專利名稱：一種測量工件平行度的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及用平面干涉儀測量工件平行度的裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)檢測高精度工件平行度的一般方法是，將被測工件置于兩塊標(biāo)準(zhǔn)平晶之間，用平面干涉儀來看兩平晶之間的干涉條紋，讀出干涉條紋的數(shù)量，從而計(jì)算出被測工件的平行平面度。其缺點(diǎn)是每次測量都要對平晶和被測工件的接觸面進(jìn)行嚴(yán)格的清洗，對環(huán)境的潔凈要求也很高，因?yàn)橐稽c(diǎn)點(diǎn)細(xì)小的微塵都會影響測量結(jié)果。清洗工作量大、效率低，且人為操作因素會帶來測量誤差。另外，只能測量被測工件大面積的不平行誤差，而工件局部的不平行誤差測量不出。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型為克服現(xiàn)有技術(shù)不足，提供了一種測量工件平行度的裝置，其技術(shù)內(nèi)容如下一種測量工件平行度的裝置，包括光源、反射鏡、透鏡、置于兩塊標(biāo)準(zhǔn)平晶之間的被測工件及平面干涉儀，其特征是工件的兩被測面與平晶之間為點(diǎn)接觸。在兩平晶的夾持工件面上分別固定三個形狀、尺寸完全一致的鋼球夾持點(diǎn)，工件兩面的夾持鋼球點(diǎn)位置一一對應(yīng)。也可將鋼球置于保持架上，鋼球直徑大于保持架厚度，鋼球直徑兩點(diǎn)分別與工件及平晶接觸，保持架與平晶固定。每個面上的三個鋼球最好呈等邊三角形布置。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及效果(1)、將平晶與被測金屬件的直接平面接觸改為三只鋼球的點(diǎn)接觸，平晶與被測工件間的不平行度就完全取決于三個鋼球的直徑，如果鋼球的加工足夠精細(xì)，則平晶與被測件間的不平行度可忽略不計(jì)，則兩平晶之間的平行度就代表工件兩表面間的平行度。
(2)、采用點(diǎn)接觸，從而大大減小了接觸面積，也就減少了接觸面的清洗量，只需清洗鋼球及接觸點(diǎn)部位，效率提高，操作誤差降低，對環(huán)境的潔凈要求也大大降低。
(3)、不僅可測出零件大面的平行度差，而且通過被測零件放置的不同位置，還可測出零件大面的局部不平度差，且測量的重復(fù)性好。
(4)、鋼球呈等邊三角形布置。是為了使工件受力均勻。


圖1是本實(shí)用新型測量裝置總體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型中鋼球、保持架與平晶的連接方式；圖3是圖2的俯視圖。
具體實(shí)施方式
參看圖1，為現(xiàn)有用平面干涉儀檢測工件平行度的裝置，圖中1是激光器光源，其光線通過平面反射鏡2、3，擴(kuò)束鏡4，半透半反鏡5，準(zhǔn)直鏡6后達(dá)平晶7和工件9，測量者在半透半反鏡5處通過平面干涉儀可看出兩平晶之間的干涉條紋，再計(jì)算出被測工件9的平行度。(零件的不平行差與干涉條紋的數(shù)量成正比通過計(jì)算條紋數(shù)N與平行差Δh的公式Δh＝N×(λ/2)，λ為干涉激光源波長)。與現(xiàn)行測量裝置不同的只是工件9與兩平晶之間的接觸為六個鋼球8。每塊平晶上固定三只鋼球，其固定方法可以是將鋼球8直接與平晶7無障礙粘接，也可以將鋼球8用保持架10固定其相對位置后再將保持架10與平晶7連接(如用膠布固定，圖2、3)，后者的好處是，可將鋼球方便地取下清洗，且鋼球在保持架內(nèi)可滾動，這樣鋼球上與被測件及平晶的接觸部位可避免在同一接觸點(diǎn)而變形磨損，保證測量精度。運(yùn)用本實(shí)用新型點(diǎn)接觸式測量時，只要保證鋼球的清潔度就可以了，平晶上的非接觸面即使不夠清潔，并不影響測量精度，嚴(yán)重時只會影響干涉條紋的清晰度。
權(quán)利要求1.一種測量工件平行度的裝置，包括光源、反射鏡、透鏡、置于兩塊標(biāo)準(zhǔn)平晶之間的被測工件及平面干涉儀，其特征是工件的兩被測面與平晶之間為點(diǎn)接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量工件平行度的裝置，其特征是在兩平晶的夾持工件面上分別固定三個形狀、尺寸完全一致的鋼球夾持點(diǎn)，工件兩面的夾持鋼球點(diǎn)位置一一對應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量工件平行度的裝置，其特征是將鋼球置于保持架上，鋼球直徑大于保持架厚度，鋼球直徑兩點(diǎn)分別與工件及平晶接觸，保持架與平晶固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的測量工件平行度的裝置，其特征是每個面上的三個鋼球呈等邊三角形布置。
專利摘要一種測量工件平行度的裝置，包括光源、反射鏡、透鏡、置于兩塊標(biāo)準(zhǔn)平晶之間的被測工件及平面干涉儀，其特征是工件的兩被測面與平晶之間為點(diǎn)接觸。在兩平晶的夾持工件面上分別固定三個形狀、尺寸完全一致的鋼球夾持點(diǎn)，工件兩面的夾持鋼球點(diǎn)位置一一對應(yīng)。也可將鋼球置于保持架上，鋼球直徑大于保持架厚度，鋼球直徑兩點(diǎn)分別與工件及平晶接觸，保持架與平晶固定。每個面上的三個鋼球最好呈等邊三角形布置。
文檔編號G01B11/26GK2597944SQ03219409
公開日2004年1月7日 申請日期2003年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月17日
發(fā)明者倪厚坤, 章海鷹 申請人:中國科學(xué)院國家天文臺南京天文光學(xué)技術(shù)研究所, 中國科學(xué)院國家天文臺南京天文光學(xué)技