利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，本發(fā)明的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，用于開閉設(shè)置于腔室的開口部，其特征在于，包括：閘門，沿著與上述開口部的表面平行的第一軸或與上述開口部的表面垂直的第二軸中的任一軸移動(dòng)，以與上述腔室的外壁接觸或解除接觸來開閉上述開口部；驅(qū)動(dòng)部，供給上述第一軸方向的移動(dòng)力；楔部，安裝在上述閘門，外表面形成有斜面；及方向轉(zhuǎn)換部，與上述驅(qū)動(dòng)部連接，為了將從上述驅(qū)動(dòng)部提供的第一軸方向的移動(dòng)力轉(zhuǎn)換成第二軸方向的移動(dòng)力并供給到上述閘門，上述方向轉(zhuǎn)換部的外表面形成有斜面，使得能夠從上述楔部滑移。根據(jù)本發(fā)明，提供一種可通過"L"字型驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)堅(jiān)固密封的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥。
【專利說明】利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，更詳細(xì)地涉及一種能夠完全封閉腔室內(nèi)部空間的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥。
【背景技術(shù)】
[0002]一般來說，腔室是為了在真空或高潔凈環(huán)境下制造半導(dǎo)體芯片、晶圓或液晶屏等高技術(shù)設(shè)備或醫(yī)療器械而使用的工業(yè)設(shè)備設(shè)施，在腔室內(nèi)附著的閘門閥起到腔室的出入口作用，將閥門瞬間打開將半導(dǎo)體芯片等移動(dòng)到腔室內(nèi)，再將閥門關(guān)上以維持腔室內(nèi)的氣密狀態(tài)的裝置。
[0003]這種以往的閘門閥的基本結(jié)構(gòu)如下:在殼體內(nèi)部安裝有用于開閉設(shè)置在殼體兩側(cè)出入口的閥體，上述閥體通過驅(qū)動(dòng)汽缸的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行升降移動(dòng)并將殼體的出入口選擇性地開閉而維持對(duì)一側(cè)腔室的氣密。
[0004]如上所述，隨著在腔室內(nèi)完成的生產(chǎn)作業(yè)，閥體在殼體內(nèi)無數(shù)次垂直升降移動(dòng)而開閉出入口，而在此時(shí)，由于不能維持閥體和殼體間的氣密狀態(tài)，因此存在無法維持腔室的真空狀態(tài)的問題。
[0005]為了解決如上問題，曾研究出利用連桿機(jī)構(gòu)開閉腔室的閘門閥，但是閘門無法垂直接觸于腔室而產(chǎn)生大量的粉塵，且由此而導(dǎo)致從腔室內(nèi)泄露的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的是提供一種利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，該閘門閥通過傾斜驅(qū)動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)"L"字型驅(qū)動(dòng)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)堅(jiān)固的密封。
[0007]上述目的通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，用于開閉設(shè)置于腔室的開口部，其特征在于，包括:閘門，沿著與上述開口部的表面平行的第一軸或與上述開口部的表面垂直的第二軸中的任一軸移動(dòng)，以與上述腔室的外壁接觸或解除接觸來開閉上述開口部；驅(qū)動(dòng)部，供給上述第一軸方向的移動(dòng)力；楔部，安裝在上述閘門，外表面形成有斜面；及方向轉(zhuǎn)換部，與上述驅(qū)動(dòng)部連接，為了將從上述驅(qū)動(dòng)部提供的第一軸方向的移動(dòng)力轉(zhuǎn)換成第二軸方向的移動(dòng)力并供給到上述閘門，上述方向轉(zhuǎn)換部的外表面形成有斜面，使得能夠從上述楔部滑移。
[0008]而且，上述閘門可從與上述開口部相對(duì)的固定位置，在第一軸上的移動(dòng)固定的狀態(tài)下沿著上述第二軸移動(dòng)到上述開口部側(cè)以阻斷開口部。
[0009]而且，沿著上述驅(qū)動(dòng)部在阻斷上述開口部時(shí)的動(dòng)作方向，上述楔部可形成有逐漸變高的斜面，沿著上述驅(qū)動(dòng)部在阻斷上述開口部時(shí)的動(dòng)作方向，上述方向轉(zhuǎn)換部可形成有逐漸變低的斜面。
[0010]而且，可進(jìn)一步包括設(shè)置在上述腔室的外壁上的止擋件，上述止擋件與上述閘門的端部接觸，限制閘門在上述固定位置上沿著第一軸移動(dòng)。
[0011 ] 而且，可進(jìn)一步包括彈性件，上述彈性件連接上述楔部和上述方向轉(zhuǎn)換部，對(duì)上述楔部和上述方向轉(zhuǎn)換部提供相互吸引方向的彈性力。
[0012]而且，上述驅(qū)動(dòng)部可為空壓缸。[0013]根據(jù)本發(fā)明，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)堅(jiān)固密封的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥。該閘門閥通過以垂直方向轉(zhuǎn)換的"L"字型驅(qū)動(dòng)方式密封腔室開口部，從而能夠?qū)εc腔室部接觸的閘門施加均勻的載荷，因此不會(huì)導(dǎo)致泄漏而能夠?qū)崿F(xiàn)堅(jiān)固的密封。
[0014]而且，通過借助斜面間的滑移來驅(qū)動(dòng)的〃L〃字型驅(qū)動(dòng)，能夠減少閥門和腔室部之間接觸時(shí)產(chǎn)生的粉塵。
[0015]而且，本發(fā)明的適用可以不受制于作為開閉對(duì)象的腔室外部的壓力條件。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥的示意圖。
[0017]圖2是圖1的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥的分解立體示意圖。
[0018]圖3至圖5是利用圖1所示利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥將腔室的開閉部阻斷的動(dòng)作示意圖。
[0019]圖6至圖8是利用圖1的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥將腔室的開閉部開放的動(dòng)作示意圖。
[0020]110:閥門120:驅(qū)動(dòng)部
[0021]130:楔部140:方向轉(zhuǎn)換部
[0022]150:止擋件160:彈性件
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下，參照附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥100。
[0024]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥的示意圖，圖2是圖1的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥的分解立體示意圖。
[0025]參照?qǐng)D1及圖2，根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥100是利用斜面間的動(dòng)力變換結(jié)構(gòu)能夠?qū)⑶皇?0的開口部12緊密密閉的閘門閥，包括閘門110、驅(qū)動(dòng)部120、楔部130、方向轉(zhuǎn)換部140和止擋件150和彈性件160。
[0026]另外，在本實(shí)施例中后述的腔室10是根據(jù)工藝將內(nèi)部空間從外部空間堅(jiān)固密閉的對(duì)象，在外壁形成有開口部12。因此，在本實(shí)施例中說明的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥100的用途是開閉開口部12。
[0027]另外，為了堅(jiān)固的密閉動(dòng)作，在與后述的閘門110接觸的腔室10的外壁面設(shè)置有ο型密封圈(o-ring) 11。
[0028]上述閘門110是板狀結(jié)構(gòu)，通過與開口部12外圍的腔室10的外壁面直接接觸或從外壁面解除接觸，選擇性地開閉腔室10的開口部12。
[0029]上述驅(qū)動(dòng)部120用于向上述閘門110提供動(dòng)力，在本實(shí)施例中設(shè)置為空壓缸，但并不局限于此。
[0030]另外，在本實(shí)施例中將與開口部12的表面即在腔室10上形成有開口部I的外壁面平行的軸定義為第一軸X1，將與第一軸X1垂直的軸定義為第二軸X2并進(jìn)行說明。
[0031]在本實(shí)施例中，以空壓缸形式設(shè)置的驅(qū)動(dòng)部120沿著第一軸X1升降驅(qū)動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)閘門110的〃L"字形式的二段驅(qū)動(dòng)，不直接與閘門110結(jié)合而進(jìn)行升降的驅(qū)動(dòng)部120的終端部與后述的方向轉(zhuǎn)換部140結(jié)合。
[0032]上述楔部130是用于和后述的方向轉(zhuǎn)換部140配合將沿第一軸X1方向驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部120的移動(dòng)力轉(zhuǎn)換為第一軸X1方向，并將其傳遞給閘門110的構(gòu)件，上述楔部130設(shè)置于閘門110中與開口部12相對(duì)的表面的相反側(cè)的表面。
[0033]而且，楔部130以沿著第一軸X1，越遠(yuǎn)離開口部12，其高度越低的方式在外表面形成有斜面。即換言之，為了阻斷開口部12，楔部130形成為沿著驅(qū)動(dòng)部120的動(dòng)作方向，其高度越來越變高。
[0034]另外，可將楔部130和閘門110分別制作后，再將楔部130與閘門110結(jié)合，也可以將楔部130和閥門110通過一次成型形成為一體形狀。
[0035]上述方向轉(zhuǎn)換部140是用于和上述楔部130結(jié)合，將沿著第一方向X1驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部120的動(dòng)力方向轉(zhuǎn)換成第二方向X2的動(dòng)力的構(gòu)件，其與驅(qū)動(dòng)部120的終端部結(jié)合。
[0036]另外，在方向轉(zhuǎn)換部140的外表面中與楔部130的斜面接觸的表面構(gòu)成為斜面，從而能夠在與楔部130的斜面接觸的狀態(tài)下滑移。此時(shí)，與楔部130接觸的方向轉(zhuǎn)換部140的斜面形成為與楔部130的斜面相反方向的形狀。
[0037]即，方向轉(zhuǎn)換部140設(shè)置為沿著第一軸X1越遠(yuǎn)離開口部12，其高度越高的形狀。換言之，為了阻斷開口部12，方向轉(zhuǎn)換部140設(shè)置為沿著驅(qū)動(dòng)部120工作的方向，方向轉(zhuǎn)換部140的高度越來越變低的形狀。
[0038]另外，為了使楔部130和方向轉(zhuǎn)換部140之間能夠順暢滑移，楔部130和方向轉(zhuǎn)換部140之間可以另外設(shè)置驅(qū)動(dòng)輥(未圖示)。
[0039]上述止擋件150是用于限制閘門110通過從驅(qū)動(dòng)部120提供的驅(qū)動(dòng)力在第一軸X1方向上移動(dòng)的構(gòu)件，上述止擋件150在從腔室10的外壁面向外突出。
[0040]即，閘門110在與開口部12相對(duì)的位置上被設(shè)計(jì)成其在第一軸X1上的移動(dòng)受限，將這種閥門110的位置定義為固定位置。于是，止擋件150設(shè)置在腔室10的外壁，在固定位置上限制閥門110的進(jìn)一步上升。
[0041]另外，止擋件150可制作成獨(dú)立的部件，并附著在腔室10的外壁，或者與腔室10
一體設(shè)置。
[0042]上述彈性件160是拉簧形式，該彈性件160是為了在楔部130和方向轉(zhuǎn)換部140之間提供相互吸引的彈力而將楔部130和方向轉(zhuǎn)換部140相互連接的部件。
[0043]S卩，通過彈性件160，對(duì)為了將驅(qū)動(dòng)部120的驅(qū)動(dòng)力方向轉(zhuǎn)換為第二軸X2方向而朝向遠(yuǎn)離楔部130的方向滑移的方向轉(zhuǎn)換部140提供朝向楔部130側(cè)的彈力，而這種彈力在開放開口部12時(shí)成為使楔部130朝向方向轉(zhuǎn)換部140側(cè)移動(dòng)的動(dòng)力源。
[0044]下面說明上述利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥100的一實(shí)施例的動(dòng)作。
[0045]后面將適用本實(shí)施例的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥100對(duì)腔室10的開口部12進(jìn)行阻斷的動(dòng)作原理和開放的動(dòng)作原理分開，并按順序進(jìn)行描述。
[0046]1.開口部的陽斷動(dòng)作
[0047]圖3至圖5是利用圖1的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥阻斷腔室開閉部的動(dòng)作示意圖。
[0048]首先，如圖3所示，使驅(qū)動(dòng)部運(yùn)轉(zhuǎn)，使得閘門110能夠上升到開口部12側(cè)。通過驅(qū)動(dòng)部120的運(yùn)轉(zhuǎn)，閘門110沿著第一軸X1上升，而且通過持續(xù)的驅(qū)動(dòng)力，閘門110上升到與開口部12相對(duì)的位置。
[0049]如圖4所示，當(dāng)閘門110到達(dá)與開口部12相對(duì)的位置即固定位置C時(shí)，閘門110的上端部與設(shè)置在腔室10外壁的止擋件150接觸，而且即使從驅(qū)動(dòng)部120提供持續(xù)的驅(qū)動(dòng)力，與止擋件150接觸狀態(tài)的閥門110也在固定位置C上無法進(jìn)一步上升，其在第一軸X1方向上的移動(dòng)受到限制。
[0050]雖然閘門110及與之結(jié)合的楔部130在第一軸X1上的移動(dòng)受到限制，但是驅(qū)動(dòng)部120的終端部及與驅(qū)動(dòng)部120結(jié)合的方向轉(zhuǎn)換部140與止擋件150無關(guān)地在第一軸X1上持續(xù)上升。
[0051]即，如圖5所示，方向轉(zhuǎn)換部140在與楔部30接觸的狀態(tài)下進(jìn)一步上升，但是在第一軸X1上移動(dòng)受到限制的楔部130及閘門110通過與方向轉(zhuǎn)換部140的斜面間的接觸，沿
著第二軸X2移動(dòng)并靠近腔室10。
[0052]于是，通過方向轉(zhuǎn)換部140和楔部130間的斜面接觸結(jié)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)部120在第一軸X1方向上的移動(dòng)力轉(zhuǎn)換成與之垂直的第二軸X2方向并傳遞到閘門110，閘門110與腔室10的外壁面緊密接觸而將腔室10的內(nèi)部空間完全密閉。
[0053]另外，當(dāng)方向轉(zhuǎn)換部140在楔部130的斜面上滑移，且楔部130和方向轉(zhuǎn)換部140的中心之間的距離拉開時(shí)，通過將它們相互連接的彈性件160，與方向轉(zhuǎn)換部140接近方向的彈力提供到楔部130。
[0054]不過，由于通過驅(qū)動(dòng)部120供給的驅(qū)動(dòng)力支撐從彈性件160提供的彈性力，因此不會(huì)解除閘門110與腔室10間的接觸，而能夠維持閘門110阻斷開口部12的狀態(tài)。
[0055]2.開口部的開放動(dòng)作
[0056]圖6至圖8是利用圖1的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥將腔室的開閉部開放時(shí)的動(dòng)作示意圖。
[0057]首先，如圖6所示，使驅(qū)動(dòng)部120運(yùn)轉(zhuǎn)，使得閘門110沿著與為了阻斷開口部12而移動(dòng)過的方向的相反方向移動(dòng)。即，當(dāng)使驅(qū)動(dòng)部120沿著第一軸X1下降時(shí)，與此連接的方向轉(zhuǎn)換部140也下降。
[0058]這時(shí)，楔部130通過從以拉簧形式設(shè)置的彈性件160施加的彈力朝向下降的方向轉(zhuǎn)換部140側(cè)移動(dòng)，而與楔部130結(jié)合的閘門110從腔室10的外壁側(cè)解除接觸而開放開口部12。
[0059]如圖7所示，通過方向轉(zhuǎn)換部140的持續(xù)的下降及來自彈性件160的彈力，方向轉(zhuǎn)換部140和楔部130間的結(jié)合狀態(tài)恢復(fù)為初始狀態(tài)。
[0060]因此，如圖8所示，當(dāng)閘門110到達(dá)固定位置C時(shí)，方向轉(zhuǎn)換部140和楔部130 —體移動(dòng)。S卩，方向轉(zhuǎn)換部140和楔部130通過在第一軸X1上下降的驅(qū)動(dòng)部120，以一體形式從固定位C脫離的同時(shí)下降，最終腔室10的開口部12的阻斷狀態(tài)被解除并向外部開放。
[0061]因此，根據(jù)本實(shí)施例的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，利用斜面結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換驅(qū)動(dòng)方向從而實(shí)現(xiàn)完全分離的"L"字形態(tài)的開閉驅(qū)動(dòng)。
[0062]本發(fā)明的權(quán)利范圍并不局限于上述實(shí)施例，在所附的權(quán)利要求書所記載的范圍內(nèi)可實(shí)現(xiàn)多種形態(tài)的實(shí)施例。在不脫離權(quán)利要求書中要求保護(hù)的本發(fā)明精神的范圍內(nèi)，本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中的技術(shù)人員均可進(jìn)行變形的各種范圍也應(yīng)屬于本發(fā)明的權(quán)利要求書所記載的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，用于開閉設(shè)置于腔室的開口部，其特征在于，包括: 閘門，沿著與所述開口部的表面平行的第一軸或與所述開口部的表面垂直的第二軸中的任一軸移動(dòng)，以與所述腔室的外壁接觸或解除接觸來開閉所述開口部； 驅(qū)動(dòng)部，供給所述第一軸方向的移動(dòng)力； 楔部，安裝在所述閘門，外表面形成有斜面；及 方向轉(zhuǎn)換部，與所述驅(qū)動(dòng)部連接，為了將從所述驅(qū)動(dòng)部提供的第一軸方向的移動(dòng)力轉(zhuǎn)換成第二軸方向的移動(dòng)力并供給到所述閘門，所述方向轉(zhuǎn)換部的外表面形成有斜面，使得能夠從所述楔部滑移。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，其特征在于， 所述閘門從與所述開口部相對(duì)的固定位置，在第一軸上的移動(dòng)固定的狀態(tài)下沿著所述第二軸移動(dòng)到所述開口部側(cè)并阻斷開口部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，其特征在于， 沿著所述驅(qū)動(dòng)部在阻斷所述開口部時(shí)的動(dòng)作方向，所述楔部形成有逐漸變高的斜面，沿著所述驅(qū)動(dòng)部在阻斷所述開口部時(shí)的動(dòng)作方向，所述方向轉(zhuǎn)換部形成有逐漸變低的斜面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，其特征在于， 進(jìn)一步包括設(shè)置在所述腔室的外壁上的止擋件，所述止擋件與所述閘門的端部接觸，限制閘門在所述固定位置上沿著第一軸移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，其特征在于， 進(jìn)一步包括彈性件，所述彈性件連接所述楔部和所述方向轉(zhuǎn)換部，對(duì)所述楔部和所述方向轉(zhuǎn)換部提供相互吸引方向的彈性力。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的利用傾斜驅(qū)動(dòng)的閘門閥，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)部是空壓缸。
【文檔編號(hào)】F16K31/12GK103574083SQ201210356945
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月23日
【發(fā)明者】琴禹洛, 金錫 , 康舜捧 申請(qǐng)人:Snu精度株式會(huì)社