專利名稱：隔離的壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體上涉及一種壓力傳感器，具體地涉及一種具有結(jié)合到其中的壓阻傳感小片的壓力傳感器。
背景技術(shù)：
基于壓阻的傳感器或傳感小片可以用來在許多應(yīng)用中測(cè)量壓力，包括歧管絕對(duì)壓力(MAP)應(yīng)用、廢氣再循環(huán)(EGR)系統(tǒng)、低壓燃料測(cè)量應(yīng)用等等。通常，在這些應(yīng)用中，從傳感小片的具有壓感電路和線連接件的側(cè)面進(jìn)行流體相互作用和測(cè)量。圖11示出了在現(xiàn)有技術(shù)中實(shí)施的傳感小片100的一個(gè)示例，如所示的，電阻器101嵌入壓阻硅基底102中，金屬接觸件104也嵌入基底102中且分別與電阻器101的各端相連，隔膜106設(shè)置在基底102和電阻器101上方。當(dāng)流體或其它介質(zhì)引起沿所示方向108的力時(shí)，隔膜106彎曲，這改變基底102的晶體結(jié)構(gòu)且被電阻器101檢測(cè)到，與金屬接觸件104相連的電線(配線)110傳送與檢測(cè)到的力相對(duì)應(yīng)的信號(hào)。
為了保護(hù)傳感小片100不受流體的老化影響，應(yīng)用凝膠(未示出)以覆蓋傳感小片的表面112和任何電線110、金屬接觸件104、隔膜106等等，電線110和金屬接觸件104通常包括增大數(shù)量的黃金或黃金完全由鉑代替，這些措施保護(hù)了傳感小片100、電線110和接觸件104不會(huì)隨著時(shí)間老化。然而，當(dāng)壓力介質(zhì)包含腐蝕性元素時(shí)問題變得明顯起來，腐蝕性元素有滲透到凝膠中的趨勢(shì)，侵蝕性地腐蝕電線粘合劑、金屬接觸件104和傳感小片100。
用于將將傳感小片100固定到介質(zhì)上的傳統(tǒng)技術(shù)需要在基底102的下側(cè)上形成玻璃的復(fù)雜工藝，玻璃附著技術(shù)牢固地固定傳感小片100，且附著的整體性在很寬的壓力范圍保持一致，然而，由于復(fù)雜性，將玻璃附著到硅傳感元件上不必要地增加了成本和制造時(shí)間，這在玻璃附件的全部工作范圍內(nèi)不工作的壓力傳感應(yīng)用中是不希望有的，因而，存在對(duì)較不復(fù)雜和較低成本的附著技術(shù)的需要，其同時(shí)保護(hù)與傳感小片相關(guān)的電路免受壓力介質(zhì)以及外部環(huán)境的影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的某些實(shí)施例滿足了這些和其它需求，其提供了一種壓力傳感器，其包括具有從容器接收流體的中心孔的托架。傳感小片安裝在托架上，傳感小片具有定位成與來自容器的流體相互作用的第一側(cè)。壓力檢測(cè)電路形成在傳感小片的第二側(cè)上。在某些實(shí)施例中，凝膠形成第一側(cè)和托架之間的結(jié)合以將傳感小片接附到托架上。
根據(jù)本發(fā)明的其它方面，壓力傳感器包括具有用于從容器接收流體的中心孔的托架。傳感小片安裝在托架上，具有定位成與從容器接收的流體相互作用的第一側(cè)。壓力檢測(cè)電路形成在傳感小片的第二側(cè)上，氣密密封的蓋定位成防止流體或其它外部元素接觸傳感小片的至少第二側(cè)。
在又一個(gè)方面中，提供一壓力傳感器，它包括具有用于從容器接收流體的中心孔的托架。傳感小片安裝在托架上，傳感小片具有定位成與從容器接收的流體相互作用的第一側(cè)。壓力檢測(cè)電路形成在傳感小片的第二側(cè)上。陶瓷板安裝在托架上，陶瓷板具有使壓力檢測(cè)電路與外部電路電連接的導(dǎo)電路徑。
根據(jù)另外的方面，壓力傳感器包括具有用于從容器接收流體的中心孔的托架。傳感小片安裝在托架上，具有定位成與從容器接收的流體相互作用的第一側(cè)。凝膠將傳感小片接附到托架上。壓力檢測(cè)電路形成在傳感小片的第二側(cè)上。此外，陶瓷板安裝在托架上，陶瓷板具有電連接壓力檢測(cè)電路的導(dǎo)電路徑。除了壓力檢測(cè)電路之外的相關(guān)的電路也安裝在陶瓷板上且與導(dǎo)電路徑電連接，氣密密封的蓋防止流體或其它外部元素接觸傳感小片的至少第二側(cè)。
從下面結(jié)合附圖進(jìn)行的本發(fā)明的詳細(xì)說明，本發(fā)明的前述和其它特征、方面和優(yōu)點(diǎn)將變得更明顯。


圖1是壓力傳感器和內(nèi)容物的橫截面圖；圖2是圖1中所示的壓力傳感器的放大橫截面圖；圖3是托架和壓阻傳感小片的透視圖；圖4是陶瓷板的透視圖；圖5是安裝在托架上的陶瓷板和傳感小片的透視圖；
圖6是如圖1和2中所示的安裝在托架上的壓阻傳感小片和罩的橫截面圖；圖7是具有孔或可調(diào)節(jié)開口的蓋的橫截面圖；圖8是表示導(dǎo)電路徑的陶瓷板的橫截面圖；圖9是表示導(dǎo)電路徑的陶瓷板的表面圖；圖10是表示導(dǎo)電路徑的陶瓷板的透視圖；以及圖11是傳統(tǒng)的壓阻傳感小片。
具體實(shí)施例方式
圖1是壓力傳感器2和其內(nèi)容物的橫截面圖。壓力傳感器2用壓阻傳感小片(傳感小片)6檢測(cè)容納在容器4中的流體的壓力，容器4可以是流體在其中流動(dòng)的管、容納流體或任何其它類型的流體內(nèi)容物的容器。此外，流體可以處于液體、氣體或其它狀態(tài)中，壓力傳感器2通過檢測(cè)作用在傳感小片6上的力測(cè)量流體壓力。
傳統(tǒng)上，從傳感小片的保持電阻器電路和金屬接觸件的那側(cè)檢測(cè)壓力，然而，在所示布置中，流體的壓力作用在傳感小片6的第一側(cè)10上，即作用在與電阻器(未示出)和金屬接觸件7相反的那側(cè)上。電阻器和金屬接觸件7不是必需形成在與第一側(cè)相反的側(cè)面上，而是可以形成在不暴露于來自容器的流體的側(cè)面上。具體地，如流動(dòng)箭頭5所示，流體從容器4通過外殼孔14和托架孔24流到傳感小片6的第一側(cè)10，壓力的變化引起傳感小片6的晶體結(jié)構(gòu)的變化，這種變化通過相關(guān)的電路探測(cè)和處理以確定容納在容器4中的流體的壓力，相關(guān)的電路一般包括在下面詳細(xì)描述的ASIC56、電阻器和金屬接觸件7、電線46、導(dǎo)電路徑58等等。
位于傳感小片6的第二側(cè)8上的電阻電路和金屬接觸件7與流體隔離不與流體發(fā)生任何相互作用，因?yàn)榕c第二側(cè)8的流體接觸將趨向于使傳感小片6老化，所以通過這種布置將老化減到最小并增加了效率。
外殼12包括用于傳感小片6和相關(guān)的電路的裝放內(nèi)容物區(qū)域18，外殼12還包括延伸穿過頸部16的外殼孔14。外殼12以延伸到容器4中的頸部16安裝到容器4上，從而使外殼12與容器4流體地連接。結(jié)果，流體可以通過外殼孔14進(jìn)入外殼頸部16。然而，流體進(jìn)入裝放內(nèi)容物區(qū)域18和與相關(guān)的電路相互作用不是所希望的。
圖2表示托架20的放大圖，其布置成將流體流動(dòng)限制或限定成僅與傳感小片6的第一側(cè)10相互作用且防止流體進(jìn)入裝放內(nèi)容物區(qū)域18。托架20具有包括中心孔24的頸部22，托架頸部22的外部尺寸稍小于外殼頸部16的外殼孔14的內(nèi)部尺寸。在托架頸部22延伸到外殼頸部16中的情況下，外殼12容納托架20，這種布置限制了從容器向外殼孔14和托架孔24的流體流動(dòng)。為了將托架20可靠地安裝到外殼12，將凝膠或環(huán)氧樹脂26施加到外殼12和托架相互作用的區(qū)域，一旦施加凝膠或環(huán)氧樹脂26，其就固化，以將托架20永久性地接附和密封到外殼12上，固化的凝膠26還防止流體進(jìn)入裝放內(nèi)容物區(qū)域18。有利地，來自壓力介質(zhì)4的流體僅僅流過托架孔24而不進(jìn)入裝放內(nèi)容物區(qū)域18，進(jìn)入裝放內(nèi)容物區(qū)域18將會(huì)影響到傳感小片6的第二側(cè)8和相關(guān)的電路。
托架20支撐傳感小片6和陶瓷板28，陶瓷板28保持著相關(guān)的電路。圖3是托架20和其上的傳感小片6的放置的透視圖，圖4是陶瓷板28的透視圖，圖5是布置在托架20上的陶瓷板28和傳感小片6的透視圖。留意圖3，托架20具有正交于托架頸部22的平坦表面30，平坦表面30支撐著陶瓷板28。在平坦表面30的中央與托架孔24一致的高起表面32支撐著傳感小片6，換句話說，托架孔24穿過托架頸部22延伸到安裝傳感小片6的高起表面32處的開口。在所示的示例性實(shí)施例中，高起表面32具有與傳感小片6的周向尺寸l2和w2一致的周向尺寸l1和w1，此外，高起表面32的高度h1可以基本上等于如圖4中所示的陶瓷板28的厚度h2。
陶瓷板28具有從中貫穿延伸的孔40，孔40具有與高起表面32的周向尺寸l1、w1和h1一致的周向尺寸l3、w3和h3，因此，當(dāng)如圖5中所示將陶瓷板28安裝到托架20時(shí)，陶瓷板28和托架20的高起表面32形成基本上平坦的表面31。有利地，在不妨礙下面描述的在傳感小片6和托架20之間的結(jié)合的情況下，能容易地替換陶瓷板28。此外，可以應(yīng)用凝膠或環(huán)氧樹脂41并使其固化以將陶瓷板28接附到平坦表面30上。
壓力傳感器2提供了將傳感小片6接附到托架20上的新穎附著方法。在傳統(tǒng)技術(shù)中，在傳感小片6的第一側(cè)10上形成玻璃的方法采用了細(xì)膩的附著工藝，這里描述的壓力傳感器2取代了傳統(tǒng)的玻璃接附，這顯著減小了附著工藝的復(fù)雜性以及降低了制造成本。用凝膠42將傳感小片6結(jié)合到托架20上，圖6最清楚地示出了凝膠42的附著，如圖所示，凝膠42形成了托架20和傳感小片6的第一側(cè)10之間的結(jié)合，更具體地形成了高起表面32和傳感小片6的第一側(cè)10之間的結(jié)合。凝膠42被施加到傳感小片6的第一側(cè)10上，和然后將傳感小片6與凝膠42置于托架20的高起表面32上覆蓋托架孔24，傳感小片6的第一側(cè)10覆蓋的表面積大于托架孔24所占據(jù)的表面積，這在高起表面32上在托架孔24的周圍表面上形成了一接附區(qū)域33，使凝膠42凝固以便將傳感小片6永久地接附到托架20上。將托架20接附到外殼12的凝膠或環(huán)氧樹脂24和將陶瓷板28接附到托架20的凝膠41可以與在傳感小片6的接附中使用的凝膠42相同，然而，可以使用本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其它附著措施。
凝膠42可自以商標(biāo)TRA-BOND的National Starch公司得到。在從-40到150攝氏度的溫度范圍和從-14到15磅/平方英寸(PSI)的壓力范圍之間，粘附是最好的，和具有相似特性的凝膠或環(huán)氧樹脂可能適合使用。在相應(yīng)范圍之外的溫度或壓力可能使由凝膠42形成的結(jié)合失效，從而使接附斷裂。然而，在本設(shè)計(jì)中可以采用本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其它固定方法以確保當(dāng)傳感器工作在規(guī)定溫度和/或壓力范圍之外時(shí)結(jié)合不會(huì)斷裂。
在另一個(gè)獨(dú)特方面中，罩或覆蓋物52(在下文中稱為“蓋52”)保護(hù)傳感小片6和相關(guān)的電路，如圖1、2和7中所示。蓋52氣密密封到陶瓷板28以確保更大的保護(hù)，氣密密封53可以通過本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的方法形成在蓋52和陶瓷板28之間，蓋52還形成了由陶瓷板28和蓋52所確定的容積55，流體如液體或氣體(例如，空氣)容納在所確定的容積55中。
通過以前述方式保護(hù)傳感小片6和相關(guān)的電路，流體、氣體等等的壓力作用在傳感小片6的第一側(cè)10和第二側(cè)8上，這與從第二側(cè)檢測(cè)壓力的傳統(tǒng)方案形成對(duì)照，且傳感小片的第一側(cè)安裝到其上的介質(zhì)充當(dāng)保持不變的參考點(diǎn)，換句話說，第一側(cè)完全安裝到一個(gè)實(shí)體結(jié)構(gòu)上，因此，壓力的變化僅僅來自與第二側(cè)8相互作用的流體。在本方案中，傳感小片6的兩側(cè)8、10暴露于流體，即，來自容器4的流體和包圍傳感小片6的第二側(cè)8的氣體(例如，空氣)。因此，容器6所容納的流體的測(cè)量到的壓力與包圍傳感小片6的第二側(cè)8的氣體的壓力有關(guān)，包圍傳感小片6的第二側(cè)8的氣體充當(dāng)一個(gè)參考點(diǎn)。在大多數(shù)情形中，該參考點(diǎn)是一個(gè)(1)大氣壓。然而，海拔高度和/或周圍環(huán)境的壓力的變化引起參考點(diǎn)的變化，這可能引起不準(zhǔn)確的流體壓力測(cè)量。通過使蓋氣密密封，該參考點(diǎn)就不會(huì)變化，即，壓力不會(huì)波動(dòng)，因而由于固定住參考點(diǎn)，所以可以認(rèn)為壓力傳感器2的檢測(cè)結(jié)構(gòu)是一個(gè)“絕對(duì)裝置”。
另外，可以將壓力傳感器2構(gòu)形成充當(dāng)一個(gè)量計(jì)裝置而不是一個(gè)絕對(duì)裝置。參考圖7，通過在蓋52中設(shè)置孔54和可調(diào)節(jié)開口56，即閥56，允許包圍傳感小片6的大氣壓根據(jù)外部作用在壓力傳感器2上的壓力進(jìn)行波動(dòng)(當(dāng)可調(diào)節(jié)開口56打開時(shí))。將可調(diào)節(jié)開口56設(shè)計(jì)成當(dāng)關(guān)閉時(shí)是完全的密封，允許壓力傳感器2在絕對(duì)裝置和量計(jì)裝置之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。可調(diào)節(jié)開口52可以是本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的可調(diào)閥。
如圖1、2和7中所示，蓋52還容納ASIC57和連接電線(或配線)46。為了確保蓋52和陶瓷板28之間的氣密密封，傳感小片6和ASIC57的電連接件不穿透蓋52。陶瓷板28容納圖8-10中所示的用于將ASIC57連接到傳感小片6和外部裝置65的導(dǎo)電路徑58，具體地，電線46連接在傳感小片6的金屬接觸件7和形成于陶瓷板28上的接觸件66之間，電線46還連接在ASIC57和接觸件66之間。
導(dǎo)電路徑58代表所示實(shí)施例中的信號(hào)總線傳輸線，導(dǎo)電路徑58的數(shù)量?jī)H僅是為了說明的目的，取決于要求的電路和連接，其可以增加或減少。
為了形成陶瓷板28中的導(dǎo)電路徑58，以多層的形式制造陶瓷板28。留意圖10，將第一層62和第二層64結(jié)合在一起以形成陶瓷板28，第一層62形成為具有從第一層的一個(gè)表面延伸到另一個(gè)表面的第一導(dǎo)電路徑59，第一導(dǎo)電路徑59的第一端都與相應(yīng)的接觸件66相連，以與傳感小片6和ASIC57電連接。當(dāng)?shù)谝缓偷诙?2、64組合時(shí)，第一導(dǎo)電路徑59的第二端與第二導(dǎo)電路徑60的相應(yīng)端部相連。
在第二層64的表面上形成第二導(dǎo)電路徑60，第二導(dǎo)電路徑60沿著第二層64表面延伸到邊緣，在那里它們與接觸件66相連以連接外部裝置65(圖8中示出)，外部裝置65可以供應(yīng)電力、另外的處理等等。
結(jié)果，當(dāng)?shù)谝缓偷诙?2、64結(jié)合時(shí)，第一和第二導(dǎo)電路徑59、60在相應(yīng)的端部相連，金屬接觸件66電連接到電線46和外部裝置65。導(dǎo)電路徑58的布置并不局限于剛才描述的形式，例如導(dǎo)電路徑58能以任何方式布置成在不穿透蓋52的情況下使傳感小片6與ASIC57和外部裝置65相連。
回到圖1，管道32與外殼12相連，該管道容納用于將壓力傳感器2電連接到外部裝置65的電連接件。如圖所示，電連接件34穿透外殼12且與陶瓷板28相連，在電連接件34穿透外殼12的地方提供密封36，電連接件可以供應(yīng)電力、傳送任何所需的信號(hào)等等。
蓋子40置于槽42中，槽42圍繞外殼12的周邊形成，在該槽42中也提供凝膠15以確保氣密密封。在作為量計(jì)裝置的工作中，可調(diào)閥應(yīng)該設(shè)置在蓋子40上，以便在絕對(duì)和量計(jì)操作之間轉(zhuǎn)換。
在這個(gè)設(shè)計(jì)中，可以利用上述相同的構(gòu)造將具有傳感小片6和相關(guān)的電子設(shè)備的多個(gè)托架20置于外殼12中，本公開不局限于一個(gè)傳感小片構(gòu)形，而可以包括多個(gè)構(gòu)形。
如上所述，與安裝帶有傳統(tǒng)玻璃的傳感小片6相比，用凝膠42安裝傳感小片6減少了所需的制造步驟且降低了成本。此外，從傳感小片6的第一側(cè)8檢測(cè)由容器4容納的流體的壓力隔離了電線46、電阻器和金屬接觸件7和相關(guān)的電路與流體的接觸。氣密密封到陶瓷板28的蓋52更進(jìn)一步隔離了傳感小片6和ASIC57電路與流體的接觸且確保了用于檢測(cè)壓力的一個(gè)固定參考點(diǎn)。在蓋52和蓋子40中結(jié)合可調(diào)節(jié)開口56的情況下，壓力傳感器可以工作在絕對(duì)狀態(tài)或量計(jì)狀態(tài)。陶瓷板28所容納的導(dǎo)電路徑59、60確保了氣密密封53不被犧牲且為電連接件提供了另外的保護(hù)。外殼12和蓋子40進(jìn)一步隔離了壓力傳感器2使其不受外部環(huán)境因素的影響或作用，結(jié)果，所述的壓力傳感器方案具有明顯更長(zhǎng)的使用壽命。
雖然已經(jīng)詳細(xì)描述和闡明了本發(fā)明，但應(yīng)該清楚地理解，它僅僅是作為說明和示例而不應(yīng)被當(dāng)作限制，本發(fā)明的范圍僅僅由所附的各項(xiàng)權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種壓力傳感器，它包括托架，其具有用于從容器接收流體的中心孔；安裝在所述托架上的傳感小片，所述傳感小片具有定位成與從所述容器接收的流體相互作用的第一側(cè)；形成在未暴露于所述流體的傳感小片的第二側(cè)上的壓力檢測(cè)電路；和用于保護(hù)所述壓力檢測(cè)電路的非金屬覆蓋物。
2.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述托架安裝在外殼內(nèi)，所述外殼定位和構(gòu)形成限制從所述容器進(jìn)入所述外殼到所述中心孔的流體接觸所述電路。
3.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述傳感小片的所述第一側(cè)具有至少等于所述中心孔的橫截面積的表面積，所述傳感小片定位在所述托架上以覆蓋所述中心孔。
4.一種壓力傳感器，它包括托架，其具有用于從容器接收流體的中心孔；安裝在所述托架上的傳感小片，所述傳感小片具有定位成與從所述容器接收的流體相互作用的第一側(cè)；和凝膠，其形成所述傳感小片的所述第一側(cè)和所述托架之間的結(jié)合。
5.如權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述托架安裝在外殼內(nèi)，所述外殼定位和構(gòu)形成限制進(jìn)入所述外殼到所述中心孔的流體。
6.如權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述傳感小片的所述第一側(cè)具有至少等于所述中心孔的橫截面積的表面積，所述傳感小片具有形成在所述第一側(cè)和所述中心孔的周向表面之間的結(jié)合。
7.一種壓力傳感器，它包括托架，其具有用于從容器接收流體的中心孔；安裝在所述托架上的傳感小片，其具有定位成與從所述容器接收的流體相互作用的第一側(cè)；形成在所述傳感小片的第二側(cè)上的壓力檢測(cè)電路；和氣密密封的蓋，其定位成防止所述流體或其它外部元素接觸所述傳感小片的至少第二側(cè)。
8.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，所述蓋構(gòu)形成允許限定的容積相對(duì)于所述壓力傳感器外部壓力的壓力波動(dòng)。
9.如權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，其還包括所述蓋中的閥，其具有至少兩個(gè)位置，用于允許壓力波動(dòng)的第一位置和用于防止壓力波動(dòng)的第二位置。
10.如權(quán)利要求9所述的壓力傳感器，其特征在于，所述托架安裝在所述外殼內(nèi)，所述外殼定位和構(gòu)形成限制進(jìn)入外殼到所述中心孔的流體。
11.一種壓力傳感器，它包括托架，其具有用于從容器接收流體的中心孔；安裝在所述托架上的傳感小片，其具有定位成與從所述容器接收的流體相互作用的第一側(cè)；形成在未暴露于所述流體的傳感小片的第二側(cè)上的壓力檢測(cè)電路；和安裝在所述托架上的陶瓷板，所述陶瓷板具有使所述壓力檢測(cè)電路與外部電路電連接的導(dǎo)電路徑。
12.如權(quán)利要求11所述的壓力傳感器，其特征在于，所述導(dǎo)電路徑形成在所述陶瓷板內(nèi)且具有用于電連接到所述壓力檢測(cè)電路的第一組接觸件和用于電連接到所述外部電路的第二組接觸件。
13.如權(quán)利要求11所述的壓力傳感器，所述陶瓷板包括至少第一層和第二層，其中所述第一層至少包括第一導(dǎo)電路徑，所述第一導(dǎo)電路徑至少與所述壓力檢測(cè)電路電連接，和所述第二層至少包括與所述第一導(dǎo)電路徑接觸的第二導(dǎo)電路徑。
14.如權(quán)利要求13所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第二導(dǎo)電路徑與所述外部電路電連接。
15.如權(quán)利要求13所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電路徑與所述外部電路電連接。
16.如權(quán)利要求13所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電路徑從所述第一層的一側(cè)通到相對(duì)側(cè)，而所述第二導(dǎo)電路徑沿著所述第二層的表面形成。
17.如權(quán)利要求16所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一層固定到所述第二層上，所述第二導(dǎo)電路徑容納在所述第一層和所述第二層之間。
18.如權(quán)利要求11所述的壓力傳感器，其特征在于，其還包括非金屬蓋，其定位成防止所述流體或其它外部元素接觸所述傳感小片的所述第二側(cè)，且被氣密密封。
19.如權(quán)利要求11所述的壓力傳感器，其特征在于，所述托架安裝在所述外殼內(nèi)，所述外殼定位和構(gòu)形成限制進(jìn)入所述外殼到所述中心孔的流體。
20.如權(quán)利要求19所述的壓力傳感器，其特征在于，其還包括氣密密封到通向所述外殼的容納區(qū)域的進(jìn)入孔的蓋子。
21.一種壓力傳感器，它包括托架，其具有用于從容器接收流體的中心孔；安裝在所述托架上的傳感小片，其具有定位成與從所述容器接收的流體相互作用的第一側(cè)；將所述傳感小片接附到所述托架上的凝膠；形成在未暴露于所述流體的傳感小片的第二側(cè)上的壓力檢測(cè)電路；安裝在所述托架上的陶瓷板，所述陶瓷板具有電連接所述壓力檢測(cè)電路的導(dǎo)電路徑；和氣密密封的蓋，其定位成防止所述流體或其它外部元素接觸所述傳感小片的至少第二側(cè)。
22.如權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述凝膠在-40到150攝氏度的溫度范圍內(nèi)維持結(jié)合。
23.如權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，所述凝膠在-14到15磅/平方英寸的壓力范圍內(nèi)維持結(jié)合。
全文摘要
一種壓力傳感器(2)，它包括托架(20)，托架(20)具有用于從容器接收流體的中心孔(24)。傳感小片(6)安裝在托架(20)上，傳感小片具有構(gòu)形成與來自容器的流體互相作用的第一側(cè)。凝膠將傳感小片接附到托架上。壓力檢測(cè)電路形成在未暴露于流體的傳感小片的第二側(cè)上。此外，陶瓷板(28)安裝在托架上，陶瓷板(28)具有電連接壓力檢測(cè)電路的導(dǎo)電路徑(58)。除了壓力檢測(cè)電路之外的電路也安裝在陶瓷板(28)上且與導(dǎo)電路徑(58)電連接。氣密密封的蓋(52)構(gòu)形成防止流體或其它外部元素接觸傳感小片(6)的第二側(cè)，其中蓋形成包圍第二側(cè)的限定容積。
文檔編號(hào)G01L9/00GK1914494SQ200480041347
公開日2007年2月14日 申請(qǐng)日期2004年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月3日
發(fā)明者T·詹姆斯 申請(qǐng)人:霍尼韋爾國(guó)際公司