氣體凈化裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種氣體凈化裝置，包括密封鼓風(fēng)源（100），其具有：具有從外部被隔開(kāi)的內(nèi)部空間的密封殼體（101）、經(jīng)由氣體流入口（104）將惰性氣體從外部導(dǎo)入內(nèi)部空間的開(kāi)放放出部（105）、冷卻該密封殼體（101）的內(nèi)部空間的冷卻管（103）、收納于該密封殼體（101）的內(nèi)部并將被冷卻管（101）冷卻的惰性氣體送出的渦流鼓風(fēng)機(jī)（102）、將來(lái)自渦流鼓風(fēng)機(jī)（102）的惰性氣體經(jīng)由送氣部（106）向外部供給的氣體流出口（107）。通過(guò)在該密封鼓風(fēng)源（100）的上游側(cè)配置前置過(guò)濾器（201），在下游側(cè)依次配置熱交換器（300）和HEPA過(guò)濾器（202），在防止異物混入和大氣侵入的同時(shí)進(jìn)行惰性氣體的凈化和冷卻。
【專利說(shuō)明】氣體凈化裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種例如有機(jī)EL (電致發(fā)光)顯示器等的制造工序中使用的合適的氣體凈化裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)EL元件是利用兩個(gè)電極間的有機(jī)材料被電壓激發(fā)并在再次返回到初始狀態(tài)時(shí)放出光的現(xiàn)象的自然發(fā)光型元件。將多個(gè)RGB各發(fā)光層的有機(jī)EL元件被配置成矩陣狀而構(gòu)成有機(jī)EL顯示器。
[0003]該有機(jī)EL顯示器具有功耗低、發(fā)熱量少且薄而輕的特性。并且，有機(jī)EL顯示器的畫質(zhì)具有色彩再現(xiàn)性良好、對(duì)比度高、動(dòng)畫響應(yīng)性高和峰值精度高、無(wú)視角依賴性等優(yōu)異的特性。
[0004]有機(jī)EL顯示器的有機(jī)材料具有接觸水或氧氣時(shí)容易劣化的特性。于是，在有機(jī)EL顯示器的制造時(shí)，在真空下或者氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w的環(huán)境下，通過(guò)真空蒸鍍，在基板上使RGB各發(fā)光層等的金屬電極材料成膜，并且在不接觸大氣的狀態(tài)下進(jìn)行玻璃的粘著、密封等。
[0005]另外，在惰性氣體的環(huán)境下制造有機(jī)EL顯示器時(shí)，有時(shí)利用罩體覆蓋長(zhǎng)生產(chǎn)線的整體并且在該罩體的內(nèi)部填充惰性氣體。然而，有時(shí)惰性氣體被在制造工序中產(chǎn)生的塵?；蛘呶⑿∑?以下簡(jiǎn)稱為異物)污染，從而通常利用氣體凈化裝置對(duì)所述罩體內(nèi)的惰性氣體進(jìn)行清潔以除去異物。
[0006]在此，作為有機(jī)EL顯示器制造有關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)，例如公知有專利文獻(xiàn)1，2所記載的裝置。
[0007]在專利文獻(xiàn)1，2所記載的裝置中，在密封的容器中都收納有電動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)。在專利文獻(xiàn)I中，采用使氣體接觸冷卻板以進(jìn)行熱交換并利用與該冷卻板接觸的水冷管來(lái)進(jìn)行散熱的結(jié)構(gòu)。另外，在專利文獻(xiàn)2中，利用電動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的風(fēng)來(lái)冷卻鼓風(fēng)機(jī)的馬達(dá)而進(jìn)行自冷卻。
[0008]專利文獻(xiàn)1:(日本)特開(kāi)2007-198364號(hào)公報(bào)(圖1?圖3等)
[0009]專利文獻(xiàn)2:(日本)特開(kāi)2008-128224號(hào)公報(bào)(圖1?圖4等)
[0010]在專利文獻(xiàn)I的圖1和圖2所記載的裝置中，由于利用小型冷卻機(jī)構(gòu)進(jìn)行熱交換，因此存在與惰性氣體的接觸面積小、冷卻效果差的問(wèn)題。
[0011]另外，在專利文獻(xiàn)2的圖1、圖2和圖4所記載的裝置中，由于冷卻風(fēng)扇送出惰性氣體冷卻馬達(dá)，因此有可能導(dǎo)致從冷卻風(fēng)扇機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的異物混入惰性氣體中。并且，如果不將冷卻風(fēng)扇機(jī)構(gòu)設(shè)置成氣密結(jié)構(gòu)，則除了異物之外，有可能從周圍大氣混入，如果大氣混入，則有機(jī)材料與水或者氧氣接觸而劣化，從而存在因產(chǎn)生不能發(fā)光的稱之為黑斑的不良部位而使產(chǎn)品的成品率降低等問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0012]于是，本發(fā)明的解決問(wèn)題在于提供一種在防止異物混入和大氣侵入的同時(shí)凈化氣體并能夠高效地冷卻鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)的馬達(dá)的氣體凈化裝置。
[0013]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明第一方面的氣體凈化裝置的特征在于，包括密封鼓風(fēng)源，該密封鼓風(fēng)源具有:具有從外部被隔開(kāi)的內(nèi)部空間的密封殼體；將被過(guò)濾器凈化的氣體導(dǎo)入到所述內(nèi)部空間的氣體導(dǎo)入部；收納于所述密封殼體內(nèi)并將從所述內(nèi)部空間吸入的所述氣體送出的鼓風(fēng)機(jī)；以覆蓋所述鼓風(fēng)機(jī)的周圍的方式配置并冷卻所述內(nèi)部空間的冷卻機(jī)構(gòu)；將所述鼓風(fēng)機(jī)送出的所述氣體向外部導(dǎo)出的氣體導(dǎo)出部。
[0014]本發(fā)明第二方面的氣體凈化裝置的特征在于，在本發(fā)明第一方面的氣體凈化裝置的基礎(chǔ)上，在所述密封鼓風(fēng)源中，所述氣體導(dǎo)入部包括使從外部供給到的氣體流入的氣體流入口和配置于該氣體流入口和所述鼓風(fēng)機(jī)之間且?guī)в惺箽怏w向所述內(nèi)部空間放出的通孔的開(kāi)放放出部；并且，所述氣體導(dǎo)出部包括使由所述鼓風(fēng)機(jī)送出的氣體通過(guò)的送氣部和用于使通過(guò)該送氣部的氣體排出到外部的氣體流出口。
[0015]本發(fā)明第三方面的氣體凈化裝置的特征在于，在本發(fā)明第一方面的氣體凈化裝置的基礎(chǔ)上，在所述密封鼓風(fēng)源中，所述氣體導(dǎo)入部包括使從外部供給到的氣體流入的氣體流入口和配置于該氣體流入口和所述鼓風(fēng)機(jī)之間使氣體向所述內(nèi)部空間放出的硬管；并且，所述氣體導(dǎo)出部具有使由所述鼓風(fēng)機(jī)送出的氣體通過(guò)的送氣部和用于使通過(guò)該送氣部的氣體排出到外部的氣體流出口。
[0016]本發(fā)明第四方面的氣體凈化裝置的特征在于，在本發(fā)明第二或第三方面的氣體凈化裝置的基礎(chǔ)上，所述密封鼓風(fēng)源還包括冷卻所述氣體導(dǎo)入部的氣體流入口的周圍和所述氣體導(dǎo)出部的氣體流出口的周圍的第二冷卻機(jī)構(gòu)。
[0017]本發(fā)明第五方面的氣體凈化裝置的特征在于，包括:使從外部供給的氣體通過(guò)的前置過(guò)濾器；本發(fā)明第一至第三方面中的任一方面所述的被供給通過(guò)該前置過(guò)濾器的氣體的密封鼓風(fēng)源；冷卻從該密封鼓風(fēng)源排出的氣體的熱交換器；使被該熱交換器冷卻的氣體通過(guò)的HEPA過(guò)濾器。
[0018]本發(fā)明第六方面的氣體凈化裝置的特征在于，在本發(fā)明第五方面所述的氣體凈化裝置的基礎(chǔ)上，所述前置過(guò)濾器、所述密封鼓風(fēng)源、所述熱交換器和所述HEPA過(guò)濾器收納于單一的外殼內(nèi)。
[0019]本發(fā)明第七方面所述的氣體凈化裝置的特征在于，包括:使從外部供給的氣體通過(guò)的前置過(guò)濾器；本發(fā)明第一至第三方面中的任一方面所述的被供給通過(guò)該前置過(guò)濾器的氣體的密封鼓風(fēng)源；使從該熱交換器排出的氣體通過(guò)的HEPA過(guò)濾器。
[0020]本發(fā)明第八方面的氣體凈化裝置的特征在于，在本發(fā)明第七方面的氣體凈化裝置的基礎(chǔ)上，所述前置過(guò)濾器、所述密封鼓風(fēng)源和所述HEPA過(guò)濾器收納于單一的外殼內(nèi)。
[0021]本方面第九方面的氣體凈化裝置的特征在于，在第七方面的氣體凈化裝置的基礎(chǔ)上，收納有所述前置過(guò)濾器和所述HEPA過(guò)濾器的過(guò)濾單元與所述密封鼓風(fēng)源形成為經(jīng)由所述氣體流路能夠連結(jié)或分離。
[0022]發(fā)明效果
[0023]利用本發(fā)明能夠提供一種在回收的氣體中沒(méi)有異物混入和大氣侵入，并且在冷卻氣體的同時(shí)凈化氣體并再次將氣體供給到外部的氣體凈化裝置。此外，通過(guò)以利用在密封殼體的內(nèi)部空間內(nèi)冷卻的氣體來(lái)冷卻鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)的馬達(dá)的方式構(gòu)成氣體流路，能夠高效地冷 卻鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)的馬達(dá)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1是從側(cè)面看到的本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源內(nèi)部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖2是從正面看到的本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源內(nèi)部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。
[0026]圖3是從背面看到的本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源內(nèi)部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。
[0027]圖4是本發(fā)明第一實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0028]圖5是本發(fā)明第二實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0029]圖6是本發(fā)明第三實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0030]圖7是本發(fā)明第四實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0031]圖8是表示本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源的另一例的結(jié)構(gòu)圖。
[0032]圖9是表示本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源的另一例的結(jié)構(gòu)圖。
[0033]圖10是表示本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源的另一例的結(jié)構(gòu)圖。
[0034]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0035]100, 100A, 100B, 100C密封鼓風(fēng)源；101密封殼體；102渦流鼓風(fēng)機(jī)；102a吸氣口 ；102b排氣口 ; 103冷卻管；103a冷卻水供給口 ;103b冷卻水排出口 ;104，104A氣體流入口 ；105開(kāi)放放出部；105a通孔；105A開(kāi)放收集部；105B通孔；106送氣部；107，107A氣體流出口 ；200過(guò)濾單元；201前置過(guò)濾器；202HEPA過(guò)濾器；300熱交換器；401，402外殼；501?502流路；512，513接頭。
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下，參照【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0037]圖1是從側(cè)面看到的本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源100內(nèi)部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。圖2是從正面看到的本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源100內(nèi)部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。圖3是從背面看到的本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源100內(nèi)部的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。在圖1?圖3中，密封鼓風(fēng)源100包括具有蓋IOla和有底筒狀的收容體IOlb的密封殼體101、收納于該密封殼體101內(nèi)的渦流鼓風(fēng)機(jī)102、螺旋狀地配置于密封殼體101的內(nèi)周面的冷卻管 103。
[0038]另外，104是來(lái)自生產(chǎn)線的惰性氣體(例如氮?dú)?N2))被供給的流入口，從該氣體流入口 104流入的惰性氣體經(jīng)由開(kāi)放放出部105供給至內(nèi)部空間。這些氣體流入口 104和開(kāi)放放出口 105是氣體導(dǎo)入部的具體例子。需要說(shuō)明的是，如圖1和圖2所示，在開(kāi)放放出部105上設(shè)置有多個(gè)通孔105a。從該開(kāi)放放出部105的通孔105a放出惰性氣體。該惰性氣體與螺旋狀的冷卻管103接觸而被冷卻之后，如圖3所示經(jīng)由螺旋鼓風(fēng)機(jī)102的吸氣口 102a流入渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部，經(jīng)由軟管或硬管等送氣部106到達(dá)氣體流出口 107。這些送氣部106和氣體流出口 107是氣體導(dǎo)出部的具體例子。
[0039]冷卻管103的兩端部分別與冷卻水供給口 103a和冷卻水排出口 103b連接，從未圖示的外部冷卻泵送出的冷卻水通過(guò)冷卻管103而使充滿于密封殼體101的內(nèi)部空間的氣體冷卻。該冷卻管103構(gòu)成為螺旋狀，從而大幅增加了與惰性氣體接觸的面積。在該密封鼓風(fēng)源100中的惰性氣體的冷卻被稱為一次冷卻。[0040]在密封殼體101的底面安裝有滾動(dòng)輪和止動(dòng)器，從而方便了密封鼓風(fēng)源100的移動(dòng)和固定。
[0041]另外，用于驅(qū)動(dòng)設(shè)置于渦流鼓風(fēng)機(jī)102內(nèi)部的馬達(dá)的變換器等控制單元可以收納于密封殼體101內(nèi)，也可以配置在密封殼體101的外部。
[0042]接著，圖4是本發(fā)明第一實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0043]在圖4中，從制造工序中回收的惰性氣體經(jīng)由流路501通過(guò)過(guò)濾單元200內(nèi)的前置過(guò)濾器201并從流路502流入所述密封鼓風(fēng)源100的氣體流入口 104。
[0044]在制造過(guò)程中，例如在有機(jī)EL顯示器的制造工序中，考慮到利用惰性氣體對(duì)基板表面進(jìn)行除塵的除塵裝置，將除塵后的惰性氣體回收并冷卻，同時(shí)對(duì)其進(jìn)行凈化，將冷卻凈化后的氣體再次供給到除塵裝置。所述前置過(guò)濾器201被設(shè)置為用來(lái)從凈化前的氣體中除去大部分的異物而進(jìn)行一次凈化。
[0045]密封鼓風(fēng)源100中的工作如前所述，被一次凈化的惰性氣體從氣體流入口 104經(jīng)由開(kāi)放放出部105的通孔105a被放出到密封殼體101內(nèi)的內(nèi)部空間。被放出到該內(nèi)部空間的惰性氣體被冷卻管103 —次冷卻，經(jīng)由渦流鼓風(fēng)機(jī)102的吸氣口 102a流入到渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部，并經(jīng)由送氣部106從氣體流出口 107排出到外部。從該氣體流出口 107排出的惰性氣體經(jīng)由圖4的流路503被供給至熱交換器300。
[0046]如上所述，被一次冷卻的惰性氣體流入到渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部并從送氣部106排出，從而能夠有效地冷卻渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部的馬達(dá)。
[0047]熱交換器300用于對(duì)從密封鼓風(fēng)源100送出的惰性氣體適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行溫度調(diào)節(jié)并進(jìn)行二次冷卻。為了使二次冷卻后的氣體的溫度成為適于制造過(guò)程中的溫度，利用未圖示的控制器控制冷卻水溫度和水量等。
[0048]需要說(shuō)明的是，從制造過(guò)程中回收的氣體的溫度多數(shù)達(dá)到例如60?80°C，如果凈化該高溫氣體并使其再次返回到制造過(guò)程中，則產(chǎn)生基板、電極材料劣化等各種問(wèn)題，因此，利用熱交換器300將氣體冷卻至例如23°C左右的常溫，并將冷卻后的氣體供給到制造過(guò)程中，從而能夠防止產(chǎn)品的劣化或不良的發(fā)生，從而提高成品率。
[0049]在圖4中，通過(guò)熱交換器300的二次冷卻后的氣體經(jīng)由流路504被過(guò)濾單元200內(nèi)的HEPA (High Efficiency Particulate Air,高效空氣過(guò)濾器)過(guò)濾器202 二次凈化，經(jīng)由流路505供給到制造過(guò)程中。HEPA過(guò)濾器202從二次冷卻后的氣體(一次凈化氣體)中以較高的粒子捕集率(例如在額定風(fēng)量下對(duì)于粒徑為0.3 μ m的粒子在99.97%以上:JISZ8122)除去微小的異物。
[0050]在此，流路501?505由硬管或者軟管構(gòu)成。
[0051]如上所述，在第一實(shí)施例的氣體凈化裝置中，被前置過(guò)濾器201 —次凈化的惰性氣體充滿于密封鼓風(fēng)源100的密封殼體101內(nèi)而被一次冷卻，之后一次冷卻氣體被熱交換器300 二次冷卻而進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并且在被HEPA過(guò)濾器202進(jìn)行高效率的二次凈化之后供給到制造過(guò)程中。
[0052]因此，不會(huì)再?gòu)耐獠渴巩愇锘烊朊芊鈿んw101內(nèi)的惰性氣體，假設(shè)從渦流鼓風(fēng)機(jī)102的馬達(dá)等產(chǎn)生了少許異物，因?yàn)樵摦愇锉缓蠖蔚腍EPA過(guò)濾器202可靠地除去，所以高純度的凈化氣體被供給至制造過(guò)程中。
[0053]除此之外，通過(guò)進(jìn)行密封鼓風(fēng)源100的惰性氣體的一次冷卻、伴隨有熱交換器300的溫度調(diào)節(jié)的二次冷卻，即使從制造過(guò)程中回收的惰性氣體處于高溫也能夠?qū)⒍栊詺怏w冷卻至規(guī)定溫度并再次供給到制造過(guò)程中，從而能夠在適當(dāng)?shù)臏囟葪l件下進(jìn)行基板的除塵
坐寸O
[0054]接著，圖5是本發(fā)明第二實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0055]在如圖4所示的第一實(shí)施例中，說(shuō)明了將前置過(guò)濾器201和HEPA過(guò)濾器202收納于單一的外殼內(nèi)以形成過(guò)濾單元200的構(gòu)成，但是如圖5所示，也可以將密封鼓風(fēng)源100、熱交換器300、前置過(guò)濾器201和HEPA過(guò)濾器202收納于單一的外殼401內(nèi)。在該情況下，通過(guò)研究各機(jī)器的配置而使流路502?504的長(zhǎng)度設(shè)定為最短，能夠?qū)崿F(xiàn)整體小型的氣體凈化裝置。
[0056]圖6是本發(fā)明的第三實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0057]該第三實(shí)施例相當(dāng)于從圖5的第二實(shí)施例中除去熱交換器300，將密封鼓風(fēng)源100、前置過(guò)濾器201和HEPA過(guò)濾器202收納于單一的外殼402內(nèi)。
[0058]在從制造過(guò)程中回收的氣體的溫度不那么高時(shí)或者在密封鼓風(fēng)源100中進(jìn)行一次冷卻時(shí)能夠進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)等時(shí)，如圖6所示通過(guò)除去熱交換器300，能夠?qū)崿F(xiàn)與第一實(shí)施例、第二實(shí)施例相比結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且進(jìn)一步小型化的氣體凈化裝置。
[0059]圖7是本發(fā)明第四實(shí)施例的氣體凈化裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0060]該第四實(shí)施例構(gòu)成為使過(guò)濾單元200和密封鼓風(fēng)源100分離并利用安裝于密封鼓風(fēng)源100的流路502，503的端部的接頭512，513與過(guò)濾單元200內(nèi)的前置過(guò)濾器201和HEPA過(guò)濾器202連結(jié)。需要說(shuō)明的是，第四實(shí)施例也不使用熱交換器300。
[0061]在圖6的第三實(shí)施例中，雖然將氣體凈化裝置整體收納于外殼401內(nèi)，但是也存在因?yàn)闆](méi)有充足的設(shè)置空間而不能設(shè)置外殼401的情況。在這種情況下，如果如第四實(shí)施例所述使過(guò)濾單元200與密封鼓風(fēng)源100分離，并且利用具有可撓性的軟管等形成流路502，502，則能夠以任意位置關(guān)系設(shè)置過(guò)濾單元200和密封鼓風(fēng)源100，因此能夠有效地利用狹小的空間。同時(shí)，如果使過(guò)濾單元200和密封鼓風(fēng)源100分離，則各部分的維修檢查作業(yè)也變得容易，從而能夠提供維修性優(yōu)異的氣體凈化裝置。
[0062]需要說(shuō)明的是，在圖5的第二實(shí)施例、圖6的第三實(shí)施例的外殼401，402內(nèi)的各部分的相對(duì)位置關(guān)系不受特別限定，可以將各部分呈平面地配置，或者在垂直方向上層疊配置等而考慮氣體凈化裝置的設(shè)置空間的同時(shí)進(jìn)行任意設(shè)計(jì)。
[0063]接著，圖8是本發(fā)明氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源的其他例子的結(jié)構(gòu)圖。在該密封鼓風(fēng)源100A中，配置普通的硬管108來(lái)代替開(kāi)放放出部105。由于該硬管108是沒(méi)有通孔的管，所以僅從下側(cè)的一個(gè)開(kāi)口噴射惰性氣體。這些氣體流入口 104和硬管108是氣體導(dǎo)入部的具體例。
[0064]即，從外部的流路502 (參照?qǐng)D4?圖7)供給的惰性氣體從氣體流入口 104經(jīng)由硬管108放出到密封殼體101的內(nèi)部空間。該惰性氣體與冷卻管103接觸而被冷卻之后，從渦流鼓風(fēng)機(jī)102的吸氣口 102a經(jīng)由渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部和送氣部106從氣體流出口107排出到外部的流路503 (參照?qǐng)D4?圖7)。也可以是這樣的密封鼓風(fēng)源。
[0065]需要說(shuō)明的是，圖8的密封鼓風(fēng)源100A能夠適用于如圖4?圖7所示的所有氣體凈化裝置。
[0066]接著，圖9是本發(fā)明的氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源的其他例子的結(jié)構(gòu)圖。在該密封鼓風(fēng)源IOOB中，采用使冷卻水通過(guò)氣體流入口 104及氣體流出口 107的周圍而進(jìn)一步冷卻惰性氣體的結(jié)構(gòu)。密封殼體101除了蓋IOla和收容體101b，還包括冷卻水供給口IOlc和冷卻水排出口 101d。在蓋IOla上形成有通過(guò)冷卻水供給口 IOlc和冷卻水排出口IOld的流路，來(lái)自于冷卻水供給口 IOlc的冷卻水通過(guò)該流路從冷卻水排出口 IOld流出。這些供給口和排出口作為第二冷卻機(jī)構(gòu)發(fā)揮作用。
[0067]在這樣的密封鼓風(fēng)源100B中，在蓋IOla的氣體流入口 104被冷卻的惰性氣體放出到密封殼體101的內(nèi)部空間供給至渦流鼓風(fēng)機(jī)102，由此可以預(yù)見(jiàn)使渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部溫度進(jìn)一步下降的效果。通過(guò)下降渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部溫度，具有使鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)的軸承的壽命延長(zhǎng)等各種優(yōu)點(diǎn)。并且，在蓋IOla的氣體流出口 107的附近進(jìn)一步冷卻惰性氣體之后送氣，由此也能夠預(yù)見(jiàn)更好的惰性氣體的冷卻效果。
[0068]接著，圖10是本發(fā)明的氣體凈化裝置使用的密封鼓風(fēng)源的其他例子的結(jié)構(gòu)圖。在該密封鼓風(fēng)源100C中，惰性氣體的流路與圖1的例子相反。
[0069]即，從外部的流路502 (參照?qǐng)D4?圖7)供給的惰性氣體從氣體流入口 104A經(jīng)由送氣部106供給至渦流鼓風(fēng)機(jī)102的內(nèi)部，從渦流鼓風(fēng)機(jī)102的排氣口 102b放出到密封殼體101的內(nèi)部空間的惰性氣體與冷卻管103接觸而被冷卻之后，經(jīng)由開(kāi)放收集部105A的通孔105B從氣體流出口 107A排出到外部的流路503 (參照?qǐng)D4?圖7)。
[0070]該密封鼓風(fēng)源100C在渦流鼓風(fēng)機(jī)102內(nèi)的馬達(dá)的冷卻功能方面稍遜于圖1的密封鼓風(fēng)源100，但是在使回收的氣體在密封空間內(nèi)冷卻并再次供給到外部的這一點(diǎn)上，與圖1的密封鼓風(fēng)源100具有相同的功能。
[0071]需要說(shuō)明的是，圖10的密封鼓風(fēng)源100C能夠適用于圖4?圖7所示的所有氣體
凈化裝置。
[0072]本發(fā)明的氣體凈化裝置不限于有機(jī)EL顯示器等的制造工序中的惰性氣體的凈化，能夠利用于各種制造設(shè)備、空調(diào)設(shè)備、測(cè)量試驗(yàn)設(shè)備等中的氣體凈化。
【權(quán)利要求】
1.一種氣體凈化裝置，其特征在于，包括密封鼓風(fēng)源，該密封鼓風(fēng)源具有: 密封殼體，具有從外部被隔開(kāi)的內(nèi)部空間； 氣體導(dǎo)入部，將被過(guò)濾器凈化的氣體導(dǎo)入到所述內(nèi)部空間； 鼓風(fēng)機(jī)，收納于所述密封殼體內(nèi)，將從所述內(nèi)部空間吸入的所述氣體送出； 冷卻機(jī)構(gòu)，以覆蓋所述鼓風(fēng)機(jī)的周圍的方式配置，冷卻所述內(nèi)部空間； 氣體導(dǎo)出部，將所述鼓風(fēng)機(jī)送出的所述氣體向外部導(dǎo)出。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體凈化裝置，其特征在于，在所述密封鼓風(fēng)源中，所述氣體導(dǎo)入部包括使從外部供給到的氣體流入的氣體流入口和配置于該氣體流入口和所述鼓風(fēng)機(jī)之間且?guī)в惺箽怏w向所述內(nèi)部空間放出的通孔的開(kāi)放放出部；并且，所述氣體導(dǎo)出部包括使由所述鼓風(fēng)機(jī)送出的氣體通過(guò)的送氣部和用于使通過(guò)該送氣部的氣體排出到外部的氣體流出口。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體凈化裝置，其特征在于，在所述密封鼓風(fēng)源中，所述氣體導(dǎo)入部包括使從外部供給到的氣體流入的氣體流入口和配置于該氣體流入口和所述鼓風(fēng)機(jī)之間使氣體向所述內(nèi)部空間放出的硬管；并且，所述氣體導(dǎo)出部具有使由所述鼓風(fēng)機(jī)送出的氣體通過(guò)的送氣部和用于使通過(guò)該送氣部的氣體排出到外部的氣體流出口。
4.如權(quán)利要求2或3所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述密封鼓風(fēng)源還包括冷卻所述氣體導(dǎo)入部的氣體流入口的周圍和所述氣體導(dǎo)出部的氣體流出口的周圍的第二冷卻機(jī)構(gòu)。
5.一種氣體凈化裝置，其特征在于，包括: 前置過(guò)濾器，使從外部供給的氣體通過(guò)； 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的密封鼓風(fēng)源，被供給通過(guò)該前置過(guò)濾器的氣體； 熱交換器，冷卻從該密封鼓風(fēng)源排出的氣體； HEPA過(guò)濾器，使被該熱交換器冷卻的氣體通過(guò)。
6.如權(quán)利要求5所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述前置過(guò)濾器、所述密封鼓風(fēng)源、所述熱交換器和所述HEPA過(guò)濾器收納于單一的外殼內(nèi)。
7.一種氣體凈化裝置，其特征在于，包括: 前置過(guò)濾器，使從外部供給的氣體通過(guò)； 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的密封鼓風(fēng)源，被供給通過(guò)該前置過(guò)濾器的氣體； HEPA過(guò)濾器，使從該密封鼓風(fēng)源排出的氣體通過(guò)。
8.如權(quán)利要求7所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述前置過(guò)濾器、所述密封鼓風(fēng)源和所述HEPA過(guò)濾器收納于單一的外殼內(nèi)。
9.如權(quán)利要求7所述的氣體凈化裝置，其特征在于，收納有所述前置過(guò)濾器和所述HEPA過(guò)濾器的過(guò)濾單元與所述密封鼓風(fēng)源形成為經(jīng)由所述氣體流路能夠連結(jié)或分離。
【文檔編號(hào)】F04B39/16GK103711674SQ201310292067
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年7月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月2日
【發(fā)明者】秋淵雄, 伊藤孝宏, 白根智博 申請(qǐng)人:修谷魯電子機(jī)器股份有限公司