專利名稱：一種中壓單晶爐的安全閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用以防止設(shè)備或管道因超壓而發(fā)生損壞的閥門，尤其是能夠用于正負壓變化的中壓單晶爐中。
背景技術(shù)：
中壓單晶爐是用于生產(chǎn)無位錯單晶的設(shè)備，在其工作過程中需要先將設(shè)備抽真空到幾帕以下，然后通入惰性氣體生長單晶，正常工作時為正壓，當壓力超過規(guī)定壓力值時需要安全閥能夠快速開啟泄壓，目前使用的安全閥大多采用錐面密封，密封效果較差，設(shè)備真空度較難達到要求。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有安全閥密封效果的不足，本實用新型提供一種能適用于有正負壓變化的安全閥，其密封效果良好。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是結(jié)構(gòu)主要包括管道連接件，閥瓣，閥體，鎖緊螺母，螺桿，彈簧，0形圈，螺釘和出氣口，管道連接件和閥體之間通過螺釘連接起來，閥體與螺桿通過螺紋連接。閥瓣與管道連接件間安裝有0形橡膠圈。閥體與閥瓣間采用彈簧式結(jié)構(gòu)，通過螺紋連接方便快速調(diào)節(jié)安全閥的泄壓壓力，安全閥開啟壓力調(diào)好后通過圓螺母進行鎖緊，安全閥與被連接件間采用0形橡膠圈進行端面密封，使得設(shè)備安全閥與設(shè)備間良好密封，設(shè)備抽真空時能在較短時間達到3Pa以下。本實用新型的有益效果是，既實現(xiàn)了安全泄壓又能保證中壓單晶爐初始時的真空度，密封效果好，而且結(jié)構(gòu)簡單，成本低。
以下結(jié)合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。附圖I是安全閥實施例的剖視簡圖。圖中I.管道連接件，2.閥瓣，3.閥體，4.鎖緊螺母，5.螺桿，6.彈簧，7.0形圈，
8.螺釘，9.出氣口
具體實施方式
參看附圖，中壓單晶爐安全閥結(jié)構(gòu)主要由管道連接件(1)，閥瓣(2)，閥體(3)，鎖緊螺母⑷，螺桿(5)，彈簧(6)，0形圈(7)，螺釘(8)，出氣口(9)組成，管道連接件⑴和閥體(3)之間通過螺釘(8)連接起來，閥體(3)與螺桿(5)通過螺紋連接，調(diào)節(jié)好泄壓壓力后通過鎖緊螺母(4)鎖緊，以保證泄壓值恒定，通過彈簧(6)實現(xiàn)閥瓣(2)的開啟與閉合，0形圈(7)安裝在閥體(3)與管道連接件⑴之間，形成良好的端面密封。泄壓時，擰開鎖緊螺母(4)，螺桿(5)被彈簧(6)彈開，同時閥瓣(2)開啟，爐內(nèi)氣體從出氣口(9)放出，實現(xiàn)泄壓，泄壓到一定要求值后重新擰緊鎖緊螺母(4)，閥瓣(2)關(guān)閉，泄壓過 程結(jié)束。
權(quán)利要求1.一種中壓單晶爐的安全閥，其特征是結(jié)構(gòu)主要包括管道連接件，閥瓣，閥體，鎖緊螺母，螺桿，彈簧，O形圈，螺釘和出氣口，管道連接件和閥體之間通過螺釘連接起來，閥體與螺桿通過螺紋連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種中壓單晶爐的安全閥，其特征是閥瓣與管道連接件間安裝有O形橡膠圈。
專利摘要一種中壓單晶爐的安全閥，結(jié)構(gòu)主要由管道連接件，閥瓣，閥體，鎖緊螺母，螺桿，彈簧，O形圈，螺釘，出氣口組成，管道連接件和閥體之間通過螺釘連接起來，閥體與螺桿通過螺紋連接，調(diào)節(jié)好泄壓壓力后通過鎖緊螺母鎖緊，以保證泄壓值恒定，通過彈簧實現(xiàn)閥瓣的開啟與閉合，O形圈安裝在閥體與管道連接件之間，形成良好的端面密封。
文檔編號F16K17/04GK202469099SQ20112039207
公開日2012年10月3日 申請日期2011年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月13日
發(fā)明者孫海鷗 申請人:北京京儀世紀電子股份有限公司