專利名稱：防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，通常使用高溫磷酸(H3P04)腐蝕并去除硅單晶 片襯底背面上的氮化硅(SiN)層。高溫加熱的磷酸失水后生成焦磷酸(H4P207)和偏磷酸 (HPO》，經(jīng)冷卻后進入廠務(wù)的排放管路中。請參見圖l，圖l示出了現(xiàn)有的磷酸排放管路結(jié) 構(gòu)的示意圖，所述磷酸排放管路結(jié)構(gòu)包括設(shè)于磷酸冷卻槽1下部的排放管11和設(shè)于所述磷 酸冷卻槽1靠近頂部位置的溢流管12。所述排放管11和所述溢流管12匯聚到一條總排放 管路13后與廠務(wù)端的排放管路14連接。排放管路(包括總排放管路13和廠務(wù)端的排放 管路14)里殘留的焦磷酸(H4P207)和偏磷酸(HP03)久置容易生成結(jié)晶，從而阻塞管路，造成 排放不暢，影響生產(chǎn)。 目前，磷酸排放管路結(jié)晶的現(xiàn)象已經(jīng)在幾個半導(dǎo)體廠發(fā)生過，采取的解決辦法也 各不相同?？偨Y(jié)起來，無非兩點一是提高排放管路的溫度，增加電伴熱裝置，管路一旦過 長，花費相對較高；二是在排放管路末端增加一條供水管，用水時時沖刷管路，稀釋排放的 高濃度磷酸。由于磷酸往往采取委外運輸處理，況且高濃度的磷酸還有再利用的價值。這 樣一來，外運數(shù)量就會增加，處理成本相應(yīng)升高。以上兩種辦法雖能解決磷酸排放管路結(jié)晶 的問題，但卻帶來了運行成本增加的新問題。 因此，如何在不增加運行成本的前提下防止排放管路結(jié)晶堵塞，已成為本領(lǐng)域技 術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)磷酸排放 和管路沖洗聯(lián)動，在防止排放管路結(jié)晶堵塞的前提下，有效減少排放管路的沖洗時間和沖 洗所需水量。 為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案 —種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，包括設(shè)置于磷酸冷卻槽下部的排放管，所述排 放管中設(shè)有第一氣動閥門，所述磷酸冷卻槽靠近頂部位置還設(shè)有溢流管，所述排放管和所 述溢流管匯聚到一條總排放管路后與廠務(wù)端的排放管路連接，所述防結(jié)晶的磷酸排放管路 結(jié)構(gòu)還包括水槽，所述水槽設(shè)有供水管和排水管，所述供水管和溢流管之間通過連接管連 接，所述連接管上設(shè)有第二氣動閥門，且所述第二氣動閥門與所述第一氣動閥門接同一根 控制氣路。 可選的，所述第一氣動閥門接第一控制氣路，所述第二氣動閥門接第二控制氣路，
且所述第二控制氣路與所述第一控制氣路連接。 可選的，所述連接管中設(shè)有限流孔。[0010] 可選的，所述水槽是超純水槽。 可選的，所述連接管通過第一三通閥與所述供水管連接。 可選的，所述連接管通過第二三通閥與所述溢流管連接。 可選的，所述排放管為可溶性聚四氟乙烯管。 可選的，所述溢流管為可溶性聚四氟乙烯管。 可選的，所述廠務(wù)端排放管為可溶性聚四氟乙烯管。 可選的，所述供水管為可溶性聚四氟乙烯管。 本實用新型防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)具有下列有益效果 本實用新型通過將控制磷酸排放的第一氣動閥門和控制排放管路沖洗的第二氣 動閥門接同一根控制氣路，使得磷酸排放與管路沖洗之間相互聯(lián)動，也就是說，只有在磷酸 排放時，才會用水沖洗排放管路，平常不會一直沖洗。如此，既可以防止排放管路結(jié)晶，又可 以防止磷酸濃度過稀而增加外運處理花費。

本實用新型的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)由以下的實施例及附圖給出。
圖1是現(xiàn)有的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)的示意圖； 圖2是本實用新型微型防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)的示意圖； 圖中，1-磷酸冷卻槽Ul-排放管、12_溢流管，13-總排放管路，14-廠務(wù)端的排放
管路，lll-第一氣動閥門、llll-第一控制氣路、2-水槽、21-供水管、22-排水管、221-第三
氣動閥門，2211-第三控制氣路、3-連接管，31-第二氣動閥門，311-第二控制氣路、32-限流
孔，4-第一三通閥，5-第二三通閥。
具體實施方式以下將對本實用新型的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)作進一步的詳細描述。 下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選
實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型
的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對
本實用新型的限制。 為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。 為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。 請參閱圖2，這種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，包括連接于磷酸冷卻槽1的排放管 11和連接于所述磷酸冷卻槽1靠近頂部位置的溢流管12。所述排放管11中設(shè)有第一氣動 閥門lll，所述第一氣動閥門111的啟閉通過第一控制氣路1111控制。當(dāng)排放指令通過第一控制氣路1111傳到所述第一氣動閥門111時，所述第一氣動閥門111打開。排放完畢后， 關(guān)閉指令通過第一控制氣路1111傳到所述第一氣動閥門111使其關(guān)閉。所述排放管11和 所述溢流管12匯聚到一條總排放管路13后與廠務(wù)端的排放管路14連接。 這種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)還包括一用于沖洗磷酸排放管路的水槽2。所述 水槽2設(shè)有供水管21和排水管22。所述供水管21和溢流管12之間通過連接管3連接。 具體結(jié)構(gòu)如下所述連接管3通過第一三通閥4與所述供水管21連接。所述連接管3通過 第二三通閥5與所述溢流管12連接。所述連接管3上設(shè)有第二氣動閥門31，且所述第二氣 動閥門31與所述第一氣動閥門111接在同一根控制氣路中，即控制所述第二氣動閥門31 的第二控制氣路311接入用于控制第一氣動閥門111的第一控制氣路1111中，使得第一氣 動閥門111和第二氣動閥門31接在同一根控制氣路中實現(xiàn)兩者聯(lián)動，從而實現(xiàn)磷酸排放和 管路沖洗動作產(chǎn)生聯(lián)動。 另外，所述排水管22中設(shè)有第三氣動閥門221，所述第三氣動閥門221經(jīng)由第三控 制氣路2211控制。 在所述連接管3中設(shè)有限流孔32，以進一步減少水的流量，從而可以進一步防止 磷酸濃度過稀和增加外運處理花費。 另外，所述水槽2是超純水槽，用于容置超純水。由于使用超純水，超純水比純水 更加潔凈，因此，可以避免管路及與管路相通的機器內(nèi)部受到污染。 另外，所述排放管11、所述溢流管12、所述總排放管路13、所述廠務(wù)端的排放管路 14、所述供水管21和所述排水管22均采用PFA管。PFA全稱Polyfluoroalkoxy，中文譯 名可溶性聚四氟乙烯，是一種塑料材質(zhì)，用于制作供排水管路。 本實用新型是這樣改裝而成的 請結(jié)合參閱圖1和圖2，在半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，使用高溫磷酸(H3P0》腐蝕 并去除硅單晶片襯底背面上的氮化硅(SiN)層，該工藝所使用的機器包括磷酸高溫槽(圖 中未示意)和磷酸冷卻槽1。所述磷酸高溫槽中的反應(yīng)后的溶液流入磷酸冷卻槽1進行冷 卻。冷卻后通過磷酸排放管路排放。本實施例中，連接于所述磷酸冷卻槽l的排放管ll和 溢流管12、總排放管路13、廠務(wù)端的排放管路14以及排放管11上的第一氣動閥門111采 用和現(xiàn)有技術(shù)相同的連接方式(如圖2所示)。水槽2可以利用上述機器中本身具有的水 槽。所述水槽2具有供水管21和排水管22。 所以改裝只需要如下步驟將水槽2的供水管21斷開，用第一三通閥4引出一條 連接管3，在所述連接管3上加裝用于控制管道沖洗的第二氣動閥門31 ，將第二氣動閥門31 的控制氣源與排放管11中的第一氣動閥門111接在同一根控制氣路中。同時，將所述溢流 管12也斷開，用第二三通閥5接所述連接管3。為減少水的流量，在連接管3中增加限流孔 32。使用超純水，不會造成機器內(nèi)部的污染。這樣改裝后，即實現(xiàn)了磷酸排放與管路沖洗的 聯(lián)動。 本實用新型是這樣工作的 請參閱圖2，當(dāng)磷酸冷卻槽1需要排放的時候，排放指令通過第一控制氣路1111傳 到第一氣動閥門lll，使得第一氣動閥門111打開。由于控制第一氣動閥門111的第一控制 氣路1111和控制第二氣動閥門31的第二控制氣路311相互連通，因此，第二氣動閥門31 幾乎和第一氣動閥門111同時打開，使超純水對排放管路進行沖洗。當(dāng)排放結(jié)束后，關(guān)閉指令同時傳遞到第一氣動閥門111和第二氣動閥門31將兩者分別關(guān)閉。 本實用新型防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了磷酸排放與管路沖洗的聯(lián)動，既能
防止磷酸在排放管路中結(jié)晶，又可以防止磷酸濃度過稀而增加外運處理費用。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用
新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及
其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，包括設(shè)置于磷酸冷卻槽下部的排放管，所述排放管中設(shè)有第一氣動閥門，所述磷酸冷卻槽靠近頂部位置還設(shè)有溢流管，所述排放管和所述溢流管匯聚到一條總排放管路后與廠務(wù)端的排放管路連接，其特征在于，還包括水槽，所述水槽設(shè)有供水管和排水管，所述供水管和溢流管之間通過連接管連接，所述連接管上設(shè)有第二氣動閥門，且所述第二氣動閥門與所述第一氣動閥門接同一根控制氣路。
2. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一氣動閥門 接第一控制氣路，所述第二氣動閥門接第二控制氣路，且所述第二控制氣路與所述第一控 制氣路連接。
3. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接管中設(shè)有 限流孔。
4. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述水槽是超純水槽。
5. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接管通過第 一三通閥與所述供水管連接。
6. 如權(quán)利要求l所述的防止磷酸排放管結(jié)晶裝置，其特征在于，所述連接管通過第 二三通閥與所述溢流管連接。
7. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述排放管為可溶 性聚四氟乙烯管。
8. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述溢流管為可溶 性聚四氟乙烯管。
9. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述廠務(wù)端排放管 為可溶性聚四氟乙烯管。
10. 如權(quán)利要求1所述的防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述供水管為可溶 性聚四氟乙烯管。
專利摘要本實用新型涉及一種磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)。這種防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)，包括設(shè)置于磷酸冷卻槽下部的排放管，所述排放管中設(shè)有第一氣動閥門，所述磷酸冷卻槽靠近頂部位置還設(shè)有溢流管，所述排放管和所述溢流管匯聚到一條總排放管路后與廠務(wù)端的排放管路連接，所述防結(jié)晶的磷酸排放管路結(jié)構(gòu)還包括水槽，所述水槽設(shè)有供水管和排水管，所述供水管和溢流管之間通過連接管連接，所述連接管上設(shè)有第二氣動閥門，且所述第二氣動閥門與所述第一氣動閥門接同一根控制氣路。本實用新型可以實現(xiàn)磷酸排放與管路沖洗聯(lián)動，從而既可以防止排放管路結(jié)晶，又可以防止磷酸濃度過稀而增加外運處理費用。
文檔編號F17D1/12GK201487550SQ20092020924
公開日2010年5月26日 申請日期2009年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月4日
發(fā)明者王偉, 紀(jì)冬, 郭健 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司