專利名稱：特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及高純度地氣體輸送領(lǐng)域，具體為特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備。
背景技術(shù)：
特殊氣體的供應(yīng)和分配系統(tǒng)，目前廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體等高新技術(shù)領(lǐng)域。為整 個(gè)制程有序進(jìn)行提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，其相配套的全自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)有安全，可靠等 眾多優(yōu)點(diǎn)，受到各資深專家的廣泛肯定及推崇。操作上由電腦運(yùn)算取代繁瑣的重 復(fù)人力勞動(dòng)，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益。
目前，隨著國內(nèi)大面積的發(fā)展半導(dǎo)體等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)，廠務(wù)端對(duì)于特殊氣體的 供應(yīng)及分配系統(tǒng)得需求也越來越大，對(duì)于系統(tǒng)的可靠性要求也越來越高。目前國 內(nèi)尚未有哪家企業(yè)能滿足客戶的需求，而對(duì)于國外大公司(液空，BOC，等)的 產(chǎn)品，國內(nèi)用戶則需付出高昂的成本來購買，隨著用戶的投資理念不斷的提高， 對(duì)于成本也越來越看重，也希望國內(nèi)能研發(fā)出可靠性高，且相對(duì)成本較低的來取 代進(jìn)口產(chǎn)品。

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種可靠性、安全性、潔凈度以及氣體的純度、 品質(zhì)都很高的設(shè)備，本發(fā)明公開了一種特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備。 本發(fā)明通過如下技術(shù)方案達(dá)到發(fā)明目的
一種特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，由氣體源供應(yīng)設(shè)備、閥門、壓力傳感器，前 段過濾器、后段過濾器、過流量偵測器、測試端口、氣動(dòng)角閥、真空產(chǎn)生器、氣 瓶、不死閥組成，氣體源供應(yīng)設(shè)備通過輸送管路接閥門，其間的輸送管路上接壓 力傳感器；閥門通過輸送管路接閥門和閥門，其間的輸送管路上接前段過濾器和 過流量偵測器；閥門接測試端口；閥門接氣動(dòng)角閥，其間的輸送管路上接閥門和 壓力傳感器；氣動(dòng)角閥接后段過濾器；閥門接真空產(chǎn)生器；閥門接氣瓶，其間的 輸送管路上接不死閥。
所述的特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，其特征在于壓力傳感器、過流量偵測器、測試端口的信號(hào)都通過RJ45網(wǎng)絡(luò)線向PLC傳輸數(shù)字量信號(hào)，并由PLC控制整 個(gè)系統(tǒng)。
本發(fā)明采用獨(dú)特的氣體輸送結(jié)構(gòu)，采用不死閥，這樣當(dāng)換氣瓶時(shí)仍有少量氣 體從管路中吹向外界，不使外界氣體混入管路之中；采用前后兩段的兩級(jí)過濾提 高了氣體純度；采用真空發(fā)生器保證氣體輸送的暢通。
尤其是，整套系統(tǒng)中，采用通過RJ45網(wǎng)絡(luò)線向PLC傳輸數(shù)字量信號(hào)，替代 了過去傳統(tǒng)控制系統(tǒng)所使用的模擬量信號(hào)。數(shù)字量儐號(hào)同傳統(tǒng)的模擬量信號(hào)相比 具有1.傳輸速度快，如有必要，偵測器數(shù)字量信號(hào)可轉(zhuǎn)換為光信號(hào)，通過光 纜傳送。2.系統(tǒng)容量大大提高每個(gè)氣體偵測器的數(shù)字通訊量為小于IOBITE， 而網(wǎng)絡(luò)的通訊容量可以最大達(dá)到100M。因此從理論上講，該網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)得容量可 為無限。3.系統(tǒng)集成便捷使用TCP/IP集成系統(tǒng)，可根據(jù)實(shí)際需求靈活地任意 加減氣體偵測器。4.降低用戶成本使用標(biāo)準(zhǔn)的PoEHUB以替代昂貴的傳統(tǒng)的 模擬量輸入輸出模塊，能使整個(gè)系統(tǒng)的造價(jià)降低25 35%。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明
如圖1所示， 一種特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，由氣體源供應(yīng)設(shè)備1、閥門21
24、壓力傳感器31、 32，前段過濾器41、后段過濾器42、過流量偵測器5、測 試端口6、氣動(dòng)角閥7、真空產(chǎn)生器8、氣瓶9、不死閥10組成，氣體源供應(yīng)設(shè) 備1通過輸送管路接閥門21，其間的輸送管路上接壓力傳感器31;閥門21通過 輸送管路接閥門22和閥門23，其間的輸送管路上接前段過濾器41和過流量偵 測器5;閥門22接測試端口 6;閥門23接氣動(dòng)角閥7，其間的輸送管路上接閥 門24和壓力傳感器32;氣動(dòng)角閥7接后段過濾器42;閥門24接真空產(chǎn)生器8; 閥門21接氣瓶9，其間的輸送管路上接不死閥10。
所述的特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，其特征在于壓力傳感器31、 32、過流 量偵測器5、測試端口6的信號(hào)通過RJ45網(wǎng)絡(luò)線向PLC傳輸數(shù)字量信號(hào)，并由 PLC控制整個(gè)系統(tǒng)。
本發(fā)明采用獨(dú)特的氣體輸送結(jié)構(gòu)，采用不死閥，這樣當(dāng)換氣瓶時(shí)仍有少量氣體從管路中吹向外界，不使外界氣體混入管路之中；采用前后兩段的兩級(jí)過濾提 高了氣體純度；采用真空發(fā)生器保證氣體輸送的暢通。
尤其是，整套系統(tǒng)中，采用通過RJ45網(wǎng)絡(luò)線向PLC傳輸數(shù)字量信號(hào)，替代 了過去傳統(tǒng)控制系統(tǒng)所使用的模擬量信號(hào)。數(shù)字量信號(hào)同傳統(tǒng)的模擬量信號(hào)相比 具有1.傳輸速度快，如有必要，偵測器數(shù)字量信號(hào)可轉(zhuǎn)換為光信號(hào)，通過光 纜傳送。2.系統(tǒng)容量大大提高每個(gè)氣體偵測器的數(shù)字通訊量為小于IOBITE， 而網(wǎng)絡(luò)的通訊容量可以最大運(yùn)到100M。因此從理論上講，該網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)得容量可 為無限。3.系統(tǒng)集成便捷使用TCP/IP集成系統(tǒng)，可根據(jù)實(shí)際需求靈活地任意 加減氣體偵測器。4.降娃用戶成本使用標(biāo)準(zhǔn)的PoEHUB以替代昂貴的傳統(tǒng)的 模擬量輸入輸出模塊，能使整個(gè)系統(tǒng)的造價(jià)降低25 35%。
主要技術(shù)指標(biāo)-
1. 系統(tǒng)接受信號(hào)響應(yīng)時(shí)間<10s
2. 系統(tǒng)輸出信號(hào)響應(yīng)時(shí)間<10s
3. 誤報(bào)警率<1次/1000工作小時(shí)
4. 系統(tǒng)通訊故障率<3%/5000工作小時(shí)
權(quán)利要求
1. 一種特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，由氣體源供應(yīng)設(shè)備(1)、閥門(21～24)、壓力傳感器(31、32)，前段過濾器(41)、后段過濾器(42)、過流量偵測器(5)、測試端口(6)、氣動(dòng)角閥(7)、真空產(chǎn)生器(8)、氣瓶(9)、不死閥(10)組成，氣體源供應(yīng)設(shè)備(1)通過輸送管路接閥門(21)，其間的輸送管路上接壓力傳感器(31)；閥門(21)通過輸送管路接閥門(22)和閥門(23)，其間的輸送管路上接前段過濾器(41)和過流量偵測器(5)；閥門(22)接測試端口(6)；閥門(23)接氣動(dòng)角閥(7)，其間的輸送管路上接閥門(24)和壓力傳感器(32)；氣動(dòng)角閥(7)接后段過濾器(42)；閥門(24)接真空產(chǎn)生器(8)；閥門(21)接氣瓶(9)，其間的輸送管路上接不死閥(10)。
2. 如權(quán)利要求1所述的特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，其特征在于壓力傳感器(31)、 (32)、過流量偵測器(5)、測試端口(6)的信號(hào)通過RJ45網(wǎng)絡(luò)線向PLC傳輸數(shù)字量 信號(hào)，并由PLC控制整個(gè)系統(tǒng)。
全文摘要
一種特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，涉及高純度地氣體輸送領(lǐng)域。特殊氣體供應(yīng)和分配設(shè)備，由氣體源供應(yīng)設(shè)備(1)、閥門(21～24)、壓力傳感器(31、32)，前段過濾器(41)、后段過濾器(42)、過流量偵測器(5)、測試端口(6)、氣動(dòng)角閥(7)、真空產(chǎn)生器(8)、氣瓶(9)、不死閥(10)組成。本發(fā)明采用獨(dú)特的氣體輸送結(jié)構(gòu)，確保氣體輸送時(shí)的純度、潔凈度高，安全可靠，采用通過RJ45網(wǎng)絡(luò)線向PLC傳輸數(shù)字量信號(hào)，替代了過去傳統(tǒng)控制系統(tǒng)所使用的模擬量信號(hào)，具有傳輸速度快、容量大、集成簡便、成本低的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)F17D1/00GK101446382SQ200710171179
公開日2009年6月3日 申請(qǐng)日期2007年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月28日
發(fā)明者凌晨華, 劉嵐峰, 潔 衛(wèi), 徐敏燕, 朱浩然 申請(qǐng)人:上海創(chuàng)潔科技有限公司