光學(xué)隔振平臺(tái)自動(dòng)調(diào)整高度閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明高度自動(dòng)控制，特別是一種光學(xué)隔振平臺(tái)自動(dòng)調(diào)整高度閥。
【背景技術(shù)】
[0002]在光學(xué)實(shí)驗(yàn)中，光學(xué)平臺(tái)是重要的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，它的精密程度對(duì)實(shí)驗(yàn)有很大的影響。其中，光學(xué)平臺(tái)的抗振性能和形狀穩(wěn)定性能要求較高。光學(xué)平臺(tái)放在具有隔振性能的支撐裝置之上，用以減少環(huán)境中振動(dòng)對(duì)實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生的影響，并保持平臺(tái)上表面的水平，使實(shí)驗(yàn)光路不受影響。實(shí)現(xiàn)光學(xué)平臺(tái)隔振的核心器件就是裝在支撐系統(tǒng)中的隔振器。目前隔振器有阻尼式和氣浮式。阻尼式隔振依靠支撐腿上方的阻尼減振器，阻尼式結(jié)構(gòu)應(yīng)用較廣泛，但是對(duì)于低頻(通常小于10HZ)振動(dòng)，效果一般，甚至有可能引起共振。而氣浮隔振是一種空氣彈簧阻尼系統(tǒng)，它的主要結(jié)構(gòu)是用富有彈性的材料構(gòu)成的氣囊彈性腔，氣囊彈性腔又通過(guò)阻尼孔與氣囊阻尼腔相通。氣囊中充入一定量的氣體后，靠彈性材料的變形來(lái)完成氣囊的收縮和擴(kuò)張。而氣囊體積的縮小和擴(kuò)張就使得它所承載的光學(xué)平臺(tái)上下浮動(dòng)，形成固有頻率較低的振動(dòng)系統(tǒng)，使光學(xué)平臺(tái)與來(lái)自地面的振動(dòng)隔離。但已有技術(shù)中，自動(dòng)控制氣囊進(jìn)出氣的高度閥，密封性能不夠好，響應(yīng)速度不夠快，高度復(fù)位靈敏度低，所以隔振器的的隔振反應(yīng)精度不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的是提供一種光學(xué)隔振平臺(tái)自動(dòng)調(diào)整高度閥，該裝置能自動(dòng)調(diào)整光學(xué)隔振平臺(tái)的高度，具有響應(yīng)速度快、靈敏度高的特點(diǎn)。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案是:
[0005]一種光學(xué)隔振平臺(tái)自動(dòng)調(diào)整高度閥，特征在于包括杠桿板、頂針、鉸座、鑲套、上鋼套、下鋼套、閥芯、閥體、第一壓簧、第一薄密封圈、第二壓簧和第二薄密封圈:
[0006]所述的閥體的內(nèi)腔由豎直的直徑較小的下圓空腔和直徑較大的上圓空腔構(gòu)成，所述的下圓空腔有進(jìn)氣口，上圓空腔有放氣口和出氣口 ；
[0007]所述的閥芯是一個(gè)由兩段不同直徑的圓柱體構(gòu)成，下段短而直徑大，上段長(zhǎng)而直徑小，在閥芯的下段與上段的連接處有一圈坑，供第二薄密封圈置放，在閥芯上段的中部還有一圈坑，供第一薄密封圈置放，所述的閥芯、第一薄密封圈和第二薄密封圈為一體式結(jié)構(gòu)，所述的上鋼套和下鋼套都具有豎直的軸孔，所述的上鋼套還有橫向通孔，該橫向通孔與所述的豎直的軸孔相通，所述的下鋼套的軸孔套在所述的閥芯的下段與上段的連接處，下鋼套的下表面緊貼閥芯大直徑的圓柱的上端面，所述的上鋼套的軸孔套固在所述的閥芯的上段外至所述的第一薄密封圈，在所述的上鋼套和下鋼套之間的閥芯外套設(shè)所述的第一壓簧，第一壓簧的上端面與上鋼套的下表面接觸，第一壓簧的下端面與下鋼套的上端面接觸，構(gòu)成閥芯組件；
[0008]在所述的閥體的下圓空腔置放第二壓簧，所述的閥芯組件的下端置于所述的第二壓簧上，所述的下鋼套位于所述的閥體的上圓空腔的底端，所述的上鋼套和下鋼套的最大直徑的外壁與所述的閥體的上圓空腔形成可移動(dòng)配合，所述的鑲套具有相通的豎直的軸孔和橫向通孔，所述的鑲套的豎直的軸孔的下半部分套在上鋼套的上端，并將該鑲套過(guò)盈配合地固定在閥體上圓空腔的上段，該鑲套的豎直的軸孔的上半部分套在所述的頂針的下端，所述的頂針的下端面和上鋼套上端面緊貼并可在所述的鑲套內(nèi)上下移動(dòng)，所述的上鋼套和下鋼套與閥芯的第一薄密封圈和第二薄密封圈的密封面接觸，形成閥體氣室；所述的上鋼套的橫向通孔和鑲套的橫向通孔與所述的閥體出氣口相通；
[0009]所述的頂針上端面的鋼球與所述的杠桿板點(diǎn)接觸，閥體氣室通過(guò)放氣口與光學(xué)平臺(tái)氣浮支撐腿的氣囊相通，所述的進(jìn)氣口與空壓機(jī)氣源相通，所述的出氣口與外界相通。
[0010]所述杠桿板與光學(xué)平臺(tái)的下表面通過(guò)調(diào)節(jié)螺釘點(diǎn)接觸，把平臺(tái)振動(dòng)引起的高低位移量按比例縮小，然后傳遞到閥芯。
[0011]閥的進(jìn)氣口和出氣口之間有閥體氣室，進(jìn)氣口連接空壓機(jī)氣源，閥體氣室通過(guò)放氣口連接光學(xué)平臺(tái)的氣囊支撐腿，上鋼套和下鋼套與閥芯的第一薄密封圈、第二薄密封圈接觸密封，形成密封氣室。當(dāng)閥芯位于平衡位置時(shí)，上鋼套和下鋼套與閥芯同時(shí)緊密接觸，形成密封，氣囊既不充氣也不放氣。當(dāng)平臺(tái)受力向下位移，上鋼套和閥芯隨平臺(tái)臺(tái)面向下，下鋼套和閥芯脫開(kāi)，進(jìn)氣口打開(kāi)，空壓機(jī)氣源向支撐腿氣囊補(bǔ)氣，氣壓增加，撐起平臺(tái)向上，使平臺(tái)回到平衡位置。當(dāng)支撐腿氣囊內(nèi)的氣壓過(guò)高，平臺(tái)高出平衡位置時(shí)，下鋼套與閥芯接觸密封，進(jìn)氣口關(guān)閉，上鋼套與閥芯脫開(kāi)，出氣口打開(kāi)，支撐腿氣囊的氣從出氣口逸出，氣囊內(nèi)的氣壓減小，平臺(tái)向下回到平衡位置。
[0012]所述的閥芯和第一薄密封圈、第二薄密封圈為一體式結(jié)構(gòu)，薄密封圈采用橡膠材料以閥芯為模具固化成型。密封橡膠的厚度小于0.5mm，上鋼套和下鋼套的刀口高度小于
0.5_，密封圈的密封形變量小于等于0.3_。杠桿板與平臺(tái)下表面接觸，通過(guò)把平臺(tái)的高低位移量按比例縮小傳遞到閥芯。平臺(tái)的上下振動(dòng)位移大于3mm時(shí)，自動(dòng)調(diào)整高度閥啟動(dòng)工作，上鋼套、下鋼套與閥芯脫開(kāi)或接觸密封，向氣浮支撐腿的氣囊充氣或放氣，使氣浮支撐腿的支撐力與臺(tái)面重力平衡，保持光學(xué)平臺(tái)高度位置復(fù)位精度小于3_。所以高度自動(dòng)調(diào)整閥響應(yīng)時(shí)間短，反應(yīng)靈敏，復(fù)位精度高。
[0013]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:
[0014]1、本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，性能穩(wěn)定可靠，由于采用的是自動(dòng)控制，能快速調(diào)整光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)，隔振效率尚。
[0015]2、所述薄密封圈與閥芯是一體式固化成型結(jié)構(gòu)，密封效果好，耐磨損，壽命高。
[0016]3、薄密封圈采用橡膠材料以閥芯為模具固化成型，橡膠厚度小于0.5_，密封壓縮形變量小于0.3mm。上下鋼套接觸密封位移量小，平臺(tái)上下位移變化時(shí)，高度自動(dòng)調(diào)整閥響應(yīng)時(shí)間短，反應(yīng)靈敏，復(fù)位精度高。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本發(fā)明的整體示意圖
[0018]圖2是本發(fā)明光學(xué)隔振平臺(tái)的自動(dòng)調(diào)整高度閥的結(jié)構(gòu)示意圖
[0019]圖3是閥芯和薄密封圈的結(jié)構(gòu)圖
【具體實(shí)施方式】
[0020]現(xiàn)結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
[0021]先請(qǐng)參見(jiàn)圖2，圖2是本發(fā)明光學(xué)隔振平臺(tái)自動(dòng)調(diào)整高度閥的結(jié)構(gòu)示意圖
[0022]一種光學(xué)隔振平臺(tái)自動(dòng)調(diào)整高度閥，包括杠桿板1、頂針2、鉸座3