并聯(lián)環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種并聯(lián)環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組，該并聯(lián)環(huán)流泵采用梯形抽氣槽截面，轉子平盤外徑遞增或遞減，每個環(huán)形槽中設置若干抽氣單元等結構，從而獲得大抽速、高壓縮能力、節(jié)能、減小體積、降低重量和提高運行可靠性等優(yōu)點。
【專利說明】并聯(lián)環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組
【技術領域】
[0001]本發(fā)明屬于真空泵【技術領域】，尤其涉及一種并聯(lián)環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組。
【背景技術】
[0002]目前，中真空區(qū)段普遍采用羅茨泵抽氣，該泵體積大、能耗高，而且存在油蒸汽污染。
[0003]傳統(tǒng)的周向牽引分子泵(又稱環(huán)流泵)的結構簡單、能耗低、壓縮能力強，并且能在中真空區(qū)段運行，還能獲得高真空，無油蒸汽污染。然而，該泵抽速小，不到羅茨泵的1/10，不能滿足工業(yè)應用的需求。
[0004]除此之外，傳統(tǒng)環(huán)流泵還存在如下缺點:
1.抽氣槽中，外側部位氣體獲得的牽引速度大，壓強提升快，內側部位的氣體壓強提升慢，導致氣體產(chǎn)生紊流，抽速下降，能耗上升。
[0005]2.采用單抽氣槽抽氣，每個抽氣槽中，只設一個抽氣單元；
3.抽氣槽的進氣口部位與排氣口部位存在較大的壓強差，導致轉子受力不均衡，在高壓強下運行，易發(fā)生變形、損壞。
【發(fā)明內容】
[0006]本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術的不足，提供一種能在中、高真空區(qū)段有效運行、體積小、重量輕、能耗低、抽速大、無油蒸汽污染和運行可靠的并聯(lián)環(huán)流泵、組合環(huán)流泵、復合環(huán)流泵及其抽氣機組。
[0007]本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種并聯(lián)環(huán)流泵，包括泵殼以及固設于所述泵殼內壁的隔環(huán)，所述隔環(huán)的中心位置設有一沿所述隔環(huán)的軸向延伸的轉軸，所述轉軸上固設有一轉子，所述轉子外周緣凸設有若干間隔設置且與所述轉子同軸的轉子平盤，每相鄰兩所述轉子平盤之間的間隔形成一抽氣槽，所述若干抽氣槽互相并聯(lián)，所述隔環(huán)上設有至少一組插入所述抽氣槽的堵塊，所述隔環(huán)上開設有位于所述堵塊兩側的進氣口和排氣口，所述進氣口和排氣口分別相連，組成自外向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵。
[0008]具體地，所述抽氣槽的截面為矩形或倒梯形。
[0009]具體地，最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有起隔離作用的工作間隙，其余所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙是最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙的1.5飛倍。
[0010]具體地，所述轉子平盤的外徑相同，或者所述轉子平盤自進氣側至排氣側依次遞增、或遞減、或先遞增后遞減。
[0011]進一步地，所述隔環(huán)緊靠上游抽氣級的一側開設有環(huán)形氣體通道，所述環(huán)形氣體通道與所述進氣口相連。
[0012]本發(fā)明提供的一種組合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，所述外殼內設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的如前所述的并聯(lián)環(huán)流泵；
第一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口與所述泵進氣口相對應，第一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與第二組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口相對應；其余各組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口與上游并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口相對應，其余各組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與下游所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口相對應，最后一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與所述泵排氣口相對應，組成組合環(huán)流栗。
[0013]本發(fā)明提供的一種并聯(lián)環(huán)流泵，包括泵殼以及固設于所述泵殼內壁的隔環(huán)，所述隔環(huán)的中心位置設有一沿所述隔環(huán)的軸向延伸的轉軸，所述轉軸上固設有一轉子，所述轉子外周緣凸設有若干間隔設置且與所述轉子同軸的轉子平盤，每相鄰兩所述轉子平盤之間的間隔形成一抽氣槽，所述若干抽氣槽互相并聯(lián)，所述隔環(huán)上設有至少一組插入所述抽氣槽的堵塊；
所述抽氣槽的槽底與所述轉子分離，所述抽氣槽的槽底與所述堵塊相連，所述堵塊順著氣流方向傾斜；
所述隔環(huán)緊靠所述堵塊的一側設有排氣口，所述槽底緊靠所述堵塊的另一側設有進氣口 ；或者，所述隔環(huán)緊靠所述堵塊的一側設有進氣口，所述槽底緊靠所述堵塊的另一側設有排氣口 ；
所述轉子平盤靠近所述轉軸部位開設有氣體通道；
所述進氣口、排氣口和氣體通道均與所述抽氣槽相通，組成自內向外或自外向內抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵。
[0014]具體地，所述抽氣槽的截面為矩形或倒梯形；
最外側的兩所述轉子平盤與所述隔環(huán)之間留有起隔離作用的工作間隙，其余所述轉子平盤與所述隔環(huán)之間留有的工作間隙是最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙的1.5?5倍；
所述轉子平盤的外徑相同，或者所述轉子平盤的外徑自進氣側至排氣側依次遞增、或遞減、或先遞增后遞減。
[0015]本發(fā)明提供的一種臥式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，
所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的徑流泵組和環(huán)流泵組，所述徑流泵組靠近所述泵進氣口設置，所述環(huán)流泵組靠近所述泵排氣口設置；
所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的徑流泵抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的徑流泵抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的徑流泵抽氣單元和所述自內向外的徑流泵抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述泵進氣口的所述徑流泵的第一組自外向內的徑流泵抽氣單元的外側開設有徑向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一組自內向外的徑流泵抽氣單元的外側開設有環(huán)形氣體通道；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成，所述環(huán)流泵組的第一級并聯(lián)環(huán)流泵采用如前所述的帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵，所述環(huán)流泵組其余的并聯(lián)環(huán)流泵采用如前所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵。
[0016]本發(fā)明提供的一種立式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的渦輪泵組、徑流泵組和環(huán)流泵組；
所述渦輪泵組靠近所述泵進氣口設置，所述渦輪泵組由若干串聯(lián)的渦輪泵抽氣單元組成，最后一級所述渦輪泵抽氣單元采用短葉片結構；
所述徑流泵組位于所述渦輪泵組的下方，所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所述自內向外的抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述渦輪泵組的所述徑流泵的第一組自外向內的抽氣單元的外側開設有軸向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一組自內向外的抽氣單元的外側開設有環(huán)形氣體通道；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的下方，所述環(huán)流泵組由若干級并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成，所述環(huán)流泵組的第一級并聯(lián)環(huán)流泵采用如前所述的帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵，所述環(huán)流泵組其余的并聯(lián)環(huán)流泵采用如前所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵。
[0017]本發(fā)明提供的一種臥式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，
所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的徑流泵組和環(huán)流泵組，所述徑流泵組靠近所述泵進氣口設置，所述環(huán)流泵組靠近所述泵排氣口設置；
所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所述自內向外的抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述泵進氣口的所述徑流泵的第一組自外向內的抽氣單元的外側開設有徑向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一級自內向外的抽氣單元由如前所述的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵取代；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級如前所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成。
[0018]本發(fā)明提供的一種立式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的渦輪泵組、徑流泵組和環(huán)流泵組；
所述渦輪泵組靠近所述泵進氣口設置，所述渦輪泵組由若干串聯(lián)的渦輪泵抽氣單元組成，最后一級所述渦輪泵抽氣單元采用短葉片結構；
所述徑流泵組位于所述渦輪泵組的下方，所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或者若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或者若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所述自內向外的抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述渦輪泵組的所述徑流泵的第一組自外向內的抽氣單元的外側開設有軸向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一級自內向外的抽氣單元由如前所述的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵取代；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級如前所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成。
[0019]本發(fā)明提供的一種組合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，所述外殼內設有若干同軸設置且依次串聯(lián)抽氣的第一環(huán)流泵、第二級環(huán)流泵和第三環(huán)流泵，位于中間的所述第一環(huán)流泵采用如前所述的自外向內抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵，位于所述第一環(huán)流泵兩側的第二環(huán)流泵采用如前所述的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵，所述第一環(huán)流泵和所述第二環(huán)流泵之間設有動密封，位于所述第二環(huán)流泵兩側的所述第三環(huán)流泵采用如前所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵；
所述第一環(huán)流泵的進氣口與所述泵進氣口相對應，所述第一環(huán)流泵的排氣口與所述第二環(huán)流泵的進氣口相對應，所述第二環(huán)流泵的排氣口與所述第三環(huán)流泵的進氣口相對應，所述第三環(huán)流泵的排氣口與所述泵排氣口相對應，組成一臺組合環(huán)流泵。
[0020]本發(fā)明提供的一種抽氣機組，包括真空室，所述真空室通過一第一真空閥與一環(huán)流泵連接，所述環(huán)流泵通過一第二真空閥與一粗抽泵連接，所述真空室還通過一第三真空閥與所述粗抽泵連接，所述環(huán)流泵采用如前所述的組合環(huán)流泵，或采用如前所述的所述的臥式復合環(huán)流泵，或采用如前所述的所述的立式復合環(huán)流泵。
[0021]本發(fā)明的并聯(lián)環(huán)流泵與傳統(tǒng)真空泵相比，具有如下優(yōu)點:
1.本發(fā)明提供的環(huán)流泵，采用若干抽氣槽并聯(lián)，以及每個抽氣槽可分成多段抽氣單元的結構，大幅度提高環(huán)流泵的抽速，達到了工業(yè)應用的要求；
2.本發(fā)明提供的環(huán)流泵，能耗低，約為羅茨泵的1/5;
3.本發(fā)明提供的環(huán)流泵，體積小重量輕，約為羅茨泵的1/5；
4.本發(fā)明提供的環(huán)流泵，結構對稱，高壓強下運行時，受力均衡，運行可靠性；
5.本發(fā)明提供的環(huán)流泵，無油蒸汽污染，顯著提高真空產(chǎn)品的質量；
6.本發(fā)明提供的環(huán)流泵，兼有中、高真空泵雙重性能，簡化真空系統(tǒng)的結構。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022]圖1-1是本發(fā)明實施例一提供的并聯(lián)環(huán)流泵的示意圖；
圖1-2是沿圖1-1中的A-A方向的剖視圖；
圖2是本發(fā)明實施例二提供的組合環(huán)流泵的示意圖；
圖3-1是本發(fā)明實施例三提供的設有環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵示意圖；
圖3-2是圖3-1中沿B-B方向的剖視圖；
圖3-3是圖3-1中沿C-C方向的剖視圖；
圖3-4是圖3-1中沿D-D方向的剖視圖；
圖3-5是圖3-1中沿E-E方向的剖視圖；
圖4-1是本發(fā)明實施例四提供的由內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵的橫截面示意圖；
圖4-2是圖4-1中沿F-F方向的剖視圖；
圖4-3是圖3-1中沿G-G方向的剖視圖；
圖4-4是圖3-1中沿H-H方向的剖視圖；
圖5是本發(fā)明實施例五提供的臥式復合環(huán)流泵的示意圖；
圖6是本發(fā)明實施例六提供的立式復合環(huán)流泵的示意圖；
圖7是本發(fā)明實施例七提供的臥式復合環(huán)流泵的示意圖； 圖8是本發(fā)明實施例八提供的立式復合環(huán)流泵的示意圖；
圖9是本發(fā)明實施例九提供的組合環(huán)流泵的示意圖；
圖10是本發(fā)明實施例十提供的環(huán)流泵抽氣機組的示意圖?！揪唧w實施方式】下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0023]實施例一:自外向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵
如圖1-1和圖1-2所示，本發(fā)明實施例一提供的一種并聯(lián)環(huán)流泵1，包括泵殼11以及固設于泵殼11內壁的隔環(huán)12，隔環(huán)12的中心位置設有一沿隔環(huán)12的軸向延伸的轉軸13，轉軸13上固設有一轉子14，轉子14外周緣凸設有若干間隔設置且與轉子14同軸的轉子平盤15，每相鄰兩轉子平盤15之間的間隙形成一抽氣槽16，若干抽氣槽16互相并聯(lián)；隔環(huán)12上設有至少一組插入抽氣槽16的堵塊17，將抽氣槽16分隔為長度相同的若干段，隔環(huán)12上開設有位于堵塊17兩側的進氣口 18和排氣口 19，進氣口 18和排氣口 19分別相連，組成自外向外抽氣的并聯(lián)抽氣的環(huán)流泵。
[0024]具體地，本實施例一中，所述抽氣槽16的截面采用倒梯形結構，轉子平盤15的軸向厚度相應從內到外逐漸減小，從而，抽氣槽16的近軸部位的槽寬減小，提高了該部位氣體的壓強提升能力，抑制了氣體紊流的形成，降低了能耗，還能提高轉子14的強度和運行的可靠性。
[0025]具體地，本實施例一中，并聯(lián)環(huán)流泵I上設有四組并聯(lián)的抽氣槽16，同一個抽氣槽16由兩組堵塊17分隔成兩段，堵塊17和隔環(huán)12直接相連，堵塊17的兩側分別開設有進氣口 18和排氣口 19，構成兩組獨立的抽氣單元。本實施例的并聯(lián)環(huán)流泵1，不僅顯著提高了泵的抽速，而且結構對稱，在高壓強下運行時，受力均衡，提高了并聯(lián)環(huán)流泵I運行的可靠性。
[0026]本實施例一中，最外側的兩轉子平盤15與隔環(huán)12之間留有較小、起隔離作用的工作間隙A1，其余轉子平盤15采用較大的工作間隙Λ2，A2是A1的1.5飛倍，從而將傳統(tǒng)環(huán)流泵的工作間隙轉化為具有一定抽氣能力的“輔助分子泵”，進一步提高環(huán)流泵I的抽速，同時，還增加了外側抽氣槽16的實際槽寬，降低該部位氣體的壓強提升能力，進一步抑制氣體紊流的產(chǎn)生。
[0027]本實施例一中，緊靠進氣口 18和排氣口 19 一側的轉子平盤15的外徑最小，其余轉子平盤15的外徑往中間方向逐漸增大，從而，既能獲得最大的抽速，又能獲得最大的進氣口和排氣口截面積。
[0028]實施例二:自外向外抽氣的組合環(huán)流泵
本發(fā)明實施例二提供的一種組合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，所述外殼內設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的如實施例一所述的并聯(lián)環(huán)流泵；
第一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口與所述泵進氣口相對應，第一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與第二組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口相對應；其余各組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口與上游并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口相對應，其余各組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與下游所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口相對應，最后一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與所述泵排氣口相對應，組成組合環(huán)流栗。
[0029]以下結合附圖對本發(fā)明實施例二的技術方案作詳細說明。
[0030]如圖2所示，本發(fā)明實施例二提供的一種組合環(huán)流泵2，包括外殼21，外殼21上開設有泵進氣口 22和泵排氣口 28，外殼21內設有若干第一抽氣級泵組23、第二抽氣級泵組24和壓縮級泵組25依次串聯(lián)抽氣，
其中，所述第一抽氣級泵組23位于中間，由若干如實施例一所述的并聯(lián)環(huán)流泵I組成，第一抽氣級泵組23的進氣口與泵進氣口 22相對應。本實施例二中，第一抽氣級泵組23具體有八個并聯(lián)的抽氣槽；
所述第二抽氣級泵組24位于第一抽氣級泵組23的兩側，第二抽氣級泵組24由若干如實施例一所述的并聯(lián)環(huán)流泵I組成，第二抽氣級泵組24的進氣口與第一抽氣級泵組23的排氣口相對應，本實施例二中，每側的第二抽氣級泵組24具體有三個并聯(lián)的抽氣槽；
所述壓縮級泵組25位于第二抽氣級泵組24的兩側，壓縮級泵組25由如實施例一所述的并聯(lián)環(huán)流泵I組成，壓縮級泵組25的進氣口與第二抽氣級泵組24的排氣口相對應，本實施例二中，每側的壓縮級泵組25具體有二個并聯(lián)的抽氣槽。
[0031]本實施例二的組合環(huán)流泵2的第一抽氣級泵組23、第二抽氣級泵組24和壓縮級泵組25與實施例一的并聯(lián)環(huán)流泵單元I的結構基本相同，其差別在于:
(1)第一抽氣級泵組23中間的轉子平盤27外徑最大，兩側的轉子平盤27外徑依次遞減，從而既能獲得最大的抽速，又能獲得最大的排氣口截面積；
(2)第二抽氣級泵組24中，緊靠第一抽氣級泵組的轉子平盤27外徑最小，其余轉子平盤27沿兩側向外的方向先增大、后減小，從而，既能獲得最大的抽速，又能獲得最大的進氣口和排氣口截面積；
(3)壓縮級泵組25的結構與第二抽氣級泵組24的結構相同。
[0032]本實施例二的組合環(huán)流泵2工作時，首先，氣體經(jīng)泵進氣口 22進入，由第一抽氣級泵組23抽至其兩側的排氣口，然后，依次由第二抽氣級泵組24和壓縮級泵組25抽至泵排氣口 28，最后由前級泵(未示出)抽走。
[0033]實施例三:設有環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵
如圖3-廣3-5所示，本實施例三提供的并聯(lián)環(huán)流泵3，與實施例一的并聯(lián)環(huán)流泵I基本相同，本實施例的并聯(lián)環(huán)流泵3包括隔環(huán)31、進氣口 33、堵塊34和排氣口 35，其不同之處在于，并聯(lián)環(huán)流泵3的隔環(huán)31緊靠上游抽氣級的一側開設有環(huán)形氣體通道32，環(huán)形氣體通道32與進氣口 33相連。
[0034]具體地，如圖3-廣3-3所示，并聯(lián)環(huán)流泵3由三組抽氣槽36并聯(lián)組成，隔環(huán)31靠近上游抽氣級的側面上開設有環(huán)形氣體通道32，環(huán)形氣體通道32與進氣口 33直接相連；如圖3-4所示，隔環(huán)31在堵塊34的部位，部分用作環(huán)形氣體通道32的組成部分，其余部分用于增加堵塊34的結構強度；如圖3-5所示，隔環(huán)31在排氣口 35的部位，分隔成兩部分，一部分用作環(huán)形氣體通道32的組成部分，另一部分用作排氣口 35。
[0035]環(huán)形氣體通道32大幅度降低了氣體進入進氣口 33的氣體阻力，解決了環(huán)流泵抽氣單元的進氣口(僅占圓周1/5)與徑流泵抽氣單元的排氣口(占據(jù)整個圓周)的匹配技術難題。
[0036]實施例四:由內向外或由外向內抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵
如圖4-廣圖4-4所示，本發(fā)明實施例四提供的一種由內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵4，包括泵殼41以及固設于泵殼41內壁的隔環(huán)42,隔環(huán)42的中心位置設有一沿隔環(huán)42的軸向延伸的轉軸43，轉軸43上固設有一轉子44，轉子44外周緣凸設有若干間隔設置且與轉子44同軸的轉子平盤45，轉子平盤45的軸向厚度從內到外逐漸減小，每相鄰兩轉子平盤45之間的間隙形成一抽氣槽46，若干抽氣槽46互相并聯(lián)，抽氣槽46的截面為倒梯形；
隔環(huán)42上設有二組插設于抽氣槽46內的堵塊47，將抽氣槽46分隔為長度相同的二
段；
抽氣槽46的槽底410與轉子44分離，抽氣槽46的槽底410與堵塊47相連，堵塊47順著氣流方向傾斜；
隔環(huán)42緊靠堵塊47的一側設有排氣口 49，槽底410緊靠堵塊47的另一側設有進氣口
48 ；
轉子平盤45靠近轉軸43部位開設有氣體通道411 ；
進氣口 48、排氣口 49和氣體通道411與抽氣槽46相通，組成一組自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵4。
[0037]當轉子44如箭頭所圖4-1所示的方向高速旋轉時，氣體由氣體通道411進入，經(jīng)進氣口 48和抽氣槽46，由排氣口 49排出，實現(xiàn)由內向外抽氣。
[0038]另外，通過改變轉子44旋轉方向，或翻轉本實施例四的并聯(lián)環(huán)流泵4，可形成由外向內抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵。
[0039]具體地，最外側的兩轉子平盤45與隔環(huán)42之間留有起隔離作用的工作間隙，其余轉子平盤45與隔環(huán)42之間留有的工作間隙是最外側的兩轉子平盤45與隔環(huán)42之間留有的工作間隙的1.5飛倍；
具體地，轉子平盤45的外徑相同，或者轉子平盤45的外徑自進氣側至排氣側依次遞增、或遞減、或先遞增后遞減。
[0040]實施例五:臥式復合環(huán)流泵
本發(fā)明實施例五提供的一種臥式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，
所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的徑流泵組和環(huán)流泵組，所述徑流泵組靠近所述泵進氣口設置，所述環(huán)流泵組靠近所述泵排氣口設置；
所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的徑流泵抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的徑流泵抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的徑流泵抽氣單元和所述自內向外的徑流泵抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述泵進氣口的所述徑流泵的第一組自外向內的徑流泵抽氣單元的外側開設有徑向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一組自內向外的徑流泵抽氣單元的外側開設有環(huán)形氣體通道；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成，所述環(huán)流泵組的第一級并聯(lián)環(huán)流泵采用如實施例三所述的帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵，所述環(huán)流泵組其余的并聯(lián)環(huán)流泵采用如實施例一所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流栗。
[0041]以下結合附圖對本發(fā)明實施例五的技術方案作詳細說明。
[0042]如圖5所不,本發(fā)明實施例五提供的一種臥式復合環(huán)流泵5,包括外殼51,外殼51上開設有泵進氣口 52和泵排氣口 59，泵殼51內設有若干同軸設置的第一抽氣級泵組53、第二抽氣級泵組54、第三抽氣級泵組55、壓縮級泵組56、動密封57和轉子58。[0043]靠近泵進氣口 52的第一抽氣級泵組53和第二抽氣級泵組54采用徑流泵組，提高泵的抽速；靠近泵排氣口 59的第三抽氣級泵組55和壓縮級泵組56采用環(huán)流泵組，提高泵的工作壓強。
[0044]所述第一抽氣級泵組53位于中間，由若干由外向內抽氣的徑流泵抽氣單元組成，第一抽氣級泵組53的進氣口與泵進氣口 52相對設置，第一抽氣級泵組53的兩側分別設有動密封57 ；
所述第二抽氣級泵組54位于動密封57的兩側，第二抽氣級泵組54由若干由內向外抽氣的徑流泵抽氣單元組成，該徑流泵抽氣單元外側開設有環(huán)形氣體通道。第二抽氣級泵組54的進氣口與第一抽氣級泵組53的排氣口相對應；
所述第三抽氣級泵組55位于第二抽氣級泵組54的兩側，第三抽氣級泵組55由如實施例三所述的設有環(huán)形氣體通道32的并聯(lián)環(huán)流泵3組成，第三抽氣級泵組55的環(huán)形氣體通道32與第二抽氣級泵組54的環(huán)形氣體通道相對應；
所述壓縮級泵組56位于第三抽氣級泵組55的兩側，壓縮級泵組56由如實施例一所述的并聯(lián)環(huán)流泵I組成(圖5所示為兩組抽氣槽并聯(lián))。壓縮級泵組56的進氣口與第三抽氣級泵組55的排氣口相對應。壓縮級泵組56的排氣口與泵排氣口 59相對應。
[0045]本實施例五的立式臥式復合環(huán)流泵5工作時，首先，氣體經(jīng)泵進氣口 52進入，由第一抽氣級泵組53抽至其兩側的排氣口，然后，依次由第二抽氣級泵組54、第三抽氣級泵組55和壓縮級泵組56抽至泵排氣口 59，最后由前級泵(未示出)抽走。
[0046]
實施例六:立式復合環(huán)流泵
本發(fā)明實施例六提供的一種立式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的渦輪泵組、徑流泵組和環(huán)流泵組；
所述渦輪泵組靠近所述泵進氣口設置，所述渦輪泵組由若干串聯(lián)的渦輪泵抽氣單元組成，最后一級所述渦輪泵抽氣單元優(yōu)選采用短葉片結構；
所述徑流泵組位于所述渦輪泵組的下方，所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的徑流泵抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的徑流泵抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的徑流泵抽氣單元和所述自內向外的徑流泵抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述渦輪泵組的所述徑流泵的第一組自外向內的徑流泵抽氣單元的外側開設有軸向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一組自內向外的徑流泵抽氣單元的外側開設有環(huán)形氣體通道；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的下方，所述環(huán)流泵組由若干級并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成，所述環(huán)流泵組的第一級并聯(lián)環(huán)流泵采用如實施例三所述的帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵，所述環(huán)流泵組其余的并聯(lián)環(huán)流泵采用如實施例一所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流栗。
[0047]以下結合附圖對本發(fā)明實施例六的技術方案作詳細說明。
[0048]如圖6所不，本發(fā)明實施例六提供的一種立式復合環(huán)流泵6，包括外殼61、外殼61上開設有泵進氣口 62和泵排氣口 610，外殼61內設有同軸設置的渦輪泵組63、第一徑流泵組64、第二徑流泵組65、第一環(huán)流泵組66、第二環(huán)流泵組67、動密封68和轉子69。
[0049]具體地，本實施例四的渦輪泵組63靠近泵進氣口 62設置，由七組串聯(lián)的渦輪泵抽氣單元組成，最后一級所述渦輪泵抽氣單元優(yōu)選采用短葉片結構，有利于與下方的第一徑流泵組64匹配。
[0050]所述第一徑流泵組64和第二徑流泵組65依次設置在渦輪泵組63的下方，所述第一徑流泵組64和第二徑流泵組65的結構分別與實施例五所述的第一抽氣級泵組53和第二抽氣級泵組54的結構基本相同，其差別在于，第一徑流泵組64的外側設有軸向氣體通道；
所述第一環(huán)流泵組66和第二環(huán)流泵組67依次設置在第二徑流泵組65下方，第一環(huán)流泵組66和第二環(huán)流泵組67的結構分別與實施例五所述的第三抽氣級泵組55和壓縮級泵組56的結構相同。
[0051]當轉子69高速旋轉時，氣體由泵進氣口 62進入，依次由渦輪泵組63、第一徑流泵組64、第二徑流泵組65、第一環(huán)流泵組66和第二環(huán)流泵組67抽至泵排氣口 610，最后由前級泵(未示出)抽走。
[0052]
實施例七:臥式復合環(huán)流泵
本發(fā)明實施例七提供的一種臥式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，
所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的徑流泵組和環(huán)流泵組，所述徑流泵組靠近所述泵進氣口設置，所述環(huán)流泵組靠近所述泵排氣口設置；
所述徑流泵組，由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所述自內向外的抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述泵進氣口的所述第一級自外向內的抽氣的徑流泵的外側開設有徑向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一級自內向外的抽氣單元由如實施例四所述的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵取代；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級如實施例一所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵組成。
[0053]以下結合附圖對本發(fā)明實施例七的技術方案作詳細說明。
[0054]如圖7所示，本發(fā)明實施例七提供的一種臥式復合環(huán)流泵7，包括外殼71，外殼71上開設有泵進氣口 72和泵排氣口 79，外殼71內設有若干同軸設置的第一抽氣級泵組73、第二抽氣級泵組74、第三抽氣級泵組75、壓縮級泵組76、動密封77和轉子78。
[0055]本實施例七的臥式復合環(huán)流泵7的結構與實施例五的臥式復合環(huán)流泵5的結構基本相同，不同之處在于，第二抽氣級泵組74由實施例四所述的內側進氣的并聯(lián)環(huán)流泵4取代；第三抽氣級泵組75由若干級如實施例一所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵I組成。
[0056]本實施例七的立式臥式復合環(huán)流泵7工作時，首先，氣體經(jīng)泵進氣口 72進入，由第一抽氣級泵組73抽至其兩側的排氣口，然后，依次由第二抽氣級泵組74、第三抽氣級泵組75和壓縮級泵組76抽至泵排氣口 79，最后由前級泵(未示出)抽走。[0057]實施例八:立式復合環(huán)流泵
本發(fā)明實施例八提供的一種立式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的渦輪泵組、徑流泵組和環(huán)流泵組；
所述渦輪泵組靠近所述泵進氣口設置，所述渦輪泵組由若干串聯(lián)的渦輪泵抽氣單元組成，最后一級所述渦輪泵抽氣單元優(yōu)選采用短葉片結構；
所述徑流泵組位于所述渦輪泵組的下方，所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或者若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或者若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所述自內向外的抽氣單元之間設有動密封；
靠近所述渦輪泵組的所述第一組徑流泵的外側開設有軸向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一級自內向外的抽氣單元由如實施例四所述的的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵取代；
所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的下方，所述環(huán)流泵組由若干級如實施例一所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵組成。
[0058]以下結合附圖對本發(fā)明實施例八的技術方案作詳細說明。
[0059]如圖8所示，本發(fā)明實施例八提供的一種立式復合環(huán)流泵8，包括外殼81、泵進氣口 82和泵排氣口 810，外殼81內設有若干同軸設置的渦輪泵組83、第一徑流泵組84、第二徑流泵組85、第一環(huán)流泵組86、第二環(huán)流泵組87、動密封88和轉子89。
[0060]本實施例八的立式復合環(huán)流泵8的結構與實施例六的立式復合環(huán)流泵6的結構基本相同，其不同之處在于，第二徑流泵組85由實施例四所述的自內向外抽氣的環(huán)流泵4取代；第一環(huán)流泵組86和第二環(huán)流泵組87均由如實施例一所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)I組成。
[0061]當轉子89高速旋轉時，氣體由泵進氣口 82進入，依次由依次由渦輪泵組83、第一徑流泵組84、第二徑流泵組85、第一環(huán)流泵組86、第二環(huán)流泵組87抽至泵排氣口 810，最后由前級泵(未示出)抽走。
[0062]實施例九:一種組合環(huán)流泵
如圖9所示，本發(fā)明實施例九提供的一種組合環(huán)流泵9，包括外殼91，外殼91上開設有泵進氣口 92，泵排氣口 98和轉子97，外殼91內設有依次串聯(lián)抽氣的第一環(huán)流泵93、第二環(huán)流泵94和第三環(huán)流泵95 ；
其中，所述第一環(huán)流泵93位于中間，采用如實施例四所述的自外向內抽氣的環(huán)流泵，第一環(huán)流泵93具體有八個并聯(lián)的抽氣槽；
第二環(huán)流泵94位于第一環(huán)流泵93的兩側，第二環(huán)流泵94采用如實施例四所述的自內向外抽氣的環(huán)流泵4，每側的第二環(huán)流泵94具體有三個并聯(lián)的抽氣槽；
第一環(huán)流泵93和第二環(huán)流泵94之間設有動密封96 ；
第三環(huán)流泵95位于第二環(huán)流泵94的兩側，每側的第三環(huán)流泵95具體有2個并聯(lián)的抽氣槽，第三環(huán)流泵95采用如實施例一所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵I。
[0063]第一環(huán)流泵93的進氣口與泵進氣口 92相對應，第一環(huán)流泵93的排口與第二環(huán)流泵94的進氣口相對應，第二環(huán)流泵94的排氣口與第三環(huán)流泵95的進氣口相對應，第三環(huán)流泵95的排氣口與泵排氣口 98相對應，組成一臺組合環(huán)流泵9。
[0064]本實施例九的組合環(huán)流泵9工作時，首先，氣體經(jīng)泵進氣口 92進入，由第一環(huán)流泵93抽至其兩側的排氣口，然后，依次由第二環(huán)流泵94和第三環(huán)流泵95抽至泵排氣口 98，最后由前級泵(未示出)抽走。
[0065]實施例十:抽氣機組
本發(fā)明實施例十提供的一種抽氣機組10，包括真空室101，真空室101通過第一真空閥102與一環(huán)流泵106連接，環(huán)流泵106通過一第二真空閥103與一粗抽泵104連接，真空室101還通過一第三真空閥105與粗抽泵104連接。環(huán)流泵106可采用如實施例二所述的組合環(huán)流泵2，或實施例五所述的臥式復合環(huán)流泵5，或實施例六所述的立式復合環(huán)流泵6，或實施例七所述的臥式復合環(huán)流泵7，或實施例八所述的立式復合環(huán)流泵8，或實施例九所述的組合環(huán)流泵9。
[0066]本實施例十的抽氣機組10的抽氣工藝如下:
(1)關閉真空室101，關閉第一真空閥102、第二真空閥103和第三真空閥105；
(2)依次開啟粗抽泵104和第二真空閥103，環(huán)流泵106；
(3)環(huán)流泵106啟動完畢，關閉第二真空閥103，開啟第三真空閥105，粗抽泵104開始對真空室101抽氣；
(5)真空室101由大氣壓抽至約lOOPa，關閉第三真空閥105，依次開啟第二真空閥103和真空閥102，環(huán)流泵106開始對真空室101抽氣，直至抽到所需的真空度。
本實施例十的抽氣機組10的停泵步驟如下:
(O依次關閉第一真空閥102、環(huán)流泵106 ；
(2)環(huán)流泵106停止后，依次關閉第二真空閥103和粗抽泵104。
本實施例十的抽氣機組10用于取代羅茨泵，其極限真空提高4個數(shù)量級，抽氣能耗節(jié)省80%，一年節(jié)省的電費，即可收回增加的設備費用，還能獲得十分清潔的真空環(huán)境，顯著提聞真空廣品的質量。
[0067]本實施例十的抽氣機組10還可用于取代傳統(tǒng)渦輪分子泵和復合分子泵，工作壓強提高5~100倍，抽氣流量提高10-100倍，能耗降低50%，并能獲得更加清潔的真空環(huán)境，經(jīng)濟效益顯著。
[0068]本實施例十的抽氣機組10還可用于取代傳統(tǒng)濺射鍍膜設備普遍使用的分子泵+羅茨泵機組，提高鍍膜抽速50-100%，節(jié)省能耗50%，降低運行成本，提高產(chǎn)品質量，簡化真空系統(tǒng)。
[0069]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā) 明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本發(fā)明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種并聯(lián)環(huán)流泵，包括泵殼以及固設于所述泵殼內壁的隔環(huán)，所述隔環(huán)的中心位置設有一沿所述隔環(huán)的軸向延伸的轉軸，所述轉軸上固設有一轉子，其特征在于:所述轉子外周緣凸設有若干間隔設置且與所述轉子同軸的轉子平盤，每相鄰兩所述轉子平盤之間的間隔形成一抽氣槽，所述若干抽氣槽互相并聯(lián)，所述隔環(huán)上設有至少一組插入所述抽氣槽的堵塊，所述隔環(huán)上開設有位于所述堵塊兩側的進氣口和排氣口，所述進氣口和排氣口分別相連，組成自外向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵。
2.根據(jù)權利要求1所述的并聯(lián)環(huán)流泵，其特征在于:所述抽氣槽的截面為矩形或倒梯形。
3.根據(jù)權利要求1所述的并聯(lián)環(huán)流泵，其特征在于:最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有起隔離作用的工作間隙，其余所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙是最外側的兩所述轉子平盤與隔環(huán)之間留有的工作間隙的1.5飛倍。
4.根據(jù)權利要求1所述并聯(lián)環(huán)流泵，其特征在于:所述轉子平盤的外徑相同，或者所述轉子平盤的外徑自進氣側至排氣側依次遞增、或遞減、或先遞增后遞減。
5.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的并聯(lián)環(huán)流泵，其特征在于:所述隔環(huán)緊靠上游抽氣級的一側開設有環(huán)形氣體通道，所述環(huán)形氣體通道與所述進氣口相連。
6.一種組合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，其特征在于:所述外殼內設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的如權利要求1~4中任一項所述的并聯(lián)環(huán)流泵； 第一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口與所述泵進氣口相對應，第一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與第二組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口相對應；其余各組所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口與上游并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口相對應，其余各組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與下游所述并聯(lián)環(huán)流泵的進氣口相對應，最后一組所述并聯(lián)環(huán)流泵的排氣口與所述泵排氣口相對應，組成組合環(huán)流栗。
7.一種并聯(lián)環(huán)流泵，包括泵殼以及固設于所述泵殼內壁的隔環(huán)，所述隔環(huán)的中心位置設有一沿所述隔環(huán)的軸向延伸的轉軸，所述轉軸上固設有一轉子，其特征在于:所述轉子外周緣凸設有若干間隔設置且與所述轉子同軸的轉子平盤，每相鄰兩所述轉子平盤之間的間隔形成一抽氣槽，所述若干抽氣槽互相并聯(lián)，所述隔環(huán)上設有至少一組插入所述抽氣槽的堵塊；其特征在于: 所述抽氣槽的槽底與所述轉子分離，所述抽氣槽的槽底與所述堵塊相連，所述堵塊順著氣流方向傾斜； 所述隔環(huán)緊靠所述堵塊的一側設有排氣口，所述槽底緊靠所述堵塊的另一側設有進氣口 ；或者，所述隔環(huán)緊靠所述堵塊的一側設有進氣口，所述槽底緊靠所述堵塊的另一側設有排氣口 ； 所述轉子平盤靠近所述轉軸部位開設有氣體通道； 所述進氣口、排氣口和氣體通道均與所述抽氣槽相通，組成自內向外或自外向內抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵。
8.根據(jù)權利要求7所述的并聯(lián)環(huán)流泵，其特征在于:所述抽氣槽的截面為矩形或倒梯形； 最外側的兩所述轉子平盤與所述隔環(huán)之間留有起隔離作用的工作間隙，其余所述轉子平盤與所述隔環(huán)之間留有的工作間隙是最外側的兩所述轉子平盤與所述隔環(huán)之間留有的工作間隙的1.5~5倍； 所述轉子平盤的外徑相同，或者所述轉子平盤的外徑自進氣側至排氣側依次遞增、或遞減、或先遞增后遞減。
9.一種臥式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，其特征在于: 所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的徑流泵組和環(huán)流泵組，所述徑流泵組靠近所述泵進氣口設置，所述環(huán)流泵組靠近所述泵排氣口設置； 所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的徑流泵抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的徑流泵抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的徑流泵抽氣單元和所述自內向外的徑流泵抽氣單元之間設有動密封； 靠近所述泵進氣口的所述徑流泵的第一組自外向內的徑流泵抽氣單元的外側開設有徑向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一組自內向外的徑流泵抽氣單元的外側開設有環(huán)形氣體通道； 所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成，所述環(huán)流泵組的第一級并聯(lián)環(huán)流泵采用如權利要求5所述的帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵，所述環(huán)流泵組其余的并聯(lián)環(huán)流泵采用如權利要求1~4中任一項所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵。
10.一種立式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，其特征在于:所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的渦輪泵組、徑流泵組和環(huán)流泵組； 所述渦輪泵組靠近所述泵進氣口設置，所述渦輪泵組由若干串聯(lián)的渦輪泵抽氣單元組成，最后一級所述渦輪泵抽氣單元采用短葉片結構； 所述徑流泵組位于所述渦輪泵組的下方，所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所述自內向外的抽氣單元之間設有動密封； 靠近所述渦輪泵組的所述徑流泵的第一組自外向內的抽氣單元的外側開設有軸向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一組自內向外的抽氣單元的外側開設有環(huán)形氣體通道； 所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的下方，所述環(huán)流泵組由若干級并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成，所述環(huán)流泵組的第一級并聯(lián)環(huán)流泵采用如權利要求5所述的帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵，所述環(huán)流泵組其余的并聯(lián)環(huán)流泵采用如權利要求1~4中任一項所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵。
11.一種臥式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，其特征在于: 所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的徑流泵組和環(huán)流泵組，所述徑流泵組靠近所述泵進氣口設置，所述環(huán)流泵組靠近所述泵排氣口設置； 所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所 述自內向外的抽氣單元之間設有動密封；靠近所述泵進氣口的所述徑流泵的第一組自外向內的抽氣單元的外側開設有徑向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一級自內向外的抽氣單元由權利要求8所述的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵取代； 所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級如權利要求1~4中任一項所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成。
12.—種立式復合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，其特征在于:所述外殼內依次設有若干同軸設置且相互串聯(lián)的渦輪泵組、徑流泵組和環(huán)流泵組； 所述渦輪泵組靠近所述泵進氣口設置，所述渦輪泵組由若干串聯(lián)的渦輪泵抽氣單元組成，最后一級所述渦輪泵抽氣單元采用短葉片結構； 所述徑流泵組位于所述渦輪泵組的下方，所述徑流泵組由若干對徑流泵串聯(lián)組成，每對所述徑流泵由單個或者若干并聯(lián)的自外向內的抽氣單元以及單個或者若干并聯(lián)的自內向外的抽氣單元串聯(lián)組成，所述自外向內的抽氣單元和所述自內向外的抽氣單元之間設有動密封； 靠近所述渦輪泵組的所述徑流泵的第一組自外向內的抽氣單元的外側開設有軸向氣體通道，靠近所述環(huán)流泵的所述徑流泵的最后一級自內向外的抽氣單元由權利要求8所述的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵取代； 所述環(huán)流泵組位于所述徑流泵組的兩側，所述環(huán)流泵組由若干級如權利要求1~4中任一項所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵串聯(lián)組成。
13.—種組合環(huán)流泵，包括外殼，所述外殼上開設有泵進氣口和泵排氣口，其特征在于:所述外殼內設有若干同軸設置且依次串聯(lián)抽氣的第一環(huán)流泵、第二級環(huán)流泵和第三環(huán)流泵，位于中間的所述第一環(huán)流泵采用如權利要求8所述的自外向內抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵，位于所述第一環(huán)流泵兩側的第二環(huán)流泵采用如權利要求8所述的自內向外抽氣的并聯(lián)環(huán)流泵，所述第一環(huán)流泵和所述第二環(huán)流泵之間設有動密封，位于所述第二環(huán)流泵兩側的所述第三環(huán)流泵采用如權利要求f 4中任一項所述的不帶環(huán)形氣體通道的并聯(lián)環(huán)流泵； 所述第一環(huán)流泵的進氣口與所述泵進氣口相對應，所述第一環(huán)流泵的排氣口與所述第二環(huán)流泵的進氣口相對應，所述第二環(huán)流泵的排氣口與所述第三環(huán)流泵的進氣口相對應，所述第三環(huán)流泵的排氣口與所述泵排氣口相對應，組成一臺組合環(huán)流泵。
14.一種抽氣機組，其特征在于，包括真空室，所述真空室通過一第一真空閥與一環(huán)流泵連接，所述環(huán)流泵通過一第二真空閥與一粗抽泵連接，所述真空室還通過一第三真空閥與所述粗抽泵連接，所述環(huán)流泵采用如權利要求6或13所述的組合環(huán)流泵，或采用如權利要求9或11所述的臥式復合環(huán)流泵，或采用如權利要求10或12所述的立式復合環(huán)流泵。
【文檔編號】F04C23/00GK103644118SQ201310690261
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年12月17日 優(yōu)先權日:2013年12月17日
【發(fā)明者】儲繼國 申請人:儲繼國