累計(jì)機(jī)構(gòu)連動(dòng)。在此，測(cè)量膜(30)的形狀為在氣體測(cè)量?jī)x的寬度方向長(zhǎng)的橫向長(zhǎng)橢圓形。
文檔編號(hào)G01F3/02GK1645062SQ200510001859
公開(kāi)日2005年7月27日 申請(qǐng)日期2005年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月19日
發(fā)明者小野田元 申請(qǐng)人:小野田元