一種氦氣自動充裝裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種充氣裝置，尤其涉及一種氦氣自動充裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]微電子工業(yè)高新技術(shù)成果的產(chǎn)業(yè)化，對相關(guān)的特氣原料質(zhì)量要求愈來愈高?，F(xiàn)有的氦氣充裝一般通過手動的方式控制閥門以及真空栗的運行，達到正常充裝混配氣的目的。人為進行充裝管理，不但工作量大，而且容易出現(xiàn)人為誤操作行為，影響氣體的品質(zhì)。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種氦氣自動充裝裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)一鍵化的操作控制，杜絕生產(chǎn)過程中可能出現(xiàn)的人為誤操作行為，提高氣體的品質(zhì)。
[0004]本實用新型為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種氦氣自動充裝裝置，包括原料鋼瓶和成品鋼瓶，所述原料鋼瓶和成品鋼瓶通過不銹鋼管道相連，其中，還包括PLC控制器和真空栗，所述真空栗通過真空栗閥門連接不銹鋼管道，所述不銹鋼管道上靠近原料鋼瓶一側(cè)設(shè)有第一壓力變送器和第一閥門，所述不銹鋼管道上靠近成品鋼瓶一側(cè)設(shè)有第二壓力變送器和第二閥門，所述PLC控制器的輸入端和第一壓力變送器、第二壓力變送器相連，所述PLC控制器的輸出端和第一閥門、第二閥門的控制端相連。
[0005]上述的氦氣自動充裝裝置，其中，所述真空栗上設(shè)有壓力傳感器，所述成品鋼瓶的初始真空度小于5 X 10—5pa。
[0006]上述的氦氣自動充裝裝置，其中，所述PLC控制器上設(shè)置有壓力上限指示燈。
[0007]本實用新型對比現(xiàn)有技術(shù)有如下的有益效果:本實用新型提供的氦氣自動充裝裝置，通過設(shè)置PLC控制器和真空栗，利用壓力變送器對充裝氣體壓力檢測，控制充裝閥門及時開關(guān)，從而達到保證大批量純氣充裝安全的目的，有效防止生產(chǎn)過程中可能出現(xiàn)的人為誤操作行為，提高氣體的品質(zhì)。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型氦氣自動充裝裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖中:
[0010]I PLC控制器2原料鋼瓶3成品鋼瓶
[0011]4真空栗5第一壓力變送器6第二壓力變送器
[0012]7第一閥門8第二閥門9真空栗閥門
[0013]10壓力傳感器
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的描述。
[0015]圖1為本實用新型氦氣自動充裝裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]請參見圖1，本實用新型提供的氦氣自動充裝裝置，包括原料鋼瓶2和成品鋼瓶3，所述原料鋼瓶2和成品鋼瓶3通過不銹鋼管道相連，其中，還包括PLC控制器I和真空栗4，所述真空栗4通過真空栗閥門9連接不銹鋼管道，所述不銹鋼管道上靠近原料鋼瓶2—側(cè)設(shè)有第一壓力變送器5和第一閥門7，所述不銹鋼管道上靠近成品鋼瓶3—側(cè)設(shè)有第二壓力變送器6和第二閥門8，所述PLC控制器I的輸入端和第一壓力變送器5、第二壓力變送器6相連，所述PLC控制器I的輸出端和第一閥門7、第二閥門8的控制端相連。
[0017]本實用新型提供的氦氣自動充裝裝置，使用時啟動真空栗4對裝置進行真空處理，除去裝置內(nèi)的空氣等有害組份，真空度為<5X 10—5pa。開啟原料段第一閥門7對氣體進行充裝，直到充裝到設(shè)定壓力。本實用新型提供的氦氣自動充裝裝置，主要由PLC控制系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，壓力信號輸送系統(tǒng)，物料控制系統(tǒng)，原料鋼瓶和成品鋼瓶組成。各模塊的組成及作用如下:
[0018]1)PLC控制系統(tǒng)
[0019]搭配人機界面觸摸屏，達到輕松操作的目的。可與DCS總線上位機modbus進行數(shù)據(jù)傳輸;實現(xiàn)實時控制和監(jiān)控?？梢酝ㄟ^通信聯(lián)網(wǎng)，實現(xiàn)分散控制，集中管理。使用方便，適應性強，PLC控制器I的故障率很低，且有完善的自診斷和顯示功能。
[0020]輸入裝置和執(zhí)行機構(gòu)發(fā)生故障時，可以根據(jù)PLC控制器I上的發(fā)光二極管或編程器提供的信息迅速地查明故障的原因，用更換模塊的方法可以迅速地排除故障。PLC控制器I具有過載、短路、缺相保護等保護功能。
[0021]2)真空系統(tǒng)
[0022]主體設(shè)備為真空栗4，作用是利用真空壓縮機的高真空能力，除去裝置中的空氣等有害組份。既可以近程操控，也可以通過PLC實現(xiàn)遠程自控。
[0023]3)壓力信號輸送系統(tǒng)
[0024]主體由第一壓力變送器5和第二壓力變送器6組成，作用是將原料端和成品端的壓力轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杺鬏斀oPLC控制器I，通過PLC控制器I進行兩者壓力比較去控制自控制閥，實現(xiàn)原料端和成品端自控閥的適時自動開、閉。
[0025]4)物料控制系統(tǒng)
[0026]主體由自動控制閥第一閥門7和第二閥門8組成，通過接收壓力變送器傳輸?shù)闹噶钚畔?，PLC對指令進行比對，適時自動的開、閉原料端和成品端自控閥，實現(xiàn)對物料輸送的自控。
[0027]5)原料鋼瓶和成品鋼瓶
[0028]由多個不同物質(zhì)的原料鋼瓶2和多個成品鋼瓶3組成，實現(xiàn)生產(chǎn)原料的供應和成品的貯存。充裝壓力到達上限會有提示，并及時關(guān)閉閥門，保證操作工的人生安全。
[0029]雖然本實用新型已以較佳實施例揭示如上，然其并非用以限定本實用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的修改和完善，因此本實用新型的保護范圍當以權(quán)利要求書所界定的為準。
【主權(quán)項】
1.一種氦氣自動充裝裝置，包括原料鋼瓶(2)和成品鋼瓶(3)，所述原料鋼瓶(2)和成品鋼瓶(3)通過不銹鋼管道相連，其特征在于，還包括PLC控制器(I)和真空栗(4)，所述真空栗(4)通過真空栗閥門(9)連接不銹鋼管道，所述不銹鋼管道上靠近原料鋼瓶(2)—側(cè)設(shè)有第一壓力變送器(5)和第一閥門(7)，所述不銹鋼管道上靠近成品鋼瓶(3)—側(cè)設(shè)有第二壓力變送器(6)和第二閥門(8)，所述PLC控制器(I)的輸入端和第一壓力變送器(5)、第二壓力變送器(6)相連，所述PLC控制器(I)的輸出端和第一閥門(7)、第二閥門(8)的控制端相連。2.如權(quán)利要求1所述的氦氣自動充裝裝置，其特征在于，所述真空栗(4)上設(shè)有壓力傳感器(10)，所述成品鋼瓶(3)的初始真空度小于5X10—5pa。3.如權(quán)利要求1所述的氦氣自動充裝裝置，其特征在于，所述PLC控制器(I)上設(shè)置有壓力上限指示燈。
【專利摘要】本實用新型公開了一種氦氣自動充裝裝置，包括原料鋼瓶和成品鋼瓶，所述原料鋼瓶和成品鋼瓶通過不銹鋼管道相連，其中，還包括PLC控制器和真空泵，所述真空泵通過真空泵閥門連接不銹鋼管道，所述不銹鋼管道上靠近原料鋼瓶一側(cè)設(shè)有第一壓力變送器和第一閥門，所述不銹鋼管道上靠近成品鋼瓶一側(cè)設(shè)有第二壓力變送器和第二閥門，所述PLC控制器的輸入端和第一壓力變送器、第二壓力變送器相連，所述PLC控制器的輸出端和第一閥門、第二閥門的控制端相連。本實用新型通過設(shè)置PLC控制器和真空泵，利用壓力變送器對充裝氣體壓力檢測，控制充裝閥門及時開關(guān)，從而達到保證大批量純氣充裝安全的目的，防止人為誤操作行為，提高氣體的品質(zhì)。
【IPC分類】F17C5/06
【公開號】CN205261215
【申請?zhí)枴緾N201521135455
【發(fā)明人】梁成科, 梁永強, 呂其明
【申請人】上海和立工業(yè)氣體有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月31日