一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu),包括同軸殼體、磁密封部件、磁性傳動(dòng)軸和軸承,所述磁密封部件設(shè)在磁性傳動(dòng)軸的兩側(cè),所述磁密封部件兩側(cè)的軸承用于固定磁性傳動(dòng)軸和同軸殼體,所述磁性傳動(dòng)軸兩側(cè)的同軸殼體腔體內(nèi)各設(shè)有3~8組磁密封部件,所述相鄰兩磁密封部件內(nèi)各設(shè)有中空的隔圈,所述磁性傳動(dòng)軸內(nèi)設(shè)有2~7個(gè)L型真空通道,所述真空通道一端連通磁性傳動(dòng)軸大氣側(cè)的軸端出口,另一端連通隔圈的下端端口;此種結(jié)構(gòu)使得磁性流體密封可在保持真空度的前提下,同時(shí)輸入2~7種工藝氣體,滿足CVD生產(chǎn)設(shè)備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體的需求。
【專利說(shuō)明】一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種工程元件或部件的密封裝置,尤其是涉及一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]磁性流體密封是利用在外加磁場(chǎng)作用下磁流體具有承受壓力差的能力而實(shí)現(xiàn)的密封,具有密封性能好、密封結(jié)構(gòu)壽命長(zhǎng)、可靠性高、傳輸相率高、傳遞速度高、無(wú)污染等特性,在需要在真空腔體內(nèi)導(dǎo)入工藝氣體、電流、冷卻介質(zhì)等場(chǎng)合,常使用空心軸的磁性流體密封裝置,現(xiàn)有的真空CVD生產(chǎn)設(shè)備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體,并同時(shí)將動(dòng)力傳入正空腔體中,單一的磁性流體密封裝置結(jié)構(gòu)無(wú)法滿足此種需求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是為了提供一種可在保持真空度的前提下,根據(jù)傳動(dòng)軸的大小可同時(shí)輸入2?7中工藝氣體的磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu)。
[0004]為了達(dá)到本實(shí)用新型的目的,技術(shù)方案如下:
[0005]一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu),包括同軸殼體、磁密封部件、磁性傳動(dòng)軸和軸承,所述磁密封部件設(shè)在磁性傳動(dòng)軸的兩側(cè),所述磁密封部件兩側(cè)的軸承用于固定磁性傳動(dòng)軸和同軸殼體,其特征在于:所述磁性傳動(dòng)軸兩側(cè)的同軸殼體腔體內(nèi)各設(shè)有3?8組磁密封部件,所述相鄰兩磁密封部件內(nèi)各設(shè)有中空的隔圈,所述磁性傳動(dòng)軸內(nèi)設(shè)有2?7個(gè)L型真空通道,所述真空通道一端連通磁性傳動(dòng)軸大氣側(cè)的軸端出口,另一端連通隔圈的下端端口。
[0006]作為優(yōu)選的技術(shù)方案:所述同軸殼體上設(shè)有與隔圈上端端口位置相貫通的真空接□。
[0007]作為優(yōu)選的技術(shù)方案:還包括卡套管接頭,所述卡套管接頭與真空接口配合連接。
[0008]作為優(yōu)選的技術(shù)方案:所述卡套管接頭的數(shù)量與真空通道的數(shù)量相同,所述卡套管接頭可根據(jù)外部配套設(shè)備要求與真空接口在任意位置配合連接。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果為:此種結(jié)構(gòu)使得磁性流體密封可在保持真空度的前提下,同時(shí)輸入2?7種工藝氣體,滿足CVD生產(chǎn)設(shè)備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體的需求。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中:10-同軸殼體、11-真空接口、20-磁密封部件、30-磁性傳動(dòng)軸、31-軸端出口、40-軸承、50-隔圈、51-端口、60-真空通道、70-卡套管接頭。
【具體實(shí)施方式】[0012]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述,但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不僅僅局限于實(shí)施例。
[0013]如圖1所示,一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu),包括同軸殼體10、磁密封部件20、磁性傳動(dòng)軸30和軸承40,磁密封部件20設(shè)在磁性傳動(dòng)軸30的兩側(cè),磁密封部件20兩側(cè)的軸承40用于固定磁性傳動(dòng)軸30和同軸殼體10,磁性傳動(dòng)軸30兩側(cè)的同軸殼體10腔體內(nèi)各設(shè)有3?8組磁密封部件20,相鄰兩磁密封部件20內(nèi)各設(shè)有中空的隔圈50,磁性傳動(dòng)軸30內(nèi)設(shè)有2?7個(gè)L型真空通道60,真空通道60 —端連通磁性傳動(dòng)軸30大氣側(cè)的軸端出口 31,另一端連通隔圈50的下端端口 51。
[0014]同軸殼體10上設(shè)有與隔圈50上端端口位置相貫通的真空接口 11 ;還包括卡套管接頭70,卡套管接頭70與真空接口 11配合連接;卡套管接頭70的數(shù)量與真空通道60的數(shù)量相同,卡套管接頭70可根據(jù)外部配套設(shè)備要求與真空接口 11在任意位置配合連接;此種結(jié)構(gòu)使得磁性流體密封可在保持真空度的前提下,同時(shí)輸入2?7種工藝氣體,滿足CVD生產(chǎn)設(shè)備中需要在真空腔體中通入多種工藝氣體的需求,具有低速運(yùn)轉(zhuǎn)、低負(fù)荷的特性。
[0015]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型而并非限制本實(shí)用新型所描述的技術(shù)方案,因此,盡管本說(shuō)明書(shū)參照上述的各個(gè)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型已進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,但是,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,仍然可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行修改或等同替換,而一切不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的技術(shù)方案及其改進(jìn),其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍中。
【權(quán)利要求】
1.一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu),包括同軸殼體(10)、磁密封部件(20)、磁性傳動(dòng)軸(30 )和軸承(40 ),所述磁密封部件(20 )設(shè)在磁性傳動(dòng)軸(30 )的兩側(cè),所述磁密封部件(20)兩側(cè)的軸承(40)用于固定磁性傳動(dòng)軸(30)和同軸殼體(10),其特征在于:所述磁性傳動(dòng)軸(30)兩側(cè)的同軸殼體(10)腔體內(nèi)各設(shè)有3?8組磁密封部件(20),相鄰兩所述磁密封部件(20)內(nèi)各設(shè)有中空的隔圈(50),所述磁性傳動(dòng)軸(30)內(nèi)設(shè)有2?7個(gè)L型真空通道(60),所述真空通道(60)—端連通磁性傳動(dòng)軸(30)大氣側(cè)的軸端出口(31),另一端連通隔圈(50)的下端端口(51)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu),其特征在于:所述同軸殼體(10)上設(shè)有與隔圈(50)上端端口位置相貫通的真空接口( 11 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu),其特征在于:還包括卡套管接頭(70 ),所述卡套管接頭(70 )與真空接口( 11)配合連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種磁性流體密封裝置多氣體通道結(jié)構(gòu),其特征在于:所述卡套管接頭(70)的數(shù)量與真空通道(60)的數(shù)量相同,所述卡套管接頭(70)可根據(jù)外部配套設(shè)備要求與真空接口( 11)在任意位置配合連接。
【文檔編號(hào)】F16J15/43GK203796967SQ201420186157
【公開(kāi)日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年4月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月17日
【發(fā)明者】小林宏之 申請(qǐng)人:埃慕迪磁電科技(上海)有限公司