專利名稱:干泵尾氣管道的制作方法
干泵尾氣管道
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種干泵尾氣管道,尤其涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制程工藝中的干泵尾氣管道。
背景技術(shù):
在半導(dǎo)體制程的某些工藝中,干泵已被廣泛應(yīng)用,例如在低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中、半導(dǎo)體刻蝕工藝中,而在這些生產(chǎn)工藝中,往往會用到或者生成腐蝕性氣體和研磨微粒,此時,需要干泵來對半導(dǎo)體制程設(shè)備及處理室進行凈化和抽真處理,并將微?;蛘邭怏w排出干泵外。為了使干泵能順利排放微粒或粉塵,干泵的尾氣管道處通常都設(shè)有加熱裝置,來去除微?;蚍蹓m的凝結(jié),達到良好的排放效果。例如,在氮化硅等粉塵CVD工藝設(shè)備中,干泵(Dry Pump)的尾氣管道通常需要使用加熱氮氣的裝置來除去粉塵的凝結(jié),而目前這種加熱方式主要是使用電熱管加熱方式進行處理,如圖1所示為用于尾氣管道上的電熱管100’。由于這種電熱管加熱方式存在加熱面積小、電熱管內(nèi)電熱絲容易燒斷的缺陷,同時,由于電熱管的加熱圈10’為接觸式電熱圈, 其直接接觸空氣,導(dǎo)致加熱時有很多能量都被耗散到空氣中,造成能源浪費。鑒于上述問題,有必要提供一種新的干泵尾氣管道來解決上述問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所解決的技術(shù)問題在于提供一種干泵尾氣管道,其可有效減少能量消耗并具有更高的安全可靠性。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種干泵尾氣管道,包括一管體,該管體設(shè)有一內(nèi)表面和一外表面,所述干泵尾氣管道進一步包括一電磁感應(yīng)加熱裝置, 該電磁感應(yīng)加熱裝置包括一纏繞于所述管體外表面上的感應(yīng)線圈及位于所述感應(yīng)線圈內(nèi)側(cè)的保溫隔層。作為本技術(shù)方案的進一步改進,所述管體的內(nèi)表面上設(shè)有用于傳熱的不銹鋼片。作為本技術(shù)方案的進一步改進,所述管體呈圓形并設(shè)有一通氣口及用于安裝的安裝部。相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明所述的干泵尾氣管道通過加裝一電磁感應(yīng)加熱裝置來實現(xiàn)對管體的加熱,大大提高了加熱效率,減少了能量的消耗。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)中干泵尾氣管道所用電熱管的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明所述的干泵尾氣管道的立體示意圖。圖3為本發(fā)明所述的干泵尾氣管道的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
請參圖2、圖3所示,本發(fā)明提供一種干泵尾氣管道100,其包括圓形管體10及安裝于所述圓形管體10上的電磁感應(yīng)加熱裝置20。所述圓形管體10的兩端分別設(shè)有一通氣口 11,且至少一端設(shè)有用于安裝的安裝部12。所述通氣口 11呈圓形,用于供干泵抽真排出氣體或粉塵微粒。所述安裝部12也呈圓形,并尺寸大于所述管體10的其他部分。所述圓形管體10設(shè)有一個內(nèi)管面13及外表面 14,該內(nèi)管面13上安裝有用于導(dǎo)熱的不銹鋼片14,如此,可方便熱量通過導(dǎo)熱的不銹鋼片 15傳至管體10內(nèi)的氣體。請參閱圖3所示,所述電磁感應(yīng)加熱裝置20包括一繞設(shè)于所述管體10外表面14 上的感應(yīng)線圈21及一包裹在所述管體10上的保溫隔層22。其中,所述感應(yīng)線圈21呈圓形纏繞于管體10上并通過通電產(chǎn)生渦流而實現(xiàn)對管體10進行加熱,而所述保溫隔層22貼于所述管體10的表面并位于所述感應(yīng)線圈21的內(nèi)側(cè),使得感應(yīng)線圈21直接貼于所述保溫隔層22上,如此,使得渦流所產(chǎn)生的熱量大部分將被所述保溫隔層22所保留,可被充分地利用起來對管體10內(nèi)的氣體進行加熱處理,減少了熱量的損耗,極大的提高了加熱效率,同時,電磁感應(yīng)的加熱方式也更為安全可靠,且具有使用壽命長、溫度控制方便等特點。以上所述,僅是本發(fā)明的最佳實施例而已,并非對本發(fā)明作任何形式上的限制。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下,利用上述揭示的方法內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾,均屬于權(quán)利要求書保護的范圍。
權(quán)利要求
1.一種干泵尾氣管道,包括一管體,該管體設(shè)有一內(nèi)表面和一外表面,其特征在于所述干泵尾氣管道進一步包括一電磁感應(yīng)加熱裝置,該電磁感應(yīng)加熱裝置包括一纏繞于所述管體外表面上的感應(yīng)線圈及位于所述感應(yīng)線圈內(nèi)側(cè)的保溫隔層。
2.如權(quán)利要求1所述的干泵尾氣管道,其特征在于所述管體的內(nèi)表面上設(shè)有用于傳熱的不銹鋼片。
3.如權(quán)利要求2所述的干泵尾氣管道,其特征在于所述管體呈圓形并設(shè)有一通氣口及用于安裝的安裝部。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種干泵尾氣管道,包括一管體,該管體設(shè)有一內(nèi)表面和一外表面,所述干泵尾氣管道進一步包括一電磁感應(yīng)加熱裝置,該電磁感應(yīng)加熱裝置包括一纏繞于所述管體外表面上的感應(yīng)線圈及位于所述感應(yīng)線圈內(nèi)側(cè)的保溫隔層。相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明所述的干泵尾氣管道通過加裝一電磁感應(yīng)加熱裝置來實現(xiàn)對管體的加熱,大大提高了加熱效率,減少了能量的消耗。
文檔編號F04B39/06GK102562530SQ20101060535
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者何亮, 孫建華 申請人:無錫華潤上華科技有限公司