本發(fā)明屬于真空獲得設(shè)備，涉及一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有真空獲得設(shè)備與其附件是分別有各自控制系統(tǒng)，控制面板很多，邏輯聯(lián)系不緊密，真空獲得設(shè)備的進(jìn)氣管與排氣管都是裸漏在大氣中的，當(dāng)抽取易燃易爆氣體時(shí)，進(jìn)排氣管接口均有泄露風(fēng)險(xiǎn)，從而導(dǎo)致易燃易爆氣體彌漫在空氣中，無(wú)法及時(shí)被廠務(wù)局排抽走，燃燒與爆炸風(fēng)險(xiǎn)極高。

2、現(xiàn)有真空獲得設(shè)備的進(jìn)氣管與排氣管都是裸漏在大氣中的，當(dāng)抽取易燃易爆氣體時(shí)，進(jìn)排氣管接口均有泄露風(fēng)險(xiǎn)，從而導(dǎo)致易燃易爆氣體彌漫在空氣中，無(wú)法及時(shí)被廠務(wù)局排抽走，燃燒與爆炸風(fēng)險(xiǎn)極高。

3、設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可能會(huì)出現(xiàn)少量工藝氣體泄漏，工藝氣體會(huì)積聚在機(jī)箱內(nèi)，極有可能會(huì)發(fā)生火災(zāi)、爆炸等危害生命財(cái)產(chǎn)安全的嚴(yán)重事故。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明目的：本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備。

2、一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，包括機(jī)柜本體，機(jī)柜本體的內(nèi)部布置有真空獲得設(shè)備、氮?dú)饧訜嵩O(shè)備、板閥、整體控制系統(tǒng)、管路以及管路加熱設(shè)備，機(jī)柜本體通過(guò)控制面板控制集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備的所有開(kāi)關(guān)，控制面板監(jiān)測(cè)真空獲得系統(tǒng)設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)，如果出現(xiàn)異常，及時(shí)通過(guò)警報(bào)器發(fā)出警報(bào)，機(jī)柜本體的機(jī)柜門(mén)上設(shè)置有機(jī)柜進(jìn)氣口，機(jī)柜本體的頂部布置有機(jī)柜排氣口、負(fù)壓傳感器和局部排風(fēng)機(jī)。

3、本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)在于，機(jī)柜排氣口采用直徑為0.153米的圓管制成，機(jī)柜本體的長(zhǎng)度為1.3米，機(jī)柜本體的寬度為0.8米，機(jī)柜本體內(nèi)的氣體體積為1.64立方米。

4、本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)在于，機(jī)柜排氣口的負(fù)壓值為-250pa，機(jī)柜本體內(nèi)的氣壓值為101325pa。

5、本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)在于，根據(jù)機(jī)柜排氣口和機(jī)柜本體的面積比值，得到局部阻力系數(shù)為0.5。

6、本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)在于，根據(jù)公式：

7、?；

8、得到：

9、；

10、其中 u為管道內(nèi)氣體流速， δp為壓降值， ρ為20℃時(shí)空氣的密度；

11、為局部阻力系數(shù)。

12、本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)在于，圓管的內(nèi)部氣體流量為：

13、；

14、其中 u為管道內(nèi)氣體流速， a 2為機(jī)柜排氣口的截面面積， q為氣體流量值。

15、本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)在于，機(jī)柜本體內(nèi)的氣體換氣效率為：

16、；

17、其中 q為氣體流量值； v為機(jī)柜本體內(nèi)的氣體體積，2為安全系數(shù)。

18、本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)在于，機(jī)柜進(jìn)氣口為魚(yú)鱗結(jié)構(gòu)。

19、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，至少實(shí)現(xiàn)了如下的有益效果：

20、本發(fā)明一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，能將真空獲得設(shè)備以及管路均布置在集成式真空獲得系統(tǒng)的機(jī)柜內(nèi)，通過(guò)一個(gè)控制面板控制所有設(shè)備的開(kāi)關(guān)，監(jiān)測(cè)其運(yùn)行數(shù)據(jù)，在機(jī)柜門(mén)上布置魚(yú)鱗結(jié)構(gòu)的進(jìn)氣口，機(jī)柜本體的頂部布置有機(jī)柜排氣口、負(fù)壓傳感器和局部排風(fēng)機(jī)，即使發(fā)生泄露，也可以通過(guò)局部排風(fēng)機(jī)抽走，降低了機(jī)柜內(nèi)易燃易爆氣體的濃度，從而降低燃燒與爆炸風(fēng)險(xiǎn)，負(fù)壓傳感器可以時(shí)時(shí)檢測(cè)機(jī)柜內(nèi)外壓力差，如果有抽取氣體功能降低或者失效現(xiàn)象發(fā)生，可以通過(guò)警報(bào)器及時(shí)預(yù)警，能夠迅速發(fā)出警報(bào)，避免事故的發(fā)生。

技術(shù)特征：

1.一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，包括機(jī)柜本體（1），所述機(jī)柜本體（1）的內(nèi)部布置有真空獲得設(shè)備（4）、氮?dú)饧訜嵩O(shè)備（9）、板閥（3）、整體控制系統(tǒng)（5）、管路（6）以及管路加熱設(shè)備（8），所述機(jī)柜本體（1）通過(guò)控制面板（2）控制集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備的所有開(kāi)關(guān)，所述控制面板（2）監(jiān)測(cè)真空獲得系統(tǒng)設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)，如果出現(xiàn)異常，及時(shí)通過(guò)警報(bào)器（7）發(fā)出警報(bào)，所述機(jī)柜本體（1）的機(jī)柜門(mén)上設(shè)置有機(jī)柜進(jìn)氣口（10），所述機(jī)柜本體（1）的頂部布置有機(jī)柜排氣口（11）、負(fù)壓傳感器和局部排風(fēng)機(jī)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)柜排氣口（11）采用直徑為0.153米的圓管制成，所述機(jī)柜本體（1）的長(zhǎng)度為1.3米，所述機(jī)柜本體（1）的寬度為0.8米，所述機(jī)柜本體（1）內(nèi)的氣體體積為1.64立方米。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)柜排氣口（11）的負(fù)壓值為-250pa，所述機(jī)柜本體（1）內(nèi)的氣壓值為101325pa。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，根據(jù)所述機(jī)柜排氣口（11）和機(jī)柜本體（1）的面積比值，得到局部阻力系數(shù)為0.5。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，根據(jù)公式：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，所述圓管的內(nèi)部氣體流量為：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，機(jī)柜本體（1）內(nèi)的氣體換氣效率為：

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)柜進(jìn)氣口（10）為魚(yú)鱗結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一體集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備，包括機(jī)柜本體（1），機(jī)柜本體（1）的內(nèi)部布置有真空獲得設(shè)備（4）、氮?dú)饧訜嵩O(shè)備（9）、板閥（3）、整體控制系統(tǒng)（5）、管路（6）以及管路加熱設(shè)備（8），機(jī)柜本體（1）通過(guò)控制面板（2）控制集成式真空獲得系統(tǒng)設(shè)備的所有開(kāi)關(guān)，控制面板（2）監(jiān)測(cè)真空獲得系統(tǒng)設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)，如果出現(xiàn)異常，及時(shí)通過(guò)警報(bào)器（7）發(fā)出警報(bào)，機(jī)柜本體（1）的機(jī)柜門(mén)上設(shè)置有機(jī)柜進(jìn)氣口（10），機(jī)柜本體（1）的頂部布置有機(jī)柜排氣口（11）、負(fù)壓傳感器和局部排風(fēng)機(jī)，本發(fā)明將真空獲得設(shè)備以及管路均布置在機(jī)柜內(nèi)，可以及時(shí)預(yù)警，降低了易燃易爆風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：劉云鵬,孔祥玲,施賽杰,朱耀冬,曹大偉,王光玉,于錄,彭陽(yáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科儀（南通）半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9