專利名稱：半導(dǎo)體臭氧傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是環(huán)境監(jiān)測及險(xiǎn)情根警器材，尤其是一種監(jiān)測臭氧氣體濃度的半導(dǎo)體臭氧傳感器。
本實(shí)用新型的半導(dǎo)體臭氧傳感器，包括電連接座和設(shè)置在其上的發(fā)熱體，電連接座上設(shè)有通氣罩，其特征在于發(fā)熱體表面設(shè)有一層可檢測臭氧濃度的氣體敏感材料膜。
本實(shí)用新型半導(dǎo)體臭氧傳感器的性能指標(biāo)如下
探測范圍O3 0~2000ppb靈敏度指標(biāo) RO/RS≥3響應(yīng)時(shí)間≤2S恢復(fù)時(shí)間≤20S抗干擾能力可抗煙霧、酒精、甲醛氣體的干擾；本實(shí)用新型半導(dǎo)體臭氧傳感器設(shè)計(jì)科學(xué)，結(jié)構(gòu)簡單、體積小，對臭氣體的檢測靈敏度高，對其它氣體的抗干擾性好，通過本傳感器可將其所感應(yīng)到的臭氧濃度信息傳輸給檢測裝置，通過檢測裝置獲取準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)信息，其使用效果好。本半導(dǎo)體臭氧傳感器可廣泛用于大氣中臭氧濃度的檢測，亦可用于工業(yè)和家庭用臭氧產(chǎn)生器的臭氧濃度檢測。
本實(shí)用新型半導(dǎo)體臭氧傳感器的具體結(jié)構(gòu)由以下附圖
和實(shí)施例詳細(xì)給出。
所述的發(fā)熱體2由發(fā)熱元件5和導(dǎo)熱體6組成，發(fā)熱元件5設(shè)置在導(dǎo)熱體6內(nèi)。
所述的發(fā)熱元件5是電熱絲，導(dǎo)熱體6是實(shí)心柱狀陶瓷管。
所述電連接座1為一可與檢測裝置電路系統(tǒng)連接的多腳管狀插頭，由圓柱形插頭座7及其上設(shè)置的多腳接線柱8構(gòu)成。發(fā)熱體2通過多腳接線柱8安裝在圓柱形插頭座7上。圓柱形插頭座7中間開有通氣孔9。
本實(shí)用新型半導(dǎo)體臭氧傳感器的使用方法將半導(dǎo)體臭氧傳感器使用時(shí)將本半導(dǎo)體臭氧傳感器插置在檢測裝置電路系統(tǒng)連接接口上，本半導(dǎo)體臭氧傳感器便處于工作狀態(tài)，如果空氣中含有臭氧時(shí)，履蓋在發(fā)熱體2表面的氣體敏感材料膜4即會(huì)將感應(yīng)到的臭氧濃度信號(hào)通過多腳接線柱8傳輸給檢測裝置的電路系統(tǒng)，由檢測傳感器電路系統(tǒng)將獲取的臭氧濃度信息轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)信息，供使用者讀取。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體臭氧傳感器，包括電連接座和設(shè)置在其上的發(fā)熱體，電連接座上設(shè)有通氣罩，其特征在于發(fā)熱體表面設(shè)有一層可檢測臭氧濃度的氣體敏感材料膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體臭氧傳感器，其特征在于發(fā)熱體(2)由發(fā)熱元件(5)和導(dǎo)熱體(6)組成，發(fā)熱元件(5)設(shè)置在導(dǎo)熱體(6)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體臭氧傳感器，其特征在于電連接座(1)為一多腳管狀插頭，由圓柱形插頭座(7)及其上設(shè)置的多腳接線柱(8)構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的的半導(dǎo)體臭氧傳感器，其特征在于發(fā)熱元件(5)是電熱絲，導(dǎo)熱體(6)是實(shí)心柱狀陶瓷管。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的的半導(dǎo)體臭氧傳感器，其特征在于圓柱形插頭座(7)中間開有通氣孔(9)。
專利摘要一種半導(dǎo)體臭氧傳感器，包括電連接座和設(shè)置在其上的發(fā)熱體，電連接座上設(shè)有通氣罩，其特征在于發(fā)熱體表面設(shè)有一層可檢測臭氧濃度的氣體敏感材料膜。本半導(dǎo)體臭氧傳感器設(shè)計(jì)科學(xué)，結(jié)構(gòu)簡單、體積小，對臭氣體的檢測靈敏度高，對其它氣體的抗干擾性好，與檢測裝置配合使用效果好。其可廣泛用于大氣中臭氧濃度的檢測，亦可用于工業(yè)和家庭用臭氧產(chǎn)生器的臭氧濃度檢測。
文檔編號(hào)G01N27/407GK2551999SQ02271869
公開日2003年5月21日 申請日期2002年7月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月17日
發(fā)明者馬永樑 申請人:陳偉越, 馬永樑